JPS62241122A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体に関する
。

従来の技術 近年、磁気記録の高密度化の進歩は著しく、斜め蒸着膜
とリングヘッドの組み合わせで４×１♂ビツト／（イン
チ）２の記録密度が十分可能なことが実験的に予測され
るに至り、更に高密度化の達成には、膜面に垂直方向に
磁化可能ないわゆる垂直磁気記録媒体と高能率の磁気ヘ
ッドの組み合わせの系が期待されている。〔例えば外国
論文誌、アイ・イー・イー・イー磁気学会報（ＩＥＥＥ
ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ　　ＯＮ　　ＭＡＧＮＥＴＩ
Ｃ３）ｖｏｌ。

ＭＡＧ−２１、ＤＴＯ−３、ｐｐ１２１７〜１２２０　
’理想的な垂直磁気記録は、基板上にパーマロイ等の軟
磁性薄膜とＣｏ−Ｃｒ等の垂直磁化膜を配した二層媒体
と、強い垂直磁界を発生させる単磁極ヘッドとの組み合
わせであるとされるが、実験室的規模から工業的規模に
移すには、数多くの改良課題が残されている０ 実用化への最短距離は、リング型ヘッドと組み合わせて
、高性能な垂直磁気記録再生の可能な磁気記録媒体を量
産可能なレベルで構成することである。

現状、製造技術的には、スパッタリング技術と、電子ビ
ーム蒸看技術の両者が検討されているが、それぞれ、長
所、短所が相反しており、それぞれの欠点の改良が続け
られている０ 従って媒体構成としては、下地層としてＴｉ。

Ｇｏ等の薄膜上にＣｏ　−Ｃｒ膜を配したもの等が提案
されている。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記した構成の媒体では、高分子フィル
ム上に直接Ｃｏ−Ｃｒ膜を形成したものにくらべて、特
性向上がみられるものの、リング型磁気ヘッドでの高密
度磁気記録再生を実用化するには十分とは言えない。

本発明は上記した問題に鑑みなされたもので、リング型
磁気ヘッドによる記録再生に於て、優れた短波長記録特
性を与えることの出来る磁気記録媒体を提供するもので
ある。

問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するために、本発明の磁気記録媒
体は、高分子フィルム上にダイアモンド状硬質炭素薄膜
を配し、その上に強磁性金属薄膜から成る垂直磁気記録
層を配した構成のものである。

作　　用 本発明の磁気記録媒体は、垂直磁気記録層の結晶配向性
が極めて良好で、且つ、微視的にみても均一となるため
に、リングヘッドの垂直磁界が若干弱くても、十分磁化
されるので、短波長記録特性が改良されるものである。

結晶配向性がダイアモンド状硬質炭素薄膜により改良さ
れる理由については、必ずしも明白ではないが、ひとつ
の技術推定として言えることは、この薄膜が、結晶配向
を阻害する酸素や水をはじく性質をもつために、垂直磁
気記録層を真空中で形成する時に、結晶性を乱す影響を
与えていたこれらのガスの作用をなくすことができてい
るためと考えられることである０ 実施例 以下、本発明の磁気記録媒体の実施例について図面を参
照しながら説明する。

図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図である。

図で１は厚みが１０．５／Ｉｍ　のポリエチレンテレフ
タレートフィルムからなる高分子フィルムで、表面は極
めて平滑で、触針式の粗さ計で調べた最大高さと最小高
さの差は約１０ＯＡのものを用いた。

２は、ダイアモンド状硬質炭素薄膜で、膜厚は５００人
とし、１３．５６ＭＨｚで励起された水素ガスプラズマ
によるグラファイトターゲットのスパッタにより形成し
た。形成時の基板であるポリエチレンテレフタレートフ
ィルムの温度１１１９６度Ｃとした。

この膜がダイアモンド的であることにつ腔ては炭素−炭
素の振動を調べるラマン分光法で確かめると共に補助的
に硬度、電気抵抗、誘電率、光学的特性、耐薬品性など
が、バルクのダイアモンドの値に近いものであることで
も確認した。

３は、高周波スパッタリング法（使用高周波１３．５６
ＭＨ２）　　で形成したＧｏ−Ｃｒ　（Ｃｒ：２０ｗｔ
％）の垂直磁化膜で、膜厚は０．１４μｍ、垂直抗磁力
はｅ７ｏ（Ｏｅ）、結晶配向性の目安とみなせる（００
１）面のＸ線回折のロッキング曲線より調べた半値幅Δ
θ６゜は１．４度であった。

４はパーフロロオクタン酸の厚み約６５人の真空蒸着膜
からなる保護膜である。

本発明の磁気記録媒体の短波長記録再生特性について、
従来例と比較した。

なお、従来例は同一ポリエチレンテレフタレートフィル
ムを用いて、高周波スパッタ法で、ゲルマニウム薄膜を
膜厚４００人形成し、その上に、Ｃｏ　−Ｃｒ薄膜を０
．１４．Ａｍ形成した上に同じ保護膜を形成したものを
用いた。勿論磁気特性は同一としたが、結晶配向性の目
安、Δθ５゜は３．０度であった０ 本発明品と従来例の両者について、ギャップ長０．２）
ｔｍ　　のセンダストリング型ヘッドを用いて、０．４
Ｊｍと０．３μｍの記録波長を記録し、再生し、信号対
雑音比（Ｓ／Ｎ比）を相対比較した。トラック幅は１０
μｍとした。

本発明品は０．４声でＳ／Ｎが５（ｄＢ）上まわり、０
．３μｍ　で７　（ｄＢ）上廻る良好な特性を示した。

尚本発明の磁気記録媒体は、短波長記録再生特性は勿論
のこと、保存特性についても従来例に比べて良好な点が
注目される。即ち、６５℃９０％ＲＨの環境に、１ケ月
保存する前後の磁気特性の変化を振動試料型磁束計で調
査したところ、従来例は飽和磁束密度が２７％減少した
のに対して、本発明品は変化が測定誤差（±１％）内で
あった。

この差も恐らく、ダイアモンド状硬質炭素薄膜が水分を
はじく性質の証明といえるものであろう０尚本発明の実
施例では、高分子フィルムをポリエチレンテレフタレー
トフィルムとしたが、他にポリアミド、ポリイミド、ポ
リスルフォン、ポリフェニレンサルファイド等のフィル
ムであってもよい０ ダイアモンド状硬質炭素薄膜は、イオンビーム法、ＣＨ
４，Ｃ２Ｈ６等の炭化水素とＨ２の混合気体をプラズマ
放電分解させる方法等の製法で出来るものであってもよ
く、膜厚は１００人〜１０００人であれば、上記した効
果を十分得ることができるＯ 垂直磁気記録層は、電子ビーム蒸着法、イオンブレーテ
ィング法で形成したＣｏ−Ｃｒ膜、高周波スパッタ法等
で形成されたＣｏ　−Ｍｏ　、Ｃｏ−Ｗ、Ｃｏ　−Ｃｒ
−Ｎｌ）、Ｃｏ−○等でもよい。

保護層は、脂肪酸、脂肪酸エステル、フッ素化合物等の
単独又はプラズマ重合膜、無機薄膜との複合等でもよい
。

発明の効果 以上のように本発明によれば、短波長記録再生特性の優
れた磁気記録媒体を得ることができるといったすぐれた
効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面図
である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・ダイア
モンド状硬質炭素薄膜、３・・・・・・垂直磁化膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子フィルム上にダイアモンド状硬質炭素薄膜を配し
   、その上に強磁性金属薄膜から成る垂直磁気記録層を配
   して成る磁気記録媒体。