JPH01205714A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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Publication number
JPH01205714A
JPH01205714A JP2923788A JP2923788A JPH01205714A JP H01205714 A JPH01205714 A JP H01205714A JP 2923788 A JP2923788 A JP 2923788A JP 2923788 A JP2923788 A JP 2923788A JP H01205714 A JPH01205714 A JP H01205714A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
films
hardness
ferromagnetic metal
partially oxidized
Prior art date
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Pending
Application number
JP2923788A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Shinohara
紘一 篠原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2923788A priority Critical patent/JPH01205714A/ja
Publication of JPH01205714A publication Critical patent/JPH01205714A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は耐久性属優れた磁気記録媒体に関するものであ
る。
従来の技術 一般に強磁性金属もしくは合金を真空蒸着、スパッタリ
ング等によって高分子フィルム上に被着するか、又は磁
性粉末を結合剤成分とともに基体上に結着して作られる
磁気記録媒体は、記録再生時に、磁気ヘッドと激しく摺
接するため、磁性層が摩耗しやすく、特に真空蒸着等罠
よって形成される強磁性金属薄膜層は、高密度記録に適
した特性を有する反面、磁気ヘッドとの高速摺接で摩耗
や損傷を受は易く、耐久性に劣るという難点があった。
仁のため、従来から磁性層上に種々の保護膜層を設ける
などして耐摩耗性を改善する努力が払われておシ、例え
ば、膨化水素系化合物を用いて炭素を主成分とする皮膜
を設けたり、ダイアモンド構造をもつカーボン膜を設け
ること等が提案されている。
発明が解決しようとする課題 しかし、これらの炭素を主成分とする皮膜を設けたもの
や、ダイアモンド状硬質炭素膜やBN膜等の硬質膜をG
o−1x等の合金系垂直磁化膜上に配し、十分な耐久性
を得るには、その膜厚が200〜300人と厚く、スペ
ーシング損失で短波長域でのC/N低下が目立つのと、
部分酸化強磁性金属薄膜上に配したものは、膜厚が10
0人近く薄゛くできるが、酸化層によるスペーシング損
失もあるので、やはり短波長域での07N低下が問題で
改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐久性と
短波長域でのC/Nをバランスよく改善した磁気記録媒
体を提供するものである。
τ:二:’、a::::’:*ab、84.。76記録
媒体は、部分酸化強磁性金属薄膜を積層構造とし、その
上に硬質膜、潤滑剤層を順に配したものである。
作用 本発明の磁気記録媒体は、上記した構成によシ、部分酸
化強磁性金属薄膜が微粒子で構成されることから、硬さ
が動的に増大し、その上に配された硬質膜と硬さの差が
小さくなシ、耐久性が改善されるので、硬質膜を薄くす
ることができ、短波長域での出力低下を改善し、磁性薄
膜の微粒子化で雑音が改善されることとで、C/Nが改
善されることになる。
実施例 以下、図面を参照しながら、本発明の一実施例について
詳しく説明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体
の拡大断面図で、図において1はポリエチレンテレフタ
レート、ボリフェニレンサ、ルファイド、ポリイミド等
の高分子フィルム、2はム1t20. 、CaO、Ca
C0,、ZuO、ZrO□、B1Ti0.。
Ba5OSiOTiOWONu  Oポリエチ412菅
2’3125 レン球、ポリイミド球等の直径20入から360人の範
囲の微粒子を1(μm) 当90.5ケから6o。
ケの密度で配した微粒子塗布層で、微粒子の分散状態は
均一分散であってもよいし、山脈状に分散したようなも
のでもよい。3は円筒キャン等の回転支持体に沿った状
態で、酸素雰囲気でCo。
Cjo−Fe 、Co −Ni 、Go −Ou 、G
o−Ti 、 Go −Or等を電子ビーム蒸着して得
られる部分酸化強磁性金属薄膜Iで、4は同じ条件又は
異なる条件で構成した部分酸化強磁性金属薄膜lで、夫
々の膜厚は0.03μmから0.16μmの範囲が好ま
しい。
又部分酸化の条件についても最適化する実験を2゜3回
〈シ返せば、目的に応じて好ましい設計値を得ることが
できるが、原子%で酸素が16%から35%の範囲が好
ましい。5はBN膜、ダイアモンド状硬質炭素膜等の硬
質膜で、部分酸化強磁性金属薄膜の硬さを1とすると、
1.6から10の範囲が好ましい。6は脂肪酸、脂肪酸
アミド、パーフルオロスルホン酸、バーフルオロポリエ
ーテル等の潤滑剤層で、天然に存在するもの、合成によ
シ得たものいずれでもよく、平均膜厚換算で30人から
160人の範囲で構成するのが好ましい。
以下、更に具体的に本発明の一実施例について、詳しく
説明する。厚み11μmのポリエチレンテレフタレート
フィルム上に直径60AのIn2O。
微粒子を1oOケ/(μm ) 2配し、その上に直径
1mの円筒キャンに沿わせて、最小入射角40度で、酸
素分圧4.8 X 10  (Torr)で、 Co 
−N i(Ni22wt%)を電子ビーム蒸着し、0.
07pmのGo −Ni−0膜を形成した。この膜は酸
素を原子%で1e%含んでいる。入射方向を合わせて、
′2゛2回の強磁性金属薄膜を同様に直径1mの円筒キ
ャンに沿わせて、最小入射角46度で酸素分圧4.4X
10 ’(Torr)でCo−N1(Ni 22wt%
)を電子ビーム蒸着し、o、oaμmのCo−Ni−0
膜を形成した。この膜は酸素を原子%で24%含んでい
る。次に、カーボンをターゲットにしてAr+H2=I
 Xl 0  (Torr)人r:H2=2:3のガス
を用い、13.s 6 (MHz) 1.1 (Kvr
)の高周波グロー放電でスパッタリングを行い、ダイア
モンド状のカーボンとアモルファスのカーボンの混合し
た炭素膜を60人の膜厚で形成した。膜の硬さはGo 
−Ni−0の1層目を1とすると、2層目が1.5で1
炭素膜は4.6であった。その上にパーフルオロオクタ
ン酸を真空蒸着法により40人の膜厚で形成した。一方
、比較例は、最小入射角42度で4.6X10−5(T
orr)(7)酸素中でCo −Ni (Ni 20w
t%)を電子ビーム蒸着し、0.15μmのGo −N
i −0膜(0を21at%含む膜)を形成した上に、
炭素膜を120人形成し、更にパーフルオロオクタン酸
を66人蒸着したものを用いた。両者共8ミリ幅の磁気
テープに加工し、ギャップ長0419μmの積層型アモ
ルファスヘッドによシ、キャリア周波数を5(MHz)
から7−5 (MHz)にあげた仕様に8ミリビデオを
改造し、C/Nを比較した。
実施例は比較例に対しs、y(dB)C/Nが良好であ
シ、スチル状態での再生出力の低下率は0.4〜○、e
s(dB)/hで比較例と同じであり、耐久性とC/N
が共にバランスよく改良されたものであることがわかる
この差は実際に高速で変位を与えた時の様子が測定でき
ないので推定によるが、動的な硬さが積層化することで
、静的にみての硬さより、はるかに大きく実効的に働く
ことで、硬質膜との差が小さくなることからきていると
考えられる。
発明の効果 以上のように本発明によれば、短波長C/Nと耐久性が
バランスよく改良された磁気記録媒体を得ることができ
るといったすぐれた効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・微粒子
塗布層、3・・・・・・強磁性金属薄膜I、4・・・・
・・強磁性金属薄膜■、5・・・・・・硬質膜、6・・
・・・・潤滑剤層。 −x 5°−不更買扶 を−ン閏婿114

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 積層構造から成る部分酸化強磁性金属薄膜の上に硬質膜
    、潤滑剤層を順に配したことを特徴とする磁気記録媒体
JP2923788A 1988-02-10 1988-02-10 磁気記録媒体 Pending JPH01205714A (ja)

Priority Applications (1)

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JP2923788A JPH01205714A (ja) 1988-02-10 1988-02-10 磁気記録媒体

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JP2923788A JPH01205714A (ja) 1988-02-10 1988-02-10 磁気記録媒体

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JPH01205714A true JPH01205714A (ja) 1989-08-18

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ID=12270628

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JP2923788A Pending JPH01205714A (ja) 1988-02-10 1988-02-10 磁気記録媒体

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6620481B2 (en) 2000-07-06 2003-09-16 Fujitsu Limited Magnetic recording medium, magnetic recording medium manufacture method, and information regeneration apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61139920A (ja) * 1984-12-12 1986-06-27 Hitachi Maxell Ltd 磁気記録媒体
JPS6310315A (ja) * 1986-07-02 1988-01-16 Tdk Corp 磁気記録方法

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