JP5803796B2 - 長尺樹脂フィルムの処理方法 - Google Patents
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Description
長尺樹脂フィルムFには、市販のポリイミドフィルム(ユーピレックス(登録商標)35SGA宇部興産製)で長さ1500m、幅50cmのものを用いた。この長尺樹脂フィルムFの処理装置には、図2に示すようなロールツーロール方式の真空成膜装置10を使用した。スパッタリングカソード15aにはニッケル−クロムからなる合金ターゲットを下地金属層用として配置し、スパッタリングカソード15b〜dには銅ターゲットを一次金属層用として配置した。また、前フィードロール16aには、外周面部が硬度80°のゴムで形成された駆動ロールを使用した。
外周面部が硬度55°のゴムで形成された前フィードロール16aを用いた以外は実施例1と同様にして金属薄膜付長尺樹脂フィルムSを製造した。得られた金属薄膜付長尺樹脂フィルムSの表面を20倍の実体顕微鏡でフィルムの長手方向の両末端及びセンター位置の3視野を観察したところ微小なキズが発生していなかった。
比較のため、外周面が金属材料で構成される前フィードロール16aを使用した以外は実施例1と同様にして金属薄膜付長尺樹脂フィルムSを製造した。得られた金属薄膜付長尺樹脂フィルムSの表面を20倍の実体顕微鏡でフィルムの長手方向の両末端及びセンター位置の3視野を観察したところ、図5のように表面に微小なキズが多数発生していた。
12 筐体
13 巻出しロール
14 キャンロール
15a〜d スパッタリングカソード
16a 前フィードロール
16b 後フィードロール
17a、17b テンションロール
18 巻取りロール
21 ニップロール
F 長尺樹脂フィルム
S 金属薄膜付長尺樹脂フィルム
Claims (7)
- 減圧雰囲気の下、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムの一方の面を温度調節されたキャンロールの外周面に巻き付けながら他方の面に熱負荷のかかる処理を施す長尺樹脂フィルムの処理方法であって、
表面硬度50°〜90°のゴムからなるグリップ手段によって長尺樹脂フィルムをグリップすることが可能な外周面を有し、且つ駆動手段により前記キャンロールの周速度の99〜100%の周速度で回転する前フィードロールを介して長尺樹脂フィルムを前記キャンロールに送り込むことを特徴とする長尺樹脂フィルムの処理方法。 - 表面硬度50°〜90°のゴムからなるグリップ手段によって長尺樹脂フィルムをグリップすることが可能な外周面を有し、且つ駆動手段により前記キャンロールの周速度の100〜101%の周速度で回転する後フィードロールで前記キャンロールから送り出される長尺樹脂フィルムを搬送することを特徴とする、請求項1に記載の長尺樹脂フィルムの処理方法。
- 前記グリップ手段が、前記駆動ロールの外周面部を形成する前記ゴムであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺樹脂フィルムの処理方法。
- 前記グリップ手段が、前記ゴムで形成された外周面部を有し、前記駆動ロールとの間で長尺樹脂フィルムを挟み込むニップロールであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺樹脂フィルムの処理方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の熱負荷のかかる処理が乾式めっき処理であることを特徴とする長尺樹脂フィルムの成膜方法。
- 前記乾式めっき処理が、スパッタリングカソードによるめっき処理であることを特徴とする、請求項5に記載の長尺樹脂フィルムの成膜方法。
- 請求項6に記載の成膜方法で、長尺樹脂フィルムの表面に接着剤を介さずに金属薄膜を成膜することを特徴とする金属化樹脂フィルムの製造方法。
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