JP7420465B2 - 長尺基板のしわ発生防止ロールを備えた連続成膜装置及びしわ発生防止方法 - Google Patents
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Description
2 金属層
3 下地金属層
4 銅薄膜層
5 銅層
6 金属薄膜層
10 真空成膜装置
12 真空チャンバー
13 巻出ロール
14 キャンロール
15a~d スパッタリングカソード
16a 前フィードロール
16b 後フィードロール
17a、17b テンションロール
18 巻取ロール
19 しわ発生防止ロール
20 ニアロール
F 長尺基板
H 各段差の高さ
L 段差間の距離
Claims (4)
- 真空チャンバー内において巻出ロールから巻取ロールまでロールツーロール方式で長尺基板を搬送する搬送機構と、該長尺基板の表面に連続的に成膜処理する成膜機構とを備えた連続成膜装置であって、
前記巻取ロールは、そこに巻き取られる長尺基板を該巻取ロール側に押し付けるように移動自在に設けられたニアロールを有しており、該長尺基板に関して該ニアロールが接する成膜面側とは反対側の非成膜面側であって且つ該巻取ロールの直ぐ上流側にしわ発生防止ロールが設けられており、
前記しわ発生防止ロールは、回転軸方向両端部の外径が回転軸方向中央部の外径より180μm以上600μm未満太くなるように前記長尺基板の幅方向両端部の巻き付く箇所が各々3段以上の均等な高さの段差により拡径しており、前記3段以上の段差は、各々が前記回転軸方向に対して垂直に拡径しており、且つ前記回転軸方向の段差間の距離が3~10mmの範囲内で均等であることを特徴とする連続成膜装置。 - 前記成膜機構がスパッタリングカソードであることを特徴とする、請求項1に記載の連続成膜装置。
- 真空チャンバー内において巻出ロールから巻取ロールまでロールツーロール方式で長尺基板を搬送する搬送機構と、該長尺基板の表面に連続的に成膜処理する成膜機構とを備えた連続成膜装置において、該長尺基板の該巻取ロールでの巻き取り時のしわ発生防止方法であって、
前記巻取ロールは、そこに巻き取られる長尺基板を該巻取ロール側に押し付けるように移動自在に設けられたニアロールを有しており、該長尺基板に関して該ニアロールが接する成膜面側とは反対側の非成膜面側であって且つ該巻取ロールの直ぐ上流側にしわ発生防止ロールが設けられており、
前記巻取ロールで巻き取る直前に、回転軸方向中央部の外径よりも回転軸方向両端部の外径が180μm以上600μm未満太くなるように前記長尺基板の幅方向両端部の巻き付く箇所が各々3段以上の均等な高さの段差により拡径しており、前記3段以上の段差は、各々が前記回転軸方向に対して垂直に拡径しており、且つ前記回転軸方向の段差間の距離が3~10mmの範囲内で均等であるしわ発生防止ロールに長尺基板を経由させることを特徴とする長尺基板のしわ発生防止方法。 - 前記長尺基板の厚みが25μm以下であることを特徴とする、請求項3に記載の長尺基板のしわ発生防止方法。
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