JP5199162B2 - 機能性フィルムの製造方法、及び製造装置 - Google Patents
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Description
図2に示されるコーティング膜成膜装置20と真空成膜装置22を用いて機能性フィルムを製造した。コーティング膜の材料として、アクリレート系モノマーと光重合開始材で溶解させた塗布液を調製した。支持体として、幅1000mm厚さ100μmのPETフィルムを使用した。ダイコータにより、PETフィルム上に調製した塗布液を塗布し、紫外線硬化により硬膜させた。これにより、PETフィルム上に、硬化した状態で1μmの厚さを有するコーティング膜を成膜した。PETフィルムを巻取り軸34でフィルムロール42に巻き取った。
比較例では、フィルムロール42を供給室50内にセットし、比較例1では供給室の100Paまでの到達時間を変更し、比較例2では供給室と成膜室を同一の真空排気系を用いて減圧する構成とした。また比較例3では供給室と成膜室が隔壁で分離されてない一体型の成膜装置を用いた。それ以外は実施例と同じ条件で機能性フィルムを得た。
機能性フィルムの性能は水蒸気透過性を用いることでバリア性能の評価を行った。透過率が1.0×10−3g/m2・日以上を×とし、5.0×10−4 g/m2・日以上1.0×10−3 g/m2・日未満を△とし、1.5×10−4g/m2・日以上5.0×10−4g/m2・日未満を○とし、1.5×10−4g/m2・日未満を◎とした。
図3は、本発明の実施例1−7と比較例1−3に関して、成膜の条件と性能評価の結果を一覧表にまとめたものである。実施例1−7は、チャンバ構造として供給室50と成膜室52が隔壁74で分離されているものを使用した。供給室50と成膜室52の到達真空度、及び常圧から100Paまでの到達時間を別々に制御した。供給室50内にフィルムロール42をセットした後、常圧から100Paまでの到達時間が7分以上となる減圧速度で供給室50を減圧した。その結果、バリア性能が全ての実施例で△以上の評価であった。
Claims (6)
- フィルムロールから連続的に支持体を送り出し、該支持体上にコーティング膜を成膜し、該支持体をフィルムロールに巻き取る工程と、
前記工程で巻き取られたフィルムロールを真空成膜装置の供給室にセットし、常圧から100Paまでの減圧時間が7分以上となる減圧速度で減圧し、さらに所定の真空度まで減圧する工程と、
前記フィルムロールから前記支持体を、前記供給室の減圧速度より速い減圧速度で所定の真空度まで減圧された真空成膜装置の成膜室に供給し、前記コーティング膜上に無機膜を成膜する工程と、
前記無機膜が成膜された前記支持体を、前記真空成膜装置の巻取り室でフィルムロールに巻き取る工程と、
を少なくとも備える機能性フィルムの製造方法。 - 前記無機膜が20nmより厚い厚さを有する請求項1記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記コーティング膜が鉛筆硬度4B〜3Hの膜硬度を有する請求項1又は2記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記コーティング膜が放射線硬化性のモノマー又はオリゴマーを含む材料から成膜される請求項1〜3の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記無機膜が金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属フッ化物もしくはそれらの2種以上の複合物を、少なくとも一つを含む請求項1〜4の何れか記載の機能性フィルムの製造方法。
- フィルムロールから支持体を連続的に送出す機構と、該支持体上にコーティング膜を成膜する機構と、該支持体をフィルムロールに巻き取る機構を備えたコーティング膜成膜装置と、
前記コーティング膜成膜装置で巻き取られた前記フィルムロールがセットされる供給室と、該供給室から連続的に送り出された支持体に無機膜を成膜する成膜室と、該成膜室から送り出された該支持体をフィルムロールに巻き取る巻取り室を備える真空成膜装置と、該供給室、該成膜室、及び該巻取り室は真空排気手段を備え、
前記供給室の圧力を、常圧から100Paまでの減圧時間が7分以上となる減圧速度で減圧し、さらに所定の真空度まで減圧するよう前記供給室の排気速度を制御する第一の制御装置と、
前記成膜室の圧力を、前記供給室の減圧速度より速い減圧速度で、所定の真空度まで減圧するよう前記成膜室の排気速度を制御する第二の制御装置と、
を有する機能性フィルムの製造装置。
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