JP6648800B1 - 金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法 - Google Patents

金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】湿式メッキ法で金属シード層上に形成される金属膜にピンホールが生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法を提供する。【解決手段】真空成膜法で金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム601が層間に長尺合紙603を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロール600と、該巻出ロール600から巻き出される長尺樹脂フィルムから長尺合紙を分離して巻き取る長尺合紙巻取ロール602と、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを搬入しその金属シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽642〜645と、金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロール641を備えた金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が上記巻出ロール600と湿式メッキ槽との間に設けられていることを特徴とする。【選択図】図4

Description

本発明は、スパッタリング等の真空成膜法により金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムの上記金属シード層上に湿式メッキ法により金属膜を形成して得られる金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法に係り、特に、湿式メッキ法により金属シード層上に形成される金属膜にピンホール等の欠陥が生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法の改良に関するものである。
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、多種類のフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板の材料には、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を形成した金属膜付き樹脂フィルムが用いられており、この金属膜付き樹脂フィルムにフォトリソグラフィーやエッチング等の薄膜加工技術を適用することで所定の配線パターンを有するフレキシブル配線基板を得ることができる。フレキシブル配線基板の配線パターンは近年ますます微細化、高密度化しているため、金属膜付き樹脂フィルムの金属膜にはピンホール等の欠陥がないことがより一層重要になってきている。
この種の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法として、金属箔を接着剤により耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法(3層基板の製造方法と称される)、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法(キャスティング法と称される)、真空成膜法により耐熱性樹脂フィルム上に金属膜を成膜する方法、若しくは、真空成膜法により耐熱性樹脂フィルム上に金属シード層を成膜しかつ該金属シード層上に湿式メッキ法により金属膜を形成して製造する方法(メタライジング法と称される)等が従来から知られている。また、メタライジング法における真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。
上記メタライジング法として、特許文献1には、ポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上に導体層を形成する方法が開示されている。また、特許文献2には、銅ニッケル合金をターゲットとするスパッタリングにより形成された第一の金属薄膜と、銅をターゲットとするスパッタリングにより形成された第二の金属薄膜を、この順でポリイミドフィルム上に積層することによって得られるフレキシブル回路基板用材料が開示されている。尚、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルム(基板)に真空成膜を行う場合、スパッタリングウェブコータを用いることが一般的である。
近年、高密度配線基板として、メタライジング法による両面金属膜付き樹脂フィルムが製造されている。具体的に説明すると、耐熱性を有する長尺樹脂フィルムの両面にスパッタリング等の真空成膜法で金属シード層を成膜し、該金属シード層上に湿式メッキ法により金属膜を形成して両面金属膜付き樹脂フィルムが製造されている。尚、金属シード層はスパッタリングウェブコータ等の真空成膜装置を用いて成膜され、金属膜は湿式メッキ装置を用いて形成されるため、メタライジング法による上記両面金属膜付き樹脂フィルムは製造装置が異なる2段階の工程を経て製造されている。すなわち、真空成膜装置により金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムは、一旦、真空成膜装置内においてロール状に巻回された後、真空成膜装置から搬出されて湿式メッキ装置の湿式メッキ槽内に搬入され、長尺樹脂フィルムの金属シード層上に金属膜が形成されている。
ところで、真空成膜装置内における成膜直後の金属シード層は、その表面が酸化されておらず活性も高いため、金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムを真空成膜装置内において空気の介在なしでロール状に巻回した場合、金属シード層同士が貼り付くブロッキング現象を引き起こし、ロールから長尺樹脂フィルムを巻き出したときに金属シード層のどちらかの面が局所的に引き剥がされてしまうことがあった。尚、片面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムにおいても、真空成膜装置内において空気の介在なしでロール状に長尺樹脂フィルムを強く巻回した場合、成膜直後の金属シード層と長尺樹脂フィルムの裏面側が接触して部分的に貼り付くことがあった。
そこで、この現象を回避するため、金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムをロール状に巻回する際、長尺樹脂フィルムの層間に樹脂フィルム等から成る長尺合紙を挟み込みながら巻き取る方法が一般的に採用されている。
しかし、金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムの層間に長尺合紙を挟み込みながら巻き取る方法は、成膜直後の金属シード層表面に長尺合紙が接触することになるため、長尺樹脂フィルムを真空中で強く巻き取った場合、長尺合紙の成分(例えば、樹脂フィルム成分や樹脂フィルムに含まれる溶剤成分等)が金属シード層の表面に局所的に転移してしまうことがあった。
そして、長尺合紙の成分が金属シード層表面に局所的に転移された長尺樹脂フィルムをロールから巻き出して湿式メッキを行った場合、図5に示すように金属シード層101表面に転移された上記成分100に起因して金属膜にピンホール等の欠陥を生ずる問題が存在した。この問題に対し、金属シード層101表面に上記成分100が局所的に転移された長尺樹脂フィルムをロールから巻き出した後、湿式メッキ槽内に搬入する前に金属シード層101表面を希硫酸溶液等で酸洗浄する方法が検討されている。しかし、上記金属シード層101表面に転移した長尺合紙の成分100を希硫酸溶液等で完全に除去することは難しく、ピンホール等の発生を完全に無くすことは困難であった。
尚、上記長尺樹脂フィルムがロールから巻き出される際、長尺樹脂フィルムの層間に挟み込まれた長尺合紙(樹脂フィルム合紙)は長尺樹脂フィルムから分離され、長尺合紙用の巻取ロールに巻き取られて回収されるようになっている。
特開平2−98994号公報 特開平6−97616号公報
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、真空成膜法により片面若しくは両面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ装置の湿式メッキ槽内に搬入して金属シード層上に金属膜を形成する金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法において、長尺樹脂フィルムが湿式メッキ槽内に搬入される直前に金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄して金属膜にピンホール等の欠陥が生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法を提供することにある。
すなわち、本発明に係る第1の発明は、
片面若しくは両面に金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルムがその層間に長尺合紙を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロールと、
該長尺樹脂フィルム巻出ロールから巻き出される長尺樹脂フィルムから上記長尺合紙を分離して巻き取る長尺合紙巻取ロールと、
上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを搬入してその金属シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽と、
上記金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロールを備えた金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、
上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が、長尺樹脂フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽との間に設けられていることを特徴とし、
第2の発明は、
第1の発明に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、
上記長尺樹脂フィルムの金属シード層と金属膜がCuを主成分とすることを特徴とし、
第3の発明は、
第1の発明に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、
上記長尺合紙は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成されることを特徴とし、
また、第4の発明は、
第1の発明に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、
上記大気圧プラズマ洗浄装置は、遠隔操作型であることを特徴とするものである。
次に、本発明に係る第5の発明は、
片面若しくは両面に金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルムがその層間に長尺合紙を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロールから上記長尺樹脂フィルムを巻き出す工程と、
長尺樹脂フィルム巻出ロールから巻き出された長尺樹脂フィルムから上記長尺合紙を分離して長尺合紙巻取ロールに巻き取る工程と、
上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ槽に搬入してその金属シード層上に金属膜を形成する工程と、
上記金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを長尺樹脂フィルム巻取ロールに巻き取る工程を具備する金属膜付き樹脂フィルムの製造方法において、
上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ槽に搬入する前に、長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄することを特徴とし、
第6の発明は、
第5の発明に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法において、
上記長尺樹脂フィルムの金属シード層と金属膜がCuを主成分とすることを特徴とし、
第7の発明は、
第5の発明に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法において、
上記長尺合紙を、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成することを特徴とし、
また、第8の発明は、
第5の発明に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法において、
上記長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄する装置を、遠隔操作型の装置で構成することを特徴とするものである。
本発明に係る金属膜付き樹脂フィルムの製造装置によれば、
長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が、長尺樹脂フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽との間に設けられているため、湿式メッキ槽内に長尺樹脂フィルムが搬入される前に金属シード層表面から長尺合紙の転移成分を除去することが可能となる。このため、湿式メッキ法で形成される金属膜にピンホール等の欠陥が生じ難く、高品質な金属膜付き樹脂フィルムを高い歩留まりで製造することが可能となる。
また、本発明に係る金属膜付き樹脂フィルムの製造方法によれば、
長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ槽に搬入する前に長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄し、金属シード層表面から長尺合紙の転移成分が除去されるため、金属膜にピンホール等の無い高品質な金属膜付き樹脂フィルムを高い歩留まりで製造することが可能となる。
長尺樹脂フィルムの片面に金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)の構成説明図。 長尺樹脂フィルムの両面に金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)の構成説明図。 長尺樹脂フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽間に大気圧プラズマ洗浄装置が組み込まれた本発明の第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置の構成説明図。 長尺樹脂フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽間に大気圧プラズマ洗浄装置が組み込まれた本発明の第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置の構成説明図。 長尺樹脂フィルムの金属シード層表面に転移された長尺合紙の成分を示す説明図。
以下、本発明の実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルムの製造装置について詳細に説明し、かつ、金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)についても具体的に説明する。
1.片面に金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)
まず、片面に金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)について、図1を参照しながら具体的に説明する。
図1では、モータで駆動するローラはM(モータ)、張力測定ローラはTP(テンションピックアップ)、フリーローラはF(フリー)の記号を付している。
このスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)は、巻出室210、乾燥室211、成膜室212、および、巻取室213とで構成されている。尚、上記乾燥室211と成膜室212との間に、プラズマ照射やイオンビーム照射を行ってフィルムと金属膜の密着力を向上させる「表面処理室」が組み込まれる場合もある。
上記巻出室210には、未成膜若しくは片面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルム214を巻回した巻出ロール215が配置され、巻出ロール215から巻き出された長尺樹脂フィルム214が、フリーローラ216、張力測定ローラ217、および、フリーローラ218を経由して乾燥室211へ搬出されるように構成されている。尚、フィルムの巻出張力は、張力測定ローラ217で測定され、巻出ロール215にフィードバック制御されるように構成されている。
上記乾燥室211には、フィルム乾燥用のヒータ224が配置され、巻出室210から搬入された長尺樹脂フィルム214が乾燥処理されると共に、駆動ローラ219、フリーローラ220、張力測定ローラ221,フリーローラ222、および、フリーローラ223を経由して成膜室212へ搬出されるように構成されている。尚、フィルムの乾燥張力は、張力測定ローラ221で測定され、上記駆動ロール219にフィードバック制御されるように構成されている。
上記成膜室212内には、スパッタリングカソード239、240、241、242が配置され、乾燥室211から搬入された長尺樹脂フィルム214の片面に金属シード層が成膜されると共に、駆動ローラ229、張力測定ローラ230、キャンローラ231、張力測定ローラ232、および、駆動ローラ233を経由して巻取室213へ搬出されるように構成されている。また、キャンローラ231上流のフィルム張力は、張力測定ローラ230で測定され、駆動ロール229にフィードバック制御されるように構成され、キャンローラ下流のフィルム張力は、張力測定ローラ232で測定され、駆動ロール233にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図1中の符号238は、遮蔽板を示し、スパッタリングカソードのターゲットから叩き出されたスパッタリング粒子が所定の進行経路を外れて乾燥室211や巻取室213等へ向かうのを防止するよう構成されている。
上記巻取室213内には、巻取ロール246および長尺合紙巻出ロール248が配置され、成膜室212から搬入された金属シード層を有する長尺樹脂フィルム214が、長尺合紙巻出ロール248から巻き出される長尺合紙249を、フリーローラ247を経由してフィルムの層間に挟み込みながら、フリーローラ243、張力測定ローラ244、および、フリーローラ245を経由して巻取ロール246に巻き取られるように構成されている。尚、フィルムの巻取張力は、張力測定ローラ244で測定され、巻取ロール246にフィードバック制御されるように構成されている。
そして、上記巻出室210、乾燥室211および成膜室212を通過し、金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム214がその層間に長尺合紙249を挟み込みながら巻取室213の巻取ロール246に巻き取られるようになっている。尚、このスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)を用いて長尺樹脂フィルム214の両面に金属シード層を成膜する場合、上記巻取ロール246に巻き取られた片面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルム214を一旦取り出し、再度、巻出ロール215にセットし、巻出室210、乾燥室211および成膜室212を通過させて片面に金属シード層が予め成膜された長尺樹脂フィルム214のもう片面に金属シード層を成膜する。この場合、上記巻出ロール215からの通紙ルートは巻出室210に示された破線となる。
ところで、もう片面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルム214を巻取ロール246にそのまま巻き取った場合、片面側ともう片面側にそれぞれ成膜された金属シード層が真空中で強く接触し、貼り付いてしまうブロッキング現象が発生する。このブロッキング現象を防止するには、片面側に金属シード層が成膜された場合と同様、長尺合紙巻出ロール248から巻き出される長尺合紙249をフィルムの層間に挟み込みながら長尺樹脂フィルム214を巻取室213の巻取ロール246に巻き取ればよい。尚、図1においては、スパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)を説明するための最低限のローラしか記載していないが、図示していないローラも存在する。
また、巻出室210、乾燥室211、成膜室212、および、巻取室213を構成する各真空室は排気設備を備え、特に、成膜室212ではスパッタリング成膜のため到達圧力10-4Pa程度までの減圧と、その後のスパッタリングガス導入による0.1〜10Pa程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。各真空室の形状や材質は、このような減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。各真空室内を減圧してその状態を維持するため、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が設けられている。
また、金属シード層をスパッタリング成膜する場合、図1に示すように板状のターゲットが使用されるが、板状のターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール(異物の成長)を発生することがある。これが問題になる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形ロータリーターゲットを使用することが好ましい。
また、図1のスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)ではマグネトロンスパッタリングカソードが図示されているが、CVD(化学蒸着)や蒸着処理等他の真空成膜装置を用いる場合には、板状ターゲットに代えて他の真空成膜手段が組み込まれる。
2.両面に金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)
次に、両面に金属シード層を成膜するスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)について、図2を参照しながら具体的に説明する。
図2では、モータで駆動するローラはM(モータ)、張力測定ローラはTP(テンションピックアップ)、フリーローラはF(フリー)の記号を付している。
このスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)は、図2に示すように巻出室110、乾燥室111、成膜室112、搬送室400、成膜室312、および、巻取室113とで構成されている。尚、上記乾燥室111と成膜室112との間に、プラズマ照射やイオンビーム照射を行ってフィルムと金属膜の密着力を向上させる「表面処理室」が組み込まれる場合もある。
上記巻出室110には、未成膜の長尺樹脂フィルム114を巻回した巻出ロール115が配置され、巻出ロール115から巻き出された長尺樹脂フィルム114が、フリーローラ116、張力測定ローラ117、および、フリーローラ118を経由して乾燥室111へ搬出されるように構成されている。尚、フィルムの巻出張力は、張力測定ローラ117で測定され、巻出ロール115にフィードバック制御されるように構成されている。
上記乾燥室111には、フィルム乾燥用のヒータ124が配置され、巻出室110から搬入された未成膜の長尺樹脂フィルム114が乾燥処理されると共に、駆動ローラ119、フリーローラ120、張力測定ローラ121,フリーローラ122、および、フリーローラ123を経由して成膜室112へ搬出されるように構成されている。尚、フィルムの乾燥張力は、張力測定ローラ121で測定され、上記駆動ロール119にフィードバック制御されるように構成されている。
上記成膜室112内には、スパッタリングカソード139、140、141、142が配置され、乾燥室111から搬入された未成膜長尺樹脂フィルム114の片面に金属シード層が成膜されると共に、駆動ローラ129、張力測定ローラ130、キャンローラ131、張力測定ローラ132、および、駆動ローラ133を経由して搬送室400へ搬出されるように構成されている。また、キャンローラ131上流のフィルム張力は、張力測定ローラ130で測定され、駆動ロール129にフィードバック制御されるように構成され、キャンローラ下流のフィルム張力は、張力測定ローラ132で測定され、駆動ロール133にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図2中の符号138は遮蔽板を示している。
また、上記搬送室400にはフリーローラ401、402、403が配置され、成膜室112から搬入された片面に金属シード層を有する長尺樹脂フィルム114が上記フリーローラ401、402、403を経由して成膜室312へ搬出されるように構成されている。尚、長尺樹脂フィルム114が上記搬送室400を経由することで、次工程の成膜室312内において、長尺樹脂フィルム114の未成膜面側がスパッタリングカソード側に露出してもう片面側も成膜されるよう調整されている。
上記成膜室312内には、スパッタリングカソード339、340、341、342が配置され、搬送室400から搬入された長尺樹脂フィルム114のもう片面に金属シード層が成膜されると共に、駆動ローラ333、張力測定ローラ332、キャンローラ331、張力測定ローラ330、および、駆動ローラ329を経由して巻取室113へ搬出されるように構成されている。また、キャンローラ331上流のフィルム張力は、張力測定ローラ332で測定され、駆動ロール333にフィードバック制御されるように構成され、キャンローラ下流のフィルム張力は、張力測定ローラ330で測定され、駆動ロール329にフィードバック制御されるように構成されている。尚、図2中の符号338は遮蔽板を示している。
上記巻取室113内には、巻取ロール146および長尺合紙巻出ロール148が配置され、成膜室312から搬入された両面に金属シード層を有する長尺樹脂フィルム114が、長尺合紙巻出ロール148から巻き出される長尺合紙149を、フリーローラ147を経由してフィルムの層間に挟み込みながら、フリーローラ143、張力測定ローラ144、および、フリーローラ145を経由して巻取ロール146に巻き取られるように構成されている。尚、フィルムの巻取張力は、張力測定ローラ144で測定され、巻取ロール146にフィードバック制御されるように構成されている。
このように、上記巻出室110、乾燥室111、成膜室112、搬送室400および成膜室312を通過し、両面に金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム114が、その層間に長尺合紙149を挟み込みながら巻取室113の巻取ロール146に巻き取られるようになっている。
ところで、両面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルム114を巻取ロール146にそのまま巻き取った場合、片面側ともう片面側にそれぞれ成膜された金属シード層が真空中で強く接触し、貼り付いてしまうブロッキング現象が発生する。このブロッキング現象を防止するため、上述したように長尺合紙巻出ロール148から巻き出される長尺合紙149をフィルムの層間に挟み込みながら長尺樹脂フィルム114を巻取ロール146に巻き取ればよい。尚、図2においては、スパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)を説明するための最低限のローラしか記載していないが、図示していないローラも存在する。
また、巻出室110、乾燥室111、成膜室112、搬送室400、成膜室312、および、巻取室113を構成する各真空室は排気設備を備え、特に、成膜室112、312ではスパッタリング成膜のため到達圧力10-4Pa程度までの減圧と、その後のスパッタリングガス導入による0.1〜10Pa程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。各真空室の形状や材質は、このような減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。各真空室内を減圧してその状態を維持するため、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が設けられている。
また、金属シード層をスパッタリング成膜する場合、図2に示すように板状のターゲットが使用されるが、板状のターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール(異物の成長)を発生することがある。これが問題になる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率も高い円筒形ロータリーターゲットを使用することが好ましい。
また、図2のスパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)ではマグネトロンスパッタリングカソードが図示されているが、CVD(化学蒸着)や蒸着処理等他の真空成膜装置を用いる場合には、板状ターゲットに代えて他の真空成膜手段が組み込まれる。
3.長尺樹脂フィルムをその層間に長尺合紙を挟み込んで巻回した場合の問題点
金属膜付き樹脂フィルムに適用される長尺樹脂フィルムとしては、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる耐熱性の樹脂フィルム等が例示される。これ等の樹脂フィルムを用いて得られる金属膜付き樹脂フィルムは、上述したフレキシブル配線基板に要求される柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性に優れているからである。
他方、片面若しくは両面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムの層間に挟み込まれる長尺合紙も、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルム等が使用される。
ところで、両面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムをスパッタリングウェブコータ等の真空成膜装置内において空気の介在なしでロール状に巻回した場合、金属シード層同士が貼り付くブロッキング現象を引き起こし、ロールから長尺樹脂フィルムを巻き出したときに金属シード層のどちらかの面が局所的に引き剥がされてしまう問題が存在する。この問題を回避するため上記長尺合紙が利用されるが、長尺樹脂フィルムの層間に長尺合紙を挟み込みながら巻き取った場合、成膜直後の金属シード層表面に長尺合紙が接触することになるため、長尺合紙の成分(例えば、上述した樹脂フィルム成分や樹脂フィルムに含まれる溶剤成分等)が金属シード層の表面に局所的に転移してしまうことがある。そして、長尺合紙の成分が金属シード層表面に局所的に転移された長尺樹脂フィルムをロールから巻き出して湿式メッキを行った場合、金属シード層表面に転移された上記成分に起因して金属膜にピンホール等の欠陥を生ずる新たな問題が確認されている。
この問題に対し、上記成分が金属シード層表面に局所的に転移された長尺樹脂フィルムをロールから巻き出した後、湿式メッキ槽内に搬入する前に金属シード層表面を希硫酸溶液等で酸洗浄する方法が検討されたが、上記金属シード層表面に転移した長尺合紙の成分を希硫酸溶液等で完全に除去することは難しく、ピンホール等の発生を完全に無くすことは困難であった。
本実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置は、金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ槽内に搬入する前に、金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄してピンホール等が存在しない金属膜付き樹脂フィルムを提供するものである。
4.第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置
第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置は、図3に示すように冷却ローラ上を搬送される長尺樹脂フィルムに対して大気圧プラズマが照射されるように構成された「大気圧プラズマ洗浄装置」を組み込んだことを特徴としている。
尚、スパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)の場合と同様、金属膜付き樹脂フィルム製造装置を説明する最低限のロールしか図示しておらず、かつ、モータで駆動するローラはM(モータ)、張力測定ローラはTP(テンションピックアップ)、フリーローラはF(フリー)の記号を付している。
第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置は、図3に示すように、金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム501が巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロール500と、長尺樹脂フィルム巻出ロール500から巻き出された長尺樹脂フィルム501の金属シード層表面を洗浄する「大気圧プラズマ洗浄装置」と、「大気圧プラズマ洗浄装置」から搬出される長尺樹脂フィルム501の金属シード層上に金属膜を形成する「湿式メッキ装置」と、「湿式メッキ装置」から搬出された長尺樹脂フィルム501を巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロール541とで構成されている。
上記長尺樹脂フィルム巻出ロール500には、金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム501がその層間に長尺合紙503を挟み込みながら巻回されており、長尺樹脂フィルム巻出ロール500から長尺樹脂フィルム501を巻き出すときに上記長尺合紙503が分離され、該長尺合紙503はフリーローラ504を介し長尺合紙巻取ロール502に回収されるようになっている。尚、長尺合紙巻取張力は、中間に張力測定ローラを配置して長尺合紙巻取ロール502のモータトルクにフィードバック制御してもよいし、モータに付随したトルク計とエンコーダ信号から求めてもよい。
上記長尺樹脂フィルム巻出ロール500から巻き出された長尺樹脂フィルム501は、フリーローラ505、張力測定ローラ506、フリーローラ507を経由して「大気圧プラズマ洗浄装置」のプラズマ処理ボックス562内に搬入される。
上記「大気圧プラズマ洗浄装置」のプラズマ処理ボックス562内で、水冷モータ駆動ローラ(冷却ローラ)563、564上を搬送される長尺樹脂フィルム501に対し、大気圧プラズマヘッド565、566から大気圧プラズマが照射されるように構成されている。大気圧プラズマ処理は、使用するガスと条件によって大量のオゾンを発生するため排気が必要となる。また、大気圧プラズマ処理は、使用するガスと条件によって長尺樹脂フィルムが高温になることもあるため、上述した水冷モータ駆動ローラ(冷却ローラ)563、564上を搬送される長尺樹脂フィルム501に対して照射することが望ましい。上記大気圧プラズマヘッド565、566は、長尺樹脂フィルム501の両面処理が可能となるように水冷モータ駆動ローラ(冷却ローラ)563、564に対向して配置される。
上記「大気圧プラズマ洗浄装置」から搬出された長尺樹脂フィルム501は、湿式メッキ槽542、543、544、545を有する「湿式メッキ装置」に搬入される。
すなわち、「大気圧プラズマ洗浄装置」のプラズマ処理ボックス562から搬出された長尺樹脂フィルム501は、フリーローラ508、両面分に相当する給電ローラ509、510を経由して湿式メッキ槽542内に搬入され、かつ、湿式メッキ槽542内のフリーローラ513、514を経由して湿式メッキ槽542から搬出された後、給電ローラ515、516を通過し、フリーローラ517、両面分に相当する給電ローラ518、519を経由して湿式メッキ槽543内に搬入される。
次に、上記湿式メッキ槽543内に搬入された長尺樹脂フィルム501は、湿式メッキ槽543内のフリーローラ520、521を経由して湿式メッキ槽543から搬出された後、給電ローラ522、523を通過し、かつ、フリーローラ524、両面分に相当する給電ローラ525、526を経由して湿式メッキ槽544内に搬入される。
次いで、上記湿式メッキ槽544内に搬入された長尺樹脂フィルム501は、湿式メッキ槽544内のフリーローラ527、528を経由して湿式メッキ槽544から搬出された後、給電ローラ529、530を通過し、かつ、フリーローラ531、両面分に相当する給電ローラ532、533を経由して湿式メッキ槽545内に搬入される。
そして、上記湿式メッキ槽545内に搬入された長尺樹脂フィルム501は、湿式メッキ槽545内のフリーローラ534、535を経由して湿式メッキ槽545から搬出された後、給電ローラ536、537を通過して「湿式メッキ装置」から搬出される。
尚、第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置においては、「湿式メッキ装置」が4槽の湿式メッキ槽542、543、544、545で構成されているが、4槽に限定されるものでは無く、4槽以下若しくは4槽以上の湿式メッキ槽で構成してもよい。また、図3は、水洗槽やメッキ槽循環に必要なポンプ類等について図示を省略している。
また、「湿式メッキ装置」を構成する湿式メッキ槽542、543、544、545内には、搬入される長尺樹脂フィルム501の両面分に相当するアノード546、547、548、549、550、551、552、553、554、555、556、557、558、559、560、561がそれぞれ配置されている。また、湿式メッキ槽542、543、544、545における各面の長尺樹脂フィルム501がカソードとなるための給電ローラとアノードはペアでめっき電源(整流器)に接続されている。尚、湿式メッキ槽542、543、544、545には硫酸銅めっき槽を使用している。
次に、「湿式メッキ装置」から搬出された長尺樹脂フィルム501は、フリーローラ538、張力測定ローラ539、および、フリーローラ540を経由して長尺樹脂フィルム巻取ロール541に巻き取られるように構成されている。尚、フィルムの巻取張力は、張力測定ローラ539で測定され、長尺樹脂フィルム巻取ロール541にフィードバック制御されるように構成されている。
第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置によれば、
長尺合紙503が分離された上記長尺樹脂フィルム501の金属シード層表面を洗浄する「大気圧プラズマ洗浄装置」が、長尺樹脂フィルム巻出ロール500と「湿式メッキ装置」との間に設けられているため、「湿式メッキ装置」の湿式メッキ槽542内に長尺樹脂フィルム501が搬入される前に金属シード層表面から長尺合紙503の転移成分を除去することが可能となる。このため、「湿式メッキ装置」で形成される金属膜にピンホール等の欠陥が生じ難く、高品質な金属膜付き樹脂フィルムを高い歩留まりで製造することが可能となる。
5.第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置
第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置は、図4に示すようにフローティング状態で搬送される長尺樹脂フィルムに対して大気圧プラズマが照射されるように構成された「大気圧プラズマ洗浄装置」を組み込んだことを特徴としている。
尚、スパッタリングウェブコータ(真空成膜装置)の場合と同様、金属膜付き樹脂フィルム製造装置を説明する最低限のロールしか図示しておらず、かつ、モータで駆動するローラはM(モータ)、張力測定ローラはTP(テンションピックアップ)、フリーローラはF(フリー)の記号を付している。
第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置は、図4に示すように、金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム601が巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロール600と、長尺樹脂フィルム巻出ロール600から巻き出された長尺樹脂フィルム601の金属シード層表面を洗浄する「大気圧プラズマ洗浄装置」と、「大気圧プラズマ洗浄装置」から搬出される長尺樹脂フィルム601の金属シード層上に金属膜を形成する「湿式メッキ装置」と、「湿式メッキ装置」から搬出された長尺樹脂フィルム601を巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロール641とで構成されている。
上記長尺樹脂フィルム巻出ロール600には、金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム601がその層間に長尺合紙603を挟み込みながら巻回されており、長尺樹脂フィルム巻出ロール600から長尺樹脂フィルム601を巻き出すときに上記長尺合紙603が分離され、該長尺合紙603はフリーローラ604を介し長尺合紙巻取ロール602に回収されるようになっている。尚、長尺合紙巻取張力は、中間に張力測定ローラを配置して長尺合紙巻取ロール602のモータトルクにフィードバック制御してもよいし、モータに付随したトルク計とエンコーダ信号から求めてもよい。
上記長尺樹脂フィルム巻出ロール600から巻き出された長尺樹脂フィルム601は、フリーローラ605、張力測定ローラ606、フリーローラ607を経由して「大気圧プラズマ洗浄装置」のプラズマ処理ボックス662内に搬入される。
上記「大気圧プラズマ洗浄装置」のプラズマ処理ボックス662内で、フローティング状態で搬送される長尺樹脂フィルム601に対し、大気圧プラズマヘッド665、666から大気圧プラズマが照射されるように構成されている。大気圧プラズマ処理は、使用するガスと条件によって大量のオゾンを発生するため排気が必要となる。また、大気圧プラズマ処理は、使用するガスと条件によって長尺樹脂フィルムが高温になる場合があるため、上記第一実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置においては、上述した水冷モータ駆動ローラ(冷却ローラ)563、564上を搬送される長尺樹脂フィルムに対して大気圧プラズマを照射する構造になっている。しかし、大気圧プラズマ処理は、使用するガスと条件によって長尺樹脂フィルムが必ずしも高温にならず、水冷モータ駆動ローラ(冷却ローラ)563、564上で冷却する必要のない場合も存在する。このため、上記大気圧プラズマヘッド665、666は、長尺樹脂フィルム501の両面処理が可能となるようにプラズマ処理ボックス662内をフローティング状態で搬送される長尺樹脂フィルム601に対向して配置される。
上記「大気圧プラズマ洗浄装置」から搬出された長尺樹脂フィルム601は、湿式メッキ槽642、643、644、645を有する「湿式メッキ装置」に搬入される。
すなわち、「大気圧プラズマ洗浄装置」のプラズマ処理ボックス662から搬出された長尺樹脂フィルム601は、フリーローラ608、両面分に相当する給電ローラ609、610を経由して湿式メッキ槽642内に搬入され、かつ、湿式メッキ槽642内のフリーローラ613、614を経由して湿式メッキ槽642から搬出された後、給電ローラ615、616を通過し、フリーローラ617、両面分に相当する給電ローラ618、619を経由して湿式メッキ槽643内に搬入される。
次に、上記湿式メッキ槽643内に搬入された長尺樹脂フィルム601は、湿式メッキ槽643内のフリーローラ620、621を経由して湿式メッキ槽643から搬出された後、給電ローラ622、623を通過し、かつ、フリーローラ624、両面分に相当する給電ローラ625、626を経由して湿式メッキ槽644内に搬入される。
次いで、上記湿式メッキ槽644内に搬入された長尺樹脂フィルム601は、湿式メッキ槽644内のフリーローラ627、628を経由して湿式メッキ槽644から搬出された後、給電ローラ629、630を通過し、かつ、フリーローラ631、両面分に相当する給電ローラ632、633を経由して湿式メッキ槽645内に搬入される。
そして、上記湿式メッキ槽645内に搬入された長尺樹脂フィルム601は、湿式メッキ槽645内のフリーローラ634、635を経由して湿式メッキ槽645から搬出された後、給電ローラ636、637を通過して「湿式メッキ装置」から搬出される。
尚、第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置においても、「湿式メッキ装置」が4槽の湿式メッキ槽642、643、644、645で構成されているが、4槽に限定されるものでは無く、4槽以下若しくは4槽以上の湿式メッキ槽で構成してもよい。また、図4は、水洗槽やメッキ槽循環に必要なポンプ類等について図示を省略している。
また、「湿式メッキ装置」を構成する湿式メッキ槽642、643、644、645内には、搬入される長尺樹脂フィルム601の両面分に相当するアノード646、647、648、649、650、651、652、653、654、655、656、657、658、659、660、661がそれぞれ配置されている。また、湿式メッキ槽642、643、644、645における各面の長尺樹脂フィルム601がカソードとなるための給電ローラとアノードはペアでめっき電源(整流器)に接続されている。尚、湿式メッキ槽642、643、644、645には硫酸銅めっき槽を使用している。
次に、「湿式メッキ装置」から搬出された長尺樹脂フィルム601は、フリーローラ638、張力測定ローラ639、および、フリーローラ640を経由して長尺樹脂フィルム巻取ロール641に巻き取られるように構成されている。尚、フィルムの巻取張力は、張力測定ローラ639で測定され、長尺樹脂フィルム巻取ロール641にフィードバック制御されるように構成されている。
第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置においても、
長尺合紙603が分離された上記長尺樹脂フィルム601の金属シード層表面を洗浄する「大気圧プラズマ洗浄装置」が、長尺樹脂フィルム巻出ロール600と「湿式メッキ装置」との間に設けられているため、「湿式メッキ装置」の湿式メッキ槽642内に長尺樹脂フィルム601が搬入される前に金属シード層表面から長尺合紙603の転移成分を除去することが可能となる。このため、「湿式メッキ装置」で形成される金属膜にピンホール等の欠陥が生じ難く、高品質な金属膜付き樹脂フィルムを高い歩留まりで製造することが可能となる。
6.大気圧プラズマ装置
大気圧プラズマ装置は、真空設備を必要とせず、樹脂フィルムにプラズマを照射できる装置であり、樹脂フィルムの表面改質や表面を荒す等の目的で使用される。真空プラズマ装置と同様、電源のタイプは中周波(MHz)、高周波(MHz)、マイクロ波(GHz)があり、周波数が高い程、表面の荒れが少ない均一な効果が期待できるとされている。プラズマガスのベースには、窒素、アルゴン、空気等が採用され、目的に応じて微量の添加ガスが混合される。
本発明者は、スパッタリングウェブコータ等の真空成膜装置を用いて金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルムを、その層間にブロッキング防止用の長尺合紙を挟み込みながら真空中でロール状に強く巻き取ったとき、長尺合紙の成分が金属シード層表面に局所的に転移されることを発見すると共に、この転移成分が、湿式メッキ法で形成される金属膜にピンホールを生じさせる問題を確認し、かつ、この問題は、上記大気圧プラズマ装置を「大気圧プラズマ洗浄装置」として利用することで解決されることを見出している。
尚、湿式メッキ法により連続して上記金属シード層上に金属膜が形成される操作性を考慮し、上記「大気圧プラズマ洗浄装置」については遠隔操作型の大気圧プラズマ装置で構成することが好ましい。また、長尺樹脂フィルムの片面若しくは両面に成膜される金属シード層については、金属シード層表面が大気圧プラズマ洗浄されることを考慮し、その膜厚を50nm〜500nmの範囲に設定することが好ましい。
以下、本発明の実施例について具体的に説明する。
尚、実施例で使用した真空成膜装置は、長尺樹脂フィルムの両面に金属シード層を成膜する図2のスパッタリングウェブコータが適用され、また、金属シード層上に金属膜を湿式メッキする金属膜付き樹脂フィルム製造装置は、図4に示した第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置が適用されている。
[金属シード層の成膜]
図2に示すスパッタリングウェブコータを用いて長尺樹脂フィルムの両面に金属シード層を成膜した。図2に示す長尺樹脂フィルム114には、幅600mm、長さ1000m、厚さ25μmの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス(登録商標)」を使用した。
長尺樹脂フィルム114の両面(第1面と第2面)に成膜する金属シード層は、第一層であるNi−Cr膜の上に第二層であるCu膜を成膜するものとし、そのため、長尺樹脂フィルム114の第1面に金属シード層を成膜する成膜室112に設けられたマグネトロンスパッタカソード139のターゲットにはNi−Crターゲットを用い、マグネトロンスパッタカソード140、141、142のターゲットにはCuターゲットを用いた。また、長尺樹脂フィルム114の第2面に金属シード層を成膜する成膜室312に設けられたマグネトロンスパッタカソード342のターゲットにはNi−Crターゲットを用い、マグネトロンスパッタカソード341、340、339のターゲットにはCuターゲットを用いた。
そして、この状態で、複数台のドライポンプを用いて成膜室112および成膜室312内の空気を5Paまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて3×10-3Paまで排気した。
次に、スパッタリングウェブコータの回転駆動装置を起動して長尺樹脂フィルム114を搬送速度5m/分で搬送させながら、アルゴンガスを300sccmで導入すると共に、それぞれNi−Crターゲットのマグネトロンスパッタカソードには20kW、それぞれCuターゲットのマグネトロンスパッタカソードには30kWの電力を印加して、第一層であるNi−Cr層25nm、第二層であるCu層100nmを成膜した。
そして、両面に金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルム114を巻取室113内に搬入し、ブロッキングが起こらないように長尺樹脂フィルム114の層間に長尺合紙149を挟み込みながら巻取ロール146に長尺樹脂フィルム114を巻き取った。
尚、長尺合紙149には、厚さ10μmのPETフィルムを使用したがPP(ポリプロピレン)フィルムを使用してもよい。
[金属膜の形成]
Ni−Cr層とCu層から成る金属シード層が両面に成膜され、かつ、フィルム層間にブロッキング防止用の長尺合紙を挟み込みながら巻き取られた長尺樹脂フィルムを、第二実施形態に係る金属膜付き樹脂フィルム製造装置の長尺樹脂フィルム巻出ロール600から長尺合紙603を分離しながら巻き出すと共に、「湿式メッキ装置」内に長尺樹脂フィルム601が搬入される前に「大気圧プラズマ洗浄装置」で金属シード層表面を洗浄して金属シード層表面に転移した長尺合紙603からの成分を除去した後、搬送速度3m/分で「湿式メッキ装置」内に搬入して金属シード層上に1μmのCu層をメッキした。
尚、「大気圧プラズマ洗浄装置」には、窒素ガスに微量の酸素が混合されたプラズマガスを用いたリモート型の中周波(40kHz)プラズマ装置が用いられ、プラズマ処理ボックス662内をフローティング状態で搬送される長尺樹脂フィルム601に対向配置された各大気圧プラズマヘッド665、666に図示外のプラズマ電源から500Vを印加している。
[評価方法]
図5に示すように、長尺合紙の成分(上述したように樹脂フィルム成分や樹脂フィルムに含まれる溶剤成分等)100が長尺樹脂フィルムの金属シード層101表面に局所的に転移してしまうと、この部分が、湿式メッキ後に直径数μmのピンホールになってしまうことが電子顕微鏡観察により確認されている。これを応用し、大気圧プラズマによる上記転移成分の洗浄効果をピンホール数で評価することができる。
但し、両面に金属膜が形成された両面金属膜付き樹脂フィルムにおけるピンホールの確認は困難なため、まず、片面の金属膜をマスキングして反対面の金属膜をエッチングにより除去し、その後、透過顕微鏡で5.6mm×4.2mm視野範囲のピンホールを撮影し、直径3μm以上のピンホールを画像解析によりカウントして評価する。
このような評価による大気圧プラズマの有無(ON、OFF)によるピンホール数の減少を表1に示す。
Figure 0006648800
[確 認]
表1に示す結果から、大気圧プラズマによる洗浄処理でピンホールが顕著に低減されることが確認される。
また、大気圧プラズマによる洗浄処理の効果は、長尺樹脂フィルムの搬送速度に関係があり、搬送速度が速いとその効果は若干低減する。このような場合、「大気圧プラズマ洗浄装置」の大気圧プラズマヘッドをもう一対追加すればよい。
本発明によれば、金属膜にピンホール等の無い高品質な金属膜付き樹脂フィルムを高い歩留まりで製造できるため、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に用いられる金属膜付き樹脂フィルムの製造装置として適用される産業上の利用可能性を有している。
100 長尺合紙から転移した成分
101 金属シード層
110、210 巻出室
111、211 乾燥室
124、224 ヒータユニット
112、212、312 成膜室
400 搬送室
113、213 巻取室
114、214 長尺樹脂フィルム
501、601 金属シード層が成膜された長尺樹脂フィルム
115、215、500、600 長尺樹脂フィルム巻出ロール
146、246、541、641 長尺樹脂フィルム巻取ロール
149、249、503、603 長尺合紙
148、248 長尺合紙巻出ロール
502、602 長尺合紙巻取ロール
131、231、331 キャンローラ
138、238、338 遮蔽板
139、140、141、142、339、340、341、342、239、240、241、242 スパッタリングカソード
116、118、120、122、123、401、402、403、143、145、147、216、218、220、222、223、243、245、247、504、505、507、508、513、514、517、520、521、524、527、528、531、534、535、538、540、604、605、607、608、613、614、617、620、621、624、627、628、631、634、635、638、640 フリーローラ
117、121、130、132、332、330、144、217、221、230、232、244、506、539、606、639 張力測定ローラ
119、129、133、333、329、219、229、233 モータ駆動ローラ
562、662 プラズマ処理ボックス
563、564 水冷モータ駆動ローラ
565、566、665、666 大気圧プラズマヘッド
542、543、544、545、642、643、644、645 湿式メッキ槽
509、510、515、516、518、519、522、523、525、526、529、530、532、533、536、537、609、610、615、616、618、619、622、623、625、626、629、630、632、633、636、637 給電ローラ
546、547、548、549、550、551、552、553、554、555、556、557、558、559、560、561、646、647、648、649、650、651、652、653、654、655、656、657、658、659、660、661 アノード

Claims (8)

  1. 片面若しくは両面に金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルムがその層間に長尺合紙を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロールと、
    該長尺樹脂フィルム巻出ロールから巻き出される長尺樹脂フィルムから上記長尺合紙を分離して巻き取る長尺合紙巻取ロールと、
    上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを搬入してその金属シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ槽と、
    上記金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロールを備えた金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、
    上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が、長尺樹脂フィルム巻出ロールと湿式メッキ槽との間に設けられていることを特徴とする金属膜付き樹脂フィルムの製造装置。
  2. 上記長尺樹脂フィルムの金属シード層と金属膜がCuを主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造装置。
  3. 上記長尺合紙は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成されることを特徴とする請求項1に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造装置。
  4. 上記大気圧プラズマ洗浄装置は、遠隔操作型であることを特徴とする請求項1に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造装置。
  5. 片面若しくは両面に金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルムがその層間に長尺合紙を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロールから上記長尺樹脂フィルムを巻き出す工程と、
    長尺樹脂フィルム巻出ロールから巻き出された長尺樹脂フィルムから上記長尺合紙を分離して長尺合紙巻取ロールに巻き取る工程と、
    上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ槽に搬入してその金属シード層上に金属膜を形成する工程と、
    上記金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを長尺樹脂フィルム巻取ロールに巻き取る工程を具備する金属膜付き樹脂フィルムの製造方法において、
    上記長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを湿式メッキ槽に搬入する前に、長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄することを特徴とする金属膜付き樹脂フィルムの製造方法。
  6. 上記長尺樹脂フィルムの金属シード層と金属膜がCuを主成分とすることを特徴とする請求項5に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法。
  7. 上記長尺合紙を、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリスチレン、ポリビニルアルコール、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルフォン、アラミド、ポリイミド、トリアセテートの単体若しくはこれ等を貼り合わせた複合体で構成することを特徴とする請求項5に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法。
  8. 上記長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を大気圧プラズマ洗浄する装置を、遠隔操作型の装置で構成することを特徴とする請求項5に記載の金属膜付き樹脂フィルムの製造方法。
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