JPH04195724A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度記録に適する磁気記録媒体に関するもの
である。

従来の技術 磁気記録の高密度化は、記録波長の短縮化と、狭トラツ
ク化によって進められてきており、その技術進歩は目を
みはるものがあり、磁気テープの進歩、とりわけ磁気記
録層が塗布型から薄膜型に代わることでの進歩は目覚ま
しく、実験室的には光記録と同じ１ビツト１μ２が達成
され［ＩＮＴＥＲＭＡＧＣＯＮＦＥＲＥＮＣＩ、　（１
９９０，４）　ＦＡ−０１参照］、今後の広帯域映像信
号をコンパクトに記録する可能性も大きく、更にディジ
タル技術による高画質化対応も、蒸着テープで見通され
る［ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ　ＯＮ　ＣＯ
ＮＳｔ１ＭＥＲＥＬＥＣＴＣ０Ｎ５ｔ１．　Ｖｏｌ、　
３４．尚３．５８８〜５９６（１９８８）　］等、薄膜
型の利用が急激に進むことが期待されて０る。

薄膜型テープは、ポリエチレンテレフタレートフィルム
に粒状性の面を付与し［特開昭６０−２１９６２１号公
報参照］その上にＣｏ、Ｃｏ−Ｎ１（Ｎｉ；１０〜３Ｑ
ｗｔ％）等を電子ビーム蒸着する際、［特公昭５７−１
９４９３号公報、特公昭５７−２３９３１号公報、特公
昭６０−１０３７０号公報等参照］酸素を導入し、柱状
微粒子の表面を酸化し［特公昭５６−２３２０８号公報
参照］た参照性金属薄膜を磁気記録層として配したもの
が実用化され、更に垂直磁化膜としてのＣｏ−Ｃｒ膜、
Ｃｏ−０膜、Ｃｏ−Ｎｉ−０膜等も有望視されている。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、強磁性金属薄膜上に潤滑剤を設けたもの
、酸化膜の上に潤滑剤を積層したちのは、耐久性を改善
すると短波長でのＣ／Ｎが低下するといった課題があり
改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐久性と
Ｃ／Ｎをバランスよく改良した磁気記録媒体を提供する
ものである。

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため本発明の磁気記録媒体は、
非磁性基板上に配した、強磁性金属薄膜」−にダイヤモ
ンド状炭素膜と金属炭素系膜の多層膜を配した上に、潤
滑剤を配するようにしたものである。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、保護膜が
硬く、ヘッド等との相互作用時に凝着を起こしに＜＜、
潤滑剤の親和性もよく、広い範囲で流体潤滑を維持でき
る為、磁気記録媒体の耐久性とＣ／Ｎをバランスよく改
善できることになる。

実施例 以下、図面を参照し、なから、本発明の一実施例につい
て説明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡
大断面図である。図で１はポリエチレンテレフ゛タレー
ト、ポリエチレン−２，６−＋フタレート、ポリフェニ
レンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ
イミド等の高分子フィルムで、必要に応じて微粒子塗布
層を配したものを用いることもできる。尚、ハードディ
スクの場合は高分子フィルムでなく　Ａ　ｆ−Ｍ　ｇ合
金やガラス等の基板でもよい。２はＣｏ、Ｃｏ−Ｎｉ。

Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｔｉ、Ｃｏ−Ｍｏ、Ｃｏ　−０、Ｃ
ｏ−Ｎｉ−０，Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ、Ｃｏ　−Ｐｔ−Ｂ−
０等の強磁性金属薄膜で、Ｃｒ下地やＮｉ−Ｆｅ軟磁性
層を介しての構成でもよい。又強磁性金属薄膜は積層構
成であってもよい。３は、ダイヤモンド状炭素膜と金属
炭素系膜を交互積層した多層膜で、ここで夫々の膜と表
現しているものは必ずしも連続膜をさすものではなく、
むしろ不連続状態での多層化されたものが好ましい。ダ
イヤモンド状硬質炭素膜の形成はグラファイトをターゲ
ットにスパッタリング法で行うかメタンガス等の炭化水
素系のガスを主にしたプラズマＣＶＤ法等で行えばよい
。金属炭素系膜の形成もスパッタリング法、プラズマＣ
ＶＤ法、イオンプレーティンシ法、電子ビーム蒸着法等
により行えばよい。多層膜の厚みは、スペーシング損失
の関係から２００人以Ｆ２６０〜１５０人の範囲が望ま
しい。生産性及び必要な設備費用の関係から暦数は５〜
１０層が適当といえる。４は潤滑剤層で、湿式塗布法、
真空蒸着法等で形成した。脂肪酸、シリコーン油、鉱物
油、バーフルオロアルキルカルボン酸、バーフルオロポ
リエーテル等で、平均厚みは２０〜１００人の範囲が好
ましい。

この他にバックコート層はテープ状で実施する場合必要
に応じて配設すればよいし、ディスク状であれば、両面
アクセスとするか片面アクセスとするかで常法に従って
望ましい構成とすることができる。

以下、更に具体的に本発明の実施例について比較例との
対比で説明する。

厚み８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
直径１５０人のＳ　ｉ　Ｏ：微粒子を平均３０ケ／μ２
配し、その上に直径１ｍの円筒キャンに沿わせ、Ｃｏを
最小入射角５０度となる連続入射角変化蒸着法で、３　
ｘ　１０−６（Ｔｏｒｒ）の酸素中で０．０８μｍを２
回層子ビーム蒸着し、トータル０．１６μｍのＣｏ−０
系磁性薄膜を形成した。

このフィルムを用い、実施例と比較例のテープ化を進め
た。

スパッタリング法でダイヤモンド状炭素膜の形成はグラ
ファイトをターゲットにしてＡｒ＋Ｈ２０゜０４〜０．
１（Ｔｏｒｒ）、Ａ　ｒ／Ｉ（：：０．６〜３．５゜１
３．５６（ＭＨｚ）、６００〜１９００　ＣＭ）の範囲
テ行い、金属炭素系膜の形成は金属ターゲットを用い、
Ａｒ十ＣＨ４：０．０２〜０．２（Ｔｏｒｒ）、Ａｒ／
ＣＨ４：０．３〜４．２．　１３．５６（ＭＨ２）　、
　　５００〜２０００　（Ｗ）の範囲のスパッタリング
法で行った。

他にもプラズマＣＶＤ法、イオンブレーティング法、電
子ビーム蒸着法でも実施したが、はぼ同じ効果であった
のでここでは省略する。

多層膜形成後、潤滑剤を塗布し、０．５μｍのバックコ
ート層を配し、８ミリ幅の磁気テープにしてＣ／Ｎとス
チル耐久性を評価した。スチル耐久性は出力が３（ｄＢ
）低下するまでの時間で、Ｃ／Ｎはハイバンド８ミリの
輝度信号のＣ／Ｎで比較した。

比較例を含め評価結果を表にまとめて示した。

（以　　下　　余　　白） （注）スチル耐久は、夫々の環境で１００回再生の為の
走行を行った後のステル状態での評価である。

発明の効果 以上のように本発明によれば、Ｃ／Ｎと耐久性のバラン
スのとれた高密度記録媒体を得られるといったすぐれた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図
である。 １・・・・・・非磁性基板、２・・・・・・強磁性金属
薄膜、３・・・・・・（硬質炭素／金属炭素）多層膜、
４・・・・・・潤滑層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基板上に配した強磁性金属薄膜上にダイヤモンド
   状炭素膜と金属炭素系膜の多層膜を配し、その上に潤滑
   剤を配したことを特徴とする磁気記録媒体。