JP6922164B2

JP6922164B2 - 長尺樹脂フィルムの巻取方法及び巻取装置

Info

Publication number: JP6922164B2
Application number: JP2016131252A
Authority: JP
Inventors: 直広高取
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 2016-07-01
Filing date: 2016-07-01
Publication date: 2021-08-18
Anticipated expiration: 2036-07-01
Also published as: JP2018002386A

Description

本発明は、減圧雰囲気下において長尺樹脂フィルムをロール・ツー・ロールで搬送しながら熱負荷のかかる処理を施す処理装置において、該処理後の長尺樹脂フィルムを巻き取る巻取方法及び巻取装置に関する。

有機樹脂フィルムはフレキシブル性を有し且つ加工が容易であるため、その表面に金属膜や酸化物膜を形成したものが、電子部品や光学部品の積層基板、包装材料などとして産業界で広く用いられている。例えば電子部品の積層基板は、減圧雰囲気のチャンバー内で長尺の有機樹脂フィルムをロール・ツー・ロールで搬送しながらその表面に金属膜を成膜することで作製され、得られた積層基板はパターニング加工することで所定の配線回路パターンを有するフレキシブルプリント基板となり、例えば液晶ディスプレイの接続基板として多用されている。

近年、液晶ディスプレイの画素は微細化が進んでおり、これに合わせて配線回路パターンには狭ピッチ化が求められているが、この場合においても電気的な問題が生じないように、上記のフレキシブルプリント基板の作製では高精度のパターニング加工が必須になっている。しかしながら、上記したロール・ツー・ロール方式の真空成膜装置では、金属膜が積層された有機樹脂フィルムを巻き取る際に、有機樹脂フィルムの物性又は成膜プロセス上の理由や、成膜装置の構造上の理由等により有機樹脂フィルムにシワが入ってしまい、良好なパターニング加工を行えないことがあった。その対策として、許文献１では張力を強めにしたり、タッチローラーやニアローラーを用いたりしてシワを伸ばすことが提案されている。

特開２０１５−１４０２３７号公報

上記したような減圧雰囲気下での長尺樹脂フィルムへの金属膜の成膜では、樹脂フィルムに熱負荷がかかりやすいため、送出ロールから巻取ロールまでロール・ツー・ロールで搬送される長尺の樹脂フィルムを冷却機構を備えたキャンロールの外周面に巻き付け、これにより樹脂フィルムを裏側から冷却しながら表側に成膜を行ういわゆるスパッタリングウェブコーターを用いることがある。しかしながら、この場合においても、長尺樹脂フィルムが成膜中に受ける大きな熱負荷によって、巻取ロールで巻き取られた長尺樹脂フィルムの特に幅方向中央部にシワが発生することがあった。

ロール・ツー・ロールによる長尺樹脂フィルムの処理では、一度樹脂フィルムにシワが入ってしまうと、当該シワの入った樹脂フィルムが巻取ロールに巻き取られた時に、重なり合う隣り同士の樹脂フィルムに次々にシワが転写され、その後の製品が全て不良となるおそれがあった。そのため、手間のかかるシワの監視が必要であった。更に、前述したようにシワの発生を抑制するため巻取ローラのすぐ上流側にタッチローラーやニアローラーを設けることが行われている。

しかしながら、これらローラでは一度入ってしまったシワはとれにくく、シワ発生の問題を解消するには減圧雰囲気のチャンバー内を一度大気圧にまで戻して調整作業を行い、再度減圧雰囲気にしなければならないため、大幅な稼働時間のロスを生じていた。また、シワの発生を抑えるため、長尺樹脂フィルムの搬送方向の張力を高めることが考えられるが、樹脂フィルムは強く張ると伸びてしまうので最終製品に悪影響を及ぼす恐れがある上、長尺樹脂フィルムを強く張るために成膜装置の設計強度の変更等が必要になることがあった。

本発明は上記した従来のロール・ツー・ロール方式の成膜装置が抱える問題点に鑑みてなされたものであり、長尺樹脂フィルムの巻き取り部におけるシワの発生を簡易に抑えることが可能な巻取装置及び巻取方法を提供することを目的としている。

本発明者は、真空成膜装置における長尺樹脂フィルムの巻き取り部でシワを生ずることなく該長尺樹脂フィルムを巻き取る方法について鋭意検討を重ねた結果、巻取ロールのすぐ上流側に外周面がクラウン形状のニアロールを設けることによって、長尺樹脂フィルムのシワの発生を効果的に防止できることを見出し、本発明を完成するに至った。

即ち、本発明が提供する巻取装置は、減圧雰囲気下においてロール・ツー・ロールで搬送しながら熱負荷のかかる処理を施す処理装置における長尺樹脂フィルムの巻取装置であって、前記長尺樹脂フィルムを巻き取る巻取ロールとそのすぐ上流にあって前記長尺樹脂フィルムの両面のうち前記熱負荷のかかる処理が施された面とは反対側の面が接するように巻き付けられ、ハードクロムメッキが施されたステンレス製のニアロールとからなり、該ニアロールは、その回転中心軸方向の中央部にあって該長尺樹脂フィルムの幅よりも該回転中心軸方向の長さが短く且つ外径が最も大きな円筒部と、該回転中心軸方向の両側にあって該回転中心軸方向の外側に向かうに従って一定のテーパー角度で外径が次第に小さくなる傾斜部とからなるクラウン形状の外周面を有し、前記回転中心軸を通る平面で切断した切断面において、前記傾斜部の外周面の傾斜部分と該回転中心軸とのなす角が０.０１度以上０.５度以下であることを特徴としている。

また、本発明が提供する巻取方法は、減圧雰囲気下においてロール・ツー・ロールで搬送しながら熱負荷のかかる処理を施す処理装置における長尺樹脂フィルムの巻取方法であって、回転中心軸方向の中央部にあって該長尺樹脂フィルムの幅よりも該回転中心軸方向の長さが短く且つ最も外径が大きな円筒部と、該回転中心軸方向の両側にあって該回転中心軸方向の外側に向かうに従って一定のテーパー角度で外径が次第に小さくなる傾斜部とからなるクラウン形状の外周面を有し、前記回転中心軸を通る平面で切断した切断面において、前記傾斜部の外周面の傾斜部分と該回転中心軸とのなす角が０.０１度以上０.５度以下であって、ハードクロムメッキが施されたステンレス製のニアロールに対して、前記長尺樹脂フィルムの両面のうち前記熱負荷のかかる処理が施された面とは反対側の面が接するように巻き付けた直後に巻取ロールで巻き取りを行うことを特徴としている。

本発明によれば、簡易な装置でシワの発生を抑制できるため、生産効率を高めることが可能になる。

本発明の一具体例の巻取装置を有するロール・ツー・ロール成膜装置の模式的な正面図である。本発明の巻取装置を構成するニアロールの具体例の斜視図である。

以下、本発明の一具体例の巻取装置を備えた成膜装置について図１を参照しながら説明する。この図１に示す成膜装置１０は、減圧雰囲気下においてロール・ツー・ロールで搬送される長尺の樹脂フィルムＦの片面に乾式めっき法により連続的に金属膜を成膜することが可能なロール・ツー・ロール成膜装置である。具体的に説明すると、この成膜装置１０は、後述する各種ロール群からなる搬送手段と成膜手段とで主に構成されており、これらは略直方体形状の真空容器１１の内部に収納されている。この真空容器１１は、図示しない真空ポンプや圧力計などの真空機器によって内部を１０^−５〜１Ｐａ程度の減圧状態に維持できるようになっている。真空容器１１は、この減圧状態を維持できるのであればその形状は特に限定されず、円筒状等であっても良い。

この真空容器１１の内部に、ロール状に巻回された長尺の樹脂フィルムＦを送り出す送出ロール１２と、熱負荷のかかる樹脂フィルムＦの表面処理時に該長尺樹脂フィルムＦを外周面に巻き付けて冷却する駆動ロール１４と、駆動ロール１４の下流側に位置するフリーロール１６と、表面処理後の樹脂フィルムＦを巻き取る巻取ロール１７とが設けられている。また、送出ロール１２から駆動ロール１４までの搬送経路と、駆動ロール１４から巻取ロール１７までの搬送経路に、それぞれの経路を走行する樹脂フィルムＦの張力を検出するための張力センサを具備したテンションピックアップローラとも称される張力センサロール１３、１５が設けられている。これら張力センサロール１３、１５により、送出ロール１２から駆動ロール１４までの区間の張力、及び駆動ロール１４から巻取ロール１７までの区間の張力がそれぞれ制御されている。

駆動ロール１４の内部には上記した樹脂フィルムＦの冷却のため、真空容器１１の外部から供給される冷媒が循環している。これにより、成膜処理時に発生する樹脂フィルムＦの熱を冷媒によって除熱することができる。この駆動ロール１４の外周面に対向する位置に、樹脂フィルムＦの片面に乾式めっき法を用いたメタライジング法により金属膜を成膜する成膜手段Ｓ１〜Ｓ４がこの順に搬送経路に沿って設けられている。

各成膜手段には、成膜材料がプレート状に成形されたターゲットが設置されており、このターゲットを放電用電極としてプラズマ発生手段を用いて基材としての長尺樹脂フィルムＦとターゲットの間にプラズマを発生させ、電位勾配を用いてターゲット表面にイオンを照射衝突させることによって、ターゲット物質を叩き出して基材上にターゲット物質の薄膜を形成することができる。

上記成膜装置１０は、更にフリーロール１６から巻取ロール１７までの搬送経路において、巻取ロール１７に接触しない程度に近づけた位置に、ニアロール１８が設けられている。このニアロール１８の外周面は、その回転中心軸方向の中央部で直径が最も大きく、該中央部から両端に向かうに従って直径が次第に小さくなるクラウン形状になっている。これにより、巻き取り時に発生しやすい長尺樹脂フィルムＦのシワの発生を抑えることができる。

このクラウン形状のニアロール１８によるシワ発生の抑制効果について以下具体的に説明する。巻取ロール１７のすぐ上流側にニアロール１８を設けることにより、シワをある程度除く効果が得られるが、ニアロール１８の材質やその中心軸の傾き等によってはシワを取り除くことが難しい場合がある。そこで、この成膜装置１０では、上記したようにニアロール１８の外周面をクラウン形状にすることにより、ニアロール１８に巻き付けられた樹脂フィルムＦは、ニアロール１８の回転中心軸方向の略中央部から両端に行くほど搬送方向の張力が弱くなる。その結果、張力を横に逃がすことができるので、効果的にシワを取り除くことができる。

ニアロール１８のクラウン形状は、例えば図２（ａ）に示すように、回転中心軸Ｏ方向の中央部から両端部に向かって一定のテーパー角度で細くなる形状でもよいし、図２（ｂ）に示すように、回転中心軸Ｏ方向の中央部は長尺樹脂フィルムＦの幅よりも回転中心軸Ｏ方向の長さが短い円筒形状からなり、その両側に一定のテーパー角度で外側に向かって細くなる形状でもよいし、図２（ｃ）に示すように、回転中心軸Ｏ方向の中央部から両端部に向かってテーパー角度が徐々に大きくなるような和太鼓状の形状でもよい。

上記のいずれのニアロール１８のクラウン形状においても、回転中心軸Ｏ方向の中央部の直径と両端部の直径との差は極端に大きくないのが望ましいが、具体的なサイズはニアロール１８の中央部の直径の大きさや回転中心軸Ｏ方向の端から端までの長さ等により適宜定められる。但し、ニアロール１８をその回転中心軸Ｏを通る平面で切断したとき、クラウン形状の外周面の傾斜部と回転中心軸Ｏとのなす角が０.０１度以上０.５度以下であるのが好ましく、０.０２度以上０.３度以下がより好ましく、０.０３度以上０.１度以下が最も好ましい。この角度が０.５度を超えると、搬送方向の張力を高くした成膜条件の場合に、樹脂フィルムＦのうちニアロール１８の回転中心軸Ｏ方向の中央部やその付近に接する部分にシワや傷が生じやすくなるおそれがある。逆に、０.０１度未満では、回転中心軸Ｏ方向の両端部と中央部の太さがほぼ同一となるので、ニアロール１８の外周面をクラウン状にすることによる効果が殆ど得られなくなる。

ニアロール１８の外周面と巻取ロール１７に巻き取られた長尺樹脂フィルムＦの最外層部とが離間する距離は、０.５〜１０ｍｍの範囲内に制御することが好ましい。０.５ｍｍ未満では、ニアロール１８の径の大きい部分が巻取ロール１７に巻き取られた樹脂フィルムＦに接触してしまう恐れがあり、この接触部の応力集中による巻き崩れが発生する恐れがある。逆に１０ｍｍを超えると、ニアロール１８と巻取ロール１７との間の搬送経路においてシワが発生する場合がある。

上記のニアロール１８の位置は固定しても良いが、巻取ロール１７での巻き取り状態をより良くするには、巻取ロール１７に巻き取られた成膜後の長尺樹脂フィルムＦの最外層部の位置を変位センサ等の検出手段を用いて検出すると共に、例えばニアロール１８を回転自在に支持する支持部に電動シリンダ等の往復動手段の可動部を取り付け、検出手段で検出した位置のデータに基づいて該往復動手段を制御するのが好ましい。これにより、巻取ロール１７の位置と上記の巻取ロール１７に巻き取られた長尺樹脂フィルムＦの最外層部の位置との離間距離を一定の距離に維持することができる。その際、張力センサロール１５にて長尺樹脂フィルムＦの張力を測定し、一定の巻き取り張力で巻き取るのがより望ましい。

上記構造の成膜装置１０により、送出ロール１２から連続的に送り出された長尺の樹脂フィルムＦは、張力センサロール１３によりテンションをコントロールされて駆動ロール１４に導かれ、その外周面上を周方向に沿って接触しながら搬送される。この駆動ロール１４の外周面に接触している間に、有機樹脂フィルムＦの表面に成膜手段Ｓ１〜Ｓ４によって金属膜が成膜される。このとき、樹脂フィルムＦは駆動ロール１４によって裏側から冷却されるので、スパッタリング等の成膜工程による温度ダメージを抑えることができる。

金属膜が成膜された樹脂フィルムＦは、駆動ロール１４の外周面から離れた後、張力センサロール１５、フリーロール１６、及びニアロール１８を経て、金属化フィルムとして巻取ロール１７で巻き取られる。このようにして作製される金属化フィルムは、必要に応じて湿式の電気めっき装置などによって金属膜の膜厚化が行われた後、サブトラクティブ法又はセミアディティブ法でパターニング加工することにより所望の配線回路パターンが形成される。

上記のパターニング加工法は、いずれも金属膜の表面にフォトレジスト印刷・露光・現像を行うか、あるいはドライフィルムレジストラミネート・露光・現像を行って配線回路パターンを形成するが、サブトラクティブ法は、レジストで覆われていない金属膜をエッチングにより除去して配線回路パターンを形成する方法であり、一方、セミアディティブ法は、レジストに覆われていない箇所の金属膜の表面に更に金属膜を付着させて配線としての膜厚を確保した後に、不要な金属膜を除去して配線回路パターンを形成する方法である。

尚、上記した巻取装置が好適に搭載される成膜処理は、メタライジング法による物理的成膜に限定されるものではなく、真空蒸着法、化学的気相成長法（ＣＶＤ）等の成膜法でもよい。上記の真空蒸着法は、抵抗加熱や電子銃照射により蒸発源の成膜材料を加熱蒸発させ、基材上に薄膜を形成する方法である。この蒸着の際に、薄膜の密着性や緻密化を目的として、蒸発源と基材との間にプラズマを形成するプラズマアシスト蒸着法を採用してもよい。一方、化学的気相成長法（ＣＶＤ）は、基材近傍に無機若しくは有機又はこれらの混合物を原料ガスとして気化導入し、加熱やプラズマを用いて化学反応させることによって、基材上に薄膜を形成する方法である。プラズマを用いる場合はスパッタリングと同様の装置構成を用いることも可能である。

上記の成膜方法のいずれにおいても、成膜の際にプラズマを用いることによって薄膜の密着性や緻密化に効果があることが確認されている。すなわち、薄膜形成の際にプラズマを用いることによって、ガスバリヤーフィルムでは気体遮断性が向上し、反射防止フィルムでは光学特性が改善し、また薄膜積層基板では下地金属層と有機樹脂フィルムとの密着性が向上する。尚、上記の成膜装置１０では、放電用の電極を成膜手段Ｓ１〜Ｓ４に設置して、これに直流又は交流の電圧を印加したり、導波管を用いてマイクロ波を任意の場所に照射したりすることによってプラズマを形成できる。

上記成膜手段Ｓ１〜Ｓ４により成膜する金属膜の材質や膜厚は、その用途に応じて適宜定めることができる。例えば、下地金属層と、この下地金属層の上に設ける銅薄膜層と、更に銅薄膜層の表面に電解銅めっきを行うことによって２層積層基板を作製する場合は、下地金属層に、ニッケル又はニッケル合金、クロム又はクロム合金など２層積層基板として公知の金属を用いることができる。

下地金属層の膜厚は７〜５０ｎｍが好ましく、銅薄膜層の膜厚は５０〜５００ｎｍが好ましい。更に電解銅めっきを施すことで銅膜厚６μｍ以上の２層積層基板となる。尚、乾式めっき法により膜厚６μｍの銅薄膜層を成膜することができるのであれば、電解銅めっきは不要となる。下地金属層と銅薄膜層の膜厚は、長尺樹脂フィルムの搬送速度やスパッタリングカソードへの投入電力を適宜調整して定めることができる。尚、本発明においては、乾式めっき法を用いた成膜手段で成膜される下地金属層や銅薄膜層等の金属層をまとめて金属膜と称している。

上記した成膜処理の対象となる樹脂フィルムＦの材質は特に限定されるものでなく、公知の有機樹脂フィルムを使用することができる。例えば、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ１−ブテン、ポリ４−メチル−１−ペンテンあるいはエチレン、プロピレン、１−ブテン、４−メチル−１−ペンテン等のα−オレフィン同士のランダムあるいはブロック共重合体等のポリオレフィン、環状オレフィン共重合体など、そしてエチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・ビニルアルコール共重合体、エチレン・塩化ビニル共重合体等のエチレン・ビニル化合物共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル・スチレン共重合体、ＡＢＳ、α−メチルスチレン・スチレン共重合体等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニル・塩化ビニリデン共重合体、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル等のポリビニル化合物、ナイロン６、ナイロン６−６、ナイロン６−１０、ナイロン１１、ナイロン１２等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等の熱可塑性ポリエステル、ポリカーボネート、ポリフエニレンオキサイド等や、ポリ乳酸など生分解性樹脂、あるいはそれらの混合物のいずれかの樹脂であっても良い。また、ポリイミドやエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂からなるものであっても良い。長尺樹脂フィルムＦの寸法は、特に限定されるものでなく、その用途に応じて適宜定めることができるが、厚さ１００μｍ以下、フィルム長が１００ｍ以上であれば好ましい。

［実施例１］
図１に示すようなロール・ツー・ロール方式の成膜装置１０を用い、イオン源を備えた成膜手段Ｓ１〜Ｓ４を用いて積層基板を作製した。その際、ニアロール１８には回転中心軸Ｏ方向の中央部の直径５１ｍｍ、両端部の直径５０ｍｍ、端から端までの長さ８００ｍｍの図２（ａ）に示すクラウン形状の外周面を備えたＳＵＳ３０４にハードクロムメッキを施したロールを採用した。この場合、回転中心軸Ｏを通る平面で切断した切断面において、該クラウン形状の外周面の傾斜部と回転中心軸Ｏとのなす角は０.０７度となる。長尺の樹脂フィルムＦには、厚み２５μｍ、巾５０ｃｍ、長さ１０００ｍのポリイミドフィルム（東レ・デュポン社製カプトン（登録商標））を用いた。

また、張力センサロール１３での張力が１００Ｎ，張力センサロール１５での張力が１５０Ｎになるように巻取ロール１７のトルクをコントロールし、長尺樹脂フィルムＦの搬送速度は４ｍ／分とした。巻取ロール１７には、巻き取られる長尺樹脂フィルムＦの最外層部の位置を検出する変位センサを取り付け、これにより検出した位置データに基づいて、ニアロール１８の回転軸を回転自在に支持する電動シリンダを制御した。これにより、ニアロール１８の外周面の位置と巻取ロール１７に巻き取られる長尺樹脂フィルムＦの最外層部の位置との距離を、巻き始めから巻き終わりまで５ｍｍに維持した。

成膜手段Ｓ１のスパッタリングカソードには、クロム２０質量％のニッケルクロム合金ターゲットを備え、成膜手段Ｓ２〜Ｓ４のスパッタリングカソードには、銅ターゲットを備えた。これらスパッタリングカソードは、いずれもマグネトロンスパッタリングカソードとした。

成膜装置１０の真空容器１１の内部を到達圧力の１０^−４Ｐａまで減圧した後、アルゴンを導入して１０^−２Ｐａとなるようにした。スパッタリングカソードに電力を投入して送出ロール１２から連続的に送り出した長尺樹脂フィルムＦの表面にスパッタリングにより金属膜を成膜した後、この成膜後の長尺樹脂フィルムＦを巻取ロール１７にロール状に巻き取った。金属膜の成膜が終了した後、真空容器１１を大気圧に戻してロール状に巻かれた長尺樹脂フィルムＦを巻取ロール１７から取り外し、目視にて確認した。その結果、シワは確認されなかった。

［実施例２］
回転中心軸方向の中央部の直径５４ｍｍ、両端部の直径５０ｍｍのクラウン状の外周面を有するニアロール１８を用いた以外は実施例１と同様にして長尺樹脂フィルムＦの表面に金属膜を成膜した。尚、この場合は該クラウン形状の外周面の傾斜部と回転中心軸Ｏとのなす角は０.２９度となる。成膜の終了後に巻取ロール１７に巻き取られた長尺樹脂フィルムＦを目視にて確認したところ、シワは確認されなかった。

［実施例３］
回転中心軸方向の中央部の直径５６ｍｍ、両端部の直径５０ｍｍのクラウン状の外周面を有するニアロール１８を用いた以外は実施例１と同様にして長尺樹脂フィルムＦの表面に金属膜を成膜した。尚、この場合は該クラウン形状の外周面の傾斜部と回転中心軸Ｏとのなす角は０.４３度となる。成膜の終了後に巻取ロール１７に巻き取られた長尺樹脂フィルムＦを目視にて確認したところ、殆ど問題なかったが、一部に搬送方向に延在する小さなシワが確認された。

［比較例］
ニアロール１８にクラウン状ではない一般的な円筒状のロール用いた以外は実施例１と同様にして長尺樹脂フィルムＦの表面に金属膜を成膜した。成膜の終了後に巻取ロール１７に巻き取られた長尺樹脂フィルムＦを目視にて確認したところ、搬送方向に延在するシワが多数確認された。

１０成膜装置
１１真空容器
１２送出ロール
１３、１５張力センサロール
１４駆動ロール
１６フリーロール
１７巻取ロール
１８ニアロール
Ｆ長尺樹脂フィルム
Ｏ回転中心軸

Claims

減圧雰囲気下においてロール・ツー・ロールで搬送しながら熱負荷のかかる処理を施す処理装置における長尺樹脂フィルムの巻取装置であって、
前記長尺樹脂フィルムを巻き取る巻取ロールと、そのすぐ上流にあって前記長尺樹脂フィルムの両面のうち前記熱負荷のかかる処理が施された面とは反対側の面が接するように巻き付けられ、ハードクロムメッキが施されたステンレス製のニアロールとからなり、該ニアロールは、その回転中心軸方向の中央部にあって該長尺樹脂フィルムの幅よりも該回転中心軸方向の長さが短く且つ外径が最も大きな円筒部と、該回転中心軸方向の両側にあって該回転中心軸方向の外側に向かうに従って一定のテーパー角度で外径が次第に小さくなる傾斜部とからなるクラウン形状の外周面を有し、前記回転中心軸を通る平面で切断した切断面において、前記傾斜部の外周面の傾斜部分と該回転中心軸とのなす角が０.０１度以上０.５度以下であることを特徴とする巻取装置。
前記巻取ロールは自身に巻き取られた長尺樹脂フィルムの最外層部の位置を検出する変位センサを有しており、この検出した位置のデータに基づいて前記最外層部と前記ニアロールとの離間距離が制御されることを特徴とする、請求項１に記載の成膜装置。
前記離間距離を０.５〜１０ｍｍの範囲内に制御することを特徴とする、請求項２に記載の成膜装置。
減圧雰囲気下においてロール・ツー・ロールで搬送しながら熱負荷のかかる処理を施す処理装置における長尺樹脂フィルムの巻取方法であって、
回転中心軸方向の中央部にあって該長尺樹脂フィルムの幅よりも該回転中心軸方向の長さが短く且つ最も外径が大きな円筒部と、該回転中心軸方向の両側にあって該回転中心軸方向の外側に向かうに従って一定のテーパー角度で外径が次第に小さくなる傾斜部とからなるクラウン形状の外周面を有し、前記回転中心軸を通る平面で切断した切断面において、前記傾斜部の外周面の傾斜部分と該回転中心軸とのなす角が０.０１度以上０.５度以下であって、ハードクロムメッキが施されたステンレス製のニアロールに対して前記長尺樹脂フィルムの両面のうち前記熱負荷のかかる処理が施された面とは反対側の面が接するように巻き付けた直後に巻取ロールで巻き取りを行うことを特徴とする長尺樹脂フィルムの巻取方法。
前記巻取ロールで巻き取った長尺樹脂フィルムの最外層部の位置を検出し、この検出した位置のデータに基づいて前記最外層部と前記ニアロールとの離間距離を制御することを特徴とする、請求項４に記載の成膜装置。