JP7102989B2

JP7102989B2 - 防着フィルム材及びそれを備えた成膜装置

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Publication number: JP7102989B2
Application number: JP2018128812A
Authority: JP
Inventors: 靖司川村
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 2018-07-06
Filing date: 2018-07-06
Publication date: 2022-07-20
Anticipated expiration: 2038-07-06
Also published as: JP2020007602A

Description

本発明は、被成膜基材以外の部位にスパッタ粒子などの乾式めっきによる成膜用粒子が付着して堆積するのを防ぐことが可能な防着フィルム材及びこれを備えた成膜装置に関する。

液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等の電子機器には、耐熱性樹脂フィルムの上に配線パターンが形成されたフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板は、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムに、フォトリソグラフィーやエッチング等の薄膜技術を適用したパターニング処理を施すことによって作製することができる。近年、フレキシブル配線基板の配線パターンは、ますます繊細化、高密度化する傾向にあり、これに伴って夾雑物を含まない高品質な金属膜付耐熱性樹脂フィルムが求められている。

この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造方法としては、金属箔を接着剤により耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法）、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法）、耐熱性樹脂フィルムに真空成膜法単独で、又は真空成膜法と湿式めっき法との併用で金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法）等が知られている。

これらの製造方法のうち、メタライジング法においては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等の乾式めっきが真空成膜法に用いられている。例えば特許文献１には、ポリイミド絶縁フィルムの表面に酸などに対して耐食性を有する金属として知られているクロムをスパッタリングしてクロム層を成膜した後、銅をスパッタリングして銅からなる導体層を形成する方法が開示されている。

また、特許文献２には、真空成膜法により長尺樹脂フィルム基板に連続的に成膜する装置として、スパッタリングウェブコータと称される巻出巻取式（ロールツーロール方式）の真空スパッタリング装置が開示されている。この巻出巻取式の真空スパッタリング装置には、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルム基板を巻き付けてスパッタリング時の熱負荷を該フィルム基板の裏側から冷却するクーリングロール（キャンロールとも称される）が具備されている。かかる構造のスパッタリングウェブコータを用いることで、金属膜付耐熱性樹脂フィルムをメタライジング法で連続的に作製することが可能になる。

特開平２－９８９９４号公報特開昭６２－２４７０７３号公報

上記真空スパッタリング装置は、スパッタリングカソードに取り付けたターゲットにイオンをぶつけることで叩き出されたターゲットを構成する粒子（スパッタ粒子とも称する）を被成膜基材の表面に堆積させて成膜するものである。そのため、一部のスパッタ粒子は該被成膜基材に向かわずにそれ以外の部位に向かって飛散してそこに堆積することがあった。特にメンテナンスしにくい場所に取り付けられている部材にスパッタ粒子が堆積すると、堆積物を頻繁に除去するのは困難であるので、何らかのはずみで該堆積物が剥離して該被成膜基材を汚染させる問題を生じることがあった。また、その他の乾式めっきが行われる真空成膜装置においても被成膜基材以外の部位に成膜用粒子が堆積し、これが剥離して被成膜基材を汚染させる問題が生じることがあった。

本発明は上記した従来の真空成膜装置が抱える問題に鑑みてなされたものであり、被成膜基材以外の表面に堆積した堆積物を簡単な方法で短時間で取り除くことが可能な防着フィルム材を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明が提供する防着フィルム材は、真空チャンバー内において巻出ロールから巻取ロールまでロールツーロールで搬送される長尺状の被成膜基材をキャンロールの外周面に巻き付けてその裏側から冷却しながら該被成膜基材の表側に成膜を行う成膜装置の装置内において、該被成膜基材以外の部材に成膜用粒子が付着して堆積するのを防止する防着フィルム材であって、前記被成膜基材以外の部材は、前記キャンロールをその軸方向の両端部において回転可能に支持する１対の支持台に斜め上方から結合しており、かつ該キャンロールの回転軸に平行に設置されている２本の棒状の保持部材であって、該２本の保持部材の各々は上側に長手方向に延在する断面凹状に窪んだ溝部を有しており、前記防着フィルム材は、前記溝部に嵌め込まれる角柱状又は板状の長尺基部と、該長尺基部の片面側に一端部が貼り付けられたフィルム部とからなることを特徴としている。

本発明によれば、成膜用粒子を被成膜基材以外の部位に堆積させる代わりに該防着フィルム材に堆積させることができるので、堆積物を容易に除去することができる。よって生産性をほとんど低下させることなく堆積物の除去作業の頻度を増やすことができるので、剥離した堆積物が被成膜基板に付着して汚染させる問題が生じにくくなり、メタライジング方により作製する製品の品質をコストをほとんどかけることなく高めることができる。

本発明の実施形態に係る防着フィルム材を装着したロールツーロール方式の真空成膜装置の模式的な正面図である。図１の真空成膜装置を切断面ＩＩ－ＩＩの矢印の方向から見たときの矢視図である。本発明の防着フィルム材の一具体例の正面図である。図３の防着フィルム材を真空成膜装置内の保持部材に装着する方法を示す斜視図である。図３の防着フィルム材を図１の真空成膜装置の右側保持部材に装着した時の正面図であり、簡単のためキャンロールの右上側のみが描かれている。

先ず、本発明の実施形態に係る防着フィルム材が装着される成膜装置として、図１に示すようなロールツーロール方式で搬送される長尺状の基材に成膜を行う真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）５０を採り上げて説明する。この真空成膜装置５０は、真空チャンバー５１内において巻出ロール５２から巻取ロール６４までロールツーロールで搬送される被成膜基材としての長尺樹脂フィルム基板Ｆをキャンロール５６の外周面に巻き付けてその裏側から冷却しながら表側にスパッタリング成膜処理を施すものであり、金属膜付耐熱性樹脂フィルムを連続的に作製することができる。

具体的に説明すると、真空チャンバー５１には、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が具備されており、真空チャンバー５１内を到達圧力１０^－４Ｐａ程度まで減圧した後、アルゴンガスや目的に応じて添加される酸素ガスなどのスパッタリングガスを導入して０.１～１０Ｐａ程度に圧力調整できるようになっている。真空チャンバー５１の形状や材質については、上記減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。

この真空チャンバー５１内に、長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送経路を画定する各種のロール群が設けられている。すなわち、巻出ロール５２からキャンロール５６までの搬送経路には、巻出ロール５２から巻き出された長尺樹脂フィルム基板Ｆを案内するフリーロール５３、長尺樹脂フィルム基板Ｆの張力の測定を行う張力センサロール５４、及びキャンロール５６の周速度に応じて回転数の調整が可能なモータ駆動のフィードロール５５がこの順に配置されている。キャンロール５６から巻取ロール６４までの搬送経路にも、上記と同様に、キャンロール５６の周速度に応じて回転数の調整が可能なモータ駆動のフィードロール６１、長尺樹脂フィルム基板Ｆの張力測定を行う張力センサロール６２、及び長尺樹脂フィルム基板Ｆを案内するフリーロール６３がこの順に配置されている。

上記巻出ロール５２及び巻取ロール６４では、パウダークラッチ等によりトルク制御が行われており、これにより長尺樹脂フィルム基板Ｆの張力バランスが保たれている。また、モータ駆動のキャンロール５６は、熱負荷のかかるスパッタリング処理により熱せられる長尺樹脂フィルム基板Ｆを冷却するため、内部に冷媒が循環する流路が設けられている。前述したようにこのキャンロール５６の周速度に対してフィードロール５５、６１の回転数を適宜調整することでキャンロール５６の外周面に長尺樹脂フィルム基板Ｆを密着させて搬送することが可能になる。

このキャンロール５６の外周面に対向する位置には、長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送経路に沿って４個のマグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９、６０がこの順に設けられている。これらマグネトロンスパッタリングカソード５７～６０の各々には、キャンロール５６の外周面に対向する面にターゲット（図示せず）が取り付けられており、これらターゲットから叩き出されたスパッタ粒子が長尺樹脂フィルム基板Ｆの表面上に堆積することで金属膜の成膜が行われる。

例えば、スパッタリングカソード５７にＮｉ系合金のターゲットを取り付け、スパッタリングカソード５８～６０にＣｕのターゲットを取り付けることにより耐熱性樹脂フィルムの表面にＮｉ系合金等からなる膜とＣｕ膜とが積層された高品質な金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製することができる。上記の積層膜のうち、Ｎｉ合金等からなる膜はシード層と呼ばれ、クロム、インコネル、Ｎｉ－Ｃｒ合金、コンスタンタン、又はモネル等の各種公知の金属や合金を用いることができ、その組成は金属膜付耐熱性樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性に応じて選択される。

なお、上記のスパッタリング成膜の後に湿式めっき処理を施して金属膜を更に積層することによって、金属膜を厚膜化することができる。この場合は電気めっき処理のみで金属膜を厚膜化してもよいし、無電解めっき処理による一次めっき及び電解めっき処理による二次めっきのように複数の湿式めっき法を組み合わせてもよい。これら湿式めっき処理を行う場合のめっき条件には特に限定はなく、一般的な湿式めっき法により行うことができる。

上記方法で作製した金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムに対して、サブトラクティブ法等を用いてパターンニング加工することによって、液晶テレビ、携帯電話等に使用されるフレキシブル配線基板を作製することができる。なお、サブトラクティブ法とは、長尺耐熱性樹脂フィルム上の金属膜（例えば、上記Ｃｕ膜）の表面にレジストを塗布した後、該レジストをパターニング処理して配線回路として残す部分以外の金属膜をレジストから露出させ、この露出部分をエッチングにより除去することでフレキシブル配線基板を作製する方法である。

長尺樹脂フィルム基板Ｆには、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのような樹脂フィルムや、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルムを使用することができる。特に、金属膜付耐熱性樹脂フィルムに用いる耐熱性樹脂フィルムとしては、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、液晶ポリマー系フィルム等が好ましい。これらの耐熱性樹脂フィルムは、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有しているからである。

上記の真空成膜装置には、スパッタ粒子が長尺樹脂フィルム基板Ｆに向かわずにそれ以外の部位に向かい、例えば真空成膜装置内に設けられている各種機材や壁面等に付着することがあった。これ防ぐため、上記スパッタリングカソード５７～６０とキャンロール５６の外周面との間に、長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送経路に沿って５枚の板状の防着部材６５、６６、６７、６８、６９がこの順に設置されている。各板状防着部材は図示しない支持部に着脱自在に取り付けられており、且つ隣接する板状防着部材同士は、互いに対向する端部において当接している。

上記の隣接する板状防着部材同士は、ターゲット面の略中央部からキャンロール５６側に離間した位置で当接するようになっており、これにより板状防着部材を容易に取り外すことが可能になる。なお、板状防着部材の枚数は上記した５枚に限定されるものではなく、キャンロール５６の大きさや板状防着部材の着脱時の作業性等を考慮して適宜定められる。また、板状防着部材６５～６９は、図１では平板状に描かれているが、これに限定されるものではなく、キャンロール５６の外周面に沿った湾曲板であってもよい。

上記の板状防着部材は、各ターゲットから叩き出されたスパッタ粒子が、該ターゲットに対向する位置に来た長尺樹脂フィルム基板Ｆにのみ向かうことができるように、ターゲット面に対向する部分が開口している。すなわち、図１の真空成膜装置５０を切断線ＩＩ－ＩＩで切断したときの矢視図である図２に示すように、各板状防着部材は、図２の紙面上下方向の両端部がそれぞれ真空チャンバー５１の内壁にまで至っており、また、これら両端部の間の中央部はターゲット面に対向する部分において部分的に開口している。かかる構造により、ターゲットから叩き出されたスパッタ粒子のうち、当該開口部を通り抜けたもののみがキャンロール５６の外周面上の長尺樹脂フィルム基板Ｆの表面で堆積することが可能になる。

このように、各板状防着部材はターゲット面に対向する部分を開口させる必要があるので、長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送経路に沿って並べられている５枚の板状防着部材６５～６９のうち、両端に位置する板状防着部材６５、６９は、隣接する板状防着部材に対向する側の片端部のみが開口する略コの字状の平面形状を有している。一方、それ以外の板状防着部材６６、６７、６８は、両側で板状防着部材に隣接するので両端部が開口する略Ｈ字状の平面形状を有している。なお、キャンロール５６の真下に設けられている板状防着部材６７は、その中央部がキャンロール５６の外周面に近づき過ぎないように、Ｖ字状に屈曲している。かかる構造の板状防着部材６５～６９をスパッタリングカソード５７～６０とキャンロール５６の外周面との間に設けることにより、長尺樹脂フィルム基板Ｆ上の金属膜の成膜に寄与せずにキャンロール５６の外周面の縁部や真空チャンバー５１の内壁などにスパッタ粒子が飛散して付着するのを防ぐことができる。

上記した長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送経路に沿った位置に設けられている板状防着部材６５～６９に加えて、各スパッタリングカソードのターゲット取り付け面を囲む位置に筒状防着部材を着脱自在に設けてもよい。具体的には、図１に示すように、各スパッタリングカソードのターゲット取り付け面の外縁部から当該ターゲット取り付け面に垂直な方向に延在して前述した防着部材６５～６９の開口部近傍にまで至る略四角筒状の防着部材７０、７１、７２、７３を設けてもよい。これにより、長尺樹脂フィルム基板Ｆ上の金属膜の成膜に寄与せずに前述した板状防着部材６５～６９とスパッタリングカソード５７～６０との間の隙間から逃げるスパッタ粒子をより確実に捕捉することができる。なお、筒状防着部材７０～７３のキャンロール５６側端部を内側に屈曲させた断面略Ｌ字形状にしてもよい。

上記した板状防着部材６５～６９や筒状防着部材７０～７３の表面にはスパッタ粒子による堆積物が覆うことになるので、これら防着部材の表面は堆積物が剥離し難いように粗面化処理を施すのが好ましい。このように防着部材の表面を粗くすることにより、そこに堆積する堆積物が剥離しにくくなり、よって堆積物が長尺樹脂フィルム基板Ｆに付着して汚染させたり、各スパッタリングカソードの周囲に付着したりするのを防止できる。かかる構成のスパッタリングウェブコータを用いることにより、剥離した堆積物による汚染がほとんど生じない高品質の金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製することができる。

しかしながら、上記のように板状防着部材６５～６９や筒状防着部材７０～７３を設けても、真空成膜装置５０内の各種機材や壁面等へのスパッタ粒子の堆積を完全に防ぐことはできなかった。特に、真空成膜装置５０のキャンロール５６の上部側の近傍には、図１に示すように該キャンロール５６を間接的に支持する棒状の保持部材８０、８１が存在しており、これら保持部材８０、８１の表面に堆積した堆積物が剥離して長尺樹脂フィルム基板Ｆの表面に付着することがあった。しかも、これら保持部材８０、８１は、長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送を担うロール群などの間のわずかな隙間に設けられているため、堆積物を手作業で除去したり保持部材８０、８１自体を取り替えたりすることが極めて困難であった。

そこで、本発明の実施形態の真空成膜装置５０は、上記保持部材８０、８１の少なくとも一方の表面を覆う防着フィルム材９０が設けられている。具体的に説明すると、図３に示すように、本発明の一具体例の防着フィルム材９０は、好適にはアルミニウムからなる金属製の四角柱状又は板状の長尺基部９１と、その長手方向の両端部を除いた部分の片面側に一端部が貼り付けられた好適にはポリイミドフィルムからなる矩形のフィルム部９２とから構成される。

上記フィルム部９２の一端部を長尺基部９１に貼り付ける方法は特に限定はないが、後述するように、該防着フィルム材９０を上記保持部材８０、８１に設置する際にフィルム部９２にたるみが生じないように該フィルム部９２を手で引っ張って該保持部材８０、８１の表面を覆うので、その際フィルム部９２が長尺基部９１から離れることのない強度を有する程度に貼り付けるのが好ましく、これは例えばポリイミド製の接着テープを用いたり、接着剤を用いて接着したりすることで良好に貼り付けることができる。あるいは、長尺基部９１をその長手方向に平行な面で分離する２個の好適には同形状の板材で構成し、それらの間でフィルム部９２の一端部を挟み込んで該２個の板材同士をネジ留め等で結合するようにしてもよい。

図４に示すように、上記の防着フィルム材９０をキャンロール５６の例えば保持部材８０側に取り付ける時は、先ず長尺基部９１を保持部材８０の溝部８０ａに嵌め込み、フィルム部９２のうち長尺基部９１に貼り付けられている側とは反対側の端部を引っ張りながら該保持部材８０の下側の表面を覆うようにして該保持部材８０に巻き付けて該端部を例えばＰＩ接着テープＴで保持部材８０に貼り付ける。上記の長尺基部９１を嵌め込む保持部材８０の溝部は作業できるスペースに余裕がないため、フィルム部９２をテープで貼り付ける作業は極めて困難を伴うが、あらかじめ長尺基部９１にフィルム部９２を貼り付けておくことで、作業スペースに余裕がなくても長尺基部９１を嵌め込んでテープで留めるだけで簡易に固定できる。

すなわち、図１に示すように、キャンロール５６は、一般的に軸方向の両端部に位置する図示しない１対の支持台によって回転可能に支持されており、これら支持台はキャンロール５６の回転軸に平行な２本の棒状の保持部材８０、８１で結合されている。これら保持部材８０、８１は上方が凹状に窪んでいるため、この部分に長尺基部９１を嵌め込むだけの作業であれば、スペースに余裕がない場合であっても比較的容易に行うことができる。

なお、上記長尺基部９１を保持部材８０、８１から容易に取り外すことができるようにするため、長尺基部９１を保持部材８０、８１の溝部に嵌め込んだ時に、該長尺基部９１においてその長手方向に延在する側部が保持部材８０、８１の上面から１０～２０ｍｍ程度はみ出しているのが好ましい。同様の理由により、長尺基部９１の長手方向の両端部は、保持部材８０、８１の長手方向の両端部から１０～５０ｍｍ程度突出しているのが好ましい。但し、保持部材８０、８１の少なくとも下面部はフィルム部９２で端から端まで覆われるのが好ましいので、略矩形のフィルム部９２の縦横の長さは、上記の点を考慮して定められる。

上記長尺基部９１を保持部材８０、８１の溝部に嵌め込んだ時にガタつく場合は、図５に示すようにガタツキ防止部材９３と共に嵌め込むことが好ましい。これによりフィルム部９２を張った時のガタツキと脱離を防止することができる。すなわち長尺基部９１は角柱状又は板状なので、ガタツキ防止部材９３と共に嵌め込むことで、上記長尺基部９１が保持部材８０、８１の溝内で回転したり、防着フィルム材９０の被覆が緩んだりしにくくなり、より確実に保持部材８０、８１を防着フィルム材９０で覆うことができる。防着フィルム材９０を保持部材８０、８１に取り付ける前に、長尺基部９１にフィルム部９２を１周以上巻き付けてもよい。これによりフィルム部９２が長尺基部９１から離れるのをより確実に防ぐことができる。

以上、本発明に係る防着フィルム材の実施形態について、スパッタリング成膜を行う真空成膜装置内に防着フィルム材を装着する場合を例に挙げて説明したが、本発明に係る防着フィルム材は上記の用途に限定されるものではなく、他の乾式めっき装置にも好適に適用することができる。例えば、耐食金属のクロムの蒸着を行う真空蒸着装置やＣＶＤ（化学蒸着）装置にも本発明の防着フィルム材を好適に用いることができる。また、防着フィルム材で覆う部材はキャンロール５６の保持部材に限定されるものではなく、真空成膜装置内の他の部材でもよいし、真空成膜装置の壁部を保護してもよい。

［実施例］
図１に示すような真空成膜装置５０において、スパッタリングカソード５７にＮｉ－Ｃｒ合金ターゲットを取り付けた。更に、スパッタリングカソード５７とキャンロール５６の外周面との間に、板厚１.５ｍｍのステンレス板（ＳＵＳ３１６Ｌ）で製作した防着部材６５、６６を取り付けた。また、スパッタリングカソード５７にはその外縁部を囲む四角筒状の防着部材７０を設けた。防着部材６５、６６は、それぞれ長尺樹脂フィルム基板Ｆの搬送方向に関してスパッタリングカソード５７の前後に位置しており、互いに対向する端部にスパッタ粒子が通過する開口部を有している。

次に、図３に示すような幅２０ｍｍ×長さ９００ｍｍ×厚さ５ｍｍのアルミニウム板からなる長尺の金属棒からなる長尺基部９１の両端からそれぞれ５０ｍｍを除いた部分の片面に、横８００ｍｍ×縦５００ｍｍのポリイミドからなる矩形のフィルム部９２をポリイミド接着テープで貼り付けた防着フィルム材９０を用意し、上記のキャンロール５６を回転可能に支持する１対の支持台を保持する保持部材８０、８１のうち右側の保持部材８０を図４のようにして上記の防着フィルム材９０で覆った。

具体的には、キャンロールの保持部材８０の上方の溝部８０ａに動かないようにガタツキ防止部材９３と共に長尺基部９１を嵌め込み、フィルム部９２において長尺基部９１に貼り付けられている側とは反対側の端部を引っ張りながらフィルム部９２が保持部材８０の下面側を覆うように巻き付けてＰＩ接着テープで貼り付けた。この防着フィルム材９０の設置に要した時間は２０分程度であった。

この状態で真空チャンバー５１内を減圧雰囲気にした後、１０００ｍの長尺樹脂フィルム基板Ｆをロールツーロールで搬送してキャンロール５６の外周面に巻き付けて冷却しながらスパッタリング成膜を行った。その結果成膜された長尺樹脂フィルム基板のピンホール数は０.１５個／ｍ^２であった。また、長尺樹脂フィルム基板成膜後、防着フィルムを取り除いた当該箇所にはＮｉ-Ｃｒは付着していなかった。

［比較例］
図３の防着フィルム材を用いなかった以外は上記実施例と同様にして長尺樹脂フィルム基板に成膜を行った。その結果ピンホール数は０.５個／ｍ^２であった。また、防着フィルム材９０を用いないため、保持部材８０にＮｉ－Ｃｒの堆積物が付着していた。保持部材８０は狭いスペースに設置されているため、この付着した堆積物を除去するために７時間程度を要した。

５０真空成膜装置
５１真空チャンバー
５２巻出ロール
５３、６３フリーロール
５４、６２張力センサロール
５５、６１フィードロール
５６キャンロール
５７、５８、５９、６０マグネトロンスパッタリングカソード
６４巻取ロール
６５、６６、６７、６８、６９板状防着部材
７０、７１、７２、７３筒状防着部材
８０、８１保持部材
９０防着フィルム材
９１長尺基部
９２フィルム部
９３ガタツキ防止部材
Ｆ長尺樹脂フィルム基板

Claims

真空チャンバー内において巻出ロールから巻取ロールまでロールツーロールで搬送される長尺状の被成膜基材をキャンロールの外周面に巻き付けてその裏側から冷却しながら該被成膜基材の表側に成膜を行う成膜装置の装置内において、該被成膜基材以外の部材に成膜用粒子が付着して堆積するのを防止する防着フィルム材であって、
前記被成膜基材以外の部材は、前記キャンロールをその軸方向の両端部において回転可能に支持する１対の支持台に斜め上方から結合しており、かつ該キャンロールの回転軸に平行に設置されている２本の棒状の保持部材であって、該２本の保持部材の各々は上側に長手方向に延在する断面凹状に窪んだ溝部を有しており、
前記防着フィルム材は、前記溝部に嵌め込まれる角柱状又は板状の長尺基部と、該長尺基部の片面側に一端部が貼り付けられたフィルム部とからなることを特徴とする防着フィルム材。
前記２本の棒状の保持部材は、前記キャンロールの斜め上方に位置し、かつ前記被成膜基材において前記成膜が行なわれる側の面に対向していることを特徴とする、請求項１に記載の防着フィルム材。