JPH0244517A

JPH0244517A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH0244517A
Application number: JP19411088A
Authority: JP
Inventors: Koichi Shinohara; 紘一篠原
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-08-03
Filing date: 1988-08-03
Publication date: 1990-02-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。

従来の技術最近の記録技術の進歩により単位面積当りはもとより単
位体積当りの記録密度が著しく向上し、磁気記録媒体は
、表面が極めて平滑で、高密度化に適した強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする蒸着テープ等の実用化が強く望ま
れている。従って最近では摺動界面で起る摩擦、摩耗等
に対する理解を深めるトライポロジーに関する研究の重
要性が認識され各方面で開発が進められている〔テレビ
ジョン学会誌、ＴＯｌ、４０．＆６（１９８６）４γ２
頁〕。

第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。第２
図に於て、１はポリエチレンテレフタレート、ポリイミ
ド等の高分子フィルムで必要に応じて、微粒子化した表
面を付与したもの等〔特開昭５９−２０７４２２号公報
、特開昭５９−１２１８３１号公号公報用いられる。２
ばＧｏ−Ｎ１−０斜め蒸着膜、　Ｇｏ−Ｏｒ、Ｇｏ−Ｏ
ｒ−Ｎｂ　　等の垂直磁化膜等の磁気記録層で、３は保
護層で、４はバックコート層で、炭素粉末、炭化カルシ
ウム粉末等の粒子を含んだ樹脂層で主として走行性を改
善するために保護層だけで不十分な場合にはよく設けら
れている。

従来保護層は特開昭５４−１１３３０３号公報に開示さ
れている脂肪酸金属塩の蒸着膜による耐摩耗性の改善、
特開昭６７−１１６７７１号公報に開示されているイミ
ド基を有する高分子のスパッタ膜、ダイアモンド状硬質
炭素膜を用いる例（日本応用磁気学会、第４６回研究会
資料）等が知られている。又潤滑目的の層として、蒸着
法。

湿式塗布法等で脂肪酸、脂肪酸アミド等を被着するもの
（例えば特公昭５６−３０６０９号公報）は、数多く試
みられている。しかしながら上記した例では、使用環境
条件の拡大１合金系磁気ヘッドに対する実用性の要求の
高度化に対処しきれないことから、組み合わせによる改
善が検討されていて、脂肪酸金属塩の吸着層上にフルオ
ロカーボン系の潤滑層を設けたもの（特開昭６１−１２
０３３１号公報）、硬質カーボン層の上に含フツ素潤滑
油層を配したもの（特開昭６１−１２６６２７号公報）
、５ｉ−Ｎ−０系薄膜上に潤滑層を形成したもの（特開
昭６１−１３１２３１号公報）等があげられる。

発明が解決しようとする課題しかしながら、近年急激に需要が増大しているカメラ一
体型のビデオは小型軽量化が進み、使用条件も厳しくな
り、テープ全厚を薄型化して、記録時間を長くするに従
って、これ捷で用いられてる磁気記録層では十分な耐久
性の確保がむずかしいことから改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐久性を
薄手テープに於ても確保できる磁気記録層をもった磁気
記録媒体を提供するものである。

課題を解決するだめの手段上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
、強磁性薄膜で鉄窒素系と酸化鉄の混合体で構成したも
のである。

作用本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、磁気記録
層の硬さが犬きくなり、合金系磁気ヘッドとの高速摺動
下でも十分な耐久性を確保できるようになる。

実施例以下、図面を参照しながら本発明の実施例について詳し
く説明する。第１図は、本発明の磁気記録媒体の拡大断
面図である。第１図で、６はポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルフ
ァイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアミド、ポ
リイミド等の高分子フィルムで、６はミミズ状の水溶性
高分子下塗りｍやムに２０５．ＣａＣＯ３，ＺｒＯ２ポ
リエチレン球等の微粒子を塗布分散した下塗り層で、７
は鉄窒素系と酸化鉄系の混合薄膜で、７ｅ４Ｎ、Ｆｅｘ
Ｎ　　（２くｘ≦３　）　、　Ｆｅ、、Ｎ、Ｆｅ、Ｆｅ
２Ｏ，、Ｆｅ、０４　　等の混合系から成るものである
。

耐久性と磁気特性を最適にするには、鉄窒素系のＸ線回
折のピーク強度（規格化した値）とＦｅのピーク強度、
並びに鉄酸素系のピーク強度の関係の制御が必要で、鉄
は全体のピーク強度の和に対して６％から１６％の範囲
にするのが好ましく、鉄窒素系のピーク強度は全体のピ
ーク強度の和に対して、５６％から７６％の範囲にする
のが好ましく、酸化鉄系は１０％から４０％の範囲にす
るのが好ましい。この薄膜の形成は、ＮＨ３，Ｏ□の混
合気体を放電ガスとしＦｅをターゲットにしてスパッタ
リング法により行うか、イオンブレーティング法や斜め
入射のイオンブレーティング法等により行える。８は保
護膜でダイヤモンド薄膜、ダイヤモンド状硬質炭素薄膜
、ＢＣ，ＢＮ、Ｔｉｅ、ＴｉＮ膜等やプラズマ重合膜な
どで構成し、膜厚はＳ０人から２００人の範囲が好まし
い。９は潤滑剤層で脂肪酸、脂肪酸アミド、パーフルオ
ロポリエーテル等を溶液塗布法、真空蒸着法等で配した
ものである。

以下更に具体的に本発明の実施例について比軟例との対
比で説明する。

実施例−１厚み７μｍのポリエチレンナフタレートフィルム上に直
径１００人ので１０２微粒子を２０ケ／（μｍ　）　２
配し、その上に直径６０口の円筒キャンに溢わせて、最
小入射角６４度、　ＮＨ，＋０２＝　８　Ｘ１ｏ　　（
Ｔｏｒｒ）　ＮＨ，：０２＝３　：　１．１３．５６（
ＮＨ２）　、　５００　（Ｗ）　ノブロー雰囲気でＦ８
’ｉｉイオンブレーティングして、Ｘ線回折のピーク強
度の和に対し、鉄が７％、鉄窒素系が６２％酸化鉄系が
３１％の混合薄膜を１８００Ａ形成し、その上にテトラ
メチルシクロジシラザンを２ｏｏ（ＫＨｚ）。

８６０　（Ｗ）のプラズマ重合で１２０人の保護膜とし
、その上に更にパーフルオロステアリン酸５０人を真空
蒸着し、８ミリ幅の磁気テープとした。

実施例−２実施例−１で、ＮＨ５＋０２＝　９　Ｘ　１ｏ−５（Ｔ
ｏｒｒ）。

ＮＨ３：０２＝４：　１．１３．５　ａ　（ＮＨ２）、
　７４０　（Ｗ）のグロー雰囲気でＦｅをイオンブレー
ティングし、鉄６％、鉄窒素系７６％、酸化鉄系２０％
の混合薄膜を１８００人形成した以外は同一の条件でテ
ープを試作した。

実施例−３実施例−１で、ＮＨ，＋０２＝　７　Ｘ　１０−５（Ｔ
ｏｒｒ）。

ＮＨ３：０２＝３　：　２　、　ｎｏ　（ＭＨｚ）　、
　９００　（Ｗ）（７）グロー雰囲気でＦｅをイオンブ
レーティングし、鉄６％、鉄窒素系６６％、酸１ヒ鉄系
３８％の混合薄膜を１８００人形成した以外は同一の条
件でテープ全試作した。

比較例−１実施例−１と同じフィルムにＴｉＯ２微粒子を配し、直
径６０αの円筒キャンに漕わせ、最小入射角４７度、酸
素分圧６　Ｘ　１０　’　（Ｔｏｒｒ）でｃｏ−Ｎｉ（
Ｇｏ：ｓｏｗｔ％）を１８００人電子ビーム蒸着し、そ
の上に実施例−１と同じ保護膜と潤滑剤を配したテープ
を試作した。

比較例−２実施例−１とＮＨ，＋０２＝ｓ　Ｘ　１０−５（Ｔｏｒ
ｒ）　。

ＮＨ３：０２＝５　：　１　、４０（ＭＨｚ）　、　ｓ
　ｓ　ｏ　（Ｗ）の条件以外は同じ条件で、Ｆｅ　３％
、鉄窒素系８０％。

酸化鉄系１ア％の混合薄膜１８００人をもったテープを
試作した。

夫々のテープを改造した８ミリビデオにより、比較した
。Ｃ／Ｈの初期値と種々の環境下でのくり返し使用で出
力が初期比較で２（（ｉＢ）低下するまでの総くり返し
回数を表に示した。

（以　下金　白）発明の効果以上のように本発明によれば、Ｃ／Ｎと耐久性のバラン
スのとれた薄手のテープが得られるといったすぐれた効
果がある。

【図面の簡単な説明】第１図は本定明の磁気記録媒体の実施例の拡大断面図、
第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。６・・・・・・高分子フィルム　６・・・・・・下塗り
層、７・・・・・・鉄窒素系と酸化鉄の混合薄膜、８・
・・・・・保護膜。

Claims

【特許請求の範囲】

強磁性薄膜が鉄窒素系と酸化鉄の混合薄膜であることを
特徴とする磁気記録媒体。