JP2011149057A - 機能性フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
裏面側にラミネートフィルムが付与され自己支持性を有する長尺の支持体12を送出し機56から成膜室52に送り出し、真空下の成膜室52内で支持体12を搬送しながら、支持体12の表面側に無機材料を成膜し、支持体12を巻取り機58によりフィルムロール48に巻き取り、機能性フィルム10を製造する。
【選択図】 図2
Description
支持体の厚さ40μmとした。真空成膜装置内での支持体の搬送に、段差のない円筒状ローラをガイドローラとして使用した。支持体上に50nmの無機膜を成膜した。
支持体の厚さを60μmとした以外は、条件1と同様の条件とした。
支持体の厚さを100μmとした以外は、条件1と同様の条件とした。
支持体の厚さ60μmとした。支持体の裏面に厚さ40μmのラミネートフィルムを貼り付けた。支持体にラミネートフィルムを貼り合せた後、真空成膜装置にセットする前に、密着力改善処理を施した。真空成膜装置内での支持体の搬送に、段差のない円筒状ローラをガイドローラとして使用した。支持体上に50nmの無機膜を成膜した。
ラミネートフィルムの厚さを10μmとした以外は、条件4と同様とした。
ラミネートフィルムの厚さを15μmとした以外は、条件4と同様とした。
支持体の厚さを20μmとし、ラミネートフィルムの厚さを60μmとした以外は、条件4と同様とした。
密着力改善処理を行わなかった以外は、条件4と同様とした。
段差付ローラをガイドローラとして使用した以外は、条件2と同様とした。
段差付ローラをガイドローラとして使用した以外は、条件4と同様とした。
無機膜の厚さを10nmとした以外は、条件2と同様とした。
無機膜の厚さを10nmとした以外は、条件4と同様とした。
無機膜の厚さを100nmとした以外は、条件2と同様とした。
無機膜の厚さを100nmとした以外は、条件4と同様とした。
支持体の厚さが60μm以下でラミネートフィルムが貼り付けられていないので、条件1,2,9,11はバリア性の評価は×であった。さらに、支持体にはシワ発生が確認された。特に、段差ロールを使用した条件9では、シワが多発した。自己支持性がない支持体の端部のみを段差ロールで支持した場合、張力による縦皺が多く発生した。
Claims (11)
- 裏面側にラミネートフィルムが付与され自己支持性を有する長尺の支持体を供給する工程と、
真空下で前記支持体を搬送しながら、前記支持体の表面側に無機材料を成膜する工程と、
前記支持体を巻き取る工程を、含む機能性フィルムの製造方法。 - 前記ラミネートフィルムと前記支持体との総厚みが75μm以上である請求項1記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記無機材料を成膜する工程の前に、さらに前記支持体と前記ラミネートフィルムとの間の密着性を改善する工程を有する請求項1又は2記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記密着性改善工程が、前記支持体に所定の張力を加えながら前記支持体と前記ラミネートフィルムを加熱する工程、及び前記支持体に所定の張力を加えながら前記支持体と前記ラミネートフィルムに紫外線を照射する工程の少なくとも一つを含む請求項3記載の機能性フィルムの製造方法。
- 無機材料を成膜する工程において、前記支持体の裏面側、及び前記支持体の表面側の端部の少なくとも一方を支持して、前記支持体を搬送する請求項1乃至4の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記無機材料を成膜する工程において、成膜される無機材料の厚みが5nm以上200nm以下である請求項1乃至5の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記無機材料を成膜する工程の前に、さらに前記支持体の表面側に有機材料を成膜する工程を有する請求項1乃至6の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記有機材料の成膜する工程と前記無機材料を成膜する工程を繰返す請求項7記載の機能性フィルムの製造方法。
- 有機材料を外層として前記支持体の表面側に成膜する工程をさらに有する請求項1乃至8の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記支持体から前記ラミネートフィルムを剥離する工程をさらに有する請求項1乃至9記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記無機材料が金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属フッ化物もしくはその複合物を、少なくとも一つを含む請求項1乃至10の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
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