JPH01205719A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH01205719A JPH01205719A JP3124988A JP3124988A JPH01205719A JP H01205719 A JPH01205719 A JP H01205719A JP 3124988 A JP3124988 A JP 3124988A JP 3124988 A JP3124988 A JP 3124988A JP H01205719 A JPH01205719 A JP H01205719A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Lubricants (AREA)
- Other Resins Obtained By Reactions Not Involving Carbon-To-Carbon Unsaturated Bonds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、耐久性、保存特性に優れた高密度の磁気記録
媒体に関するものである0 従来の技術 一般に、強磁性金属もしくは合金を真空蒸着。
媒体に関するものである0 従来の技術 一般に、強磁性金属もしくは合金を真空蒸着。
スパッタリング等によって高分子フィルム上に被着する
か、又は磁性粉末を結合剤成分とともに基体上に結着し
てつくられる磁気記録媒体は、記録再生時に磁気ヘッド
と激しく摺接するため磁性層が摩耗し易く、特に真空蒸
着等によって形成される強磁性金属薄膜層は、高密度記
録に適する特性を有する反面、磁気ヘッドとの高速摺接
で摩耗や損傷を受は易く、耐久性に劣るという欠点があ
った。このため従来から磁性層上に種々の保護膜層を設
けるなどして耐摩耗性を改善する努力が払われておシ、
炭化水素系化合物を用いて炭素を主成分とする皮膜を設
けたり(特開昭53−143206号公報)、ダイアモ
ンド状硬質炭素膜を設ける(特開昭59−127232
号公報)等の方法が提案されている。
か、又は磁性粉末を結合剤成分とともに基体上に結着し
てつくられる磁気記録媒体は、記録再生時に磁気ヘッド
と激しく摺接するため磁性層が摩耗し易く、特に真空蒸
着等によって形成される強磁性金属薄膜層は、高密度記
録に適する特性を有する反面、磁気ヘッドとの高速摺接
で摩耗や損傷を受は易く、耐久性に劣るという欠点があ
った。このため従来から磁性層上に種々の保護膜層を設
けるなどして耐摩耗性を改善する努力が払われておシ、
炭化水素系化合物を用いて炭素を主成分とする皮膜を設
けたり(特開昭53−143206号公報)、ダイアモ
ンド状硬質炭素膜を設ける(特開昭59−127232
号公報)等の方法が提案されている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら上記した構成の磁気記録媒体で、よシ短波
長域で十分なC/Nを得るには、ダイアモンド状硬質炭
素膜を薄くする必要があシ、保存特性が不十分となると
いった問題があシ改善が望まれていた。
長域で十分なC/Nを得るには、ダイアモンド状硬質炭
素膜を薄くする必要があシ、保存特性が不十分となると
いった問題があシ改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、保存特性
の改善された耐久性の良好な高密度磁気記録媒体を提供
するものである。
の改善された耐久性の良好な高密度磁気記録媒体を提供
するものである。
課題を解決するための手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体は
、強磁性金属薄膜上にダイアモンド状硬質炭素膜、プラ
ズマ重合膜を積層するようにしたものである。
、強磁性金属薄膜上にダイアモンド状硬質炭素膜、プラ
ズマ重合膜を積層するようにしたものである。
作 用
本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、ダイアモ
ンド状硬質炭素膜を薄くシたときに出来る膜欠陥部をプ
ラズマ重合膜が保護するために、トータルの厚みを同じ
Kしてスペーシング損失が同一としてC/Nを確保した
ときの保存特性か改善できるものである。
ンド状硬質炭素膜を薄くシたときに出来る膜欠陥部をプ
ラズマ重合膜が保護するために、トータルの厚みを同じ
Kしてスペーシング損失が同一としてC/Nを確保した
ときの保存特性か改善できるものである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の磁気記録媒体の一実
施例について詳しく説明する。図は本発明の一実施例の
磁気記録媒体の拡大断面図である。
施例について詳しく説明する。図は本発明の一実施例の
磁気記録媒体の拡大断面図である。
図で、1はポリエチレンテレフタレート、ポリエーテル
サルフォン、ポリカーポネ下ト、ポリイミド等の高分子
フィルムで、必要なら微粒子や、水溶性高分子等の突起
を配した下塗シ層を配したものを用いることもできる。
サルフォン、ポリカーポネ下ト、ポリイミド等の高分子
フィルムで、必要なら微粒子や、水溶性高分子等の突起
を配した下塗シ層を配したものを用いることもできる。
2はCo−Ni 、 Co −Cr 、 Co −Mo
、 Co −W 、 Co−Ta 、 Co−0゜C
o−Cr−Nb 、Co−Ni−0等の強磁性金属薄膜
で、磁化容易軸の方向、製膜方法に関係なく用いられる
。3はダイアモンド状硬質炭素膜で、炭化水素系気体の
プラズマによシ形成するか、高周波スパッタリング法、
イオンビームデポダシタン法等適宜選択し、膜厚は3o
人から100人の範囲で構成するのが好ましい。4はプ
ラズマ重合膜で、各種の化ツマーガスを導入しながら、
高周波プラズマを利用して、20人から100人、好ま
しくは30人から6o人の範囲で構成するのが好ましい
。6は潤滑剤で、脂肪酸、パーフルオロカルボン酸等の
公知の潤滑剤或いは合成によシ得られる各種の潤滑剤を
用いることができ、配する量は、均一膜厚換算で高々1
00八までで十分走行、耐久性を付与できる材料を選別
して使用するものである。
、 Co −W 、 Co−Ta 、 Co−0゜C
o−Cr−Nb 、Co−Ni−0等の強磁性金属薄膜
で、磁化容易軸の方向、製膜方法に関係なく用いられる
。3はダイアモンド状硬質炭素膜で、炭化水素系気体の
プラズマによシ形成するか、高周波スパッタリング法、
イオンビームデポダシタン法等適宜選択し、膜厚は3o
人から100人の範囲で構成するのが好ましい。4はプ
ラズマ重合膜で、各種の化ツマーガスを導入しながら、
高周波プラズマを利用して、20人から100人、好ま
しくは30人から6o人の範囲で構成するのが好ましい
。6は潤滑剤で、脂肪酸、パーフルオロカルボン酸等の
公知の潤滑剤或いは合成によシ得られる各種の潤滑剤を
用いることができ、配する量は、均一膜厚換算で高々1
00八までで十分走行、耐久性を付与できる材料を選別
して使用するものである。
以下、更に具体的に本発明の実施例について比較例との
対比で詳しく説明する。厚み10μmのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上K、直径2・OOA+7)Si
O2徽粒子全粒子ケ/(μm)2配し、その上に高周波
スパッタリング法でCo−0r(Cr、18wt%)垂
直磁化膜を0.2 μm形震し、更にその上に、グラフ
ァイトをターゲットにしてAr + H2=O−1(T
orr ) 、 Ar ”、 H2=1 ’、 5 。
対比で詳しく説明する。厚み10μmのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上K、直径2・OOA+7)Si
O2徽粒子全粒子ケ/(μm)2配し、その上に高周波
スパッタリング法でCo−0r(Cr、18wt%)垂
直磁化膜を0.2 μm形震し、更にその上に、グラフ
ァイトをターゲットにしてAr + H2=O−1(T
orr ) 、 Ar ”、 H2=1 ’、 5 。
13.56 (MHz ) 、 0.8 (KW )
の条件で高周波スパッタリングを行って、ダイアモン
ド状硬質炭素膜を5OA形成した。引き続き真空を破ら
ずに、パーフルオロシクロブタンをモノマーガストシて
導入し、0.1 (Torr ) 、 13.56 (
MHz ) 、 0.6(KW)でプラズマ重合を行っ
て、40人のプラズマ重合膜を形成し、真空蒸着によシ
バ−フルオロオクタン酸を40人蒸着し、8ミリ幅の磁
気テープに加工した。一方、比較例は、ダイアモンド状
硬質炭素膜を120人形成し、プラズマ重合膜を配さす
にパーフルオロオクタン酸を4OA蒸着して得た8ミリ
テープである。両者を改造した8ミリビデオによシ、ギ
ャップ長0.2μmのセンダストスパッタ型のメタルイ
ンギャップヘッドで0.3μmの記録波長を記録し再生
出力を比較した。
の条件で高周波スパッタリングを行って、ダイアモン
ド状硬質炭素膜を5OA形成した。引き続き真空を破ら
ずに、パーフルオロシクロブタンをモノマーガストシて
導入し、0.1 (Torr ) 、 13.56 (
MHz ) 、 0.6(KW)でプラズマ重合を行っ
て、40人のプラズマ重合膜を形成し、真空蒸着によシ
バ−フルオロオクタン酸を40人蒸着し、8ミリ幅の磁
気テープに加工した。一方、比較例は、ダイアモンド状
硬質炭素膜を120人形成し、プラズマ重合膜を配さす
にパーフルオロオクタン酸を4OA蒸着して得た8ミリ
テープである。両者を改造した8ミリビデオによシ、ギ
ャップ長0.2μmのセンダストスパッタ型のメタルイ
ンギャップヘッドで0.3μmの記録波長を記録し再生
出力を比較した。
初期の再生出力は実施例が比較例に対し、1.2〜1.
4(dB)良好であった。
4(dB)良好であった。
゛ また、40°Cと20 ’Cの結露サイクルを4時
間毎にくり返し4週間放置した後の再生出方は、実施例
は−0,3〜−o、5(dB)であったが、比較例は−
0,5〜−e、5(dB)でヘッド汚れのため出力が場
所によシネ安定であった。
間毎にくり返し4週間放置した後の再生出方は、実施例
は−0,3〜−o、5(dB)であったが、比較例は−
0,5〜−e、5(dB)でヘッド汚れのため出力が場
所によシネ安定であった。
さらに、40°c、80%RH,20℃、16%RHで
のくシ返し走行で100回走行後の出力は、実施例も比
較例も共に、1(dB)以内の変化が実用レベルにあっ
た。
のくシ返し走行で100回走行後の出力は、実施例も比
較例も共に、1(dB)以内の変化が実用レベルにあっ
た。
発明の効果
以上のように本発明によれば保存特性と耐久性に優れた
高密度磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果が
ある。
高密度磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果が
ある。
図は本発明の一実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面図
である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・山1磁性金属薄膜
、3・・・・・・ダイアモンド状硬質炭素膜、4・・・
用プラズマ重合膜。
である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・山1磁性金属薄膜
、3・・・・・・ダイアモンド状硬質炭素膜、4・・・
用プラズマ重合膜。
Claims (1)
- 強磁性金属薄膜上に形成したダイアモンド状硬質炭素膜
と、この硬質炭素膜上に形成したプラズマ重合膜とを有
することを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3124988A JPH01205719A (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3124988A JPH01205719A (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01205719A true JPH01205719A (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=12326094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3124988A Pending JPH01205719A (ja) | 1988-02-12 | 1988-02-12 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01205719A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010049782A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-03-04 | Seagate Technology Llc | 薄膜記憶媒体用パーフルオロポリエーテル潤滑薄膜 |
-
1988
- 1988-02-12 JP JP3124988A patent/JPH01205719A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010049782A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-03-04 | Seagate Technology Llc | 薄膜記憶媒体用パーフルオロポリエーテル潤滑薄膜 |
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