JP2016060109A - 機能性フィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持体の上に有機層を形成し、有機層の上に無機層を形成した後、無機層上への積層を行う前に、支持体の有機層形成面と逆側の面に、粘着層と保護フィルムとからなる裏面フィルムを貼着することにより、この課題を解決する。
【選択図】図2
Description
ガスバリアフィルムは、一般的に、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム等のプラスチックフィルムを支持体(基板)として、その上に、ガスバリア性を発現するガスバリア層(ガスバリア膜)を形成してなる構成を有する。また、ガスバリアフィルムに用いられるガスバリア層としては、例えば、窒化ケイ素、酸化珪素、酸化アルミニウム等の各種の無機化合物からなる層が知られている。
積層型のガスバリアフィルムにおいて、ガスバリア性を主に発現するのは無機層である。積層型のガスバリアフィルムでは、下地となる有機層の上に無機層を形成することにより、有機層によって無機層の形成面を平滑化して、良好な平滑性を有する有機層の上に無機層を形成することにより、ヒビや割れ等のない均一な無機層を形成して、優れたガスバリア性能を得ている。
また、近年では、ガスバリアフィルムを利用する装置にも、軽量化や薄型化が要求されており、この点でも、ガスバリアフィルムの支持体を薄膜化することが要求される。
また、ガスバリアフィルムが薄くなれば、いわゆるロール・トゥ・ロール等における搬送性が悪くなる、持ち運びにくい、貼り合わせの際にシワになりやすいなど、取り扱いが難しくなる。ガスバリアフィルムを用いてディスプレイ等を製造するユーザにとって、ガスバリアフィルムの取り扱い性の低下は、生産性を低下させる大きな要因になる。
この方法によれば、支持体の裏面に保護フィルムを貼着することにより、支持体の自己支持性を確保することができ、薄い支持体を用いた場合でも、折れ曲がり等に起因する無機層の損傷を防止できる。
また、保護フィルムを貼着した状態で、ガスバリアフィルムを使用者に提供することにより、取り扱い性の良好なガスバリアフィルムを使用者に手供することができる。
有機層の形成は、一般的に、大気圧下での塗布法によって行われる。これに対し、無機層の形成は、一般的にプラズマCVD等の減圧下での気相堆積法で行われる。すなわち、保護フィルムと支持体との貼着体は、大気圧で有機層を形成された後に、減圧下で無機層を形成され、無機層の形成後、大気圧に開放される。
この支持体と保護フィルムとの間の空気が、この無機層の形成のための減圧によって膨張して、無機膜を形成した後の大気圧に開放される際に、収縮する。この膨張および収縮によって、支持体が折れ曲がり、無機層を損傷してしまう。
この問題は、支持体が薄いほど、顕著に発生する。
また、支持体、有機層および無機層の合計厚さが55μm以下であるのが好ましい。
また、粘着層の厚さが5〜200μmで、保護フィルムの厚さが12〜100μmであるのが好ましい。
また、支持体と粘着層との粘着力が5〜50N/25mmで、粘着層と保護フィルムとの粘着力が0.01〜0.5N/25mmであるのが好ましい。
また、粘着層が、光学透明接着剤で形成されるのが好ましい。
また、無機層を減圧下での気相堆積法で形成し、無機層を形成した後、減圧を維持した状態で、支持体に裏面フィルムを貼着するのが好ましい。
さらに、本発明によれば、裏面フィルムを貼着するための粘着層が、有機層の形成における紫外線の照射や、無機層の形成におけるプラズマ中の真空紫外の照射によって、劣化や変質することも防止できる。
従って、本発明は、高い光学特性を要求される場合が多く、かつ、無機層の損傷による性能劣化が大きく、さらに、光学部材と積層されて使用される場合が多いガスバリアフィルムには、より好適に利用される。また、水蒸気透過率が9×10-5g/(m2・day)以下のガスバリアフィルムは、若干の無機層の損傷でも、目的とする性能に対して大きく性能が劣化してしまうという特有の問題がある。そのため、本発明は、水蒸気透過率が9×10-5g/(m2・day)以下のガスバリアフィルムは、特に好適に利用される。
ガスバリアフィルム10において、支持体12、有機層14および無機層16は、前述の有機−無機積層型のガスバリアフィルムを構成する。
また、裏面フィルム20は、支持体12の自己支持性を確保するために、支持体12の有機層14の形成面と逆側の面(以下、この面を裏面とも言う)に貼着される。
支持体12は、ガスバリアフィルムの支持体として利用されている、公知のシート状物が、各種、利用可能である。
具体的には、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリアクリロニトリル、ポリイミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリカーボネート(PC)、シクロオレフィンポリマー(COP)、シクロオレフィンコポリマー(COC)、トリアセチルセルロース(TAC)、透明ポリイミドなどの、各種の樹脂材料(高分子材料)からなるフィルムが、好適に例示される。
なお、支持体12は、このようなフィルムの表面に、保護層、接着層、光反射層、反射防止層、遮光層、平坦化層、緩衝層、応力緩和層等の、各種の機能を得るための層(膜)が形成されているものであってもよい。
ここで、近年では、ガスバリアフィルム10には、薄膜化や軽量化が要求されている。また、ガスバリアフィルム10を利用する装置にも、薄型化、小型化、軽量化等が要求されている。従って、支持体12は、有機層14および無機層16を支持できれば、薄い方が有利である。
支持体12の厚さを12μm以上とすることにより、有機層14および無機層16を好適に支持できる、有機層14を形成する際の紫外線照射等に起因する変形を防止できる、端部のカールを防止できる等の点で好ましい。
また、支持体12の厚さを50μm以下とすることにより、裏面フィルム20あるいは保護フィルム26のみを剥離したガスバリアフィルム10の薄膜化、軽量化を図れる、光透過率の向上できる等の点で好ましい。なお、裏面フィルム20あるいは保護フィルム26のみを剥離したガスバリアフィルム10を、薄く、軽量にできるということは、すなわち、このガスバリアフィルムを用いる装置の薄型化および軽量化を図れるということである。
有機層14は、有機化合物からなる層で、基本的に、モノマおよび/またはオリゴマを、架橋(重合)したものである。
このような下地層となる有機層14を有することにより、支持体12の表面の凹凸や、支持体12の表面に付着している異物等を包埋して、無機層16の成膜面を、無機層16の成膜に適した状態にできる。これにより、支持体12の表面の凹凸や異物の影のような、無機層16となる無機化合物が着膜し難い領域を無くし、基板の表面全面に、隙間無く、適正な無機層16を成膜することが可能になる。
具体的には、ポリエステル、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、メタクリル酸−マレイン酸共重合体、ポリスチレン、透明フッ素樹脂、ポリイミド、フッ素化ポリイミド、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、セルロースアシレート、ポリウレタン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、脂環式ポリオレフィン、ポリアリレート、ポリエーテルスルホン、ポリスルホン、フルオレン環変性ポリカーボネート、脂環変性ポリカーボネート、フルオレン環変性ポリエステル、アクリル化合物、などの熱可塑性樹脂、あるいはポリシロキサン、その他の有機ケイ素化合物の膜が好適に例示される。これらは、複数を併用してもよい。
中でも特に、ガラス転移温度や強度に加え、屈折率が低い、透明性が高く光学特性に優れる等の点で、アクリレートおよび/またはメタクリレートのモノマやオリゴマの重合体を主成分とするアクリル樹脂やメタクリル樹脂は、有機層14として好適に例示される。
その中でも特に、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート(DPGDA)、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート(TMPTA)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート(DPHA)などの、2官能以上、特に3官能以上のアクリレートおよび/またはメタクリレートのモノマやオリゴマの重合体を主成分とするアクリル樹脂やメタクリル樹脂は、好適に例示される。また、これらのアクリル樹脂やメタクリル樹脂を、複数、用いるのも好ましい。
有機層14の厚さを0.5μm以上とすることにより、支持体12の表面の凹凸や、支持体12の表面に付着した異物を好適に包埋して、有機層14の表面すなわち無機層16の成膜面を平坦化できる。
また、有機層14の厚さを5μm以下とすることにより、有機層14が厚すぎることに起因する、有機層14のクラックや、ガスバリアフィルム10のカール等の問題の発生を、好適に抑制できる。
無機層16は、無機化合物からなる層である。ガスバリアフィルム10において、無機層16は、目的とするガスバリア性を、主に発現するものである。
具体的には、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化インジウムスズ(ITO)などの金属酸化物; 窒化アルミニウムなどの金属窒化物; 炭化アルミニウムなどの金属炭化物; 酸化珪素、酸化窒化珪素、酸炭化珪素、酸化窒化炭化珪素などの珪素酸化物; 窒化珪素、窒化炭化珪素などの珪素窒化物; 炭化珪素等の珪素炭化物; これらの水素化物; これら2種以上の混合物; および、これらの水素含有物等の、無機化合物が、好適に例示される。
特に、窒化珪素、酸化珪素、酸窒化珪素、酸化アルミニウムは、透明性が高く、かつ、優れたガスバリア性を発現できる点で、ガスバリアフィルムには、好適に利用される。中でも特に、窒化珪素は、優れたガスバリア性に加え、透明性も高く、好適に利用される。
無機層16の厚さを5nm以上とすることにより、十分なガスバリア性能を安定して発現する無機層16が形成できる。また、無機層16は、一般的に脆く、厚過ぎると、割れやヒビ、剥がれ等を生じる可能性が有るが、無機層16の厚さを200nm以下とすることにより、割れが発生することを防止できる。
支持体12、有機層14および無機層16の合計の厚さを55μm以下とすることにより、ガスバリアフィルム10から裏面フィルム20あるいは保護フィルム26のみを剥離した際の薄膜化や軽量化を図れ、ガスバリアフィルム10を利用する装置の薄型化や軽量化を図れる、裏面フィルム20を有することによる無機層16の保護効果が大きくなる等の点で好ましい。
前述のように、裏面フィルム20は、支持体12の自己支持性を確保して、無機層16の割れ等の損傷を防止するために、支持体12の裏面に貼着される。裏面フィルム20は、粘着層24と保護フィルム26とから構成される。裏面フィルム20は、粘着層24によって、支持体12の裏面に貼着される。
ガスバリアフィルム10は、通常、最終的に、裏面フィルム20を剥離され、あるいは、粘着層24を残して保護フィルム26のみが剥離される。
保護フィルム26は、公知のシート状物が、各種、利用可能である。具体的には、前述の支持体12で例示した、各種の樹脂材料(高分子材料)からなるフィルムが、好適に例示される。
なお、保護フィルム26は、最終的には剥離して廃棄するものであるので、PETフィルム等の安価なフィルムを用いるのが好ましい。
本発明者の検討によれば、保護フィルム26の厚さは12〜100μmが好ましく、25〜75μmがより好ましい。
保護フィルム26の厚さを12μm以上とすることにより、支持体12の自己支持性を好適に確保できる、支持体12に裏面フィルム20を貼着する際に保護フィルム26にシワが入ることをより確実に防止できる、保護フィルム26に粘着層24を形成する際に保護フィルム26にシワが入ることをより確実に防止できる等の点で好ましい。
また、保護フィルム26の厚さを100μm以下とすることにより、ガスバリアフィルム10の薄膜化、軽量化を図れる、ロールに巻き取った際の小径化を図れる等の点で好ましい。
粘着層24は、裏面フィルム20(保護フィルム26)を支持体12の裏面に貼着可能なものであれば、各種の接着剤からなるものが利用可能である。
具体的には、アクリル樹脂系の接着剤、エポキシ樹脂系の接着剤、ウレタン樹脂系の接着剤、ビニル樹脂系の接着剤、ゴム系の接着剤等が例示される。
これに対し、本発明によるガスバリアフィルム10では、粘着層24と支持体12との粘着力を、粘着層24と保護フィルム26との粘着力よりも強くして、最終的に保護フィルム26のみを剥離して、粘着層24を残すようにするのが好ましい。
具体的には、粘着層24と支持体12との粘着力を5〜50N/25mm、粘着層24と保護フィルム26との粘着力を0.01〜0.5N/25mmとして、粘着層24を支持体12に貼着したまま、保護フィルム26のみを剥離できるようにするのが好ましい。
また、粘着層24と支持体12との粘着力を50N/25mm以下とすることにより、粘着層24と支持体12とが一体化したような状態となることを防止でき、その結果、保護フィルム26を剥離する際に、剥離に伴う粘着層24の変形、および、この変形の力が、直接的に無機層16に伝わって、無機層16が破壊することを防止できる等の点で好ましい。
他方、粘着層24と保護フィルム26との粘着力を0.01N/25mm以上とすることにより、搬送中等に保護フィルム26が不要に剥離することを防止できる等の点で好ましい。
さらに、粘着層24と保護フィルム26との粘着力を0.5N/25mm以下とすることにより、保護フィルム26のみを確実に剥離できる、保護フィルム26を剥離する際に無機層16が破壊することを防止できる、保護フィルム26を剥離した後に粘着層24が残ることを防止できる等の点で好ましい。
なお、粘着力は、JIS Z 0237の剥離試験方法に準拠して測定すればよい。
このような粘着層24とすることにより、保護フィルム26を剥離したガスバリアフィルム10を、粘着性を有し、かつ、光学特性に優れたガスバリアフィルムとすることができ、ディスプレイ等の光学的な特性を要求される用途に用いられるガスバリアフィルムとして、好適に利用可能となる。
本発明者の検討によれば、粘着層24の厚さは5〜200μmが好ましく、15〜100μmがより好ましい。
粘着層24の厚さを5μm以上とすることにより、粘着層24と支持体12との間に気泡が介在することを好適に防止できる、良好な粘着力を確保できる等の点で好ましい。
また、粘着層24の厚さを200μm以下とすることにより、ガスバリアフィルム10の薄膜化、軽量化を図れる、ロールに巻き取った際の小径化を図れる等の点で好ましい。
生産性を考慮すると、RtoRを利用するのが好ましい。
有機層14は、形成材料に応じた、公知の方法で形成すればよい。好ましい一例として、塗布法が例示される。
すなわち、有機層14を形成する際には、まず、有機層14となる有機化合物(モノマー、ダイマー、トリマー、オリゴマー等)、さらには、重合開始剤、シランカップリング剤、界面活性剤、増粘剤等を有機溶剤に溶解してなる塗料を調節する。
次いで、この塗料を有機層14の形成面に塗布し、乾燥する。
乾燥後、紫外線照射や電子線照射、加熱等によって、有機化合物を重合して、有機層14を形成する。
無機層16も、形成材料に応じた公知の方法で形成すればよい。好ましい一例として、CCP−CVDやICP−CVD等のプラズマCVD、マグネトロンスパッタリングや反応性スパッタリング等のスパッタリング、真空蒸着などの気相成膜法(気相堆積法)が、好適に例示される。
粘着層24も公知の方法で形成すればよい、一例として、接着剤の塗布、あるいはさらに乾燥および(半)硬化によって粘着層24を形成する方法、接着テープ(粘着テープ)用い、接着テープを保護フィルム26に貼着して粘着層24とする方法が例示される。
本発明の製造方法は、このような構成を有することにより、無機層16の割れ等の損傷を、好適に防止できる。
ところが、支持体12の自己支持性が不十分であると、無機層16の上に、これらの層を形成する際に、支持体12の折れ曲がり等が生じる。前述のように、無機層16は、非常に薄い。そのため、この折れ曲がりによって、無機層16が損傷してしまい、ガスバリア性が大幅に低下してしまう。
前述のように、近年では、有機−無機積層型のガスバリアフィルムの薄膜化が要求されており、それに伴い、支持体12を薄くすることが要求されている、ところが、この問題は、薄い支持体12を用いた場合に、顕著に生じる。
特許文献1や特許文献2にも示されるように、裏面フィルムの貼着は、通常、薄い支持体12の取り扱い性を向上し、有機層14を形成する際のハンドリング性や、無機層16を形成する際のハンドリング性等も考慮して、最初に行われる。すなわち、支持体12の裏面に裏面フィルム20を貼着した後に、有機層14を形成し、その上に無機層16の形成が行われる。
この空気の膨張および収縮による無機層16の損傷は、例えば50μm以下など、支持体12が薄いほど、顕著に発生する。
そのため、本発明によれば、支持体12と裏面フィルム20との間に混入した空気の膨張および収縮に起因する無機層16の損傷を防止できる。さらに、無機層16を形成した後、無機層16の上に層を形成する前に、支持体12の裏面に裏面フィルム20を貼着するので、無機層16の上に保護有機層等を形成しても、支持体12が折れ曲がること等に起因する無機層16の損傷を、好適に防止できる。
従って、本発明の製造方法によれば、無機層16の損傷を防止した、優れたガスバリア性を有するガスバリアフィルム10を製造できる。
そのため、粘着層24を残して保護フィルム26のみを剥離して、粘着性を有するガスバリアフィルムにしようとしても、十分な粘着性を得られない場合も多い。特に、粘着層24にOCA等を用いた場合には、劣化や変質によって、粘着性のみならず、光学特性も大幅に劣化してしまい。粘着層24が、目的とする機能を発現できなくなってしまう。
そのため、本発明によれば、保護フィルム26を剥離することにより、良好な粘着性を有するガスバリアフィルム10を得ることができる。また、粘着層24をOCA等で形成した際には、粘着層24の光学特性は劣化していないので、ガスバリアフィルム10から保護フィルム26を剥離することにより、優れた光学特性および粘着性を有する、目的とする機能を発揮するガスバリアフィルムが得られる。
好ましくは、粘着層24と支持体12との粘着力を5〜50N/25mm(以下、強粘着とも言う)とし、粘着層24と保護フィルム26との粘着力を0.01〜0.5N/25mm(以下、微粘着とも言う)とする。
一例として、支持体12と強粘着となる粘着層24を用いて、保護フィルム26の表面をシリコン処理やフッ素処理等の離型処理を施して、保護フィルム26と粘着層24との粘着力を低下させる方法が例示される。あるいは、支持体12にプラズマ処理やコロナ処理等の粘着性を向上する処理を施し、保護フィルム26の表面に同様の離型処理を施して、粘着層24と支持体12とを強粘着とし、粘着層24と保護フィルム26とを微粘着とする方法も利用可能である。
これらの方法によれば、保護フィルム26を剥離した際の粘着層24の粘着力は、粘着層24自身の接着力となるので、ガスバリアフィルム10から保護フィルム26を剥離することで、良好な粘着性を有するガスバリアフィルムが得られる。
しかしながら、本発明の製造方法は、他の手順も利用可能である。
例えば、無機層16を形成した後、支持体12の裏面に、前述のようにして粘着層24を形成し、この粘着層24に保護フィルム26を貼着することによって、支持体12の裏面に裏面フィルム20を貼着してもよい。
例えば、RtoRによって無機層16を形成する場合であれば、真空チャンバの内部に裏面フィルム20を巻回してなるロールを用意し、無機層16を形成した支持体12の搬送速度に同期して、このロールから裏面フィルム20を送り出して、公知の方法で支持体12の裏面に積層・貼着すればよい。
支持体12と裏面フィルム20との間への空気の混入は、少ないほど好ましいが、これにより、支持体12と裏面フィルム20との間への空気の混入を、防止できる。
表面保護フィルムは、支持体12で例示した各種のフィルムが利用可能である。表面保護フィルムの厚さは、20〜100μmが好ましく、25〜70μmがより好ましい。
表面保護フィルムの貼着は、粘着層24と同様の粘着層を用いて行えばよい。また、表面保護フィルムの形成材料によっては、粘着層を用いずに自己貼着してもよく、あるいは、粘着層を用いずに熱圧着してもよい。表面保護フィルムと無機層16との粘着力は、0.02〜0.06N/25mmが好ましい。
量子ドットは種々の量子効果を発現する。例えば、電子の状態密度(エネルギー準位)が離散化される「量子サイズ効果」が発現する。この量子サイズ効果によれば、量子ドットの大きさを変化させることで、光の吸収波長・発光波長を制御できる。
例えば、多数の量子ドットを樹脂等のマトリクス中に分散してなる量子ドット層を形成し、この量子ドット層を、バックライトと液晶パネルとの間に配置する。
量子ドット層は、量子ドットの作用によって、量子ドット層に入射した光の波長を変換して出射する機能を有する。すなわち、バックライトから量子ドット層に光が入射すると、量子ドットが励起され蛍光を発光する。ここで異なる発光特性を有する量子ドットを用いることで、赤色光、緑色光、青色光の半値幅の狭い光を発光させて白色光を具現化することができる。量子ドットによる蛍光は半値幅が狭いため、波長を適切に選択することで得られる白色光を高輝度にしたり色再現性に優れる設計にすることが可能である。
また、2枚のガスバリアフィルム10は、共に、粘着層24と支持体12との粘着力を強粘着とし、粘着層24と保護フィルム26との粘着力を微粘着とするのが好ましい。
一例として、量子ドットを、マトリクスとなるポリエステル系樹脂(例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート)、(メタ)アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂等の樹脂に投入し、攪拌して分散すればよい。
量子ドットは、例えば、特開2012−169271号公報の[0060]〜[0066]を参照することができるが、ここに記載のものに限定されるものではない。量子ドットとしては、市販品を何ら制限なく用いることができる。量子ドットの発光波長は、通常、粒子の組成、サイズにより調整することができる。
積層するガスバリアフィルム10にも、支持体12の裏面に裏面フィルム20が貼着されているので、塗料30aに積層しても、支持体12が折れ曲がって無機層16を損傷することは無い。
さらに、紫外線の照射等によって、塗料30aの樹脂を硬化して、量子ドット層30を形成すると共に、量子ドット層30の両面にガスバリアフィルム10を貼着する。これにより、2枚のガスバリアフィルム10によって量子ドット層30を挟持して保護した、量子ドット積層体が形成される。
従って、水分や酸素に弱い量子ドットを、好適に保護できる。
拡散シート32が貼着された量子ドット積層体は、例えば、もう一方の裏面フィルム20の保護フィルム26を剥離されて、LCDのバックライトユニット等に貼着される。
保護フィルム26として、幅が1000mmで厚さが50μmの長尺なPETフィルム(東レ社製、ルミラー)を用意した。
RtoRによる一般的な処理装置を用いて、保護フィルム26の一面に、フッ素コートによる離型処理を施した。
さらに、RtoRで塗布法によって成膜を行う一般的な成膜装置を用いて、保護フィルム26の離型処理を施した面に、アクリル系OCA(パナック社製、PDS1)を塗布、乾燥して、厚さ25μmの粘着層24を形成して、裏面フィルム20を作製した。
また、有機層14を形成するための塗料として、MEK(メチルエチルケトン)に、TMPTA(ダイセル・サイテック社製)、光重合開始剤(チバケミカルズ社製 Irg189)、シランカップリング剤(信越シリコーン社製 KBM5103)、および、増粘剤(大成ファインケミカル社製 アクリット8BR500)を添加して、調製した。すなわち、有機層14は、TMPTAを重合してなる層である。
光重合開始剤の添加量は、有機溶剤を除いた濃度で2質量%、シランカップリング剤の添加量は、有機溶剤を除いた濃度で10質量%、増粘剤の添加量は、有機溶剤を除いた濃度で1質量%とした(すなわち固形分における有機化合物は87質量%)。また、これらの比率で配合した成分をMEKに希釈した塗料の固形分濃度は、15質量%(すなわちMEKは85質量%)とした。
成膜ガスは、シランガス(SiH4)、アンモニアガス(NH3)、窒素ガス(N2)および水素ガス(H2)を用いた。供給量は、シランガスが100sccm、アンモニアガスが200sccm、窒素ガスが500sccm、水素ガスが500sccmとした。また、成膜圧力は50Paとした。
電源は、周波数13.5MHzの高周波電源を用い、プラズマ励起電力は3000Wとした。また、ドラムには、バイアス電源から、500Wのバイアス電力を供給した。また、成膜中は、ドラムの温度を−20℃に調整した。
また、保護フィルム26を剥離したところ、粘着層24を支持体12に残して、保護フィルム26のみ、綺麗に剥離することができた。また、目視によって観察したところ、粘着層24は、良好な透明性を維持していた。
支持体12を、厚さ50μmの長尺なPETフィルム(東洋紡社製、コスモシャインA4300)に変更した以外は、実施例1と同様にして、図1に示すようなガスバリアフィルム10を作製した。
このガスバリアフィルム10の支持体12および保護フィルム26と粘着層24との粘着力を、実施例1と同様に測定したところ、支持体12と粘着層24との粘着力が15.5N/25mm、保護フィルム26と粘着層24との粘着力が0.03N/25mmであった。
また、保護フィルム26を剥離したところ、粘着層24を支持体12に残して、保護フィルム26のみ、綺麗に剥離することができた。また、目視によって観察したところ、粘着層24は、良好な透明性を維持していた。
支持体12を、厚さ23μmの長尺なPETフィルム(東洋紡社製、コスモシャインA4300)に変更した以外は、実施例1と同様にして、図1に示すようなガスバリアフィルム10を作製した。
このガスバリアフィルム10の支持体12および保護フィルム26と粘着層24との粘着力を、実施例1と同様に測定したところ、支持体12と粘着層24との粘着力が15.5N/25mm、保護フィルム26と粘着層24との粘着力が0.03N/25mmであった。
また、保護フィルム26を剥離したところ、粘着層24を支持体12に残して、保護フィルム26のみ、綺麗に剥離することができた。また、目視によって観察したところ、粘着層24は、良好な透明性を維持していたが、支持体12および粘着層24に、若干のシワが認められた。
支持体12を、厚さ12μmの長尺なPETフィルム(東レ社製、ルミラー)に変更した以外は、実施例1と同様にして、図1に示すようなガスバリアフィルム10を作製した。
このガスバリアフィルム10の支持体12および保護フィルム26と粘着層24との粘着力を、実施例1と同様に測定したところ、支持体12と粘着層24との粘着力が15.5N/25mm、保護フィルム26と粘着層24との粘着力が0.03N/25mmであった。
また、保護フィルム26を剥離したところ、粘着層24を支持体12に残して、保護フィルム26のみ、綺麗に剥離することができた。また、目視によって観察したところ、粘着層24は、良好な透明性を維持していたが、支持体12および粘着層24に、若干のシワが認められた。
有機層14および無機層16の形成に先立ち、支持体12の一面に裏面フィルム20を貼着した以外は、実施例1と同様にして、図1に示すようなガスバリアフィルム10を作製した。
このガスバリアフィルム10の支持体12および保護フィルム26と粘着層24との粘着力を、実施例1と同様に測定したところ、支持体12と粘着層24との粘着力が20.5N/25mm、保護フィルム26と粘着層24との粘着力が5.2N/25mmであった。なお、この粘着力の増加は、有機層14を形成する際の紫外線照射、および、無機層16を形成する際のプラズマに起因すると考えられる。
また、保護フィルム26を剥離したところ、粘着層24を支持体12に残して、保護フィルム26のみを剥離することはできたが、剥離後の保護フィルム26には、クラックおよびシワが認められた。また、目視によって観察したところ、粘着層24に若干の白濁が認められ、また、支持体12に若干のクラックが認められた。
保護フィルム26の一面に、離型処理に変えてプラズマ処理による易接着処理を施し、粘着層24をアクリル樹脂系接着剤(パナック社製、PX粘着材)によって形成し、さらに、さらに、粘着層24を、保護フィルム26の易接着処理を施した面に形成した以外は、実施例1と同様にして、裏面フィルム20を作製した。なお、粘着層24の硬化は紫外線照射によって行ない、半硬化状態(ハーフキュア)とした。
この裏面フィルム20を用いた以外には、実施例1と同様にして、図1に示すようなガスバリアフィルム10を作製した。
このガスバリアフィルム10の支持体12および保護フィルム26と粘着層24との粘着力を、実施例1と同様に測定したところ、支持体12と粘着層24との粘着力が0.025N/25mm、保護フィルム26と粘着層24との粘着力が25N/25mmであった。
また、裏面フィルム20を剥離したところ、支持体12から、綺麗に剥離することができた。
有機層14および無機層16の形成に先立ち、支持体12の一面に裏面フィルム20を貼着した以外は、実施例3と同様にして、図1に示すようなガスバリアフィルム10を作製した。
このガスバリアフィルム10の支持体12および保護フィルム26と粘着層24との粘着力を、実施例1と同様に測定したところ、支持体12と粘着層24との粘着力が5.3N/25mm、保護フィルム26と粘着層24との粘着力が20.4N/25mmであった。なお、この粘着力の増加は、有機層14を形成する際の紫外線照射、および、無機層16を形成する際のプラズマに起因すると考えられる。
また、保護フィルム26を剥離したところ、粘着層24を支持体12に残して、保護フィルム26のみを剥離することはできたが、剥離後の保護フィルム26には、クラックおよびシワが認められた。また、目視によって観察したところ、支持体12に若干のクラックと、支持体12への若干の粘着層24の残存とが認められた。
このようにして作製したガスバリアフィルムについて、
水蒸気透過率[g/(m2・day)]を、カルシウム腐食法(特開2005−283561号公報に記載される方法)によって、測定した。なお、恒温恒湿処理の条件は、温度40℃、湿度90%RHとした。評価は、以下のとおりである。
A; 3×10-5g/(m2・day)未満
B; 3×10-5g/(m2・day)以上5×10-5g/(m2・day)未満
C; 5×10-5g/(m2・day)以上9×10-5g/(m2・day)未満
D; 9×10-5g/(m2・day)以上3×10-4g/(m2・day)未満
E; 3×10-4g/(m2・day)以上
結果を下記の表に示す。
なお、支持体12の厚さが23μmの実施例3、および、支持体の厚さが12μmの実施例4は、支持体12が薄いため、保護フィルム26を剥離した後の支持体12および粘着槽24に若干のシワが認められ、また、他の実施例に比して、ガスバリア性も劣る。しかしながら、シワは、十分に実用可能な程度であり、さらに、ガスバリア性も、比較例に比して、十分に高い。
これに対し、裏面フィルム20を貼着した後に、有機層14および無機層16の形成を行う従来の製造方法による比較例は、ガスバリア性が低い。これは、無機層16を形成する際に、裏面フィルム20と支持体12との間に混入した空気が膨張、収縮して、これに起因して無機層14が損傷して、ガスバリア性が低下したものと考えられる。また、比較例では、粘着層24の白濁が認められ、また、保護フィルム26等を剥離する際に、若干の支持体12の損傷も認められたのは、前述のとおりである。
以上の結果より、本発明の効果は明らかである。
12 支持体
14 有機層
16 無機層
20 裏面フィルム
24 粘着層
26 保護フィルム
30 量子ドット層
32 拡散シート
Claims (7)
- 支持体の上に有機層を形成し、前記有機層の上に無機層を形成した後、前記無機層上への積層を行う前に、前記支持体の有機層形成面と逆側の面に、粘着層と保護フィルムとからなる裏面フィルムを貼着することを特徴とする機能性フィルムの製造方法。
- 前記支持体の厚さが12〜50μmである請求項1に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記支持体、有機層および無機層の合計厚さが55μm以下である請求項1または2に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記粘着層の厚さが5〜200μmで、前記保護フィルムの厚さが12〜100μmである請求項1〜3のいずれか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記支持体と粘着層との粘着力が5〜50N/25mmで、前記粘着層と保護フィルムとの粘着力が0.01〜0.5N/25mmである請求項1〜4のいずれか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記粘着層が、光学透明接着剤で形成される請求項1〜5のいずれか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。
- 前記無機層を減圧下での気相堆積法で形成し、前記無機層を形成した後、減圧を維持した状態で、前記支持体に裏面フィルムを貼着する請求項1〜6のいずれか1項に記載の機能性フィルムの製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018041058A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-15 | セントラル硝子株式会社 | 透明スクリーン被膜を含む物品の製造方法 |
JP2018144283A (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-20 | コニカミノルタ株式会社 | 機能性フィルム積層体の製造方法 |
WO2020196607A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001332132A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Nitto Denko Corp | 保護フィルム付き透明導電性フィルムとその使用方法 |
JP2005317302A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Zeon Co Ltd | 有機el表示素子及びその製造方法 |
JP2006294536A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機el素子の製造方法、有機el素子 |
JP2007152847A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | 水蒸気バリア性透明積層体 |
JP2010234340A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Fujifilm Corp | 機能性フィルム及びその製造方法 |
JP2011149057A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法 |
JP2012238555A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Nitto Denko Corp | 有機el素子の製造方法、その製造装置及び有機el素子 |
JP2015224373A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001332132A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Nitto Denko Corp | 保護フィルム付き透明導電性フィルムとその使用方法 |
JP2005317302A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Zeon Co Ltd | 有機el表示素子及びその製造方法 |
JP2006294536A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機el素子の製造方法、有機el素子 |
JP2007152847A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Mitsubishi Plastics Ind Ltd | 水蒸気バリア性透明積層体 |
JP2010234340A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Fujifilm Corp | 機能性フィルム及びその製造方法 |
JP2011149057A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法 |
JP2012238555A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Nitto Denko Corp | 有機el素子の製造方法、その製造装置及び有機el素子 |
JP2015224373A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018041058A (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-15 | セントラル硝子株式会社 | 透明スクリーン被膜を含む物品の製造方法 |
JP2018144283A (ja) * | 2017-03-02 | 2018-09-20 | コニカミノルタ株式会社 | 機能性フィルム積層体の製造方法 |
WO2020196607A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
JPWO2020196607A1 (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | ||
JP7132431B2 (ja) | 2019-03-27 | 2022-09-06 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
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