JPH0289213A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする１ｉ１気記録媒体に関する。

従来の技術 最近の記録技術の進歩により単位面積当りはもとより、
単位体積当りの記録密度が著しく向上し、磁気記録媒体
は、表面が極めて平滑で、高密度化に適した強磁性金属
薄膜を磁気記録層とする蒸着テープ等の実用化が強く望
まれている。従って最近では摺動界面で起る摩擦、摩耗
等に対する理解を深めるトライポロジーに関する研究の
重要性が認識され各方面で開発が進められている〔テレ
ビジョン学会誌ｖｏ１．ａＱ、羨６（１９８６）４７２
頁〕。

第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。第２
図に於て、１はポリエチレンテレフタレート、ポリイミ
ド等の高分子フィルムで必要に応じて、微粒子化した表
面を付与したもの等〔特開昭５９−２０７４２２号公報
、特開昭５９−１２１６３１号公報〕が用いられる。２
はＣｏ−Ｎｉ−０斜め蒸着膜、Ｃｏ−０ｒ　、　Ｃｏ−
０ｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜等の磁気記録層で、３は保護
層で、４はバックコート層で、炭素粉末、炭化カルシウ
ム粉末等の粒子を含んだ樹脂層で主として走行性を改善
するために保護層だけで不十分な場合にはよく設けられ
ている。

従来保護層は特開昭５４−１１３３０３号公報に開示さ
れている脂肪酸金属塩の蒸着膜による耐摩耗性の改善、
特開昭５７−１１８７７１号公報に開示されているイミ
ド基を有する高分子のスパッタ膜、ダイアモンド状硬質
炭素膜を用いる例（日本応用磁気学会、第４６回研究会
資料）等が知られている。又潤滑目的の層として、蒸着
法、湿式塗布法等で脂肪酸、脂肪酸アミド等を被着する
もの（例えば特公昭５６−３０６０９号公報）は、数多
く試みられているが、上記例では、使用環境条件の拡大
、合金系磁気ヘッドに対する実用性の要求の高度化に対
処しきれないことから、組み合わせによる改善が検討さ
れている。例えば、脂肪酸金属塩の吸着層上にフルオロ
カーボン系の潤滑層を設けたもの（特開昭６１−１２０
３３１号公報）、硬質カーボン層の上に含フツ素潤滑油
層を配したもの（特開昭６１−１２６６２７号公報）、
５ｉ−Ｎ−０系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開昭
６１−１３１２３１号公報）等があげられる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、近年急激に需要が増大しているカメラ一
体型のビデオは小型軽量化が進み、使用条件も厳しくな
り、テープ全厚を薄型化して、記録時間を長くするに従
って、これまで用いられてる磁気記録層では十分な耐久
性の確保がむずかしいことから改善が望まれていた。

本発明はかかる点に鑑みなされたもので、耐久性を薄手
テープて於ても確保できる磁気記録層をもった磁気記録
媒体を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
、強磁性薄膜が鉄炭素系と鉄・窒素系の混合体で構成し
たものである。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、磁気記録
層の硬度が大きくなり、合金系磁気ヘッドとの高速摺動
下でも十分な耐久性を確保できるようになる。

実施例 以下、図面を参照しながら本発明に係る一実施例につい
て詳しく説明する。第１図は、本発明に係る一実施例の
磁気記録媒体の拡大断面図である。

第１図で、６はポリエチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリ
エーテルエーテルケトン、ポリアミド、ポリイミド等の
高分子フィルム、６は水溶性高分子から成るミミズ状の
凹凸をもった下塗り層やＴｉＯ２，ＺｕＯ、Ｃｒ２Ｏ，
、ポリエステル球等の微粒子を塗布した下塗り層である
。

７は鉄・炭素系と鉄・窒素系の混合薄膜から成る磁気記
録層で、この磁気記録層７はＦｅｅ　。

Ｆｅ５Ｃ、Ｆｅ　、Ｆｅ４Ｎ　、Ｆｅ２Ｎ　、　　等か
ら成るもので、規格化したＸ線回折のピーク強度比を変
化させ、磁気特性と硬さを最適化して用いればよいもの
である。この薄膜を形成するには、炭化水素ガスとアン
モニアガスを放電ガスとして導入し高周波グロー放＋ｉ
Ｗ中で鉄を蒸着するか、スパッタリングすることで行え
る。

尚、耐久性の確保のためＫは、規格化したＸ線回折のピ
ーク強度で鉄のピーク強度が全体に対し６〜３０係程度
がよく、磁気特性を確保するには、１５係〜ａｏ％がよ
いことから、１６係から３０係の範囲が好ましい。

又、ＦｅＣ，Ｆｅ５Ｃ、ＦｅｘＣ群とＦｅ４Ｎ　　Ｆｅ
Ｎ　。

ＦｅｘＮ群の強度比は等しいか、どちらが多くても３０
チまでの範囲が各種の合金ヘッドに対し耐久性が良好な
範囲といえる。

８は保護膜で、プラズマ重合膜、ダイヤモンド薄膜等、
９は潤滑剤層でパーフルオロポリエーテル、脂肪酸エス
テル等から適宜選び配したものである。

以下更に具体的に本発明の実施例について比較例との対
比で詳しく説明する１、 （実施例−１） 厚み６μｍのポリエチレンナフタレートフィルム上知直
径１ｏｏ人のＥｕ２Ｏ３微粒子をｓ　’ｙ−／　（μｍ
　）２配し、その上ＫＣＨ４，ｏ、ｏｓ　ＣＡ／ｍｉｎ
　’］　　ＮＨ，。

０．０７　（：　ｌ　／ｍｉｎ　］導入しなから４×１
０〜２Ｘ１０　　（Ｔｏｒｒ）で１３．５　ｅ　（Ｍｌ
ｌｚ）　１．３　（Ｋｗ）のグロー放電を発生させなが
ら、鉄を電子ビーム蒸着した。最小入射角は４６度で円
筒キャンの直径は５０ｃｍのものを用いた。強磁性薄膜
は１ＢｏＱ人で、ＦｅｘＧｙ群のピーク強度対ＦｅｕＮ
、群のピーク強度比は１：０．８２で、Ｆｅの全強度に
対する比率は０．１８である。この薄膜」二にヘキサフ
ェニルシクロトリシラザンのプラズマ重合膜を８０人配
し８ミリ幅の磁気テープを得た。

（実施例−２） 実施例−１で、Ｆｅの強度比を０．２４とし、ＦｅｘＣ
ｊｙ群対ＦｅｕＮｖ群のピーク強度比を０．８６：１と
した以外は同じ構成条件の磁気テープを試作した。

（実施例−３） 実施例−１のフィルムを用い、微粒子を配した後、直径
６０ｃｍの円筒キャンに沿わせ移動しながら、ムｒ＋Ｎ
２＝０．０７　（Ｔｏｒｒ）　　Ａｒ　：　Ｎ２＝　１
：３を放電ガスとし、Ｆｅとグラファイトを重ねあわせ
面積比を１：０．４としたターゲットを用い、１３．５
６　（Ｍｔｌｚ　）　　１．１（ＫＷ　）のグロー放電
によるスパッタリング法で、Ｆｅ強度比０．１６゜Ｆｅ
ｘＣ，：　ＦｅｕＮｖ比０．７６＝１とした混合膜１ｅ
ｏＯ人を形成し、同じプラズマ重合膜を配した磁気テー
プを試作した。

（比較例−１） 実施例−１のフィルムを用い同じ微粒子を配し、直径１
ｍの円筒キャンに沿わせて、最小入射角６６度で、Ｎ２
１．ｓ　〜５Ｘ１０　　（Ｔｏｒｒ）の圧力で１３．５
６　（Ｍ）ｌｚ）　、　９００　（Ｗ　）ｃＤグロー放
電中を鉄蒸気を通過させ蒸着し１６００人のＦｅ　−Ｎ
系膜を形成しその上にプラズマ重合膜を１５０人配し８
ミリ幅の磁気テープを試作した。

（比較例−２） 実施例−１と同じフィルム、微粒子条件で、ＣＨ４：　
０．２１：　ｌ／ｍｉｎ　〕、ＮＨ３：　０．０９〔／
／ｍｉｎ］導入し３ｘ１ｏ　　〜ａ、５ｘ１ｏ　　（Ｔ
ｏｒｒ）で２０（Ｋｌｌｚ）　、　１　（ＫＷ）のグロ
ー放電を発生させながら鉄を電子ビーム蒸着し１０００
人の混合膜を形成した。

Ｆｅのピーク強度は６％でＦ　６　ｚ　Ｃｙ　”、　Ｆ
　ｅ　ｕ　Ｎ　Ｔ１：ｏ、ｅであった。

この膜の上にプラズマ重合膜を同じ８０人配した磁気テ
ープを試作した。

上記したテープを６℃ｓｓ％Ｆｉ）Ｉの環境と４０℃８
０　％　ＲＨの環境で、各種の合金ヘッドとの組み合わ
せで評価した。８ミリビデオにより輝度信号のＳ／Ｎが
２　（ｄＢ　）初期から低下するまでのくり返し再生回
数を１８０分テープで評価した結果を下表にまとめて示
す。

（以下余白） 発明の効果 以上のように本発明によれば、薄型化しても各種の合金
系磁気ヘッドに対して優れた耐久性を与えることができ
るといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る一実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大１Ｆ？而図で
ある。 ６・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・下塗り
層、７・・・・鉄・炭素系と鉄・窒素系の混合薄膜から
なる磁気記録層、８・・・・・・保護膜。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名第２ 図 ５“−ｍ分子フィルム ６−下塗り眉 ７・−歓泉票是Ｖ秩望素系Ｑ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性薄膜が鉄・炭素系と鉄・窒素系の混合薄膜である
   ことを特徴とする磁気記録媒体。