JPH02132626A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を硲気
記録層とする礎気記録媒体に関するものである。

従来の技術 最近の記録技術の進歩により単位面積当りはもとより単
位体積当りの記録密度が著しく向上し、田気記録媒体は
表面が極めて平滑で、高密度化に適した強磁性金属薄膜
を砧気記録層とする蒸着テープなどの実用化が強く望ま
れている。従って最近では摺動界面で起る摩擦，摩耗な
どに対する理解を深めるトライボロジーに関する研究の
重要性が認識され、各方向で開発が進められている〔テ
レヒション学会誌ＶｏＪ．４０　，　Ｎｏ−６，　（１
９８６１　４７２頁〕。

第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。

第２図において、１はポリエチレンテレフタレート，ポ
リイミドなどの高分子フイルムで，必要に応じて、微粒
子化した表面を付与したものなど〔特開昭５９−２０７
４２２号公報，特開昭５９−１２１６３１号公報〕が用
いられる。２はＣ　ｏ−Ｎ　ｉ−０斜の蒸着膜．Ｃｏ−
Ｃｒ　，　Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ　　などの垂直磁化膜など
の礎気記録層で，高分子フイルムｌの表面に設けちれて
いる。３は磁気記録層２を覆う保護層，４は高分子フイ
ルム１の裏面に設けられたバックコート層で、炭素粉末
，炭化カルシウム粉末などの粒子を含んだ樹脂層で、主
として走行性を改善するために保護層３だけで不十分な
場合にはよく設けられている。

従来保護層は特開昭５４−１１３３０３号公報に開示さ
れている脂肪酸金属塩の蒸着膜による耐摩耗性の改善、
特開昭５７−１１６７７１号公報に開示されているイミ
ド基を有する高分子のスパツタ膜、ダイヤモンド状硬質
炭素膜を用いる例Ｃ日本応用磁気学会．第４６回研究会
資料）などで知られている。また，潤滑目的の層として
，蒸着法、湿式塗布法などで脂肪酸．脂肪酸アミドなど
を被着するもの（例えば特公昭５６−３０６０９　　号
公報）は数多く試みられている。しかしながら上記した
例では使用環境条件の拡大，合金系磁気ヘッドに対する
実用性の要求の高度化に対処しきれないことから、組み
合わせによる改善が検討されていて、脂肪酸金属塩の吸
着層上にフルオロカーボン系の潤滑層を設けたもの（特
開昭６１−１２０３３１号公報）、硬質カーボン層の上
に含フッ素潤滑油層を配したもの（特開昭６１−１２６
６２７号公報），Ｓｉ−Ｎ−０系薄膜上に潤滑層を形成
したもの（特開昭６１−１３１２３１号公報）などがあ
げられる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、近年急激に需要が増大しているカメラ一
体型のビデオは小型軽量化が進み、使用されるテープに
かかるストレスが、シリンダの小径化により大きくなる
ことで、繰り返し使用によりドロップアウトが増加した
り，場合によってはヘッド目づまりや、スクラッチの発
生がみちれるといった問題があり改善が望まれていた。

本発明はこのような問題を解決するもので、小型のカメ
ラ一体型ビデオにおいて実用信頼性の優ねた礎気記録媒
体を提供することを目的とするものである。

課題を解決するための手段 この課題を解決するために本発明は，　Ｃｏ系合金強磁
性金属薄膜の表層部が３種以上の金属酸化物の混相から
成るものである。

作用 この構成により、表面が複数の酸化物の混相から成るこ
とで、磁気ヘッドに対し殆んど凝着を起こさなくなり，
凝着粉によりともずり的に部分破壊が進行することがな
いため，強い応力下でも優れた耐久性を持てることにな
る。

実施例 以下、本発明の一実施例について、図面に基づいて説明
する。

第１図において、５はポリエチレンテレフタレート，ポ
リエチレンナフタレート，ポリフエニレンサルファイド
．ポリエーテルエーテルケトン．ポリアミドなどの高分
子フィルムで，微粒子状の凹凸や山脈状の凹凸形成のた
めの下塗り層を配したものを用いてもよい。６は高分子
フイルム５の表面に設けられたＣｏ　，　Ｃｏ−Ｎｉ　
，　Ｃｏ−Ｔｉ　，　Ｃｏ−Ｔａ　，　Ｃｏ−Ｍｏ　，
　Ｃｏ−Ｗ　，　Ｃｏ−Ｃｒ　，　Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ　
，　Ｃｏ−Ｎｉ−０　，　Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ　　などの
強磁性金属薄膜であって，表層部は保護膜として別に配
したものではなくて、強出性金属薄膜を構成する柱状微
粒子の一部となるよう構成されたものであって，かつ３
種以上の酸化物の混相から成るように構成する。複雑な
酸化物の混相を再現よく得るには、表層部がスパッタリ
ング法にて形成されるように電子ビーム蒸着法、イオン
プレーテイング法などと組み合わせるのがよい。

なお、柱状微粒子の内部または嶽粒子の全表面に３種以
との酸化物の混相を配したものは飽和出束密度が低下し
てしまい高密度記課には適さないので、表層部に留める
ことが必要である。７は強磁性金属薄膜６を覆うように
設けられた潤滑層で、パーフルオ口ポリエーテル．脂肪
酸．脂肪酸の金属塩，バーフルオロアルキルセルボン酸
などの中から適宜選択し、真空蒸着法．溶液塗布法など
で配さね、プラズマ重合膜，カーボン膜などを介して配
されてもよい。８は高分子フイルム５の裏面に配された
バツクコート層で、樹脂と微粒子、必要なら潤滑剤を適
宜組み合わせ、０．３〜１μｍの範囲で構成さわるが、
ディスクにおいては不要である。

以下、さらに具体例について比較例と対比して説明する
。

具体例１ 厚みｌＯμｍのポリエチレンテレフタレートフイルム上
に直径１００人のＳｉＯｔ微粒子を１４ケ／（μｍ）２
配し、その上に直径１ｍの円筒キャンに沿わせてｃｏを
最小入射角４６度で１７００人電子ビーム蒸着し、入射
角が４６度から円筒キャンより３ｃｍｌｌｌし、曲率半
径５３ｃｍのターゲットを配し、０２を導入しなからＮ
　ｉ　−Ｔ　ｉの酸化膜をスパッタリング法で形成した
。

この膜はわん曲した柱状微粒子から成９，Ｃｏｏ膜？表
層部以外に存在し，表層部は１６０人の混合酸化膜のあ
る連続体で、その混合酸化膜はＣｏ０二ＮｉＯ：１’ｉ
０■＝　４５　：　３０　：　２５　（ｗｔ％）から成
るものであったロこの膜の上にパーフルオ口オクタン酸
を６ＯＡ蒸着し，バツクコート層として、１０００人の
カーボンとポリエステル樹脂を重量で等量配した０，５
μｍの塗布層を配し，８ミリテープとした。

具体例２ 具体例１のＣｏに代えてＣｏ−Ｎｉ　（　Ｃｏ　：　８
０ｗｔ％）を最小入射角３８度で１８００Ａ電子ビーム
蒸着し、入射角３８度からＴｉ−Ｍｇをターゲットにし
て、０２を導入しながら１　３．５　６　（ＭＨｚ　）
　，　８００　ＶＸｒでスパッタリングして混合酸化膜
厚が１４０人となるよう成膜した。表層酸化層はＣｏｏ
：ＮｉＯ：ＴｉＯ２：ＭｇＯ　”　４０　：　８　：　
３０　：　２２（ｗｔ％）で、他は具体例１と同じ構成
で８ミリテープを試作した。

具体例３ 具体例２のＴ　ｉ−Ｍｇに代えてＴ　ｉ−Ｃ　ａを用い
，表層酸化層（ＩＯＯ人）　　をＣｏｏ　：　ＮｉＯ　
：　Ｔｉｅ■：　ＣａＯ　＝　３５　：　６　：２９　
：　３０　（ｗｔ％）とした以外は具体例２と同じ構成
の８ミリテーブを試作した。

具体例４ 具体例１のＣｏに代えてＣｏ−Ｃｒ　（　Ｃｏ　：　８
６ｗｔ％）を最小入射角６０度で１６０ＯＡ電子ビーム
蒸着し，入射角６０度からＣｏＯ　：　Ｃｒ２０３　：
　Ａｌ１０３　：　Ｂ＠Ｏ　ｗ　３３　：　２２　：　
２０　：３５　（ｗｔ％）の酸化物ターゲットでＡｒを
導入しながら、表層酸化層１６０人形成した以外は具体
例１と同じ構成で８ミリテープを試作した。

比較例ｌ 具体例１と同じフイルムを用い、直径１ｍの円筒キャン
に沿わせてＣｏ−Ｎｉ　（　Ｃｏ　：　８０ｗｔ％）を
最小入射角４３度、酸素分圧６ｘｌＯ　’（Ｔｏｒｒ）
で１８００人電子ビーム蒸着し、パーフルオロオクタン
酸を７０人蒸着し，バツクコートを行ない８ミリテープ
に加圧した。

比較例２ 比較例１でＣ　ｏ−Ｎｉ蒸着の後グラファイトをターゲ
ットにしてスパッタリングを行なってダイヤモンド状硬
質炭素膜を１００人配し、その上にパーフルオロステア
リン酸を７０人配し、バツクコートを行なって８ミリテ
ーブに加工した。

比較例３ 具体例ｌと同じフイルムを用い，第１室でＣｏ−Ｃｒ　
（　Ｃｏ　：　７９ｗｔ％）をターゲットにして”　０
．０　８　（　Ｔｏｒｒ　），　１３．５６　ＣＦＩ４
１｛ｚ），　９００（１’４　　でスパッタリングを行
なってＣ　ｏ−Ｃ　ｒ垂直礎化膜を１８００人形成し、
第２室で　Ｃｏｏ　：Ｃｒ２０３　　：　ｈ　ｌ，０３
　：　　Ｂ　ｅｏ　＝　３３　　：　　２２　二　２０
　：　　３５　（ｗｔ　％）の酸化物をターゲットにし
て、Ａｒ＋０２＝Ｑ，ｌ　（Ｔｏｒｒ）Ａｒ　：ｏ，−
３：１　，　１３．５６　（ＭＨｚ）　，　６００ｐで
スパッタリングを行なって．　Ｃｏｄ，　Ｃｒ２０３，
　Ａｌ２０３，　ＢｅＯ混合酸化物の層を２００人形成
し、その上にパーフルオ口オクタン酸を７０人蒸着し，
バツクコートして８ミリテープとした。

上記した各テープを直径２６．７ｍｍ　　のシリンダを
用いた８ミリビデオによって繰り返し使用した。

初期出力と夫々の環境で１５０回繰り返し使用後の出力
とドロップアウトの変化率を次表にまとめて示した。

雫峙一時→μ 発明の効果 以上のように本発明によれば、表面が複数の酸化物の混
相から成ることで，磁気ヘッドに対し殆んど凝着を起こ
さなくなり，凝着粉によりともすり的に部分破壊が進行
すること−ｂＳなし）ため，強ｔλ応力下でも優れた耐
久性を持てること番こなり、高密度記録再生での信頼性
を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図
、第２図は従来の母気記録媒体の拡大断面図である。 ５・・・高分子フイルム、６・・・強磁性金属薄膜、７
・・・潤滑層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、Ｃｏ系合金強磁性金属薄膜の表層部が３種以上の金
   属酸化物の混相から成る磁気記録媒体。