JPS63144410A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。

従来の技術 近年、磁気記録の高密度化への要求は、より記録波長を
短縮化する方向にｓｂ、塗布型の磁気記録層に代って真
空蒸着、スパッタリング等の薄膜化技術により、Ｇｏ　
−Ｎｉ　、　Ｇｏ　−Ｏｒ　、　Ｃｏ　−Ｎｉ−０等の
強磁性金属薄膜を高分子フィルム上に直接又は下地層を
介して形成してなる、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒
体の実用化が強く望まれてきている〔例えば外国論文誌
アイイーイーイー　トランザクション　オン　マクネテ
ィクス（ＩＩＥＩＩＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ　　ＯＮ
　　ＭＡＧＮＩＣＴＩＣ５）ｖｏｌ。

ＭＡＧ−２１、Ｎｏ−３，Ｐ、Ｐ、１２１７〜１２２０
（１９８５）参照〕。

強磁性金属薄膜を実用化する上で重要な物性は、磁気特
性１機械強度、耐食性等で、これまで数多くの磁気記鎌
層自身、磁気記録層の製造方法等についての提案がなさ
れてきている。第２図はこれまで提案された磁気記録媒
体の代表例の拡大断面図で、第２図で１は、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリイミド等の高分子フィルムで必
要に応じて、表面に各種の凹凸形状を形成するため下塗
りり形成されたＣｏ　、　Ｆｅ　、　Ｇｏ−Ｎｉ等をは
じめとして、スパッタリング法で形成されたｃｏ−ｃｒ
等の強磁性金属薄膜からなる磁気記録層で３は保護層で
、脂肪酸、パーフロロヤルボン酸やプラズマシ重合膜、
非晶質炭素膜２Ｍ０８２膜等から構成される装る。〔特
開昭６１−７７１２８号、同６１−１４２５２３号、同
６１−１３９９１９号等の公報、ジャーナル　オプ　ア
プライド　フィジックス（Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐ
ｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ）ｖｏｌ。

６０．４２８６（１９了９）、特開昭６１−１４２５２
６号、同６１−１６１８３５号等の公報参照〕 磁気記録層の改良は、磁気記録層自身の耐久性を向上す
るため、酸化層を利用することや（特公昭５６−２３２
０８号公報参照）窒化物を利用する〔ジャーナル　オブ
　アプライド　フィ・レックス（Ｊｏｕｒｎａｌ　　ｏ
ｆ　　Ａｐｐｌｉｅｄ　　Ｐｈｙｓｉｃｓ）ｖｏｌ、ｔ
ｓｓ、８９４１（１９８２）参照〕か、磁気記録層は金
属で構成し〔特開昭６１−７７１２８号。

同６１−２２４１２７号、特公昭５８−９１号等の公報
参照〕保護層で、金属薄膜に傷が入らないようにする方
法が中心に検討され進められている。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記した構成の範囲では、記録波長がＯ，
Ｓμｍを下まわるようになると、保護膜に頼ると、スペ
ーシング損失で信号対雑音比（ｓ／Ｎ　）が低下する問
題があった。又、雑音や耐食性を改良するため、同種又
は異種の材料の積層構成〔特開昭５７−１３３５１９号
、同５９−１１９５３４号、同５９−１１９５３１号、
同６９−１１６９３３号等の公報参照〕による改良も上
記した波長域では改善効果が不十分で、一層の改善が望
まれていた。本発明は上記した事情に鑑みなされたもの
で、耐久性と　／Ｎの両者を共に満足できる磁気記録媒
体を提供するものである。

問題点を解決するための手段 本発明の磁気記録媒体は、上記した問題点を解決するた
め、高分子フィルム上に形成された磁気記録層が層間に
メタルブラック層を有する２層構成から成るものである
。

作用 本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により磁気記録
層表面に、メタルブラック層の微細な凹凸が反映される
ため、接触面積が減少し、摩擦が減少し、走行性、耐久
性が向上するので保護膜を薄くできるから、ｓ／Ｎをス
ペーシング損失で惠くしないですむのと、同一元素系で
メタルブラック層が形成されるので、２層構成でありな
がら層間のはく９強度が大きく、２Ｎにしてノイズを下
げても膜の耐久強度は殆んど変化しないことから８／Ｎ
と耐久の両者を共に満足せしめることができるのである
。

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。第１図は、本発明の磁気記録媒体の拡大断面図で
ある。第１図で４は、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレンナフタレート。

ポリフェニレンサルファイド２ボリエーテルサルフオン
、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリアミド、ポ
リアミドイミド、ポリイミド等の高分子フィルムで必要
であれば、水溶性高分子から成る塗布層によるゆるやか
な隆起を設けたものでもよい。６は第１磁性層で、電子
ビーム蒸着法。

高周波マグネトロンスパッタリング法等で形成したＧｏ
−Ｎｉ、Ｇｏ−Ｆｅ、Ｃｏ−０ｒ、Ｃｏ−０ｕ、Ｃｏ−
Ｐｔ。

Ｃｏ　−０、Ｃｏ−０ｓ、　Ｇｏ−Ｔｉ　、　Ｇｏ−Ｗ
、　Ｇｏ−Ｍｇ、　Ｇｏ−Ｍｏ。

Ｇｏ　−０ｒ−Ｎｂ　、　Ｇｏ　−Ｎｉ−０等から成る
もので、６はメタルブラック層で、上記合金系の酸化物
から構成するのが好ましいが、他の金属元素合金から構
成したものでも目的によっては実用水準で媒体を構成す
ることも可能といえる。メタルブラック層の形成は、Ａ
ｒガスと酸素の混合ガスで１（Ｔｏｒｒ）前後の真空中
でスパッタリング法、真空蒸着法で行なえばよいが、微
細な凹凸としては最大高さが１００Ａ程度までとなる粗
さに条件を最適化するのが好ましい。７は、第２磁性層
で、第１磁性層と同じ材料を用いるのが好ましい。８は
、脂肪酸、　Ｍｏｂ２スパッタ膜、アモルファス金属膜
。

ダイアモンド状炭素膜、プラズマ重合膜等を組み合わせ
た保護潤滑層である。

この媒体構成は、磁気テープ状、磁気ディスク状のいず
れでも用いられるものである。

以下、テープの応用例の一例について、従来例との比較
で補足する。厚みＩＱ７ｚｌ！１のポリエチレンテレフ
タレート（沖心線平均粗さ、０．００３μｍ）フィルム
を用い、３つのクーリングキャンを有した高周波スパッ
タ装置（３室に分け、夫々ターゲットと真空排気系がつ
いたもの）を使って、先ずＧｏ　−Ｏｒ　（Ｃｒ：２　
ｏ、８　ｗｔ％）垂直磁化膜ｔ−０，０８７ｚｍ形成し
、引き続きＧｏ−Ｏｒ（Ｏｒ’、　２４　ｗｔ％）ター
ゲットを用い、ｉ　３．５８　Ｍｌ−Ｉｚの高周波グロ
ーを用い人ｒ＋ｏ□（Ａｒ：Ｏ□＝３：２）圧を０．９
　（Ｔｏｒｒ）にして粗さ１００人のカーボンブラック
層を形成し、その上にＧｏ　−Ｑｒ　（Ｃｒ：　２０．
６　ｗｔ％）垂直磁化膜０．０９μｍを形成し、その上
にパーフロロ酢酸を６０人真空蒸着して８ミリ幅の磁気
テープを得た。

このテープの垂直方向の保磁力は６００（Ｏｓ）である
。一方、比較例として、保磁力が８００（Ｏｓ）となる
よう調整したＧｏ−Ｏｒ（Ｏｒ：２．０−６　ｗｔ％）
垂直磁化膜を０．１８μｍ直径１００人のＳｉＯ□微粒
子を１０ケ／（μｍ）塗布した厚み１０μｍのポリエチ
レンテレフタレートフィルム上に形成し、パーフロロ酢
酸全回じくｅｏ人真空蒸着した８ミリ幅のテープを準備
した。

この両者をギャップ長０．１３μｍのフェライトヘッド
を搭載した８ミリビデオメカニズムを用いて、０．６μ
ｍの記録を行ない、初期の変調ノイズを測定し、４０”
０８５％ＲＨで１３０回くり返し再生を行ない、１３０
回目の再生時の変調ノイズレベルを検討したところ、初
期比較で実施例の変調ノイズは比較例より２（ｄＢ）良
好で、耐久テスト後の変調ノイズは、実施例は初期値と
変化がなかったが、比較例は２．２（ａＢ）変調ノイズ
が増大していた。

又、ドロップアウト（３ｐｓｅｃ、−１ｏａ１３　）に
ついてみると実施例は、初期値、耐久テスト後も１分間
平均で６０〜７０ケであったが、比較例は耐久テスト後
は１分間平均で４００〜８２０ケとバラツキも、値も大
きくなっていた。

発明の効果 以上のように本発明によれば、短波長化を進めても良好
なＳ／、を保ち、耐久性も維持された磁気記録媒体が得
られるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面
図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ４・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・第１磁
性層、６・・・・・・メタルブラック層、了・・・・・
・第２磁性層。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名４−
　高分子フィルム 第１図　　　　７−第２磁慝層 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子フィルム上に形成された磁気記録層が、２層構成
   の強磁性金属薄膜からなり、２層間にメタルブラック層
   が配されていることを特徴とする磁気記録媒体。