JP2012149284A - ロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置および両面金属ベース層付樹脂フィルム製造装置 - Google Patents
ロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置および両面金属ベース層付樹脂フィルム製造装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】巻出しロール室内の巻出しロールから巻き出された長尺樹脂フィルムをロール・トゥ・ロール方式により搬送し、巻取りロール室内の巻取りロールに巻き取ると共に、成膜室の長尺樹脂フィルムの搬送路上の前記成膜室には、真空成膜手段に対向しかつ内部に冷媒が循環する2つ以上のキャンロールを備えるロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置が、前記巻出し室と前記巻取り室が、前記成膜室の一方の側の外壁にのみ配されることと、且つ成膜室の鉛直方向では前記巻出し室が前記巻取り室の上若しくは下に配されていることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
(2)金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法、
(3)耐熱性樹脂フィルムに真空成膜法(真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等)若しくは湿式めっき法により金属膜を成膜して製造する方法等が知られている。
前記巻出し室と前記巻取り室が、前記成膜室の一方の側の外壁にのみ配されることと、且つ成膜室の鉛直方向では前記巻出し室が前記巻取り室の上若しくは下に配されていることを特徴とする。
こられの効果より両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムを効率よく製造できる。
1.両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム
両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムは、図1に示すように耐熱性樹脂フィルム300の両面に接着剤を介さずに金属シード層301、金属ベース層302、金属膜303の順に積層された構造である。
本発明のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置は、長尺樹脂フィルムの両面に金属シード層と金属ベース層を成膜する手段として適用することができる。
本発明の成膜装置は、長尺樹脂フィルムの巻出しロールと巻取りロール間の搬送路上に配置されかつ水冷温調された内部に冷媒が循環するキャンロールと、前記キャンロールの外周に対向して配置された内部に冷媒が循環するスパッタスパッタリングカソードを有している。長尺樹脂フィルムをキャンロールに巻き付けた状態でスパッタリング成膜が行なわれるため、成膜中のプラズマに起因した耐熱性樹脂フィルムの熱的ダメージを低減できる。
本発明の両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム製造装置について、図4、図5、図6を用いて詳細に説明する。本発明の図4に示す両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム製造装置は、真空成膜手段であるスパッタリングスパッタリングカソードに対向した2つのキャンロールを備え、従来の図2に示す装置に対応する。一方、本発明の図5、図6に示す両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム製造装置は、4つのキャンロールを備え、従来の図3に示す装置に対応する。
さらには、膜の応力や金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムの熱収縮・熱膨張により、金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム長が伸びても縮んでも、キャンロールの回転速度を個別に設定することで、金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムに無理な引っ張りや弛みを与えることなく対応することが可能となる。
5.金属膜
得られた金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムの金属ベース層上に湿式めっき法を用いて金属膜を形成する場合、電気めっき処理のみで行う場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合がある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。
6.配線パターン
このようにして得られた金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムを用いて、この金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムの少なくとも片面に配線パターンを個別に形成する。また、所定の位置に層間接続のためのヴィアホールを形成して各種用途に用いることもできる。より具体的に説明すると、(1)配線パターンを金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムの少なくとも片面に個別に形成して利用する。(2)配線パターンが形成された金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムで耐熱性樹脂フィルムを貫通するヴィアホールを形成して利用する。(3)場合によっては、該ヴィアホール内に導電性物質を充填してホール内を導電化して利用する。
サブトラクティブ法は、金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムの不要な金属膜と属ベース層と金属シード層を化学エッチングで除去して配線パターンを形成する。金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムを準備し、該金属膜上にスクリーン印刷あるいはドライフィルムをラミネートして感光性レジスト膜を形成した後、露光現像して配線パターンの箇所にレジスト膜が残るようにパターニングする。次いで、塩化第2鉄溶液等のエッチング液で該金属膜を選択的にエッチング除去した後、上記レジスト膜を除去して所定の配線パターンを形成する。両面に配線パターン加工することが好ましい。全ての配線パターンを幾つかの配線領域に分割するかどうかは、配線パターンの配線密度の分布等による。例えば、配線パターンを、配線幅と配線間隔がそれぞれ50μm以下の高密度配線領域とその他の配線領域に分け、プリント基板との熱膨張差や取扱い上の都合等を考慮して分割する配線基板のサイズを10〜65mm程度に設定して適宜分割すればよい。
このように、クリーンルームを区分けすることで、成膜室のクリーニング時に大量の粉塵を巻出しロール室と巻取りロール室に持ち込むことが回避できた。
このように、クリーンルームを区分けすることで、成膜室のクリーニング時に大量の粉塵を巻出しロール室と巻取りロール室に持ち込むことが回避できた。
[比較例]
実施例と同様に、図3に示す従来の両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム製造装置を用い、上記長尺耐熱性樹脂フィルム142には、幅500mm、長さ200m、厚さ25μmの宇部興産株式会社製の長尺耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックスS(登録商標)」を使用した。
本発明の実施例1と実施例2で作製した両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム用スパッタリング装置と従来技術の比較例で作製した金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムを比較した。
2、10 差圧室
3 第1成膜室
4、6、14、12 駆動ロール
5、13 キャンロール
8 連結室
7、15、16、28 フリーロール
9 巻取りロール室
11 第2成膜室
17、18、19、20、22、23、24、25 スパッタリングカソード
21 巻取りロール
26 長尺耐熱性樹脂フィルム
27 巻出しロール
51 巻出しロール室
52、72 差圧室
53 長尺耐熱性樹脂フィルム
54 第1成膜室
55、57、68、70 駆動ロール
56、69 キャンロール
59、60、61、62、64、65、66、67 スパッタリングカソード
58、63 フリーロール
71 第2成膜室
75 巻出しロール
73 巻取りロール室
74 巻取りロール
100 巻出しロール室
101、113 差圧室
103、105、107、109、115、117、119、121 駆動ロール
104、108、116、120 キャンロール
110、122、123、137 フリーロール
112 巻取りロール室
102 第1成膜室
106 第2成膜室
111 連結室
114 第4成膜室
118 第3成膜室
124、125、126、127、128、129、130、131、133、134、135、136、138、139、140,141 スパッタリングカソード
132 巻取りロール
142 長尺耐熱性樹脂フィルム
143 巻出しロール
150 巻出しロール室
151、186 差圧室
152 長尺耐熱性樹脂フィルム
153 第1成膜室
154、156、158、160、166、172、174、180 駆動ロール
155、159、173、179 キャンロール
161、162、163、164、167、168、169、170、175、176、177、178、179、180、181、182 スパッタリングカソード
157 第2成膜室
160、165 フリーロール
171 第3成膜室
185 第4成膜室
187 巻取りロール室
188 巻取りロール
189 巻出しロール
200 巻出しロール室
201、238 差圧室
202 長尺耐熱性樹脂フィルム
203 第1成膜室
204、206、213、219、222、228、234、236 駆動ロール
205、218、227、235 キャンロール
207、212、220、221、227、229 フリーロール
208、209、210、211、214、215、216、217、223、224、225、226、230、231、232、233 スパッタリングカソード
237 第4成膜室
239 巻取りロール室
240 巻取りロール
241 巻出しロール
242 第2成膜室
241 第3成膜室
300 耐熱性樹脂フィルム
301 金属シード層
302 金属ベース層
303 金属膜
400 耐熱性樹脂フィルム
401 金属シード層
402 金属ベース層
Claims (8)
- 巻出しロール室内の巻出しロールから巻き出された長尺樹脂フィルムをロール・トゥ・ロール方式により減圧雰囲気に耐える成膜室を経由して搬送し、巻取りロール室内の巻取りロールに巻き取ると共に、前記巻出しロール室と前記巻取りロール室が前記成膜室と雰囲気を遮断できるロードロック機構を備え、成膜室の長尺樹脂フィルムの搬送路上の前記成膜室には、真空成膜手段に対向しかつ内部に冷媒が循環する2つ以上のキャンロールを備えるロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置において、
前記巻出し室と前記巻取り室が、前記成膜室の一方の側の外壁にのみ配されることと、且つ成膜室の鉛直方向では前記巻出し室が前記巻取り室の上若しくは下に配されていることを特徴とするロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置。 - 前記成膜機構が対向したキャンロールのうち前記長尺樹脂フィルムの搬送路上、前記巻出しロールに近接したキャンロールが、前記巻出しロールに近接したキャンロールの、成膜室の鉛直方向に対して上若しくは下の位置にあることを特徴とする請求項1に記載のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置。
- 前記長尺樹脂フィルムの搬送路が、キャンロールに対向した成膜機構により前記長尺樹脂フィルムの一方の面に成膜した次には、別のキャンロールに対向した別の真空成膜手段が前記長尺樹脂フィルムの他方の面に成膜を行う位置に配されている特徴とする請求項2に記載のロール・トゥ・ロール方式成膜装置。
- 前記長尺樹脂フィルムの搬送路上で前記成膜手段に対向したキャンロールは、前記搬送路の下流に向かうほど、その回転速度が速くなる制御がされることを特徴とする請求項1から3に記載のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置。
- 前記長尺樹脂フィルムの搬送路上で前記成膜手段に対向したキャンロールは、前記搬送路の下流に向かうほど、その回転速度が遅くなる制御がされることを特徴とする請求項1から3に記載のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置。
- 前記真空成膜手段が、スパッタリングカソードであることを特徴とする請求項1から5に記載のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置。
- 前記ロードロック機構を備える巻出しロール室および巻取りロール室の開口部は、クリーンルーム内に配置されていることを特徴とする請求項1から6に記載のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置。
- 耐熱性樹脂フィルムの両面に真空成膜により金属ベース層を成膜した両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム製造装置であって、
請求項1から7に記載のロール・トゥ・ロール方式真空両面成膜装置で金属ベース層付耐熱性樹脂フィルムを成膜することを特徴とする両面金属ベース層付耐熱性樹脂フィルム製造装置。
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015081373A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜方法と両面成膜装置および金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法 |
JP2015081374A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜方法と両面成膜装置および金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法 |
CN105349961A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-02-24 | 广东腾胜真空技术工程有限公司 | 多辊多室卷绕镀膜装置 |
JP2017083518A (ja) * | 2015-10-23 | 2017-05-18 | 東レエンジニアリング株式会社 | 帯状ワーク通材機構およびそれを備えた露光装置 |
JP2017125222A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜体製造方法及びその装置 |
CN110699658A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-01-17 | 广东腾胜科技创新有限公司 | 可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机 |
CN112011780A (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-01 | 住友金属矿山株式会社 | 真空成膜装置和真空成膜方法 |
JP2020193385A (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 真空成膜装置と真空成膜方法 |
JP2021145044A (ja) * | 2020-03-12 | 2021-09-24 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル基板の製造方法 |
EP3872237A4 (en) * | 2018-10-23 | 2022-09-28 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCTION OF METAL MEMBRANE RESIN FILM |
US20240052479A1 (en) * | 2022-01-04 | 2024-02-15 | Chongqing Jimat New Material Technology Co., Ltd | Method, device, and system for manufacturing composite metal foil |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61264514A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜製造装置 |
JPH0293068A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-03 | Kawasaki Steel Corp | 連続pvd装置 |
JP2000327186A (ja) * | 1999-05-19 | 2000-11-28 | Sony Corp | フィルム巻取装置およびフィルム巻取方法 |
JP2009249703A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 金属薄膜積層基板の製造方法及び真空成膜装置 |
-
2011
- 2011-01-17 JP JP2011007032A patent/JP5659807B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61264514A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜製造装置 |
JPH0293068A (ja) * | 1988-09-29 | 1990-04-03 | Kawasaki Steel Corp | 連続pvd装置 |
JP2000327186A (ja) * | 1999-05-19 | 2000-11-28 | Sony Corp | フィルム巻取装置およびフィルム巻取方法 |
JP2009249703A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 金属薄膜積層基板の製造方法及び真空成膜装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015081373A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜方法と両面成膜装置および金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法 |
JP2015081374A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜方法と両面成膜装置および金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法 |
JP2017083518A (ja) * | 2015-10-23 | 2017-05-18 | 東レエンジニアリング株式会社 | 帯状ワーク通材機構およびそれを備えた露光装置 |
CN105349961A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-02-24 | 广东腾胜真空技术工程有限公司 | 多辊多室卷绕镀膜装置 |
JP2017125222A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 住友金属鉱山株式会社 | 両面成膜体製造方法及びその装置 |
EP3872237A4 (en) * | 2018-10-23 | 2022-09-28 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCTION OF METAL MEMBRANE RESIN FILM |
TWI833814B (zh) * | 2018-10-23 | 2024-03-01 | 日商住友金屬鑛山股份有限公司 | 附金屬膜之樹脂薄膜的製造裝置及製造方法 |
CN112011780A (zh) * | 2019-05-30 | 2020-12-01 | 住友金属矿山株式会社 | 真空成膜装置和真空成膜方法 |
JP2020193385A (ja) * | 2019-05-30 | 2020-12-03 | 住友金属鉱山株式会社 | 真空成膜装置と真空成膜方法 |
JP7285431B2 (ja) | 2019-05-30 | 2023-06-02 | 住友金属鉱山株式会社 | 真空成膜装置と真空成膜方法 |
CN110699658A (zh) * | 2019-11-19 | 2020-01-17 | 广东腾胜科技创新有限公司 | 可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机 |
JP2021145044A (ja) * | 2020-03-12 | 2021-09-24 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル基板の製造方法 |
JP7380354B2 (ja) | 2020-03-12 | 2023-11-15 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル基板の製造方法 |
US20240052479A1 (en) * | 2022-01-04 | 2024-02-15 | Chongqing Jimat New Material Technology Co., Ltd | Method, device, and system for manufacturing composite metal foil |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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