JPH02132624A

JPH02132624A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH02132624A
Application number: JP28518588A
Authority: JP
Inventors: Koichi Shinohara; 紘一篠原
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-11-11
Filing date: 1988-11-11
Publication date: 1990-05-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は高密度磁気記録に適する強母性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。

従来の技術記録、再生機器の小型化、高性能化のために記録密度向
上の努力は継続的に行なわれておｈ、最近では強母性金
属薄膜を研気記録層として実用化することが待望される
に至っている［　ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳ−ＡＣＴＩＯＮ
Ｓ　ＯＮ　ＭＡＧ匪ＴＩＣＳ　Ｖｏ　１１　，　ＮＡＧ
”−２　１　，　ＮＯ−３　，　Ｐ　．Ｐ　．１２１７
〜１２２０　（１９８５）〕。強磁性金属薄膜は材料と
しての組み合わせは多数考えられるが、現実的な可能性
が示されているものは少く、Ｃ　ｏ−Ｏ　ｒなどの垂直
硼化膜〔特公昭５８−９１号公報．特開昭６１−１２０
３３１号公報〕やＣｏ−Ｎｉ　，　Ｃｏ−Ｎｉ−０　な
どの斜め蒸着膜や湿式めっき膜〔特公昭，ｉｌ−１９３
８９号公報．特開昭５３−４２０１０号公報〕などで、
実用化の目的で最近ではもっぱら、保護潤滑層の開発が
検討の中心となっている。現状ではポリエチレンテレフ
タレートフィルムなどの高分子フイルムとに直接あるい
は微粒子などの下塗りを行なった後、電子ビーム蒸着法
やスパッタリング法で強母性金属薄膜を配し、その面に
直接溶剤に脂肪酸やパーフルオ口ポリエーテルなどの潤
滑剤を溶かした溶液を塗布乾燥する方法〔特開昭５７−
１７９９４８号公報．特開昭６１−１７８７１８号公報
〕や、酸化膜を介して潤滑剤を配する〔特開昭６１−１
５１８３０号公報〕ことや、炭素膜とフロロカーボン系
の組み合わせ〔特開昭６１−１４２５２５号公報〕など
が提案され、礎気ディスクではまだ炭素膜が厚いとはい
うものの一部実用化され、炭素質についても検討が進み
、硬度を高めることの有用性〔米国特許第４７１７６２
２号公報〕も知られるに至っている。

発明が解決しようとする課題しかしながら、炭素質の保護膜上に潤滑剤を配したもの
は耐久性は改善されるが、既存の合金塗布型テープＣ以
下即テープと呼ぶ）と併用したときに野テープのエンベ
ローブ波形がくずれ、Ｓ／Ｎが低下するといった課題が
あり、改善が望まれていた。

本発明はこのような問題を解決するもので、夏テープと
の併用性に優れかつ耐久性も優れた礎気記録媒体を提供
することを目的とするものである。

課題を解決するための手段この課題を解決するために本発明は、粒状突起部を有す
る強母性金属薄膜上に硬質炭素膜を配し、この硬質炭素
膜の突起部に金属イオン注入部を設け、その上に潤滑剤
層を配したものである。

作用この構成により、耐久性をになう最もストレスのかかる
粒状突起部に潤滑剤が強固に結合することになり、潤滑
作用が持続するので、各種の磁気ヘッドとの摺動でもヘ
ッド前面を異常に変形させることがなくなり、柔軟性の
ゐる野テープのエンペロープも良好な形状を保てること
になるのである。

実施例以下、本発明の一実施例について図面に基づいて説明す
る。

図において、１はポリエチレンテレフタレート，ポリエ
チレンナフタレート，ポリフエニレンサルファイド，ポ
リエーテルサルフオン，ポリエーテルエーテルケトン，
ポリアミド，ポリイミドなどの高分子フイルム２はＡｌ
２０３，　ＣａＣＯ３，　ＺｎＯ，　ＭｎＯ２，カーホ
ンナどの無機微粒子またはポリエチレン．ポリエステル
，ポリイミド．ポリカーボネートなどの有機微粒子を配
するか、微粒子とｔＥズ状凹凸を組み合わせてなる微粒
子塗布層で、高分子フイ゛ルム１上に設けられている。

３は微粒子塗布層２上に設けられたＣｏ，　Ｃｏ−Ｎｉ
　，　Ｃｏ−Ｔｉ　，　Ｃｏ−Ｖ／　，　Ｃｏ一Ｓｎ　
，　Ｃｏ−Ｃｒ　，　Ｃｏ−０　，　Ｃｏ−Ｐ　，　Ｃ
ｏ−Ｎｄ　，　Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ　，　Ｃｏ−Ｃ　ｒ−
Ｎｂ　，　Ｃ　ｏ−Ｎｉ−０　　などの強母性金属薄膜
で、電子ビーム蒸着法，イオンプレーティング法，スパ
ッタリング法などで形成される。４は強出性金属薄膜３
上に設けられた硬質炭素膜で、ダイヤモンド状，ダイヤ
モンド状とグラファイト状の混合体，ダイヤモンド薄膜
の何れかで、スパッタリング法，イオンビームデポジシ
ョン法，プラズマＣＶＤ法など公知の何れの方法で形成
してもよい。５は硬質炭素膜４上のイオン注入部であっ
て、Ｔｉ，Ｎｉ，　Ｓｉ，ｋｌ，Ｎｏなどの金属イオン
を注入することで得られる。そのとき粒状突起部に注入
するために角度調整し、基板に斜めに（平行に近い条件
で）イオン照射を行なうことで実施した場合突起部以外
にも少し注入層がはみ出るが、特性土は差し支えない。

金属イオンを全面に注入したものは炭素膜の優れた保護
効果が湿度の低い環境で低下するので好ましくない。６
は脂肪酸．脂肪酸の金属塩．脂肪酸エステル，高級アル
コール，パーフルオロカルボン酸などを用いてなる潤滑
剤層で、イオン注入部５と強固に結合する材料を少くと
も一成分とじて含むのが好ましい。本発明実施例の硼気
記録媒体はテープ状，ディスク状何れでもよいが、テー
プ状の場合は必要に応じてバックコート層を配し、ディ
スク状であれば上記した構成を画面に配してもよい。

以下、さらに具体例について比較例と対比して説明する
。

具体例１厚み９μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に
直径１５０人のｓｉｏ，９粒子ヲ１　００’ｙ／　Ｃ　
μｍ　）’　配し、直径１ｍの円筒キ１ヤンに沿わせて
最小入射角４０度、酸素分圧６Ｘ１０−’（Ｔｏｒｒ）
でＣｏ−Ｎｉ　（　Ｃｏ　：　８０ｗｔ％）を１８００
人電子ビーム蒸着し、その上にグラファイトをターゲッ
トにしてＡ’　＋Ｈ！−　０．０　９　（Ｔｏｒ　ｒ　
）Ａｒ：Ｈ２−１：３、１３．５　６　（ＭＨｚ　）、
ＨＫＷ）　（７１１件テｉＥ波スパッタリングしてダイ
ヤモンド状硬質炭素膜を８０人形成し、基板に対し入射
角８２〜８５度でチタンイオンを１６ｋｅｙ　，　４ｘ
ｌＯ　”　ｉｏｎｓ／ａｍＪ　　で照射したものをＡと
し、Ｎｉイオンを１５ｋａｖ，　５ｘｌＯ”　ｔｏｎｓ
／ａｍ”で照射したものをＢとし、Ａの上にステアリン
酸のＴｉ［とステアリルステアレートをｌ：１で混合し
た潤滑剤を２６ｍｆ／ｍ’配し、Ｂの上にステアリン酸
．ステアリン酸のＮｉ塩，ステアリン酸アミドを］：１
：１　　で混合した潤滑剤を１　３ｍｆＩ／ｍ’配し、
夫々カーボンとポリエステル樹脂を重量で同量混合した
バツクコート層を０．４５μｍ配し、２種類の８ミリテ
ーブを試作した。

具体例２厚み８μｍのポリエチレンナフタレートフイルム上に直
径９０人のＩｎ，０３　微粒子を１２０ケ／（ｔｔｍ）
’配し、酊径５Ｑｏｍの円筒キャン（専ヤン表面９０℃
）に沿わせて、Ｃｏ−Ｃｒ　（　Ｃｏ　：　７８．８ｗ
　ｔ％）をターゲットにしてＡｒ：６：ｘｌｏ−”（Ｔ
ｏｒｒ），　　１３．５６（ＭＨｚ），　１．６（ＫＷ
）で高周波スパッタリングを行なってＣ　ｏ−Ｃ　ｒ垂
直磁化膜を１８００人形成し、メタンガスを０．１　（
Ｔｏｒｒ　），　４０（ＭＨｚ　）．　　５６０　＠で
プラズマ分解し、８００ｖ加速によりダイヤモンド状硬
質炭素膜を１００人形成し、その上で基板に対し入射角
７９〜８３度でＣｒイオンを１８ｋｅｖ　５ｘｌｏ”　
ｉｏｎａ／ａｍ！で照射したものを人、１４ｋｅｙ，　
３ｘｌＱ’　ｉｏｎｓ／ｃｍ”　　で８１イオンを照射
したものをＢとし、Ａの上にパーフルオ口オクタン酸と
パーフルオロオクタン酸のＣｒ塩を３：ｌで混合した潤
滑剤を９ｍｇ／ｍ’配し、Ｂの上にバーフルオロステア
リン酸とパーフルオロポリエーテル（モンテフルオス社
製のフオンブリンＺ−２５）を１：２で混合した潤滑剤
を］　Ｏｍ’！／ｒＤ１配し、夫々具体例１と同じバツ
クコート層を配し、２種類の８ミリテープを試作した。

比較例１具体例１におけるイオン注入を行なわず、他は具体例１
と同じ構成の８ミリテーブを準備した。

比較例２具体例２におけるイオン注入を行なわず、他は具体例２
と同じ構成の８ミリテーブを準備した。

上記した各テープを８ミリビデオ（シリンダ直径２６．
７ｍｍ　，ヘッドギャップ長０．２６μｍ　　１に用い
、市販の１２０分長の野テープとの併用テストを行なっ
た結果を次表に示した。なお、ヘッドをクリーニングテ
ーブにより初期化して、Ｓ／Ｎを測定した後、具体例，
比較例の各テープを４０℃８３％ＲＨで５００時間走行
させた後Ｓ／Ｎを測定した。表中の薄膜は１記具体例、
比較例のテープ、野は市販の野テープを示す。

表走行後スチルは出力が３（ｄＢ）低下するまでの時間で
示しｔこ。

と記表からも走行後Ｓ／Ｈの値は薄膜テープと野テープ
との差が比較例よりも具体例の方が小さく、合金系のヘ
ッドを野テープと併用しても狸テーブの特性低下をきた
すことがなく、かつ耐久性の向上を図ることができる。

発明の効果以上のように本発明によれば、粒状突起部を有する強母
性金属薄膜上に硬質炭素膜を配し、この硬質炭素膜の突
起部に金属イオン注入部を設け、その上に潤滑剤層を配
したことにより、耐久性をになう最もストレスのかかる
粒状突起部に潤滑剤が強固に結合することになり、潤滑
作用が持続するので、各種の磁気ヘッドとの摺動でもヘ
ッド前面を異常に変形させることがなくなり、柔軟性の
ある狸テーブのエンベロープも良好な形状を保てること
になるのである。その結果、野テープとの併用性に優れ
、かつ耐久性にも優れた研気記録媒体を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図で
ある。１・・・高分子フイルム、２・・・微粒子塗布層、３・
・・強磁性金Ｒ薄膜、４・・・硬質炭素膜、５・・・イ
オン注入部、６・・・潤滑剤層。

Claims

【特許請求の範囲】

１、粒状突起部を有する強磁性金属薄膜上に硬質炭素膜
を配し、この硬質炭素膜の突起部に金属イオン注入部を
設け、その上に潤滑剤層を配した磁気記録媒体。