JPH02101621A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。

従来の技術 最近の記録技術の進歩により単位面積当りはもとより単
位体積当りの記録密度が著しく向上し、磁気記録媒体は
、表面が極めて平滑で、高密度化に適した強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする蒸着テープ等の実用化が強く望ま
れている。従って最近では摺動界面で起る摩擦、摩耗等
に対する理解を深めるトライポロジーに関する研究の重
要性が認識され各方面で開発が進められている〔テレビ
ジ、７学会誌Ｖ　０１　、４０　、　＆　６　、　（１
９８６）４７２頁〕。第２図は従来の磁気記録媒体の拡
大断面図である。第２図に於て、１はポリエチレンテレ
フタレート、ポリイミド等の高分子フィルムで必要に応
じて、微粒子化した表面を付与したもの等（特開昭６９
−２０７４２２号公報、特開昭５９−１２１６３１号公
報）が用いられる。２はＣｏ−Ｎｉ−０斜め蒸着膜、Ｃ
ｏ−０ｒ　、　Ｃｏ−０ｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜等の磁
気記録層で、３は保護層で、４はバックコート層で、炭
素粉末、炭化カルシウム粉末等の粒子を含んだ樹脂層で
、主として走行性を改善するために保護層だけで不十分
な場合にはよく設けられている。

従来保護層は特開昭５４−１１３３０３号公報に開示さ
れている脂肪酸金属塩の蒸着膜による耐摩耗性の改善、
特開昭５７−１１６７７１号公報に開示されているイミ
ド基を有する高分子のスパッタ膜、ダイアモンド状硬質
炭素膜を用いる例（日本応用磁気学会、第４６回研究会
資料）等が知られている。又潤滑目的の層として、蒸着
法。

湿式塗布法等で脂肪酸、脂肪酸アミド等を被着するもの
（例えば特公昭５６−３０６０９号公報）は、数多く試
みられている。しかしながら上記した例では、使用環境
条件の拡大、合金系磁気ヘッドに対する実用性の要求の
高度化に対処しきれないことから、組み合わせによる改
善が検討されていて、脂肪酸金属塩の吸着層上にフルオ
ロカーボン系の潤滑層を設けたもの（特開昭６１＝１２
０３３１号公報）、硬質カーボン層の上に含フツ素潤滑
油層を配したもの（特開昭６１−１２６６２７号公報）
、５ｉ−Ｎ−０系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開
昭６１−１３１２３１号公報）等があげられる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、近年急激に需要が増大しているカメラ一
体型のビデオは小型軽量化が進み、使用条件が厳しくな
り、湿度範囲、温度範囲が広がることから、従来知られ
る構成の強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒
体では耐久性が不十分であり改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐久性の
特に温湿度の厳しい条件でのスチル耐久性、保存特性の
優れた磁気記録媒体を提供するものである。

課題を解決するだめの手段 上記した課題を解決するため本発明の磁気記録媒体は強
磁性金属薄膜を構成する柱状粒子が重合膜で被覆され、
その上にダイアモンド薄膜を配したものである。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により柱状粒子間
が磁気的に良好な分離状態で構成されることで雑音レベ
ルが大幅に改善されるので、ダイアモンド薄膜を厚くし
てスペーシング損失が増えても高密度記録で十分なＣ／
Ｎが確保できるので、耐久性を改善できるのと、上記し
た構成により、ヘッドとの高速摺動での応力が重合膜が
かんしょう剤になり局部集中を防ぐことと、柱状粒子が
重合膜で被覆されることで、高湿中でも磁気特性を担う
部分が保護され、変化しないことからも耐久性の改善、
保存特性の改善がなされる。

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について詳
しく説明する。第１図は本発明の磁気記録媒体の実施例
の一例の拡大断面図である。第１図で６はポリエチレン
テレフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエ
ーテルエーテルケント、等の高分子フィルムで、下塗り
層をあらかじめ配したものを用いてもよい。６は強磁性
金属、Ｇｏ。

Ｇｏ−Ｆｅ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−０ｒ、Ｇｏ−Ｔｉ、Ｇ
ｏ−Ｔａ。

Ｇｏ−Ｍｏ、Ｃｏ−Ｎｉ−０ｒ、Ｇｏ−Ｏｒ−Ｎｂ。

Ｃｏ−Ｎｉ−０等の柱状粒子で、７は重合膜で、柱状粒
子の高分子フィルムから遠い側の表面や底面になくても
側面にあればよい。重合膜形成に用いることの出来るモ
ノマーガスは、通常用いられるものであれば如何なるも
のでもよく、例えば０２Ｆ４．　ＣＦ、　Ｎｏ　、　Ｃ
，、Ｈ２Ｆ２等のフッ素含有化合物、トリメチルアミン
、ラウリルアミン、エチレンイミン、アミノアセタール
等の有機アミン化合物、トリメトキシシラン、アリルト
リエトキシシラン。

オルガノシロキサン等の有機ケイ素化合物、シクロヘキ
サノール、スチレン、アニリン、フェノール等の有機不
飽和化合物等が例示される。重合被膜は、磁気的分離を
改善し、雑音を改善するには２０八程度でよいが、耐久
性の向上のためには６０八〜１６０人が好ましい。

上記した構成を得るには例えば、プラズマ重合雰囲気と
蒸発源に差圧を設け、強磁性金属をイオンブレーティン
グするなり、クラスターイオンビーム蒸着する方法があ
る。

８はダイアモンド薄膜で、膜厚は１５０人までで、薄膜
形成手段は、スパッタリング法、イオンビームデポジシ
ョン法、プラズマ加速法等、例えばエレクトロニク・セ
ラミクス１９８７．９月号。

４６〜６６頁を参照して実施すればよい。尚ここでいう
ダイアモンド薄膜とは、ダイアモンド状の硬質炭素膜も
含んだものでよい。９は脂肪酸、脂肪酸アミド、脂肪酸
エステル、パーフルオロポリエーテル等の潤滑剤層であ
る。本発明を磁気テープとして実施する場合は高分子フ
ィルムの反対面にバックコート層を配し、磁気ディスク
として実施する場合は、上記した構成を反対側にも同様
に配する等は適宜実施できるものである。

以下更に具体的に本発明の実施例について比較例との対
比で詳しく説明する。

厚み９μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
、直径１６０人のＴｉｅ２微粒子を１６ケ／　（／ｌｓ
　）２配し、その上に直径６Ｑｃｒｎの円筒キャンに沿
わせて、斜め蒸着を行った。最小入射角６６度で、キャ
ン表面から３ｃｍ離して高周波コイルを配し、１３．６
６（ＭＨｚ）、５６０（Ｗ）の高周波を投入し、モノマ
ーガスとしてテトラメチルシクロジシラザンを用い、プ
ラズマ重合雰囲気を形成し、Ｇｏ−Ｎｉ（Ｇｏ：ｓｏｗ
ｔ％）をクラスターイオンビーム蒸着した。重合被膜は
８０人で、表面粒径は４００人であった。膜厚ば１４０
０人とした。斜め蒸着にひきつづき同一キャンに沿った
状態で、グラファイトをターゲットにして、Ａｒ−４−
Ｈ２グロー放電（ムｒ−１−Ｈ２＝０．０９ＴＯｒｒ。

ムｒ：Ｈ２＝１：３，４０ＭＨ２，３８０Ｗ）でスパッ
タリングを行って、ダイアモンド状硬質炭素膜を８０人
配し、別室の第２の円筒キャン（直径３０ｔ７ｎ）に沿
わせて、パーフルオロステアリン酸を６０人真空蒸着し
、８ミリ幅の磁気テープに加工した。このテープを人と
し、テープＢは、モノマーガスをアセチレンとし重合被
覆６０八とした以外はテープ人と同様な製造条件で構成
したもので、テープＣは、モノマーガスとしてアニリン
を用い、重合被膜を７０人とし、表面側をスパンタエソ
チングにより、重合被膜を除去し、ダイアモンド薄膜を
１２０２０人配以外はテープ人と同じにした。

比較例は、斜め蒸着を直径１ｍの円筒キャンに沿わせて
、ｅｓＸｌ　０−５（Ｔｏｒｒ）　の酸素中で、最小入
射角４６度でＧｏ−Ｎｉ（Ｃｏ：８０ｗｔ係）を１４０
０人電子ビーム蒸着し、その上にヘキサメチルシクロト
リシラザンをモノマーガスとして１００人のプラズマ重
合膜を配し更にその上に６０人のパーフルオロステアリ
ン酸蒸着膜を配したものである。

これらのテープをスチル特性により比較した。

尚、８ミリビデオをハイバンド仕様に改造して輝度信号
のＣ／Ｎを初期に比較した所、比較例をＯ（ｄＢ　）と
すると、テープＡ、Ｂ、Ｃは夫々＋２．１　、　＋２．
２　、　＋３．５　（ｄＢ　）　　と良好であった。

スチル特性は出力が１．５（ｄＢ）低下するまでの時間
で示した。条件と結果について表にまとめて示した。

（以下　余　白） 発明の効果 以上のように本発明によれば、優れた高密度記録特性を
もちながら、耐久性、保存特性も良好であるといったす
ぐれた磁気記録媒体が得られるといったすぐれた効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図
、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ６・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・強磁性
金属柱状粒子、７・・・・・重合被膜、８・・・・・・
ダイアモンド薄膜。 代理人の氏名　弁理士　粟　野　重　孝　ほか１名名１
図 渠２図 　−ｍ− ６−・− ７・−“ ８−・・ ！＋守子フィルム ５！磁性龜ａ柱広机子 １１合Ｗ庸 ジイアモンド溝庸

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性金属薄膜を構成する柱状粒子が重合膜で被覆され
   、その上にダイアモンド薄膜を配したことを特徴とする
   磁気記録媒体。