JPS6174129A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6174129A JPS6174129A JP19490984A JP19490984A JPS6174129A JP S6174129 A JPS6174129 A JP S6174129A JP 19490984 A JP19490984 A JP 19490984A JP 19490984 A JP19490984 A JP 19490984A JP S6174129 A JPS6174129 A JP S6174129A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- layer
- tin oxide
- film
- magnetic recording
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
この発明は、磁気ディスク、＠気カード、磁気テープ等
の磁気記録媒体に関するものであり、とりわけ強磁性金
属ｊ吊を磁気記録層とする媒体の改良に関する。
の磁気記録媒体に関するものであり、とりわけ強磁性金
属ｊ吊を磁気記録層とする媒体の改良に関する。
（発明の技術的背景）
近年、従来の塗布型磁気記録媒体とは異なり、蒸着、ス
パッタリング法や湿式めっき法°のように、非磁性基体
上に直接、強磁性層を形成する方法Ｃ二より、磁気記録
媒体を製造する方法が検討されている。このようにして
得られた磁気記録媒体は、従来の塗布型のものに比べて
極めて高い記録密度が達成される。中でも最も注目！あ
つめているのが垂直磁化記録方式である。この方式Ｃ二
おいては媒体の膜面Ｃ二垂直な方向が磁化容易軸である
垂直記録媒体が必要となる。このような媒体に信号を記
°録すると残留磁化は媒体の膜面（二装置方向を向き、
従って信号が短波長になる程媒体内反磁界は減少して、
優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体を求高分子材
料や非磁性金属等の非磁性材料から成る基板上Ｃ二、例
えばＣｏ −Ｃｒより成る磁性層！蒸着法あるいはスパ
ッタリング法により形成したものである。また、基板と
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁性層の間に、信号記録再生の効率全
土げる等の為に、膜内面に磁化容易軸を有するパーマロ
イ等より成る磁性１−！設けた構造！とることもある。
パッタリング法や湿式めっき法°のように、非磁性基体
上に直接、強磁性層を形成する方法Ｃ二より、磁気記録
媒体を製造する方法が検討されている。このようにして
得られた磁気記録媒体は、従来の塗布型のものに比べて
極めて高い記録密度が達成される。中でも最も注目！あ
つめているのが垂直磁化記録方式である。この方式Ｃ二
おいては媒体の膜面Ｃ二垂直な方向が磁化容易軸である
垂直記録媒体が必要となる。このような媒体に信号を記
°録すると残留磁化は媒体の膜面（二装置方向を向き、
従って信号が短波長になる程媒体内反磁界は減少して、
優れた再生出力が得られる。垂直記録媒体を求高分子材
料や非磁性金属等の非磁性材料から成る基板上Ｃ二、例
えばＣｏ −Ｃｒより成る磁性層！蒸着法あるいはスパ
ッタリング法により形成したものである。また、基板と
Ｃｏ −Ｃｒ垂直磁性層の間に、信号記録再生の効率全
土げる等の為に、膜内面に磁化容易軸を有するパーマロ
イ等より成る磁性１−！設けた構造！とることもある。
強磁性層には、Ｃｏ −Ｃｒの他、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ。
Ｃｏ −０等蒸着やスパッタリング法により形成できる
膜やＣｏ−Ｐ 、Ｃｏ−Ｎｉ Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ −Ｍｎ
−Ｐ。
膜やＣｏ−Ｐ 、Ｃｏ−Ｎｉ Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ −Ｍｎ
−Ｐ。
Ｃｏ−Ｒｅ −Ｎｌ −Ｐ等めっき膜が用いらｎる。
（背景技術の問題点ン
以上の扁密度特性！有する媒体！実用化する際の問題と
して、腐蝕、摩耗からいかに強磁性層を保護するかとい
うことがあった。
して、腐蝕、摩耗からいかに強磁性層を保護するかとい
うことがあった。
この為に保護層として種々の（財）料を強磁性層上（二
形成する試みがなされてきた。これまでに、Ｓ盈０．
、 ＴＩＯ，、Ｓ輸Ｎ、、ＷＣ，ＳムＣ、ＢＮ、 ＡＪ
ｆｆｉＯ，等が検討されてきた。しかしながら、これら
の物質は硬度は高いが潤滑性が悪いため、保護膜上Ｃユ
わずかな突起があると、記録・再生の磁気ヘッドとの間
の摺接により、そこで保護層の剥離が生じ、更Ｃ二は磁
性層が）！かれてノイズが発生したり、記録、再生が不
能となるような実用上致命的な欠陥が発生する場合があ
った。＠頂層として満たさなければならない制約、即ち
■短波長記録におけるスペーシングロスの制約からの厚
みの制限、■表面性の良好なことを有しかつ酸化や水酸
化Ｃ二よる経時変化のない材料の出現が望まれていた。
形成する試みがなされてきた。これまでに、Ｓ盈０．
、 ＴＩＯ，、Ｓ輸Ｎ、、ＷＣ，ＳムＣ、ＢＮ、 ＡＪ
ｆｆｉＯ，等が検討されてきた。しかしながら、これら
の物質は硬度は高いが潤滑性が悪いため、保護膜上Ｃユ
わずかな突起があると、記録・再生の磁気ヘッドとの間
の摺接により、そこで保護層の剥離が生じ、更Ｃ二は磁
性層が）！かれてノイズが発生したり、記録、再生が不
能となるような実用上致命的な欠陥が発生する場合があ
った。＠頂層として満たさなければならない制約、即ち
■短波長記録におけるスペーシングロスの制約からの厚
みの制限、■表面性の良好なことを有しかつ酸化や水酸
化Ｃ二よる経時変化のない材料の出現が望まれていた。
（発明の目的）
本発明はｕｈの欠点（二鑑みなされたもので、薄い膜で
も平滑性（二優れ硬度も高い材料として酸化スズ膜を保
護層として、強磁性層上に形成した耐久性に優れた磁気
記録媒体を提供することを目的とする。
も平滑性（二優れ硬度も高い材料として酸化スズ膜を保
護層として、強磁性層上に形成した耐久性に優れた磁気
記録媒体を提供することを目的とする。
（発明の概要）
本発明にスズの酸化物、とりわけスパッタリング（：よ
り形成した膜が極薄の条件下でも緻艙な構造を有し、し
かも硬度、平滑性に優れている点に看目し、その目的を
達成したものである。
り形成した膜が極薄の条件下でも緻艙な構造を有し、し
かも硬度、平滑性に優れている点に看目し、その目的を
達成したものである。
まず、従来の記録媒体の耐久性試験の結果を調べた。理
想的ｔ：、 ｉｔ保護膜上≦二形成した潤滑ｊ−中をヘ
ッドが移動する状態が好ましいが、実際には、基板の凹
凸やヘッドの重量の為にヘッドの一部は保護層と接して
移動していくと考えられる。保護層とヘッドの間の潤滑
層Ｃニム２があって薄い場合や潤滑層の無い部分では動
摩擦係数が著しく大きくなり媒体の摩耗全誘起した。従
って潤滑油）よ保護膜上にムラなく塗布される必要があ
る。換言すれば充分潤滑油が拡散するような表面状態ｔ
もった材料を選ぶ必要がある。次にヘッドが保護層Ｃ二
接した場合には不必要な突起、凹凸があると保護層の破
壊がおこる。保護層の表面平坦性と堅さが必要であるこ
とがわかった。従来用いられてきたＡＪ！０ 、は硬さ
の点でに優れているが平滑性、油のぬれ性において５ｎ
０１に省ることが実験から明らか（二なった。また８１
３Ｎ４１ｔｉ油のぬれ性は良いが平滑性、硬さにおいて
８ｎＯＩＣ労った。いずれもスパッタリング法（二より
形成した膜の物性を調べて目安とした。ぬれ性は油のぬ
れ状況を広がり時間で測定して比較しに。硬度は引っか
き試験（二より調べた。また平滑性は表面粗さを調べた
。これらの結果、従来多く用いら几た材料の内優牡てい
るとされた人１ｘｏ３＊ ＳＩ３Ｎ４ （電子技術総合
研究所・研究実用化報告第３１巻第１号、Ｐ ２８７表
５．１９８２年）（：比べ耐摩耗性の点で８ｎＯ，が優
れていることが判った０ （発明の実施例） 以下、図面音用いて本発明の詳細な説明する。
想的ｔ：、 ｉｔ保護膜上≦二形成した潤滑ｊ−中をヘ
ッドが移動する状態が好ましいが、実際には、基板の凹
凸やヘッドの重量の為にヘッドの一部は保護層と接して
移動していくと考えられる。保護層とヘッドの間の潤滑
層Ｃニム２があって薄い場合や潤滑層の無い部分では動
摩擦係数が著しく大きくなり媒体の摩耗全誘起した。従
って潤滑油）よ保護膜上にムラなく塗布される必要があ
る。換言すれば充分潤滑油が拡散するような表面状態ｔ
もった材料を選ぶ必要がある。次にヘッドが保護層Ｃ二
接した場合には不必要な突起、凹凸があると保護層の破
壊がおこる。保護層の表面平坦性と堅さが必要であるこ
とがわかった。従来用いられてきたＡＪ！０ 、は硬さ
の点でに優れているが平滑性、油のぬれ性において５ｎ
０１に省ることが実験から明らか（二なった。また８１
３Ｎ４１ｔｉ油のぬれ性は良いが平滑性、硬さにおいて
８ｎＯＩＣ労った。いずれもスパッタリング法（二より
形成した膜の物性を調べて目安とした。ぬれ性は油のぬ
れ状況を広がり時間で測定して比較しに。硬度は引っか
き試験（二より調べた。また平滑性は表面粗さを調べた
。これらの結果、従来多く用いら几た材料の内優牡てい
るとされた人１ｘｏ３＊ ＳＩ３Ｎ４ （電子技術総合
研究所・研究実用化報告第３１巻第１号、Ｐ ２８７表
５．１９８２年）（：比べ耐摩耗性の点で８ｎＯ，が優
れていることが判った０ （発明の実施例） 以下、図面音用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の詳細な説明する図である。
基板（１）として５０μｍ厚のポリイミドフィルムを用
い、基板（１）上に０．５μｍのＣｏ −Ｃ”ｒ垂直磁
化膜（２）をマグネトロン方式のスパッタリング法（二
より形成する。
い、基板（１）上に０．５μｍのＣｏ −Ｃ”ｒ垂直磁
化膜（２）をマグネトロン方式のスパッタリング法（二
より形成する。
更Ｃ二２００ Ｘの酸化スズ層（３）をやはリマグネト
ロンスパッタリング法により２００＾積層形成する。ｑ
の記録媒体に潤滑油を１００ Ｘ厚ｆ二塗布した後ヘッ
ドを装着したところ、従来の記録媒体でに２００万バス
位で信号出力が低下するが、本実施例では４５０万パス
を越えても信号出力の低下に認められ無かった。
ロンスパッタリング法により２００＾積層形成する。ｑ
の記録媒体に潤滑油を１００ Ｘ厚ｆ二塗布した後ヘッ
ドを装着したところ、従来の記録媒体でに２００万バス
位で信号出力が低下するが、本実施例では４５０万パス
を越えても信号出力の低下に認められ無かった。
第２四絋本発明の別の実施例を説明する図である。基板
１υとして７０μｍ 厚のポリエチレンテレフタレート
！準備し、マグネトロン方式のスパッタリングＣ二より
０．５μｍのパーマロイ膜住りを形成、続いて０．６μ
ｍのＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜任３を形成する。
１υとして７０μｍ 厚のポリエチレンテレフタレート
！準備し、マグネトロン方式のスパッタリングＣ二より
０．５μｍのパーマロイ膜住りを形成、続いて０．６μ
ｍのＣｏ −Ｃｒ垂直磁化膜任３を形成する。
更（二２００人の酸化スズＩ―α滲をやはリマグネトロ
ンスパッタリングにより形成した。この記録媒体（二上
述の実施例と同様に潤滑油を塗布し、ヘッドシニ装看し
たところ、従来の記録媒体では２００万バス位で信号出
力が低下するが１本実施例では４５０万バスを越えても
信号出力の低下は認められなかった。
ンスパッタリングにより形成した。この記録媒体（二上
述の実施例と同様に潤滑油を塗布し、ヘッドシニ装看し
たところ、従来の記録媒体では２００万バス位で信号出
力が低下するが１本実施例では４５０万バスを越えても
信号出力の低下は認められなかった。
（発明の効果）
以上の通り本発明によｎば保護層として酸化スズ！用い
たことにより耐久性を同上させた磁気記録媒体を得るこ
とができる。
たことにより耐久性を同上させた磁気記録媒体を得るこ
とができる。
第１図は本発明の実施例を示す図、第２因＃２本発明の
別の実施例を示す図である。 （１） 、 （１１１・・・基板 ＋２１ 、
（１３１−・・垂直磁化膜＠・・・パーマロイ膜
（３）、■・・・酸化スズ膜。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１図 第２図
別の実施例を示す図である。 （１） 、 （１１１・・・基板 ＋２１ 、
（１３１−・・垂直磁化膜＠・・・パーマロイ膜
（３）、■・・・酸化スズ膜。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 第１図 第２図
Claims (1)
- 非磁性基板上に強磁性層を有し、かつ前記強磁性層上に
酸化スズよりなる保護層を有する磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19490984A JPS6174129A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19490984A JPS6174129A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6174129A true JPS6174129A (ja) | 1986-04-16 |
Family
ID=16332352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19490984A Pending JPS6174129A (ja) | 1984-09-19 | 1984-09-19 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6174129A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62107432A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-18 | Teijin Ltd | 薄膜型磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-09-19 JP JP19490984A patent/JPS6174129A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62107432A (ja) * | 1985-10-31 | 1987-05-18 | Teijin Ltd | 薄膜型磁気記録媒体 |
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