JP2020193385A

JP2020193385A - 真空成膜装置と真空成膜方法

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Publication number: JP2020193385A
Application number: JP2019101222A
Authority: JP
Inventors: 大上　秀晴; Hideharu Ogami; 秀晴大上
Original assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Metal Mining Co Ltd
Priority date: 2019-05-30
Filing date: 2019-05-30
Publication date: 2020-12-03
Anticipated expiration: 2039-05-30
Also published as: JP7285431B2

Abstract

【課題】冷却キャンロールの外周面と接する長尺樹脂フィルム面等にスクラッチ傷が付き難い真空成膜装置と真空成膜方法を提供すること。【解決手段】長尺樹脂フィルム１を巻き出す巻出室100と、フィルムの第一面側に第一金属膜を成膜する第一成膜室400と、第二面側に第二金属膜を成膜する第二成膜室600と、両面に金属膜が成膜されたフィルムを巻き取る巻取室700とを備え、各成膜室がキャンロール431、651とスパッタリング等の成膜手段を有する真空成膜装置において、巻出室と第一成膜室間にフィルムの第二面側に第一保護フィルム301を重合させる保護フィルム重合室300が設けられ、第一成膜室と第二成膜室間にフィルムの第二面側に第二保護フィルム501を重合しかつ上記第一保護フィルムを分離する保護フィルム重合並びに分離室500が設けられていることを特徴とする。【選択図】図３

Description

本発明は、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを冷却キャンロールの外周面に巻き付け、冷却キャンロールの外周面と接していない長尺樹脂フィルムの表面側に金属膜を成膜する真空成膜装置と真空成膜方法に係り、特に、冷却キャンロールの外周面と接する長尺樹脂フィルム面若しくは金属膜面にスクラッチ傷が付き難い真空成膜装置と真空成膜方法の改良に関するものである。

液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、多種類のフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板の材料には、耐熱性樹脂フィルムの両面に金属膜を形成した金属膜付き樹脂フィルムが用いられており、この金属膜付き樹脂フィルムにフォトリソグラフィーやエッチング等の薄膜加工技術を適用することで所定の配線パターンを有するフレキシブル配線基板を得ることができる。フレキシブル配線基板の配線パターンは近年ますます微細化、高密度化しているため、金属膜付き樹脂フィルムの金属膜にはピンホール等の欠陥がないことがより一層重要になってきている。

この種の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法として、金属箔を接着剤により耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法と称される）、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法と称される）、真空成膜法により耐熱性樹脂フィルム上に金属膜を成膜する方法、若しくは、真空成膜法により耐熱性樹脂フィルム上に金属膜を成膜しかつ該金属膜上に湿式メッキ法により湿式メッキ層を形成して製造する方法（メタライジング法と称される）等が従来から知られている。また、メタライジング法における真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。

上記メタライジング法として、特許文献１には、ポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上に導体層を形成する方法が開示されている。また、特許文献２には、銅ニッケル合金をターゲットとするスパッタリングにより形成された第一の金属薄膜と、銅をターゲットとするスパッタリングにより形成された第二の金属薄膜を、この順でポリイミドフィルム上に積層することによって得られるフレキシブル回路基板用材料が開示されている。尚、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルム（基板）に真空成膜を行う場合、スパッタリングウェブコータを用いることが一般的である。

近年、高密度配線基板として、上記メタライジング法による両面金属膜付き樹脂フィルムが製造されている。具体的に説明すると、耐熱性を有する長尺樹脂フィルムの両面にスパッタリング等の真空成膜法で下地となる金属膜（金属シードと称される）を成膜し、該金属膜（金属シード）上に湿式メッキ法により湿式メッキ層を形成して両面金属膜付き樹脂フィルムが製造されている。尚、金属膜（金属シード）はスパッタリングウェブコータ等の真空成膜装置を用いて成膜され、湿式メッキ層は湿式メッキ装置を用いて形成されるため、メタライジング法による両面金属膜付き樹脂フィルムは製造装置が異なる２段階の工程を経て製造されている。すなわち、真空成膜装置により両面に金属膜（金属シード）が成膜された長尺樹脂フィルムは、一旦、真空成膜装置内においてロール状に巻回された後、真空成膜装置から搬出されて湿式メッキ装置の湿式メッキ槽内に搬入され、長尺樹脂フィルムの金属膜（金属シード）上に湿式メッキ層が形成されている。

長尺樹脂フィルムの両面に金属膜（金属シード）を成膜するこの種の真空成膜装置として、従来、図１に示すようなスパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）が知られている。すなわち、図１に示すように、巻出ロール１１に巻回された長尺樹脂フィルム１を巻き出す巻出室１０と、巻出室１０から供給された長尺樹脂フィルム１の第一面側に第一金属膜（金属シード）を成膜する第一成膜室３０と、長尺樹脂フィルム１の第二面側に第二金属膜（金属シード）を成膜する第二成膜室５０と、第一金属膜と第二金属膜が成膜された長尺樹脂フィルム１を巻取ロール６１に巻き取る巻取室６０とを備え、上記第一成膜室３０と第二成膜室５０が、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルム１を外周面に巻き付けて冷却する回転駆動の第一冷却キャンロール３１および第二冷却キャンロール５１と、これ等冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第一成膜手段３２、３３、３４、３５および第二成膜手段５２、５３、５４、５５を有するスパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）が知られている。

そして、図１に示すスパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）を用いることで、巻出室１０から供給される長尺樹脂フィルム１の第一面１α（図２ａ参照）側に第一金属膜ｍ１（図２ｂ参照）が成膜され、長尺樹脂フィルム１の第二面１β（図２ａ参照）側に第二金属膜ｍ２（図２ｃ参照）が成膜され、かつ、長尺樹脂フィルム１の上記第一金属膜ｍ１側に合紙６３が重ね合わされた状態（図２ｄ参照）で巻取ロール６１に収容される。

尚、図１中の符号６２は、巻取ロール６１に収容される長尺樹脂フィルム１の層間に挟み込まれる長尺の合紙６３（成膜された第一金属膜ｍ１と第二金属膜ｍ２を介し長尺樹脂フィルム１が貼り付いてしまうブロッキングを防止するための合紙）を巻き出す長尺合紙巻出ロールを示している。また、図２（ａ）に示す長尺樹脂フィルム１の断面図は、図１中、符号（ａ）で示す長尺樹脂フィルム１の断面に対応し、図２（ｂ）に示す長尺樹脂フィルム１の断面図は、図１中、符号（ｂ）で示す長尺樹脂フィルム１の断面に対応し、図２（ｃ）に示す長尺樹脂フィルム１の断面図は、図１中、符号（ｃ）で示す長尺樹脂フィルム１の断面に対応し、図２（ｄ）に示す長尺樹脂フィルム１の断面図は、図１中、符号（ｄ）で示す巻取ロール６１に巻き取られた長尺樹脂フィルム１の断面にそれぞれ対応している。

特開平２−９８９９４号公報特開平６−９７６１６号公報

ところで、図１に示すスパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）においては、長尺樹脂フィルム１を第一冷却キャンロール３１および第二冷却キャンロール５１の各外周面に密着させる関係上、第一成膜室３０および第二成膜室５０内における長尺樹脂フィルム１の搬送張力は、他の巻出室１０や巻取室６０内における長尺樹脂フィルム１の搬送張力より高く設定されている。このため、第一成膜室３０内を搬送される長尺樹脂フィルム１は、第一成膜室３０内に設けられた第一冷却キャンロール３１やモータ駆動ロール３６、３７の外周面に強く接触し、また、第二成膜室５０内を搬送される長尺樹脂フィルム１は、第二成膜室５０内に設けられた第二冷却キャンロール５１やモータ駆動ロール５６、５７の外周面に強く接触することになることから、これ等外周面と接触する長尺樹脂フィルム１側が未成膜のフィルム面である場合、未成膜のフィルム面にスクラッチ傷が付き易く、上記外周面と接触する長尺樹脂フィルム１側が成膜後の金属膜である場合、該金属膜にスクラッチ傷が付き易くなる。そして、未成膜のフィルム面にスクラッチ傷が付いた場合にはその後に成膜される金属膜面に凹凸が形成されてしまい、金属膜にスクラッチ傷が付いた場合には金属膜に欠損部が形成されてしまうため、両面金属膜付き樹脂フィルムにピンホール等の欠陥が生じ易くなる問題が存在した。

本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、冷却キャンロールの外周面と接する長尺樹脂フィルム面若しくは金属膜面にスクラッチ傷が付き難い真空成膜装置と真空成膜方法を提供することにある。

すなわち、本発明に係る第１の発明は、
巻出ロールに巻回された長尺樹脂フィルムを巻き出す巻出室と、巻出室から供給された長尺樹脂フィルムの第一面側に第一金属膜を成膜する第一成膜室と、長尺樹脂フィルムの第二面側に第二金属膜を成膜する第二成膜室と、第一金属膜と第二金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムを巻取ロールに巻き取る巻取室とを備え、上記第一成膜室と第二成膜室が、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを外周面に巻き付けて冷却する回転駆動の第一冷却キャンロールおよび第二冷却キャンロールと、これ等冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第一成膜手段および第二成膜手段を有する真空成膜装置において、
上記巻出室と第一成膜室との間に、搬送中における長尺樹脂フィルムの第二面側に第一保護フィルムを重合させて第一冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第二面との間に第一保護フィルムを介在させる保護フィルム重合室が設けられ、かつ、上記第一成膜室と第二成膜室との間に、第一面側に第一金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの該第一金属膜側に第二保護フィルムを重合させて第二冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第一金属膜との間に第二保護フィルムを介在させると共に、長尺樹脂フィルムの第二面側に重合された上記第一保護フィルムを分離して長尺樹脂フィルムの第二面を第二成膜手段側に露出させる保護フィルム重合並びに分離室が設けられていることを特徴とする。

また、第２の発明は、
第１の発明に記載の真空成膜装置において、
上記保護フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成されることを特徴とし、
第３の発明は、
第１の発明に記載の真空成膜装置において、
熱負荷を伴う上記成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする。

次に、本発明に係る第４の発明は、
巻出ロールに巻回された長尺樹脂フィルムを巻き出すフィルム巻き出し工程と、
巻き出された長尺樹脂フィルムの第二面側を第一冷却キャンロールに巻き付けると共に、該第一冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第一成膜手段により長尺樹脂フィルムの第一面側に第一金属膜を成膜する第一成膜工程と、
第一金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの該第一金属膜側を第二冷却キャンロールに巻き付けると共に、該第二冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第二成膜手段により長尺樹脂フィルムの第二面側に第二金属膜を成膜する第二成膜工程と、
第一金属膜と第二金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムを巻取ロールに巻き取るフィルム巻き取り工程、
を有する真空成膜方法において、
上記フィルム巻き出し工程から第一成膜工程までの間において、長尺樹脂フィルムの第二面側に第一保護フィルムを重合させて第一冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第二面との間に第一保護フィルムが介在するようにし、かつ、上記第一成膜工程から第二成膜工程までの間において、第一面側に第一金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの該第一金属膜側に第二保護フィルムを重合させて第二冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第一金属膜との間に第二保護フィルムが介在するようにすると共に、長尺樹脂フィルムの第二面側に重合された上記第一保護フィルムを分離して長尺樹脂フィルムの第二面が第二成膜手段側に露出するようにしたことを特徴とする。

また、第５の発明は、
第４の発明に記載の真空成膜方法において、
上記保護フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成されることを特徴とし、
第６の発明は、
第４の発明に記載の真空成膜方法において、
熱負荷を伴う上記成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする。

本発明に係る真空成膜装置と真空成膜方法によれば、
第一成膜室に搬入される前段階において長尺樹脂フィルムの第二面（未成膜面）側に第一保護フィルムが重合され、第二成膜室に搬入される前段階において長尺樹脂フィルムの第一面（第一成膜室で成膜された第一金属膜）側に第二保護フィルムが重合されるため、第一成膜室および第二成膜室内において長尺樹脂フィルムは第一保護フィルムおよび第二保護フィルムを介在させた状態で各冷却キャンロールの外周面に巻き付けられる。

そして、第一成膜室および第二成膜室内において長尺樹脂フィルムが各冷却キャンロールの外周面に強く接触されても、長尺樹脂フィルムと各冷却キャンロール間に介在する第一保護フィルムおよび第二保護フィルムにより長尺樹脂フィルムの未成膜フィルム面（第二面側）および第一金属膜面（第一面側）にスクラッチ傷が付き難くなる効果を有する。

長尺樹脂フィルムの両面に金属膜を成膜する従来例に係るスパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）の構成説明図。図２（ａ）は図１中符号（ａ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図２（ｂ）は図１中符号（ｂ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図２（ｃ）は図１中符号（ｃ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、および、図２（ｄ）は図１中符号（ｄ）で示す巻取ロールに巻き取られた長尺樹脂フィルムの断面図。長尺樹脂フィルムの両面に金属膜を成膜する本発明の実施形態に係るスパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）の構成説明図。図４（Ａ）は図３中符号（Ａ）で示す巻出ロールに巻回された長尺樹脂フィルムの断面図、図４（Ｂ）は図３中符号（Ｂ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図４（Ｃ）は図３中符号（Ｃ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図４（Ｄ）は図３中符号（Ｄ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図４（Ｅ）は図３中符号（Ｅ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図４（Ｆ）は図３中符号（Ｆ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、図４（Ｇ）は図３中符号（Ｇ）で示す長尺樹脂フィルムの断面図、および、図４（Ｈ）は図３中符号（Ｈ）で示す巻取ロールに巻き取られた長尺樹脂フィルムの断面図。

以下、本発明の実施形態に係る真空成膜装置について、従来例に係る真空成膜装置とその問題点と共に詳細に説明する。

１．従来例に係る真空成膜装置
（１）従来例に係る真空成膜装置の構成
まず、図１を参照しながら従来例に係る真空成膜装置について詳細に説明する。

尚、図１では、モータで駆動するロールはＭ（モータ）、張力測定ロールはＴＰ（テンションピックアップ）、フリーロールはＦ（フリー）の記号を付している。

従来例に係る真空成膜装置は、図１に示すように巻出室１０、乾燥室２０、第一成膜室３０、搬送室４０、第二成膜室５０、および、巻取室６０とで構成されている。また、上記乾燥室２０と第一成膜室３０との間に、プラズマ照射やイオンビーム照射を行ってフィルムと金属膜の密着力を向上させる「表面処理室」が組み込まれる場合もある。

上記巻出室１０には、未成膜の長尺樹脂フィルム１を巻回した巻出ロール１１が配置され、巻出ロール１１から巻き出された長尺樹脂フィルム１が、フリーロール１２、張力測定ロール１３、および、フリーロール１４を経由して乾燥室２０へ搬出されるように構成されている。尚、フィルムの巻出張力は、張力測定ロール１３で測定され、巻出ロール１１にフィードバック制御されるように構成されている。

上記乾燥室２０には、フィルム乾燥用のヒータ２２が配置され、巻出室１０から搬入された未成膜の長尺樹脂フィルム１が乾燥処理されると共に、モータ駆動ロール２１、フリーロール２３、張力測定ロール２４，フリーロール２５、および、フリーロール２６を経由して第一成膜室３０へ搬出されるように構成されている。尚、フィルムの乾燥張力は、張力測定ロール２４で測定され、上記モータ駆動ロール２１にフィードバック制御されるように構成されている。

上記第一成膜室３０内には、第一成膜手段としてのスパッタリングカソード３２、３３、３４、３５が配置され、乾燥室２０から搬入された未成膜長尺樹脂フィルム１の片面（第一面１α：図２ａ参照）に第一金属膜（金属シード）ｍ１が成膜される（図２ｂ参照）と共に、モータ駆動ロール３６、張力測定ロール３８、第一冷却キャンロール３１、張力測定ロール３９、および、モータ駆動ロール３７を経由して搬送室４０へ搬出されるように構成されている。また、第一冷却キャンロール３１上流のフィルム張力（搬入張力）は、張力測定ロール３８で測定され、モータ駆動ロール３６にフィードバック制御されるように構成され、第一冷却キャンロール３１下流のフィルム張力（搬出張力）は、張力測定ロール３９で測定され、モータ駆動ロール３７にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図１中の符号３ｐは遮蔽板を示し、上記スパッタリングカソードのターゲットから叩き出されたスパッタリング粒子が所定の進行経路を外れて乾燥室２０や搬送室４０等へ向かうのを防止するよう構成されている。また、第一成膜室３０内のフィルム張力（搬入、搬出張力）は、巻出室１０内のフィルム巻出張力、乾燥室２０のフィルム乾燥張力、巻取室６０内のフィルム巻取張力より２倍〜４倍程度高く設定されている。

また、上記搬送室４０にはフリーロール４１、４２、４３が配置され、第一成膜室３０から搬入された片面（第一面１α）に第一金属膜（金属シード）ｍ１を有する長尺樹脂フィルム１が上記フリーロール４１、４２、４３を経由して第二成膜室５０へ搬出されるように構成されている。尚、長尺樹脂フィルム１が上記搬送室４０を経由することで、次工程の第二成膜室５０内において、長尺樹脂フィルム１の未成膜面（第二面１β：図２ａ参照）側が第二成膜室５０の第二成膜手段側に露出して長尺樹脂フィルム１の第二面１β側も成膜されるよう調整されている。

次に、上記第二成膜室５０内には、第二成膜手段としてのスパッタリングカソード５２、５３、５４、５５が配置され、搬送室４０から搬入された長尺樹脂フィルム１のもう片面（第二面１β）に第二金属膜（金属シード）ｍ２が成膜されると共に、モータ駆動ロール５６、張力測定ロール５８、第二冷却キャンロール５１、張力測定ロール５９、および、モータ駆動ロール５７を経由して巻取室６０へ搬出されるように構成されている。また、第二冷却キャンロール５１上流のフィルム張力（搬入張力）は、張力測定ロール５８で測定され、モータ駆動ロール５６にフィードバック制御されるように構成され、第二冷却キャンロール５１下流のフィルム張力（搬出張力）は、張力測定ロール５９で測定され、モータ駆動ロール５７にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図１中の符号５ｐは遮蔽板を示している。また、第二成膜室５０内のフィルム張力（搬入、搬出張力）も、上記巻出室１０内のフィルム巻出張力、乾燥室２０のフィルム乾燥張力、巻取室６０内のフィルム巻取張力より２倍〜４倍程度高く設定されている。

また、上記巻取室６０内には、巻取ロール６１および長尺合紙巻出ロール６２が配置され、第二成膜室５０から搬入された両面に金属膜（金属シード）を有する長尺樹脂フィルム１が、長尺合紙巻出ロール６２から巻き出される長尺合紙６３を、フリーロール６７を経由してフィルムの層間に挟み込みながら、フリーロール６４、張力測定ロール６５、および、フリーロール６６を経由して巻取ロール６１に巻き取られるように構成されている。尚、フィルムの巻取張力は、張力測定ロール６５で測定され、巻取ロール６１にフィードバック制御されるように構成されている。このように、上記巻出室１０、乾燥室２０、第一成膜室３０、搬送室４０、および、第二成膜室５０を通過し、両面に金属膜（金属シード）が成膜された長尺樹脂フィルム１は、その層間に長尺合紙６３を挟み込みながら巻取室６０の巻取ロール６１に巻き取られるようになっている。

ところで、両面に金属膜（金属シード）が成膜された長尺樹脂フィルム１を巻取ロール６１にそのまま巻き取った場合、片面側（第一面１α）ともう片面（第二面１β）側にそれぞれ成膜された金属膜（金属シード）が真空中で強く接触し、貼り付いてしまうブロッキング現象が発生する。このブロッキング現象を防止するため、上述したように長尺合紙巻出ロール６２から巻き出される長尺合紙６３をフィルムの層間に挟み込みながら長尺樹脂フィルム１を巻取ロール６１に巻き取ればよい。尚、図１においては、スパッタリングウェブコータ（真空成膜装置）を説明するための最低限のロールしか記載していないが、図示していないロールも存在する。

また、巻出室１０、乾燥室２０、第一成膜室３０、搬送室４０、第二成膜室５０、および、巻取室６０を構成する各真空室は排気設備を備え、特に、第一成膜室３０と第二成膜室５０ではスパッタリング成膜のため到達圧力１０^-4Ｐａ程度までの減圧と、その後のスパッタリングガス導入による０.１〜１０Ｐａ程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。各真空室の形状や材質は、このような減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。各真空室内を減圧してその状態を維持するため、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が設けられている。

また、金属膜（金属シード）をスパッタリング成膜する場合、図１に示すように板状のターゲットが使用されるが、板状のターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール（異物の成長）を発生することがある。これが問題になる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形ロータリーターゲットを使用することが好ましい。また、図１の真空成膜装置ではマグネトロンスパッタリングカソードが図示されているが、ＣＶＤ（化学蒸着）や蒸着処理等他の真空成膜装置を用いる場合には、板状ターゲットに代えて他の真空成膜手段が組み込まれる。

（２）従来例に係る真空成膜装置の問題点
図１に示す従来例に係る真空成膜装置においては、長尺樹脂フィルム１を第一冷却キャンロール３１および第二冷却キャンロール５１の各外周面に密着させる関係上、第一成膜室３０および第二成膜室５０内における長尺樹脂フィルム１の搬送張力は、上述したように巻出室１０内のフィルム巻出張力、乾燥室２０のフィルム乾燥張力、巻取室６０内のフィルム巻取張力より２倍〜４倍程度高く設定されている。このため、第一成膜室３０内を搬送される長尺樹脂フィルム１は、第一成膜室３０内に設けられた第一冷却キャンロール３１やモータ駆動ロール３６、３７の外周面に強く接触し、また、第二成膜室５０内を搬送される長尺樹脂フィルム１は、第二成膜室５０内に設けられた第二冷却キャンロール５１やモータ駆動ロール５６、５７の外周面に強く接触することになることから、これ等外周面と接触する長尺樹脂フィルム１側が未成膜のフィルム面である場合、未成膜のフィルム面にスクラッチ傷が付き易く、上記外周面と接触する長尺樹脂フィルム１側が成膜後の金属膜である場合、該金属膜にスクラッチ傷が付き易くなる。

そして、未成膜のフィルム面にスクラッチ傷が付いた場合にはその後に成膜される金属膜面に凹凸が形成されてしまい、金属膜にスクラッチ傷が付いた場合には金属膜に欠損部が形成されてしまうため、両面金属膜付き樹脂フィルムにピンホール等の欠陥が生じ易くなる問題が存在した。

２．本発明の実施形態に係る真空成膜装置
（１）本発明の実施形態に係る真空成膜装置の構成
次に、本発明の実施形態に係る真空成膜装置について、図３を参照しながら具体的に説明する。図３においても、モータで駆動するロールはＭ（モータ）、張力測定ロールはＴＰ（テンションピックアップ）、フリーロールはＦ（フリー）の記号を付している。

本実施形態に係る真空成膜装置は、図３に示すように巻出室１００、乾燥室２００、保護フィルム重合室３００、第一成膜室４００、保護フィルム重合並びに分離室５００、第二成膜室６００、および、巻取室７００とで構成されている。尚、従来例に係る装置と同様、上記乾燥室２００と保護フィルム重合室３００との間に、プラズマ照射やイオンビーム照射を行ってフィルムと金属膜の密着力を向上させる「表面処理室」が組み込まれる場合もある。

上記巻出室１００には、未成膜の長尺樹脂フィルム１を巻回した巻出ロール１１０と、巻出ロール１１０から長尺樹脂フィルム１を巻き出すときに長尺樹脂フィルム１の層間に挟み込まれた長尺合紙１０１を分離して回収する長尺合紙巻取ロール１２０が配置され、巻出ロール１１０から巻き出された長尺樹脂フィルム１が、フリーロール１１１、張力測定ロール１１２、および、フリーロール１１３を経由して乾燥室２００へ搬出されるように構成されていると共に、長尺樹脂フィルム１から分離された長尺合紙１０１が、フリーロール１２１、張力測定ロール１２２、および、フリーロール１２３を経由して長尺合紙巻取ロール１２０に回収されるように構成されている。また、巻出ロール１１０からのフィルム巻出張力［例えば、１００ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール１１２で測定され、巻出ロール１１０にフィードバック制御されるように構成され、長尺合紙の巻取張力は、張力測定ロール１２２で測定され、長尺合紙巻取ロール１２０にフィードバック制御されるように構成されている。また、上記長尺合紙１０１は、両面が未成膜の長尺樹脂フィルムにおいてフィルム面同士のブロッキングを防止するためフィルム層間に挟み込まれる（図４Ａ参照）ものである。

上記乾燥室２００には、フィルム乾燥用のヒータ２２２が配置され、巻出室１００から搬入された長尺樹脂フィルム１（図４Ｂ参照）が乾燥処理されると共に、モータ駆動ロール２２１、フリーロール２２３、張力測定ロール２２４，フリーロール２２５、フリーロール２２６、および、フリーロール２２７を経由して保護フィルム重合室３００へ搬出されるように構成されている。また、フィルムの乾燥張力［例えば、５０ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール２２４で測定され、上記モータ駆動ロール２２１にフィードバック制御されるように構成されている。

また、上記保護フィルム重合室３００には、第一保護フィルム３０１を巻き出す保護フィルム巻出ロール３１０が配置され、保護フィルム巻出ロール３１０から巻き出された第一保護フィルム３０１が、フリーロール３１１と張力測定ロール３１２を経由してフリーロール３１３上に搬送される一方、上記乾燥室２００からフリーロール２２７と保護フィルム重合室３００のフリーロール３１４を経由して上記フリーロール３１３上に長尺樹脂フィルム１が搬送され、該フリーロール３１３上において長尺樹脂フィルム１の第二面１β側に第一保護フィルム３０１が重合された（図４Ｃ参照）後、第一成膜室４００へ搬出されるように構成されている。尚、保護フィルム巻出ロール３１０からの第一保護フィルム巻出張力は、張力測定ロール３１２で測定され、保護フィルム巻出ロール３１０にフィードバック制御されるように構成されている。

次に、上記第一成膜室４００内には、第一成膜手段としてのスパッタリングカソード４３２、４３３、４３４、４３５が配置され、保護フィルム重合室３００から搬入されかつ第二面１β側に第一保護フィルム３０１が重合された長尺樹脂フィルム１の片面（第一面１α：図４Ｃ参照）に第一金属膜（金属シード）ｍ１が成膜される（図４Ｄ参照）と共に、フリーロール４０１、モータ駆動ロール４３６、張力測定ロール４３８、第一冷却キャンロール４３１、張力測定ロール４３９、モータ駆動ロール４３７、および、フリーロール４０２を経由して保護フィルム重合並びに分離室５００へ搬出されるように構成されている。また、第一冷却キャンロール４３１上流のフィルム張力［搬入張力：例えば、２００ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール４３８で測定され、モータ駆動ロール４３６にフィードバック制御されるように構成され、第一冷却キャンロール４３１下流のフィルム張力［搬出張力：例えば、２００ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール４３９で測定され、モータ駆動ロール４３７にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図３中の符号４００ｐは遮蔽板を示し、第一成膜手段としての上記スパッタリングカソードのターゲットから叩き出されたスパッタリング粒子が所定の進行経路を外れて保護フィルム重合室３００や保護フィルム重合並びに分離室５００等へ向かうのを防止するよう構成されている。

また、上記保護フィルム重合並びに分離室５００内には、第二保護フィルム５０１を巻き出す保護フィルム巻出ロール５１０が配置され、保護フィルム巻出ロール５１０から巻き出された第一保護フィルム５０１が、フリーロール５１１と張力測定ロール５１２を経由してフリーロール５４１上に搬送される一方、上記第一成膜室４００からフリーロール４０２と保護フィルム重合並びに分離室５００のモータ駆動ロール５１３と張力測定ロール５１４を経由して上記フリーロール５４１上に長尺樹脂フィルム１が搬送され、該フリーロール５４１上において長尺樹脂フィルム１の第一面１α（第一成膜室４００で成膜された第一金属膜ｍ１）側に第二保護フィルム５０１が重合される（図４Ｅ参照）よう構成されている。尚、保護フィルム巻出ロール５１０からの第二保護フィルム巻出張力は、張力測定ロール５１２で測定され、保護フィルム巻出ロール５１０にフィードバック制御されるように構成されている。更に、保護フィルム重合並びに分離室５００内には、上記長尺樹脂フィルム１の第二面１β側に重合された第一保護フィルム３０１（図４Ｃ参照）を分離して回収する保護フィルム巻取ロール５２０が配置され、上記フリーロール５４１とフリーロール５４２を経由してフリーロール５４３上に搬送される長尺樹脂フィルム１から第一保護フィルム３０１を分離し、分離された第一保護フィルム３０１が、張力測定ロール５２２とフリーロール５２１を経由して上記保護フィルム巻取ロール５２０に回収されるように構成されている。尚、第一保護フィルム３０１の巻取張力は、張力測定ロール５２２で測定され、保護フィルム巻取ロール５２０にフィードバック制御されるように構成されている。そして、上記フリーロール５４３上において第一保護フィルム３０１が分離され第二面１β側が露出された（図４Ｆ参照）長尺樹脂フィルム１は、モータ駆動ロール５３１と張力測定ロール５３２を経由して第二成膜室６００へ搬出されるように構成されている。

次に、上記第二成膜室６００内には、第二成膜手段としてのスパッタリングカソード６５２、６５３、６５４、６５５が配置され、保護フィルム重合並びに分離室５００から搬入された長尺樹脂フィルム１のもう片面（第二面１β：図４Ｂ参照）に第二金属膜（金属シード）ｍ２が成膜される（図４Ｇ参照）と共に、モータ駆動ロール６５６、張力測定ロール６５８、第二冷却キャンロール６５１、張力測定ロール６５９、および、モータ駆動ロール６５７を経由して巻取室７００へ搬出されるように構成されている。また、上記第二冷却キャンロール６５１上流のフィルム張力［搬入張力：例えば、２００ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール６５８で測定され、モータ駆動ロール６５６にフィードバック制御されるように構成され、第二冷却キャンロール６５１下流のフィルム張力［搬出張力：例えば、２００ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール６５９で測定され、モータ駆動ロール６５７にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図３中の符号６００ｐは遮蔽板を示している。

上記巻取室７００内には、巻取ロール７４１および長尺合紙巻出ロール７４２が配置され、第二成膜室６００から搬入された両面に金属膜（金属シード）を有する長尺樹脂フィルム１が、長尺合紙巻出ロール７４２から巻き出される長尺合紙６３を、フリーロール７０１、張力測定ロール７０２、および、フリーロール７４７を経由してフィルムの層間に挟み込みながら（図４Ｈ参照）、フリーロール７４４、張力測定ロール７４５、および、フリーロール７４６を経由して巻取ロール７４１に巻き取られるよう構成されている。尚、長尺樹脂フィルムの巻取張力［例えば、１００ニュートン（Ｎ）］は、張力測定ロール７４５で測定され、巻取ロール７４１にフィードバック制御されるように構成され、また、長尺合紙巻出ロール７４２からの長尺合紙巻出張力は、張力測定ロール７０２で測定され、長尺合紙巻出ロール７４２にフィードバック制御されるように構成されている。

そして、上記巻出室１００、乾燥室２００、保護フィルム重合室３００、第一成膜室４００、保護フィルム重合並びに分離室５００、および、第二成膜室６００を通過し、両面に金属膜（金属シード）を成膜した長尺樹脂フィルム１が、その層間に長尺合紙６３を挟み込みながら巻取室７００の巻取ロール７４１に巻き取られるようになっている。

また、上記巻出室１００、乾燥室２００、保護フィルム重合室３００、第一成膜室４００、保護フィルム重合並びに分離室５００、第二成膜室６００、および、巻取室７００を構成する各真空室は排気設備を備え、特に、第一成膜室４００と第二成膜室６００ではスパッタリング成膜のため到達圧力１０^-4Ｐａ程度までの減圧と、その後のスパッタリングガス導入による０.１〜１０Ｐａ程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。各真空室の形状や材質は、このような減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。各真空室内を減圧してその状態を維持するため、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が設けられている。

また、金属膜（金属シード）をスパッタリング成膜する場合、図３に示すように板状のターゲットが使用されるが、板状のターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール（異物の成長）を発生することがある。これが問題になる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形ロータリーターゲットを使用することが好ましい。また、図３の真空成膜装置ではマグネトロンスパッタリングカソードが図示されているが、ＣＶＤ（化学蒸着）や蒸着処理等他の真空成膜装置を用いる場合には、板状ターゲットに代えて他の真空成膜手段が組み込まれる。

（２）本発明の実施形態に係る真空成膜装置の効果
本実施形態に係る真空成膜装置によれば、第一成膜室４００に搬入される前段階において長尺樹脂フィルム１の第二面１β（未成膜面）側に第一保護フィルム３０１が重合され、第二成膜室６００に搬入される前段階において長尺樹脂フィルム１の第一面１α（第一成膜室４００で成膜された第一金属膜ｍ１）側に第二保護フィルム５０１が重合されるため、第一成膜室４００および第二成膜室６００内において長尺樹脂フィルム１は第一保護フィルム３０１および第二保護フィルム５０１を介在させた状態で第一冷却キャンロール４３１および第二冷却キャンロール６５１の各外周面に巻き付けられる。

そして、第一成膜室４００内において長尺樹脂フィルム１が第一冷却キャンロール４３１の外周面、モータ駆動ロール４３６並びにモータ駆動ロール４３７の各外周面に強く接触され、また、第二成膜室６００内において長尺樹脂フィルム１が第二冷却キャンロール６５１の外周面、モータ駆動ロール６５６並びにモータ駆動ロール６５７の各外周面に強く接触されても、長尺樹脂フィルム１とこれ等ロール間に介在する第一保護フィルム３０１および第二保護フィルム５０１により長尺樹脂フィルム１の未成膜面（第二面１β）および第一金属膜ｍ１面（第一面１α）にスクラッチ傷が付き難くなることから、第一金属膜ｍ１および第二金属膜ｍ２（金属シード）上に形成される湿式メッキ層にピンホール等の無い高品質な金属膜付き樹脂フィルムを製造できる顕著な効果を有する。

（３）フィルムの材質
（3-1）長尺樹脂フィルム
金属膜付き樹脂フィルムに適用される長尺樹脂フィルムとしては、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる耐熱性の樹脂フィルム等が例示される。これ等の樹脂フィルムを用いて得られる金属膜付き樹脂フィルムは、上述したフレキシブル配線基板に要求される柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性に優れているからである。

（3-2）保護フィルム
上記保護フィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体が例示される。

（3-3）長尺合紙
長尺樹脂フィルムの層間に挟み込まれる上記長尺合紙としては、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルム等が例示される。

以下、本発明の実施例について具体的に説明する。

［金属膜（金属シード）の成膜］
図３に示す真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）を用いて長尺樹脂フィルムの両面（第一面１αと第二面１β）に金属膜（金属シード）を成膜した。尚、図３に示す長尺樹脂フィルム１には、幅６００ｍｍ、長さ１０００ｍ、厚さ２５μｍの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス（登録商標）」を使用し、長尺樹脂フィルム１の第一面１αと第二面１βに成膜する第一金属膜ｍ１と第二金属膜ｍ２（金属シード）は、第一層のＮｉ−Ｃｒ膜上に第二層のＣｕ膜を成膜するものとした。

すなわち、第一成膜室４００のマグネトロンスパッタカソード４３２のターゲットにはＮｉ−Ｃｒターゲットを用い、マグネトロンスパッタカソード４３３、４３４、４３５のターゲットにはＣｕターゲットを用いると共に、第二成膜室６００のマグネトロンスパッタカソード６５２のターゲットにはＮｉ−Ｃｒターゲットを用い、マグネトロンスパッタカソード６５３、６５４、６５５のターゲットにはＣｕターゲットを用いた。

そして、複数台のドライポンプを用いて第一成膜室４００および第二成膜室６００内の空気を５Ｐａまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて３×１０^-3Ｐａまで排気した。

次に、スパッタリングウェブコータの回転駆動装置を起動して長尺樹脂フィルム１を搬送速度５ｍ／分で搬送させながら、アルゴンガスを３００ｓｃｃｍで導入すると共に、Ｎｉ−Ｃｒターゲットのマグネトロンスパッタカソードには２０ｋＷ、Ｃｕターゲットのマグネトロンスパッタカソードには３０ｋＷの電力を印加して、第一層であるＮｉ−Ｃｒ膜２５ｎｍ、第二層であるＣｕ膜１００ｎｍを、長尺樹脂フィルム１の第一面１αと第二面１βにそれぞれ成膜した。

そして、第一面１αと第二面１βに上記金属膜（金属シード）が成膜された長尺樹脂フィルム１を巻取室７００内に搬入し、ブロッキングが起こらないように長尺樹脂フィルム１の層間に長尺合紙６３を挟み込みながら巻取ロール７４１に長尺樹脂フィルム１を巻き取った。

尚、第一保護フィルム３０１および第二保護フィルム５０１と上記長尺合紙６３には厚さ１０μｍのＰＥＴフィルムが適用され、上記真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）における巻出室１００のフィルム巻出張力は１００ニュートン（Ｎ）に設定され、乾燥室２００のフィルム乾燥張力は５０ニュートン（Ｎ）に設定され、第一成膜室４００および第二成膜室６００のキャンロール上流のフィルム張力［搬入張力］とキャンロール下流のフィルム張力［搬出張力］はそれぞれ２００ニュートン（Ｎ）に設定され、かつ、巻取室７００のフィルム巻取張力は１００ニュートン（Ｎ）にそれぞれ設定されている。

［湿式メッキ層の形成］
Ｎｉ−Ｃｒ層とＣｕ層から成る金属膜（金属シード）が両面に成膜され、フィルム層間にブロッキング防止用の長尺合紙６３が挟み込まれ、かつ、第一面１α側に第二保護フィルム５０１が重合されている長尺樹脂フィルム１を、「湿式メッキ装置」の巻出ロールから長尺合紙６３と第二保護フィルム５０１をそれぞれ分離しながら巻き出すと共に、メッキ槽に長尺樹脂フィルム１が搬入される前段階において金属膜（金属シード）表面を「大気圧プラズマ洗浄装置」で洗浄し、然る後、搬送速度３ｍ／分で「湿式メッキ装置」のメッキ槽内に長尺樹脂フィルム１を搬入して金属膜（金属シード）上に１μｍのＣｕ層（湿式メッキ層）をメッキした。

［評価方法］
得られた金属膜付き樹脂フィルムについてピンホールの有無を評価した。まず、片面の金属層［金属シードと湿式メッキ層］をマスキングして反対面の金属層をエッチングにより除去し、その後、透過顕微鏡で５．６ｍｍ×４．２ｍｍ視野範囲のピンホールを撮影し、直径３μｍ以上のピンホールを画像解析によりカウントして評価した。

その結果、従来例に係る真空成膜装置を用いた場合と比較して、本実施例で得られた金属膜付き樹脂フィルムにはピンホールが著しく低減されていることが確認された。

本発明によれば、ピンホール等の無い高品質な金属膜付き樹脂フィルムを高い歩留まりで製造できるため、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に用いられる金属膜付き樹脂フィルムの製造装置として適用される産業上の利用可能性を有している。

ｍ１第一金属膜（金属シード）
ｍ２第二金属膜（金属シード）
１長尺樹脂フィルム
１α 第一面
１β 第二面
１０巻出室
１１巻出ロール
１２フリーロール
１３張力測定ロール
１４フリーロール
２０乾燥室
２１モータ駆動ロール
２２ヒータ
２３フリーロール
２４張力測定ロール
２５フリーロール
２６フリーロール
３ｐ遮蔽板
３０第一成膜室
３１第一冷却キャンロール
３２第一成膜手段（スパッタリングカソード）
３３第一成膜手段（スパッタリングカソード）
３４第一成膜手段（スパッタリングカソード）
３５第一成膜手段（スパッタリングカソード）
３６モータ駆動ロール
３７モータ駆動ロール
３８張力測定ロール
３９張力測定ロール
４０搬送室
４１フリーロール
４２フリーロール
４３フリーロール
５０第二成膜室
５１第二冷却キャンロール
５２第二成膜手段（スパッタリングカソード）
５３第二成膜手段（スパッタリングカソード）
５４第二成膜手段（スパッタリングカソード）
５５第二成膜手段（スパッタリングカソード）
５６モータ駆動ロール
５７モータ駆動ロール
５８張力測定ロール
５９張力測定ロール
６０巻取室
６１巻取ロール
６２長尺合紙巻出ロール
６３長尺合紙
６４フリーロール
６５張力測定ロール
６６フリーロール
６７フリーロール
１００巻出室
１０１長尺合紙
１１０巻出ロール
１１１フリーロール
１１２張力測定ロール
１１３フリーロール
１２０長尺合紙巻取ロール
１２１フリーロール
１２２張力測定ロール
１２３フリーロール
２００乾燥室
２２１モータ駆動ロール
２２２ヒータ
２２３フリーロール
２２４張力測定ロール
２２５フリーロール
２２６フリーロール
２２７フリーロール
３００保護フィルム重合室
３０１第一保護フィルム
３１０保護フィルム巻出ロール
３１１フリーロール
３１２張力測定ロール
３１３フリーロール
３１４フリーロール
４００ｐ遮蔽板
４００第一成膜室
４０１フリーロール
４０２フリーロール
４３１第一冷却キャンロール
４３２第一成膜手段（スパッタリングカソード）
４３３第一成膜手段（スパッタリングカソード）
４３４第一成膜手段（スパッタリングカソード）
４３５第一成膜手段（スパッタリングカソード）
４３６モータ駆動ロール
４３７モータ駆動ロール
４３８張力測定ロール
４３９張力測定ロール
５００保護フィルム重合並びに分離室
５０１第二保護フィルム
５１０保護フィルム巻出ロール
５１１フリーロール
５１２張力測定ロール
５１３モータ駆動ロール
５１４張力測定ロール
５２０保護フィルム巻取ロール
５２１フリーロール
５２２張力測定ロール
５３１モータ駆動ロール
５３２張力測定ロール
５４１フリーロール
５４２フリーロール
５４３フリーロール
６００ｐ遮蔽板
６００第二成膜室
６０１フリーロール
６０２フリーロール
６５１第二冷却キャンロール
６５２第二成膜手段（スパッタリングカソード）
６５３第二成膜手段（スパッタリングカソード）
６５４第二成膜手段（スパッタリングカソード）
６５５第二成膜手段（スパッタリングカソード）
６５６モータ駆動ロール
６５７モータ駆動ロール
６５８張力測定ロール
６５９張力測定ロール
７００巻取室
７０１フリーロール
７０２張力測定ロール
７４１巻取ロール
７４２長尺合紙巻出ロール
７４４フリーロール
７４５張力測定ロール
７４６フリーロール
７４７フリーロール

Claims

巻出ロールに巻回された長尺樹脂フィルムを巻き出す巻出室と、巻出室から供給された長尺樹脂フィルムの第一面側に第一金属膜を成膜する第一成膜室と、長尺樹脂フィルムの第二面側に第二金属膜を成膜する第二成膜室と、第一金属膜と第二金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムを巻取ロールに巻き取る巻取室とを備え、上記第一成膜室と第二成膜室が、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを外周面に巻き付けて冷却する回転駆動の第一冷却キャンロールおよび第二冷却キャンロールと、これ等冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第一成膜手段および第二成膜手段を有する真空成膜装置において、
上記巻出室と第一成膜室との間に、搬送中における長尺樹脂フィルムの第二面側に第一保護フィルムを重合させて第一冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第二面との間に第一保護フィルムを介在させる保護フィルム重合室が設けられ、かつ、上記第一成膜室と第二成膜室との間に、第一面側に第一金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの該第一金属膜側に第二保護フィルムを重合させて第二冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第一金属膜との間に第二保護フィルムを介在させると共に、長尺樹脂フィルムの第二面側に重合された上記第一保護フィルムを分離して長尺樹脂フィルムの第二面を第二成膜手段側に露出させる保護フィルム重合並びに分離室が設けられていることを特徴とする真空成膜装置。
上記保護フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成されることを特徴とする請求項１に記載の真空成膜装置。
熱負荷を伴う上記成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする請求項１に記載の真空成膜装置。
巻出ロールに巻回された長尺樹脂フィルムを巻き出すフィルム巻き出し工程と、
巻き出された長尺樹脂フィルムの第二面側を第一冷却キャンロールに巻き付けると共に、該第一冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第一成膜手段により長尺樹脂フィルムの第一面側に第一金属膜を成膜する第一成膜工程と、
第一金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの該第一金属膜側を第二冷却キャンロールに巻き付けると共に、該第二冷却キャンロールの外周面に沿って配置された熱負荷を伴う第二成膜手段により長尺樹脂フィルムの第二面側に第二金属膜を成膜する第二成膜工程と、
第一金属膜と第二金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムを巻取ロールに巻き取るフィルム巻き取り工程、
を有する真空成膜方法において、
上記フィルム巻き出し工程から第一成膜工程までの間において、長尺樹脂フィルムの第二面側に第一保護フィルムを重合させて第一冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第二面との間に第一保護フィルムが介在するようにし、かつ、上記第一成膜工程から第二成膜工程までの間において、第一面側に第一金属膜が成膜された長尺樹脂フィルムの該第一金属膜側に第二保護フィルムを重合させて第二冷却キャンロールと長尺樹脂フィルムの第一金属膜との間に第二保護フィルムが介在するようにすると共に、長尺樹脂フィルムの第二面側に重合された上記第一保護フィルムを分離して長尺樹脂フィルムの第二面が第二成膜手段側に露出するようにしたことを特徴とする真空成膜方法。
上記保護フィルムが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成されることを特徴とする請求項４に記載の真空成膜方法。
熱負荷を伴う上記成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする請求項４に記載の真空成膜方法。