JPH05189737A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 磁気記録媒体のオーバーライト特性とＳ／Ｎ
比の向上を目的とする。 【構成】 基板２上に磁化反転する硬質磁性膜３と、磁
壁移動で磁化反転する硬質磁性膜４とを積層する。ま
た、基板側に近い方の硬質磁性膜３の磁気異方性を面内
方向とし、基板側から離れた方の硬質磁性膜４の磁気異
方性膜の磁気異方性を垂直方向とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体に関する
ものであり、特に磁化特性の相異なる硬質磁性膜を積層
した多層構造磁気記録媒体に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体の記録密度を高めるために
は、記録分解能の向上、高出力、媒体ノイズの低減、オ
ーバーライト特性の向上が求められる。記録分解能の向
上及び高出力を得るためには、磁性膜の保持力を増大さ
せることが有効である。

【０００３】例えば、下地膜にＣｒ等の非磁性膜を形成
し、その膜上にＣｏ系金属磁性薄膜を一層形成した磁気
記録媒体（IEEE Trans.Magn.MAG-6 No.4(1970)P768）
や、ＣｏにＰｔを添加した磁性膜を直接基板上に形成し
た磁気記録媒体（特開昭５８−７８０６号広報）、或い
は面内磁気異方性硬質磁性膜を非磁性中間層を介して積
層した磁気記録媒体（J.Appl.Phys.67-9(1990)P4692 ）
が知られているが、媒体ノイズ量に対する出力（Ｓ／Ｎ
比）が大きく、記録密度に限界があった。

【０００４】また、近年の磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲ
ヘッド）の採用等に伴って、システム自体のノイズが低
下しており、Ｓ／Ｎ比の影響が大きな要因を占めるよう
になってきている。

【０００５】一般に、金属媒体のノイズは、以下の原因
で生じることが知られている。すなわち、磁気記録媒体
の磁性膜は磁区構造をなしており、安定磁区を形成した
ときに粒子間の磁気的相互作用が強いため、磁化反転部
（磁壁）が不規則なジクザク形状を形成し、この不規則
なジクザク形状が金属媒体のノイズの原因となってい
る。

【０００６】従って、金属媒体のノイズを低下させるた
めに、粒子間の磁気的相互作用を弱くする磁性膜の構造
を用いる方法が有効である。この１つとして、Ｃｒ下地
膜の分離した形状を利用した方法（IEEE Trans.Magn.MA
G-26 No.5(1990)PP1578-1580）が知られている。しかし
ながら、形状と磁気異方性の両者とも最適化することが
できないという欠点があった。

【０００７】また、結晶粒径を微細化する方法では、オ
ーバーライト特性が良好とはいえない。ヘッドからの磁
界は水平磁界のみではなく垂直方向の成分も多く含まれ
る。従って、媒体の磁化を反転させるヘッド磁界方向
は、水平ではなく垂直方向に傾いている。出力の大きな
媒体は、膜の面内保持力より膜面から傾いた方向の保持
力が大きい。これは、磁性膜の磁化反転機構が磁壁移動
型であることを示しており、このように磁化反転をする
ためにヘッドからの大きな磁界が必要であることがオー
バーライト特性の劣化を招いている。

【０００８】また、近年では磁気記録媒体の記録密度を
飛躍的に高める記録方式として垂直磁気異方性膜を用い
た垂直磁気記録媒体が注目されている。しかしながら、
垂直磁気記録方式は、情報を担う磁化転移領域において
磁化方向が反平行となり、媒体表面近傍で磁束が閉じて
しまうため、Ｓ／Ｎ比を考慮した場合に、出力を十分に
とれなかった

【０００９】そこで、例えば、単磁極形ヘッドの磁界に
対して鏡像的役割をする軟磁性の面内磁気異方性膜を垂
直磁気異方性膜の裏面に被着した二層構造垂直磁気記録
媒体（GA-6,Intermag.Conference,(1985)P）が知られて
いる。これは、軟磁性層をもつ二層構造垂直磁気異方性
膜を単磁極形ヘッドと組み合わせることによって、ヘッ
ドと軟磁性層の強い相互作用により垂直成分の分布が鋭
くなり記録再生感度が向上し、比較的低出力においても
用いることができるものである。しかしながら、軟磁性
層においては磁化の反転毎に摺動ノイズが発生し、ま
た、ヘッドから発生される磁界は、通常、馬蹄形をして
いるので、上記従来の軟磁性層を持つ二層構造垂直磁気
異方性膜に対しては、必ずしも有効ではなかった。ま
た、記録時において磁化を反転させるのに最もエネルギ
ー効率がよいのは、ヘッドから発生される磁界と同じ方
向の場合であるが、このような磁界の方向性を考慮した
多層構造硬質磁性膜の磁気記録媒体は従前存しなかっ
た。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】磁気記録媒体の磁性膜
は磁区構造をなしており、安定磁区を形成したときに粒
子間の磁気的相互作用が強いため、磁化反転部（磁壁）
が不規則なジクザク形状を形成し、この不規則なジクザ
ク形状に基づく金属媒体のノイズが発生する。この金属
媒体のノイズを低下させるために、磁気記録媒体の粒子
間の磁気的相互作用を弱くする磁性膜の構造を用いる方
法や結晶粒径を微細化する方法があるが、媒体Ｓ／Ｎや
オーバーライト特性が良好ではなかった。

【００１１】本発明は以上の点に鑑み、磁化反転部にお
けるジクザク形状の不規則性を少なくすることによって
Ｓ／Ｎ比を向上させると共に、オーバーライト特性を向
上させることを目的とする磁気記録媒体を提供するもの
である。さらに、磁気記録媒体の磁気異方性を磁気ヘッ
ドから発生される馬蹄形の磁場に近い向きに配向するこ
とによって、記録再生感度を高めた磁気記録媒体を提供
するものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上記従来の課題
を解決するために、基板上に相異なる磁化特性を有する
硬質磁性膜を積層する多層構造磁気記録媒体において、
相対向する硬質磁性膜の磁化特性が互いに異なることを
特徴とする磁気記録媒体を提供するものである。

【００１３】

【作用】本発明のように、相対向する硬質磁性膜の磁化
特性を互いに異なるように積層すれば、容易に磁化反転
する磁化回転型の磁性膜が、磁性膜間の相互作用によっ
て、本来的に磁化反転しにくい磁壁移動型の磁性膜の磁
化方向を反転させ、オーバーライト特性を向上させるこ
とができる。これは、磁化回転型の磁化反転機構を有す
る磁性膜は、傾いた小さなヘッド磁界成分によっても磁
化反転を起こし、一方、磁壁移動型の磁化反転機構を有
する磁性膜は、飽和磁化量が大きく出力の向上に寄与す
るからである。また、磁化反転後の磁化反転部の残留磁
化状態は、強い磁気相互作用によって、積層しても急峻
な磁化反転部を形成し、大きい出力を得ることができ
る。さらに、磁性膜の積層構造は結晶粒径の減少を招く
ため、媒体ノイズの原因である磁化反転部における不規
則なジグザク形状の発生を少なくすることができ、Ｓ／
Ｎ比の向上を図ることができる。

【００１４】また、磁気ヘッド側に設けられた磁性膜の
磁気異方性を垂直方向とし、磁性膜深部の基板側に設け
られた磁性膜の磁気異方性を面内方向とすることによっ
て、磁気記録媒体の磁気異方性を磁気ヘッドから発生さ
れる馬蹄形の磁場に近い向きに配向することができ、磁
化反転に伴うエネルギー効率を高めることができるよう
になる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。 （実施例１）図１は、本実施例に係る磁気記録媒体の断
面図である。

【００１６】磁気記録媒体１は、基板２上に硬質磁性膜
３及び４が順に積層され、さらにその上にＳｉＯ2 等の
保護膜５、パーフロロポリエーテル系等の潤滑膜６が形
成されている。基板２は、ガラス等からなる板体で、非
磁性体であれば特に限定されず、金属や有機フィルム等
いずれのものでもよい。

【００１７】硬質磁性膜３は、磁化回転で磁化反転する
磁化特性を有するＣｏ−Ｐｔ合金からなる硬質磁性膜
で、また硬質磁性膜４は、磁壁移動で磁化反転する磁化
特性を有するＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ合金からなる硬質磁性膜
である。この磁化回転及び磁壁移動の磁化反転機構は、
振動資料型磁束計（ＶＳＭ）による印加磁界方向に対す
る保持力の変化、トルクメータによるトルクロスにより
判断される。

【００１８】なお、本実施例において基板側から順に磁
化回転で磁化反転する硬質磁性膜３、磁壁移動で磁化反
転する磁化特性する硬質磁性膜４を積層したが、特にこ
の積層順にこだわることはなく、磁壁移動で磁化反転す
る硬質磁性膜４を基板側に設けてもよい。次に、本実施
例に係る磁気記録媒体の製造方法について説明する。

【００１９】まず、スパッタ装置チャンバー内に２．５
インチ径の強化ガラス製の基板２をセットし、チャンバ
ー内を真空にした。このときの真空度は、残留ガスが磁
性膜に多量に含有し、特性を劣化させないために、５×
１０-4［Ｐａ］以下にすることが望ましい。

【００２０】チャンバー内の真空引きを行った後、Ａｒ
ガス圧を２．６［Ｐａ］まで封入し、ＤＣ逆スパッタに
よって基板２の表面を洗浄し、ＤＣマグネトロンスパッ
タによってＣｏ−１７ａｔ％Ｐｔの硬質磁性膜３を形成
した。次に、Ａｒガス圧を０．６［Ｐａ］にして、ＤＣ
マグネトロンスパッタによりＣｏ−２０ａｔ％Ｐｔ−３
ａｔ％Ｃｒの硬質磁性膜４を形成した。このとき、硬質
磁性膜３及び４の両膜厚の合計が４０［ｎｍ］となるよ
う形成した。

【００２１】次に、付着力の向上のために、ＤＣマグネ
トロン逆スパッタにより磁性膜表面をプラズマ中にさら
した後、ＲＦスパッタによって、ＳｉＯ2 をターゲット
にして、Ａｒガス圧を０．６［Ｐａ］で膜厚１５［ｎ
ｍ］となるように保護膜５を形成し、また、潤滑膜６は
ディッピングによって膜厚１．７［ｎｍ］に形成した。
なお、これらの条件で製造された磁気記録媒体の硬質磁
性膜の保持力は、２０００［Ｏｅ］であった。上述の磁
気記録媒体について薄膜ヘッドを用いて評価し、従来の
単層膜媒体との比較を行った。薄膜ヘッドのギャップ長
は０．２５［ｎｍ］、トラック幅は４［ｎｍ］であり、
ヘッドと媒体の間隙は０．０８［ｎｍ］であった。

【００２２】従来例１は磁壁移動で磁化反転する硬質磁
性膜の磁気記録媒体であり、静磁気媒体は保持力ＨC が
２０００［Ｏｅ］、残留磁化量と膜厚の積Ｍｒ・δが
２．５［Ｇ・ｕｍ］、角型比Ｓ* は０．８５であった。
また、従来例２は磁化回転型の媒体であり、静磁気特性
は保持力ＨC が２０００［Ｏｅ］、残留磁化量と膜厚の
積Ｍｒ・δが２．０［Ｇ・ｕｍ］、角型比Ｓ* は０．７
０であった。

【００２３】図２は、磁気記録媒体の記録密度特性を示
す図である。本発明と従来例１との比較では、低出力領
域において１５０［ｎＶｐｐ］とほぼ同じであり、本発
明と従来例２の比較では、本発明の方が高出力を得た。
また、記録分解能Ｄ５０は本発明の方が従来例１及び従
来例２よりも大きかった。

【００２４】図３は、磁気記録媒体の媒体ノイズ特性を
示す図である。本発明と従来例１では、ノイズ特性にほ
とんど差異はみられなかった。また、従来例２との比較
では、本発明の方が良好であった。

【００２５】図４は、磁気記録媒体のオーバーライト特
性である。オーバーライト特性は、はじめに記録電流Ｉ
w ＝６５［ｍＡ］でＤＣイレーズを行い、出力が低域の
７０％となる記録波長（「Ｄ７０＝４Ｆ」と定義する）
の１／４波長（１Ｆ）で書き込んだ後、４Ｆで書き込ん
だ際の１Ｆの変化をｄＢで示している。本発明と従来例
１ではほとんど差異はみられなかったが、従来例２との
比較では、本発明の方が良好であった。

【００２６】また、図５は、磁気記録媒体の硬質磁性膜
３及び４の膜厚比に対する媒体Ｓ／Ｎ及びオーバーライ
ト特性を示す図である。図５において、膜厚比はδ2 ／
δ1＋δ2 で表されるので、図の最も左の位置が従来例
１であることを示しており、最も右側の位置が従来例２
であることを示している。本実施例に係る磁気記録媒体
は、オーバーライト特性については従来例１と２の間の
特性を示し、また、Ｓ／Ｎは膜厚比０．２〜０．８の範
囲において従来例１及び２よりも優れている。 （実施例２）図６は、本実施例に係る磁気記録媒体の断
面図である。磁気記録媒体１は、基板２上に硬質磁性膜
７及び８が順に積層され、さらに保護膜５、潤滑膜６が
積層されている。

【００２７】硬質磁性膜７は、面内方向に磁気異方性を
有するＣｏ−Ｐｔ合金からなる硬質磁性膜で、また硬質
磁性膜８は、垂直方向に磁気異方性を有するＣｏ−Ｐｔ
−Ｃｒ合金からなる硬質磁性膜である。この硬質磁性膜
の磁気異方性は、トルクメータ等の磁気異方性測定装置
を用いて、硬質磁性膜の印加磁界方向に対する保持力
（磁化反転磁界強度）の変化を測定することにより判断
される。次に、本実施例に係る磁気記録媒体の製造方法
について説明する。まず、ＤＣマグネトロンスパッタ装
置のチャンバー内に２．５インチ径の強化ガラス基板２
をセットし、チャンバー内を真空にした。

【００２８】次に、ＤＣマグネトロン逆スパッタによっ
て基板２の表面を洗浄した後、基板２の温度を３００℃
に設定し、Ａｒガス圧を２．６［Ｐａ］にした。ＤＣマ
グネトロンスパッタによってＣｏ−１７ａｔ％Ｐｔの硬
質磁性膜７を膜厚５０［ｎｍ］に形成した。次に、Ａｒ
ガス圧は変化させずに、基板２の温度を２００℃に設定
し、同様に、ＤＣマグネトロンスパッタによってＣｏ−
１７ａｔ％Ｐｔの硬質磁性膜８を膜厚５０［ｎｍ］に形
成した。このとき、硬質磁性膜７及び８の膜厚は、必ず
しも同じである必要はないが、積層したときの膜厚が１
００［ｎｍ］程度である方が望ましい。

【００２９】そして、付着力の向上のために、ＤＣマグ
ネトロン逆スパッタにより磁性膜表面をプラズマ中にさ
らした後、カーボンをターゲットにして、スパッタＡｒ
ガス圧を０．６［Ｐａ］で膜厚１５［ｎｍ］となるよう
に保護膜５を形成した。また、潤滑膜６はディッピング
によって膜厚１．７［ｎｍ］に形成した。なお、これら
の条件で製造された磁気記録媒体の硬質磁性膜の保持力
は、２００００［Ｏｅ］であった。

【００３０】上述の磁気記録媒体について薄膜ヘッドを
用いて評価し、従来の媒体との比較を行った。なお、薄
膜ヘッドのギャップ長、トラック幅及びヘッドと媒体の
間隙は、比較例１と同様である。

【００３１】従来例３は垂直方式の磁気記録媒体であ
り、静磁気媒体は保持力ＨC が２０００［Ｏｅ］、残留
磁化量と膜厚の積Ｍｒ・δが２．５［Ｇ・ｕｍ］、角型
比Ｓ*は０．８５であった。

【００３２】図７乃至図９は、磁気記録媒体の記録密度
特性、媒体ノイズ特性及びオーバーライト特性を示す図
である。これらの図に示すように、本発明と従来例３と
の比較では、記録密度特性、媒体ノイズ特性及びオーバ
ーライト特性のいずれも優れていた。

【００３３】また、本実施例における積層された硬質磁
性膜の膜厚比は、垂直磁気異方性膜の方が面内磁気異方
性膜よりも大きい方が、よりＳ／Ｎの良好なものが得ら
れる。 （実施例３）図１０は、本実施例に係る磁気記録媒体の
断面図である。

【００３４】磁気記録媒体１は、基板２上に下地膜９、
硬質磁性膜７が積層され、さらにＳｉＯ2 等の非磁性中
間膜１０を介して硬質磁性膜８が順に積層されている。
また、その上に保護膜５及び潤滑膜６が積層されてい
る。

【００３５】下地膜９は、例えばＣｒ等の非磁性膜であ
り、この膜上のＨＣＰ相結晶構造を持つ磁性膜のｃ軸を
垂直方向に傾け、面内方向の磁気異方性の配向性をより
良好なものとして、出力を向上させる効果がある。な
お、本実施例における磁気記録媒体は、硬質磁性膜７、
８間に非磁性中間膜１０を設けたことを除き、第２実施
例のものと何ら異なるところはない。次に、本実施例に
係る磁気記録媒体の製造方法について説明する。まず、
ＤＣマグネトロンスパッタ装置のチャンバー内に２．５
インチ径のアルミ製基板２をセットし、チャンバー内を
真空にした。

【００３６】次に、ＤＣマグネトロン逆スパッタによっ
て基板２の表面を洗浄し、ＣｒをターゲットとしてＲＦ
スパッタによって下地膜９を膜厚２０［ｎｍ］に形成
し、連続的にＤＣマグネトロンスパッタによってＣｏ−
１７ａｔ％Ｐｔの硬質磁性膜７を膜厚４０［ｎｍ］に形
成した。この２層の成膜時においては、印加電力は５０
０［Ｗ］、基板２の温度は３００℃、Ａｒガス圧を０．
５［Ｐａ］であった。

【００３７】そして、ＲＦスパッタによって、ＳｉＯ2
の非磁性中間膜１０を膜厚１０［ｎｍ］に形成した。そ
して、Ａｒガス圧は変化させずに、基板２の温度を２０
０℃に設定し、ＤＣマグネトロンスパッタによってＣｏ
−１７ａｔ％Ｎｉの硬質磁性膜８を膜厚４０［ｎｍ］に
形成した。上述の磁気記録媒体について薄膜ヘッドを用
いて評価した結果、第２実施例とほぼ同様の結果が得ら
れ、従来例３よりも優れていた。 （実施例４）図１１は、本実施例に係る磁気記録媒体の
断面図である。

【００３８】磁気記録媒体１は、基板２上に下地膜９、
硬質磁性膜７、硬質磁性膜１１及び硬質磁性膜８が順に
積層されている。また、その上に保護膜５及び潤滑膜６
が積層されている。

【００３９】本実施例における磁気記録媒体は、硬質磁
性膜７、８間に設けた硬質磁性膜１１が斜方磁気異方性
がある一定の斜め方向に揃ったＣｏ−Ｐｔ合金からなる
硬質磁性膜である点を除き第３実施例と何ら異なるとこ
ろはない。次に、本実施例に係る磁気記録媒体の製造方
法について説明する。まず、ＤＣマグネトロンスパッタ
装置のチャンバー内に２．５インチ径のアルミ製基板２
をセットし、チャンバー内を真空にする。

【００４０】次に、ＤＣマグネトロン逆スパッタによっ
て基板２の表面を洗浄し、ＣｒをターゲットとしてＲＦ
スパッタによって下地膜９を膜厚２０［ｎｍ］に形成
し、連続的にＤＣマグネトロンスパッタによってＣｏ−
１７ａｔ％Ｐｔの硬質磁性膜７を膜厚４０［ｎｍ］に形
成した。この２層の成膜において、印加電力は５００
［Ｗ］、基板２の温度は３００℃、Ａｒガス圧を０．５
［Ｐａ］であった。

【００４１】そして、ＤＣマグネトロンスパッタを用い
て、Ｃｏ−１７ａｔ％Ｐｔの硬質磁性膜１１を膜厚３０
［ｎｍ］に形成した。なお、斜方磁気異方性の硬質磁性
膜１１は、以下の装置及び方法により作成した。

【００４２】すなわち、図１２に示すように、スパッタ
装置のチャンバー１２内において、面内方向に高速回転
可能なローター（図示せず）上に基板２を載置し、この
基板２の斜め上方にＣｏ−Ｐｔ合金のターゲット１３を
セットすると共に、基板２と僅かに間隔を保持するよう
にフード１４を設ける。また、図１３に示すように、フ
ード１４には、スパッタリングされて飛散してきたＣｏ
−Ｐｔ合金の粒子が基板２の所望の位置に被着するよう
にスリット１５が設けられている。

【００４３】上記のような構成において、基板２を２０
０℃に加熱し、Ａｒ圧を０．６［Ｐａ］、印加電力を３
００［Ｗ］として、基板２を高速に回転させながら、ス
リット１５を通過したＣｏ−Ｐｔ合金の粒子を積層させ
て硬質磁性膜１１を成膜した。

【００４４】上述の磁気記録媒体について薄膜ヘッドを
用いて評価した結果、磁気ヘッドから発生する磁界によ
り近い向きに硬質磁性膜の磁気異方性が配向されるの
で、図第２実施例、第３実施例よりもやや優れた結果を
示した。 （実施例５）図１４は、本実施例に係る磁気記録媒体の
断面図である。磁気記録媒体１は、基板２上に硬質磁性
膜１６及び１７が順に積層され、さらにその上にＳｉＯ
2 等の保護膜５、潤滑膜６が形成されている。

【００４５】本実施例における磁気記録媒体は、硬質磁
性膜１６が、磁化回転で磁化反転すると共に面内方向に
磁気異方性を有するＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ合金からなる硬質
磁性膜であり、また、硬質磁性膜１７が、磁壁移動で磁
化反転すると共に垂直方向に磁気異方性を有するＣｏ−
Ｐｔ合金からなる硬質磁性膜である点を除き、構成及び
製造方法は第１実施例と何ら異なるところはない。次
に、本実施例に係る磁気記録媒体の硬質磁性膜の成膜方
法について説明する。

【００４６】硬質磁性膜１６は、Ａｒガス圧を２．６
［Ｐａ］まで封入し、ＤＣマグネトロン逆スパッタによ
って基板２の表面を洗浄し、基板２の温度を３００℃に
設定し、ＤＣマグネトロンスパッタによってＣｏ−１７
ａｔ％Ｐｔ−３ａｔ％Ｃｒの硬質磁性膜１６を膜厚２０
［ｎｍ］に形成した。

【００４７】また、硬質磁性膜１７は、Ａｒガス圧を
０．６［Ｐａ］、基板２の温度を２００℃にして、ＤＣ
マグネトロンスパッタによりＣｏ−２０ａｔ％Ｐｔの硬
質磁性膜４を膜厚２０［ｎｍ］に形成した。以上本発明
における実施例１乃至５のオーバーライト特性、Ｄ50、
媒体Ｓ／Ｎを表１にまとめる。

【００４８】

【表１】

【００４９】なお、本実施例においては、Ａｒガス圧及
び基板温度を変化させることによって硬質磁性膜の磁気
特性を制御する方法を用いたが、これ以外の方法を用い
てもかまわない。すなわち、磁化回転型の磁化反転機構
にするには、スパッタレートを下げる、ターゲット−基
板間距離を大きくする、印加電力を小さくする等の方法
により制御することが可能である。また、垂直磁気異方
性にするには、スパッタレートを上げる、ターゲット−
基板間距離を小さくする、印加電力を大きくする等の方
法により制御することができる。さらには、Ｃｒの添加
量が多い方が磁化回転型を示し易く、また、その添加量
が３ａｔ％程度のときが垂直になりやすい。従って、こ
れらの方法を単独若しくは適宜組み合わせることによっ
て、硬質磁性膜の磁化特性について所望の特性を得るこ
とが可能となる。

【００５０】また、本発明においては、硬質磁性膜の成
膜にスパッタを用いたが、特にこれにこだわる必要はな
く、真空蒸着法や分子線エピタキシャル成長法（ＭＢＥ
法）等の方法により成膜してもかまわない。

【００５１】

【発明の効果】以上の通り本発明によれば、磁化反転機
構の相異なる２つの硬質磁性膜を積層してなるので、容
易に磁化反転する磁化回転型の硬質磁性膜が、硬質磁性
膜間の相互作用によって、本来磁化反転しにくい磁壁移
動型の硬質磁性膜の磁化方向を反転させ、オーバーライ
ト特性を向上させると共に、大きい出力を得ることがで
きる。さらに、媒体ノイズの原因である磁化反転部にお
ける不規則なジグザク形状の発生を少なくすることがで
きるので、Ｓ／Ｎ比の向上を図ることができる。

【００５２】また、磁気ヘッド側に設けられた硬質磁性
膜の磁気異方性を垂直方向とし、磁性膜深部の基板側に
設けられた硬質磁性膜の磁気異方性を面内方向とするこ
とによって、磁気記録媒体の磁気異方性を磁気ヘッドか
ら発生される馬蹄形の磁場に近い向きに配向することが
できるので、記録時におけるエネルギー効率を高めるこ
とができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例を示す磁気記録媒体の縦断
面図

【図２】 本発明の第１実施例に係る磁気記録媒体の記
録密度特性を示す図

【図３】 本発明の第１実施例に係る磁気記録媒体の媒
体ノイズ特性を示す図

【図４】 本発明の第１実施例に係る磁気記録媒体のオ
ーバーライト特性を示す図

【図５】 本発明の第１実施例に係る磁気記録媒体の積
層膜厚比に対するＳ／Ｎ及びオーバーライト特性を示す
図

【図６】 本発明の一実施例を示す磁気記録媒体の縦断
面図

【図７】 本発明の第２実施例に係る磁気記録媒体の記
録密度特性を示す図

【図８】 本発明の第２実施例に係る磁気記録媒体の媒
体ノイズ特性を示す図

【図９】 本発明の第２実施例に係る磁気記録媒体のオ
ーバーライト特性を示す図

【図１０】 本発明の一実施例を示す磁気記録媒体の縦
断面図

【図１１】 本発明の一実施例を示す磁気記録媒体の縦
断面図

【図１２】 本発明の第５実施例に係るスパッタ装置の
原理図

【図１３】 斜方磁気異方性膜の成膜に用いるフードの
部分断面斜視図

【図１４】 本発明の一実施例を示す磁気記録媒体の縦
断面図

【符号の説明】

１ 磁気記録媒体 ２ 基板 ３ 磁化回転型硬質磁性膜 ４ 磁壁移動型硬質磁性膜 ５ 保護膜 ６ 潤滑膜 ７ 面内磁気異方性硬質磁性膜 ８ 垂直磁気異方性硬質磁性膜 ９ 下地膜 １０ 非磁性中間膜 １１ 斜方磁気異方性硬質磁性膜 １２ チャンバー １３ ターゲット １４ フード １５ スリット

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板上に相異なる磁化特性を有する硬質
   磁性膜を積層する多層構造磁気記録媒体において、一方
   の硬質磁性膜は磁化回転で磁化反転する磁化特性であっ
   て、この硬質磁性膜に相対向する他方の硬質磁性膜は磁
   壁移動で磁化反転する磁化特性であることを特徴とする
   磁気記録媒体。
2. 【請求項２】 前記基板側に近い方に設けた硬質磁性膜
   は面内磁気異方性を有する磁気特性であって、前記基板
   側から離れた方に設けた硬質磁性膜は垂直磁気異方性を
   有する磁化特性であることを特徴とする請求項１記載の
   磁気記録媒体。
3. 【請求項３】 基板上に相異なる磁化特性を有する硬質
   磁性膜を積層する多層構造磁気記録媒体において、前記
   基板側に近い方に設けた硬質磁性膜は面内磁気異方性を
   有する磁気特性であって、前記基板側から離れた方に設
   けた硬質磁性膜は垂直磁気異方性を有する磁化特性であ
   ることを特徴とする磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 前記相対向する硬質磁性膜間に非磁性膜
   を設けることを特徴とする請求項１乃至３記載の磁気記
   録媒体。
5. 【請求項５】 前記相対向する硬質磁性膜間に斜方磁気
   異方性の磁性膜を設けることを特徴とする請求項１乃至
   ３記載の磁気記録媒体。