JPH03144912A - 薄膜磁気記録媒体 - Google Patents
薄膜磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH03144912A JPH03144912A JP28324389A JP28324389A JPH03144912A JP H03144912 A JPH03144912 A JP H03144912A JP 28324389 A JP28324389 A JP 28324389A JP 28324389 A JP28324389 A JP 28324389A JP H03144912 A JPH03144912 A JP H03144912A
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- Japan
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- fine particles
- diameter
- substrate
- magnetic layer
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- Granted
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は機械的耐久性に優れた薄膜磁気記録媒体に関す
るものである。
るものである。
従来の技術
情報化社会の進展に伴い情報記録担体の大容量化・高密
度化が進められている。磁気記録の分野においても高密
度記録を目指した研究開発が盛んであり、これに応える
新しい記録方式として薄膜型磁気記録媒体が盛んに研究
されている。一方薄膜型磁気記録媒体においては高密度
記録の実現と実用耐久性の両立がきわめて重要な課題で
ある。
度化が進められている。磁気記録の分野においても高密
度記録を目指した研究開発が盛んであり、これに応える
新しい記録方式として薄膜型磁気記録媒体が盛んに研究
されている。一方薄膜型磁気記録媒体においては高密度
記録の実現と実用耐久性の両立がきわめて重要な課題で
ある。
即ち、ヘッドと媒体間のスペーシングの低減と耐久性確
保という相反する課題を解決する必要がある。ｉ！１膜
磁気記録媒体における耐久性を向上するためには一般に
媒体表面に微細な形状を設けることが有効であるといわ
れている。また、こうした微細形状を設けるには基板上
に予め微粒子を分散させておき、その後に薄膜磁性層を
形成することによって磁性層表面に微粒子形状を保存す
ることが有効であるとされている。
保という相反する課題を解決する必要がある。ｉ！１膜
磁気記録媒体における耐久性を向上するためには一般に
媒体表面に微細な形状を設けることが有効であるといわ
れている。また、こうした微細形状を設けるには基板上
に予め微粒子を分散させておき、その後に薄膜磁性層を
形成することによって磁性層表面に微粒子形状を保存す
ることが有効であるとされている。
発明が解決しようとする課題
高密度磁気記録の実現と実用耐久性の確保を両立させる
ためには基板表面に分散させる微粒子の大きさができる
だけ小さい方がよい、しかしながら耐久性向上に必要な
微粒子径については十分明らかではなかった。
ためには基板表面に分散させる微粒子の大きさができる
だけ小さい方がよい、しかしながら耐久性向上に必要な
微粒子径については十分明らかではなかった。
課題を解決するための手段
本発明は高分子基板上に微粒子が分散され、その上に直
接あるいは下地層を介して薄膜磁性層が形状されて成る
磁気記録媒体であって、前記磁性層が柱状構造を有し、
かつ前記微粒子の直径が、前記柱状構造を形成するコラ
ム（柱）の磁性層表面における直径の１／４〜１倍とす
ることによって構成される。
接あるいは下地層を介して薄膜磁性層が形状されて成る
磁気記録媒体であって、前記磁性層が柱状構造を有し、
かつ前記微粒子の直径が、前記柱状構造を形成するコラ
ム（柱）の磁性層表面における直径の１／４〜１倍とす
ることによって構成される。
作用
微粒子の存在によって媒体表面には比較的急峻な微小突
起形状が形成される。一方柱状構造を有する薄膜磁性層
においては磁性層表面にそれぞれのコラムが磁性層表面
近傍でのコラム直径に対応した曲率を持って終端してい
る。また、磁性層表面でのコラム直径はかなりそろって
いるがそれぞれのコラムの高さにはコラム径の１／４程
度のばらつきがある。従って、基板上に分散された微粒
子の粒径が柱状構造を形成するコラムの直径の１／４よ
りも小さいと、微粒子の存在に依って形成された微小突
起はコラムの先端形状に隠れてしまい、結果として媒体
とヘッドの真実接触面積を小さくする効果がほとんどな
い。従って基板上に予め分散させておく微粒子の直径を
磁性層表面のコラム直径の１／４以上とすることによっ
て耐久性の大幅な向上を得ることが出来る。
起形状が形成される。一方柱状構造を有する薄膜磁性層
においては磁性層表面にそれぞれのコラムが磁性層表面
近傍でのコラム直径に対応した曲率を持って終端してい
る。また、磁性層表面でのコラム直径はかなりそろって
いるがそれぞれのコラムの高さにはコラム径の１／４程
度のばらつきがある。従って、基板上に分散された微粒
子の粒径が柱状構造を形成するコラムの直径の１／４よ
りも小さいと、微粒子の存在に依って形成された微小突
起はコラムの先端形状に隠れてしまい、結果として媒体
とヘッドの真実接触面積を小さくする効果がほとんどな
い。従って基板上に予め分散させておく微粒子の直径を
磁性層表面のコラム直径の１／４以上とすることによっ
て耐久性の大幅な向上を得ることが出来る。
実施例
以下に、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説明
する。
する。
第１図は微粒子の粒径とスチル耐久時間の関係を示す図
である。厚さ１０μｍのポリイミドｉｔ上に膜厚２５Ｏ
ｎ、ｍのＣｏＣｒ垂直磁気異方性膜またはＣｏＮｉＣｒ
垂直磁気異方性膜を蒸着したのちテープ状に裁断したテ
ープを用い、回転シリンダ上に搭載したＭｎＺｎフ玉ラ
イトライトヘッドて記録再生した時に記録波長０．５μ
ｍの再生出力が３ｄＢ低下する時間でスチル耐久時間を
定義した。
である。厚さ１０μｍのポリイミドｉｔ上に膜厚２５Ｏ
ｎ、ｍのＣｏＣｒ垂直磁気異方性膜またはＣｏＮｉＣｒ
垂直磁気異方性膜を蒸着したのちテープ状に裁断したテ
ープを用い、回転シリンダ上に搭載したＭｎＺｎフ玉ラ
イトライトヘッドて記録再生した時に記録波長０．５μ
ｍの再生出力が３ｄＢ低下する時間でスチル耐久時間を
定義した。
測定にあたっては媒体表面に含弗素液体潤滑剤の塗布を
行った。蒸着時の基板温度の変化と併せて蒸発原子を強
制的にイオン化させて加速して成膜することによりコラ
ム径を変化させた。柱状構造の確認及びコラム径の測定
は電子顕微鏡を用いて行なった。なお、高分子Ｉ＆抜板
上微粒子の密度は１ｕｒｒｆ当り４０個である。高分子
基板上への微粒子の分散は微粒子を有機溶剤中に分散さ
せたものを高分子基板に塗布・乾燥することによって行
なった。また、第２図は第１図と同じ媒体を用いたとき
の微粒子のね径と記録波長０．５μｍでの再生出力の関
係を、それぞれの媒体に於て微粒子のない場合を基準に
して示した図である。第１図かられかるように微粒子の
粒径がコラムの直径の１／４以上となるとスチル耐久性
は大幅に向上する。−方再生出力は微粒子の粒径の増加
にともなって、急激に低下し、コラム直径以上では耐久
性向上の程度が小さい割に出力低下が大きく、高密度の
磁気記録媒体としては不適当である。又、蒸発源の直上
での上記入射角（基板法線と入射蒸気のなす角）が略Ｏ
度（略垂直入射）となる位置関係で、連続蒸着法によっ
てＣｏＣｒ膜を構成した場合には、蒸着初期における蒸
気流の入射角が＋６０度以下であれば蒸着終期での蒸気
流の入射角が＋２０度（即ち垂直入射成分を含まない構
成）であっても膜の充填率は９０％以上となった。これ
に対して蒸着初期における蒸気流の入射角が＋９０度で
あると蒸着終期での蒸気流の入射角を＋２０度としたと
きの膜の充填率は８０％に低下する。このことから両者
の間には蒸着初期（基板と膜の界面側）における膜の充
填率にはかなりの差があることが推測される。電子顕微
鏡によって上述のふたつの膜の断面を観察した結果、初
期入射角が６０度の膜について基板との界面にほとんど
空隙が認められなかった。これに対して初期入射角が９
０度の膜については基板との界面に空隙の多いことが実
際に観測された。そこで基板に接した、蒸気入射角が高
く、空隙を形成する部分（以下この部分を高入射角部分
と呼ぶ）の膜厚を、入射角を変えることによって変えて
微粒子塗布の効果を調べた。その結果、高入射角部分の
膜厚が微粒子粒径よりも大きな場合には微粒子粒径がコ
ラム径の１／４〜１／２での耐久性の向上は高入射角部
分の小さな場合に比べてやや小さいことが分かった。こ
れは高入射角部分が大きな場合にはコラムの成長過程で
微粒子の形状が緩和されてしまうためではないかと思わ
れる。従ってコラム径の１／４倍の微粒子径においても
耐久性の顕著な向上を有する本発明の実施には、高入射
角部分の膜厚が微粒子径よりも小さな事が望ましい。な
お、ポリイミド以外の高分子基板、およびＡ芝土にＮｉ
Ｐをメツキしたものを用いた場合、また、ＣｏＣｒ系の
垂直磁気異方性膜以外の柱状構造磁性層を用いた場合に
も本発明に述べた構成を採用することによって耐久性の
向上が確認された。
行った。蒸着時の基板温度の変化と併せて蒸発原子を強
制的にイオン化させて加速して成膜することによりコラ
ム径を変化させた。柱状構造の確認及びコラム径の測定
は電子顕微鏡を用いて行なった。なお、高分子Ｉ＆抜板
上微粒子の密度は１ｕｒｒｆ当り４０個である。高分子
基板上への微粒子の分散は微粒子を有機溶剤中に分散さ
せたものを高分子基板に塗布・乾燥することによって行
なった。また、第２図は第１図と同じ媒体を用いたとき
の微粒子のね径と記録波長０．５μｍでの再生出力の関
係を、それぞれの媒体に於て微粒子のない場合を基準に
して示した図である。第１図かられかるように微粒子の
粒径がコラムの直径の１／４以上となるとスチル耐久性
は大幅に向上する。−方再生出力は微粒子の粒径の増加
にともなって、急激に低下し、コラム直径以上では耐久
性向上の程度が小さい割に出力低下が大きく、高密度の
磁気記録媒体としては不適当である。又、蒸発源の直上
での上記入射角（基板法線と入射蒸気のなす角）が略Ｏ
度（略垂直入射）となる位置関係で、連続蒸着法によっ
てＣｏＣｒ膜を構成した場合には、蒸着初期における蒸
気流の入射角が＋６０度以下であれば蒸着終期での蒸気
流の入射角が＋２０度（即ち垂直入射成分を含まない構
成）であっても膜の充填率は９０％以上となった。これ
に対して蒸着初期における蒸気流の入射角が＋９０度で
あると蒸着終期での蒸気流の入射角を＋２０度としたと
きの膜の充填率は８０％に低下する。このことから両者
の間には蒸着初期（基板と膜の界面側）における膜の充
填率にはかなりの差があることが推測される。電子顕微
鏡によって上述のふたつの膜の断面を観察した結果、初
期入射角が６０度の膜について基板との界面にほとんど
空隙が認められなかった。これに対して初期入射角が９
０度の膜については基板との界面に空隙の多いことが実
際に観測された。そこで基板に接した、蒸気入射角が高
く、空隙を形成する部分（以下この部分を高入射角部分
と呼ぶ）の膜厚を、入射角を変えることによって変えて
微粒子塗布の効果を調べた。その結果、高入射角部分の
膜厚が微粒子粒径よりも大きな場合には微粒子粒径がコ
ラム径の１／４〜１／２での耐久性の向上は高入射角部
分の小さな場合に比べてやや小さいことが分かった。こ
れは高入射角部分が大きな場合にはコラムの成長過程で
微粒子の形状が緩和されてしまうためではないかと思わ
れる。従ってコラム径の１／４倍の微粒子径においても
耐久性の顕著な向上を有する本発明の実施には、高入射
角部分の膜厚が微粒子径よりも小さな事が望ましい。な
お、ポリイミド以外の高分子基板、およびＡ芝土にＮｉ
Ｐをメツキしたものを用いた場合、また、ＣｏＣｒ系の
垂直磁気異方性膜以外の柱状構造磁性層を用いた場合に
も本発明に述べた構成を採用することによって耐久性の
向上が確認された。
発明の効果
以上の様に本発明によれば、機械的耐久性に優れた磁気
記録媒体を実現することが出来る。
記録媒体を実現することが出来る。
第１図は微粒子の粒径とスチル耐久時間の関係を示すグ
ラフ、第２図は微粒子の粒径と再生出力の関係を示すグ
ラフである。
ラフ、第２図は微粒子の粒径と再生出力の関係を示すグ
ラフである。
Claims (4)
- （１）基板上に微粒子が分散され、その上に直接あるい
は下地層を介して薄膜磁性層が形成されて成る磁気記録
媒体であって、前記磁性層が柱状構造を有し、かつ前記
微粒子の直径が、前記柱状構造を形成するコラムの磁性
層表面における直径の１／４〜１倍とすることを特徴と
する薄膜磁気記録媒体。 - （２）基板として可とう性高分子基板を用いることを特
徴とする請求項（１）記載の薄膜磁気記録媒体。 - （３）磁性層表面に保護層あるいは／および潤滑剤が配
されていることを特徴とする請求項（１）または（２）
のいずれかに記載の薄膜磁気記録媒体。 - （４）磁性層がＣｏとＣｒあるいはＣｏとＣｒとＮｉを
主成分として含むことを特徴とする請求項（１）、（２
）または（３）のいずれかに記載の薄膜磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1283243A JP2808738B2 (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 薄膜磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1283243A JP2808738B2 (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 薄膜磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03144912A true JPH03144912A (ja) | 1991-06-20 |
| JP2808738B2 JP2808738B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=17662944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1283243A Expired - Lifetime JP2808738B2 (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 薄膜磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808738B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6446220A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
-
1989
- 1989-10-30 JP JP1283243A patent/JP2808738B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6446220A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2808738B2 (ja) | 1998-10-08 |
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Legal Events
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