JPS62246127A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオ、コンピュータ等の分野での高密度磁
気記録に適する磁気記録媒体に関する。

従来の技術 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、通
常、金属もしくは合金などを電子ビーム蒸着、スパッタ
リング等によって、基板である高分子フィルムに直接又
は下地薄膜を介して強磁性金属薄膜を蒸箔形成すること
により製造され、短波長として記録された信号の再生出
力を大きくできることで、高密度磁気記録の担い手とし
て期待されている。〔外国論文誌アイイーイーイー　ト
ランスアクション　オン　マグネティクス（Ｉ　ＥＥＫ
Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎ　　ｏｎ　　Ｍａｇｎｅｔｉｃ
ｓ　　）　　ｖｏｌ、ＭＡＧ　−２１、Ｐ、Ｐ、１２１
７〜１２２０（１９８５）参照Ｊ 一方、磁気記録の高密度化を実現するには、侠ギャップ
長、狭トラツクの磁気ヘッドとの直接高速摺動が不可欠
であり、磁気記録層の摩耗や損傷が問題となり、改良の
ため数多くの提案がなされている。

例えば、強磁性金属薄膜表面上に潤滑剤を塗布する方法
（特公昭３９−２５２４６号公報参照）では潤滑剤が磁
気ヘッド、走行系等に拭きとられるため永続性に乏しか
った。又、磁気記録層の反対＋１１１１の面に液状又は
半固体状のｄＷＲｆｔ剤及び有機バインダを主成分とす
るバックコート層を設ける方法（特公昭５７−２９７６
９号公報参照）も提案されたが、テープ状のものＫつい
て効果を奏するが、欠点として転写ｉｎが環境条件で異
なる点、スチル状態に対しては効果がない点およびディ
スク状媒体に対しては効果がない点があげられるもので
あっンｔ４、 その他、フッ素系有機化合物のプラズマ重合保護層、ケ
イ素系有機化合物のプラズマ重合保護層、粒子を含ｂ・
ポリマー塗布層等の保護膜による耐久性向上あるいはこ
、れら保護膜と潤滑剤の併用等は、強磁性金；・ち薄膜
がＣｏ−Ｎｉ−０膜等の表面に酸化層をもつ場合には相
当の改良が確認されている（例えば特開昭５８−８８８
２８号、特開昭６７−８２２２９号、特開昭５８−６０
４２７号、特開昭６１−１１９３０号公報参照）。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記した構成では、Ｃｏ　−Ｏｒ系垂直
磁化膜等の磁気記録層を充分保護できないため、くり返
し記録再生を行うとエラー率が急増したり損傷して出力
がでなくなる問題があった。

祉たＱｏ−Ｎｉ−０系の膜であっても、磁気ヘッドが合
金で構成されている場合には上記した問題が湿度の高い
環境下で起こるため改良が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、広節囲の
環境条件下での（１久性の改良された磁気記録媒体を提
供するものである。

問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決する之め、本発明の磁気記録媒体
は、高分子フィルム上に下地蒸着層、島状硬質炭素皮膜
を梢）５づした上に、強磁性金檎薄膜を配したものであ
る。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により即ち、島状
硬質炭素皮膜を形成することにより微細な突起が出来る
ことになり、真実接触面積が減少することと、磁気ヘッ
ドに対して、ダイアモンドに近い硬さの硬質炭素がその
上の磁気記録層の見かけ上の硬度をあげるように作用す
ることで、耐久性が改良されるものである。

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例の磁気記録媒
体について説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。第１図で１は、厚み２０μｍの平滑なポリ
エチレンテレフタレートフィルムのごとき高分子フィル
ムで、表面粗さは触針式の粗さ計で？ｌｔ＋＋定したピ
ーク、トウ、バレー値で０．０１μｍである。２は電子
ビーム蒸着法で形成した厚み０．０６μｍのクロム蒸着
層、３はグラファイトをターゲットにした高周波スパッ
タリング法で形成したダイアモンド状の硬質炭素皮膜で
島状に構成され、平均的な島状突起密度は、１．５　Ｘ
　１０　’個／ｄで、高さは５０人である。４は高周波
スパッタリング法で形成した膜厚１ｓｏｏＡのＧｏ　−
Ｏｒ　（（３ｒ；２０ｗｔ％）垂直磁化膜で、垂直方向
の保磁力は６５０（Ｏｅ）とした。６はテトラフルオロ
エチレンをモノマーガスとしたプラズマ重合膜で膜厚は
８０Ａである。

このような構成の本実施例の磁気記録媒体に対し、比較
例として上記した構成からダイアモンド状硬質炭素皮膜
３を取り除いたものを準備した。

この両者をギャップ長０・２μｍ・　トラック幅９μｍ
のフェライトヘッドにより、ピント長０．２６μｍの矩
形波を記録再生した。３．６インチディスクとじて最内
周トラック、最外周トラックを交互に、１０００回ずつ
トレースして、エラー率の変化を調査したところ、本発
明品は９×１０　・・スまで１０　以下で安定していた
が、比較例は最内周で４×１０　ハス、最外周で７×１
０　ハスでエラー率が１０〜１０　となり悪化した。

第２図は、本発明の第２の実施例の磁気記録媒体の拡大
断面図である。第２図において６は厚み１０μｍのポリ
エチレンテレフタレートフィルムのごとき品分子フィル
ムで、７は例えば特開昭５８−６８２２４号公報に記載
されるようにシリコーン樹脂或いはスチレン、ブタジェ
ンゴムと水溶性高分子材料とを混合したものをポリエチ
レンテレフタレートフィルム６上に塗布して連続皮膜を
作り、これを延伸してその表面に形成した、いわゆるみ
みず状皮膜で、高さは８０Ａである。８は電子ビーム蒸
着法で形成した膜厚６００Ａのチタン蒸着層、９はグラ
フ１イトの水素スバッタリ／グ法で形成した島状のダイ
アモンド状硬質炭素皮膜で、高密度は９×１０　個／ｄ
で高さは６゜ｆとした。１０は直径１ｍの円筒キャンに
沿わせた状、態で最小入射角３６度の連ワ１三入射角変
化蒸着法で形成した高さ１０００ＡのＣ０−Ｎ１斜め蒸
着膜であり、平均蒸着速度８０００Ｘ／ｓｅａ、介在さ
せた酸素は４　Ｘ　１０　　（Ｔｏｒｒ）で、Ｎ１は２
０ｗｔ％、保磁力は１０５０（０８）、角形比０．７９
である。

１１は真空蒸着法で形成した高さ７０人のステアリン酸
潤滑層、１２はバンクコート層で、結合樹脂１３とフィ
ラー１４とから成るものである。

このような構成の本実施例の磁気記録媒体に対し、比較
例として島状の硬質炭素皮膜９を除く同一構成品を準備
した。

この両者を、アモルファス金属をギャップ部に補強した
フェライトヘッド（ギャップ長０・３μｍ。

トラック幅２ｏ１１ｍ）で記録波長０・７６μｍを記録
再生比較した。

１２０分長の磁気テープとして、くり返し再生を行い再
生出力が３ｄＢ低下するまでの総時間をｒ−ｖ、ｖべた
ところ、本発明品は温度湿度条件４０°Ｃ８６％ＲＨ，
４０”Ｃ１６％ＲＨで夫々、６４０時間、５２０時間で
あったが、比較例は夫々、７８時間と２２時間であった
。

上記本発明の実施例では、高分子フィルムをポリエチレ
ンテレフタレート分用いたが、他にポリイミド、ポリア
ミドイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネ
ート、セルローストリアセテート等でもよい。

また、ダイアモンド状島状硬質炭素皮膜の形成法は、他
に、ＣＨ４，０２Ｈ６等の炭化水素とＨ２の混合ガスを
プラズマ放電分解させるか、熱分解させる等の方法でも
よい。

強磁性金属薄膜としては、Ｇｏ−Ｏｒ、Ｇｏ−Ｎｉ−０
刀莫の他に、Ｇｏ−０，Ｇｏ−Ｆｅ、Ｇｏ−Ｍｎ、Ｃｏ
−Ｖ。

Ｃｏ−Ｍｏ、　Ｇｏ−Ｗ、　Ｇｏ−Ｐ、　Ｇｏ−Ｐｔ、
　Ｇｏ−Ｒｈ　。

Ｇｏ−Ｒｕ、Ｇｏ−Ｎｉ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等で
もよい。

発明の効果 以上のように、本発明によれば、島状硬質炭素皮膜を形
成したので磁気記録媒体の表面層の硬度が増し、また接
触面積が減少するので磁気記録媒体の耐久性を向上させ
ることができ、短波長記録再生でエラー率が増加せず、
かつ出力低下のない磁気記録媒体が得られるといったす
ぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例に係る磁気記録媒体の拡
大断面図、第２図は本発明の第２の実施例に係る磁気記
録媒体の拡大断面図である。 １．６・・・・・・高分子フィルム、２．８・・・・・
・下地蒸着層、３．９・・・・・・島状硬質炭素皮膜、
４・・・・・・垂直磁化膜（Ｇｏ−Ｏｒ）、１ｏ・・・
・・・斜め蒸着膜（Ｇｏ　−Ｎｉ−０）、６．１１・・
・・・・潤滑層。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名１−
−一社子フイルム ２−　下地黒着雁 ３−−一壇ル瞥」帆夾素皮戻 ４−−−Ｃａ−Ｃｒ惨慄 ５−ｍ−潤滑層 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子フィルム上に下地蒸着層及び島状硬質炭素皮膜を
   積層し、その上に強磁性金属薄膜を配したことを特徴と
   する磁気記録媒体。