JP2021145044A - フレキシブル基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
DS値 = (L−L0)/L0
第2発明のフレキシブル基板の製造方法は、第1発明において、前記下地金属層形成工程は、ベースフィルムの一方の面に下地金属層を形成し、片面基板を製造した後、該片面基板をロールに巻き付けることなく、他方の面に下地金属層を形成し第1基板を製造することを特徴とする。
第3発明のフレキシブル基板の製造方法は、第1発明または第2発明において、前記下地金属層の最表面側の金属層は、銅が99.99%以上であることを特徴とする。
第4発明のフレキシブル基板の製造方法は、第1発明から第3発明のいずれかにおいて、前記金属箔は、前記下地金属層の最表面側の金属層と同じ成分であることを特徴とする。
第2発明によれば、ベースフィルムの一方の面に下地金属層が形成された片面基板を製造した後、片面基板をロールに巻き付けることなく他方の面に下地金属層を形成して第1基板を製造することにより、第1基板の製造するための時間を短縮することができる。
第3発明によれば、下地金属層の最表面側の金属層は、銅が99.99%以上であることにより、湿式めっきによる銅導体層と下地金属層との密着度が向上する。
第4発明によれば、金属箔が、下地金属層の最表面側の金属層と同じ成分であることにより、異なる成分である場合は両金属層間に電位差が生じることがあるところ、電位差が生じることがない。
(フレキシブル基板10の構成)
図2には、本発明の第1実施形態に係るフレキシブル基板の製造方法により製造したフレキシブル基板10の断面図を示す。図2に示すように、フレキシブル基板10は、ベースフィルム11と、このベースフィルム11の両面に形成されている下地金属層12と、この下地金属層12に重畳して形成されている銅導体層13と、を含んで構成されている。下地金属層12は、たとえば、ベースフィルム11側に設けられているニッケルクロム合金層14と下地銅層15とを積層して構成されている。
本実施形態に係る製造方法で用いられるベースフィルム11は、ポリイミドフィルムなどの樹脂フィルムが該当する。ポリイミドフィルムの他に、PET(Polyethylene Terephthalate)、LCP(Liquid Crystal Plymer)などが該当する。ベースフィルム11となる樹脂フィルムは、フレキシブル配線基板の用途により選択される。ベースフィルム11の厚さは任意に選択することができる。ただし厚さ12μm以上100μm以下のものが好ましく、さらに25μm以上38μm以下のものがさらに好ましい。
本実施形態に係る製造方法では、ベースフィルム11の両面に下地金属層12が形成される。下地金属層12は、下地金属層12に重畳して形成される銅導体層13とベースフィルム11との密着性を高めるために設けられる。この下地金属層12の構成は、ベースフィルム11と銅導体層13との密着力を高めるものであれば特に限定されない。本実施形態では下地金属層12は、ベースフィルム11に直接重畳されるニッケルクロム合金層14と、このニッケルクロム合金層14に直接重畳される下地銅層15と、を含んで構成されている。なお、下地金属層12は、1層だけまたは3層以上の場合もある。
図1には、本発明の第1実施形態に係るフレキシブル基板10の製造方法で使用される真空成膜装置19の概略の構成図を示す。なお、以下の説明では、すでに片面に下地金属層12が形成されている片面基板11cの、下地金属層12が形成されていない面に下地金属層12を形成し、第1基板とする工程について説明する。図1では、モータで駆動するロールはM(モータ)、張力測定ロールはTP(テンションピックアップ)、フリーロールはF(フリー)の記号を付している。
本実施形態に係る製造方法では、銅導体層形成工程において、第1基板の両面に湿式めっきにより銅導体層13を形成し、第2基板を製造する。すなわち本実施形態における第2基板は、第1基板の両面に、銅導体層13のみが形成された状態の基盤である。
第1実施形態に係るフレキシブル基板10の製造方法と第2実施形態との相違点は、下地金属層形成工程に関する点のみであり、特に使用される真空成膜装置19の構成が異なっているので、この点について説明する。他の点は第1実施形態と同じである。図3には、本発明の第2実施形態に係るフレキシブル基板10の製造方法で使用される真空成膜装置19の概略の構成図を示す。図1と同様図3では、モータで駆動するロールはM(モータ)、張力測定ロールはTP(テンションピックアップ)、フリーロールはF(フリー)の記号を付している。
以下、本発明の実施例と比較例を示して説明する。なお、本発明に係るフレキシブル基板の製造方法は、以下の実施例になんら限定されるものではない。
ベースフィルム11として、厚さ34μm、幅570mmのポリイミドフィルム(宇部興産製、ユーピレックス)が用意された。このベースフィルム11の一方の面にスパッタリング法により厚さ0.05μmのニッケルクロム合金層14を形成した。このニッケルクロム合金層14における、ニッケルとクロムの割合は4:1である。さらにこのニッケルクロム合金層14に重畳するように、スパッタリング法により厚さ0.2μmの下地銅層15を形成した。ここで、ニッケルクロム合金層14と下地銅層15とは、下地金属層12を形成する。これにより片面基板11cが製造された。この片面基板11cを、直径6インチのロールに巻き取った。
DS値=(測定値B−測定値A)/測定値A×100
第1基板11aに重ね合わせるものを、厚さ15μmのPETフィルムとした以外は、実施例1と同じである。比較例1で計算されTがDS値の計算結果を図4に示す。
図4に示すように、第1基板11aに銅箔を重ね合わせたものは、保管日数に限らず、DS値の変化割合が0.05〜0.06%であり、寸法変化率のばらつきの小さいフレキシブル基板10が製造されていることがわかる。これに対し、第1基板11aにPETフィルムを重ね合わせたものは、保管日数が経過するとDS値が小さくなり、寸法変化率のばらつきが大きいことがわかる。
11 ベースフィルム
11a 第1基板
11b 第2基板
11c 片面基板
12 下地金属層
13 銅導体層
16 金属箔
Claims (4)
- 次の工程(1)、(2);
(1)下地金属層形成工程:ベースフィルムの両面に下地金属層を形成し第1基板を製造する工程、
(2)銅導体層形成工程:前記第1基板の下地金属層に重畳して湿式めっき法により銅導体層を形成し、第2基板を製造する工程、
を包含し、前記下地金属層形成工程の後段階であり、かつ前記銅導体層形成工程の前段階において、前記第1基板をロールに巻き付ける際に、前記第1基板に金属箔を重ね合わせて巻き付ける、
ことを特徴とするフレキシブル基板の製造方法。 - 前記下地金属層形成工程は、
前記ベースフィルムの一方の面に前記下地金属層を形成し、片面基板を製造した後、
該片面基板をロールに巻き付けることなく、他方の面に前記下地金属層を形成し前記第1基板を製造する、
ことを特徴とする請求項1に記載のフレキシブル基板の製造方法。 - 前記下地金属層の最表面側の金属層は、銅が99.99%以上である、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のフレキシブル基板の製造方法。 - 前記金属箔は、前記下地金属層の最表面側の金属層と同じ成分である、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のフレキシブル基板の製造方法。
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