JP5668677B2 - 長尺帯状体の搬送制御方法と長尺帯状体の表面処理方法 - Google Patents
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長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、
(前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度)×100=「前フィード率」で定義される前フィードロールの上記「前フィード率」が、事前に行われる工程(A)から工程(C)の確認試験を経て設定されていることを特徴とする。
(A)上記前フィードロールの周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロールに搬入される長尺帯状体がスリップする状態から前フィードロールとキャンロール間で弛む状態になるまで「前フィード率」を連続的に変化させる周速度調整工程、
(B)上記周速度調整工程において「前フィード率」を連続的に変化させたときの「キャンロールのモータ軸トルクCn」と「前フィードロールのモータ軸トルクFn」をそれぞれ測定し、下記数式(1)から計算される長尺帯状体の「搬入張力」Ffをその都度求める搬入張力計算工程、
(C)連続的に変化させた「前フィード率」と、各「前フィード率」に対応する長尺帯状体の「搬入張力」Ffとの関係をグラフ化し、得られたグラフから「搬入張力」Ffが高過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体がスリップしてしまうことが確認される「スリップ領域」と、「搬入張力」Ffが低過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体が弛んでしまうことが確認される「弛み領域」と、これ等「スリップ領域」と「弛み領域」間に存在して長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなくキャンロールの外周面に密着しながら搬送されることが確認される「グリップ領域」をそれぞれ求め、求めた「グリップ領域」の範囲内から上記前フィードロールの「前フィード率」を設定する条件設定工程。
搬入張力Ff=Cn×Cg÷Cr−Fn×Fg÷Fr 式(1)
(但し、式1中、Cgはキャンロールのギア比、Crはキャンロールのロール半径を示し、Fgは前フィードロールのギア比、Frは前フィードロールのロール半径を示す)
請求項1に記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、
「スリップ領域」における搬入張力の最小値をH1、「弛み領域」における搬入張力の最大値をH2とした場合、「グリップ領域」における搬入張力の値が、
[H2+0.1×(H1−H2)]〜[H2+0.9×(H1−H2)]の範囲になるように前フィードロールの上記「前フィード率」が設定されていることを特徴とし、
請求項3に係る発明は、
請求項1または2に記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、
前フィードロールの上記「前フィード率」が99.7%以上100%未満であることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1〜3のいずれかに記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、
(後フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度)×100=「後フィード率」で定義される後フィードロールの上記「後フィード率」が、100%以上101%以下であることを特徴とし、
請求項5に係る発明は、
請求項1〜4のいずれかに記載の発明に係る長尺帯状体の搬送制御方法において、
上記長尺帯状体が、長尺樹脂フィルムであることを特徴とする。
長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールが減圧室内に配置され、かつ、キャンロールの外周面近傍に設けられた表面処理手段により長尺帯状体の表面処理を行なう方法において、
上記長尺帯状体を搬送する制御手段が、請求項1〜5のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法で構成されていることを特徴とし、
請求項7に係る発明は、
請求項6に記載の発明に係る長尺帯状体の表面処理方法において、
上記表面処理手段が、乾式めっき手段であることを特徴とし、
請求項8に係る発明は、
請求項7に記載の発明に係る長尺帯状体の表面処理方法において、
上記乾式めっき手段が、スパッタリング成膜手段であることを特徴とする。
長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、
(前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度)×100=「前フィード率」で定義される前フィードロールの上記「前フィード率」が、事前の確認試験により求められた「グリップ領域」、すなわち、長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなく搬送される「グリップ領域」の範囲内から設定されているため、巻出ロールから供給される長尺帯状体をキャンロールの外周面に確実に密着させながら搬送することが可能となる。
(前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度)×100=「前フィード率」で定義される前フィードロールの上記「前フィード率」が、事前の確認試験により求められた「グリップ領域」の範囲内から設定されていることを特徴とするものである。
スパッタリングウェブコーター(成膜装置)50は、減圧室内に、図1に示すように長尺樹脂フィルム52を巻き出す巻出ロール51と、長尺樹脂フィルム52を巻き取る巻取ロール64と、巻出ロール51と巻取ロール64間に設けられかつ内部で温調された冷媒が循環していると共にサーボモータにより回転駆動される冷却用キャンロール56と、キャンロール56の上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロール51から供給された長尺樹脂フィルム52をキャンロール56に搬入させる前フィードロール55と、キャンロール56の下流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共にキャンロール56から送り出される長尺樹脂フィルム52を上記巻取ロール64側へ搬出させる後フィードロール61が配置された構造を有しており、かつ、成膜手段(乾式めっき手段)としてマグネトロンスパッタリングカソード57、58、59、60が上記キャンロール56の外周面に沿って設けられている。
本発明に係る搬送制御方法は、上記「前フィード率」が事前に行われる下記工程(A)から工程(C)の確認試験を経て設定されていることを特徴とするものである。
(A)上記前フィードロールの周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロールに搬入される長尺帯状体がスリップする状態から前フィードロールとキャンロール間で弛む状態になるまで「前フィード率」を連続的に変化させる周速度調整工程、
(B)上記周速度調整工程において「前フィード率」を連続的に変化させたときの「キャンロールのモータ軸トルクCn」と「前フィードロールのモータ軸トルクFn」をそれぞれ測定し、下記数式(1)から計算される長尺帯状体の「搬入張力」Ffをその都度求める搬入張力計算工程、
(C)連続的に変化させた「前フィード率」と、各「前フィード率」に対応する長尺帯状体の「搬入張力」Ffとの関係をグラフ化し、得られたグラフから「搬入張力」Ffが高過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体がスリップしてしまうことが確認される「スリップ領域」と、「搬入張力」Ffが低過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体が弛んでしまうことが確認される「弛み領域」と、これ等「スリップ領域」と「弛み領域」間に存在して長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなくキャンロールの外周面に密着しながら搬送されることが確認される「グリップ領域」をそれぞれ求め、求めた「グリップ領域」の範囲内から上記前フィードロールの「前フィード率」を設定する条件設定工程。
搬入張力Ff=Cn×Cg÷Cr−Fn×Fg÷Fr 式(1)
(但し、式1中、Cgはキャンロールのギア比、Crはキャンロールのロール半径を示し、Fgは前フィードロールのギア比、Frは前フィードロールのロール半径を示す)
搬入張力Ff=Cn×Cg÷Cr−Fn×Fg÷Fr 式(1)
本発明の搬送制御方法は、上記スパッタリングウェブコーター(成膜装置)以外にも、例えば、プラズマ処理やイオンビーム処理にも好適に使用することができる。
図1に示すスパッタリングウェブコーター(成膜装置)50を用いて、長尺樹脂フィルム52上にシード層であるNi−Cr膜を成膜し、その上にCu膜を成膜した。尚、長尺樹脂フィルム52には、幅500mm、長さ800m、厚さ12μmの東レ・ディポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「カプトン(登録商標)」を使用した。
図1に示すスパッタリングウェブコーター(成膜装置)50を用いて、長尺樹脂フィルム52上にシード層であるNi−Cr膜を成膜し、その上にCu膜を成膜した。尚、長尺樹脂フィルム52には、幅500mm、長さ800m、厚さ25μmの東レ・ディポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「カプトン(登録商標)」を使用した。
51 巻出ロール
52 長尺(耐熱性)樹脂フィルム
53 フリーロール
54 張力センサロール
55 前フィードロール
56 キャンロール
57 マグネトロンスパッタリングカソード
58 マグネトロンスパッタリングカソード
59 マグネトロンスパッタリングカソード
60 マグネトロンスパッタリングカソード
61 後フィードロール
62 張力センサロール
63 フリーロール
64 巻取ロール
Claims (8)
- 長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールとを備え、前フィードロールの周速度をキャンロールの周速度より遅くしてキャンロールに搬入される長尺帯状体に対し搬入張力を付与し、かつ、後フィードロールの周速度をキャンロールの周速度と同一若しくはキャンロールの周速度より速くしてキャンロールから送り出される長尺帯状体に対し搬出張力を付与しながら長尺帯状体の搬送を行なう搬送制御方法において、
(前フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度)×100=「前フィード率」で定義される前フィードロールの上記「前フィード率」が、事前に行われる工程(A)から工程(C)の確認試験を経て設定されていることを特徴とする長尺帯状体の搬送制御方法。
(A)上記前フィードロールの周速度を低速から高速へ連続的に変化させて、キャンロールに搬入される長尺帯状体がスリップする状態から前フィードロールとキャンロール間で弛む状態になるまで「前フィード率」を連続的に変化させる周速度調整工程、
(B)上記周速度調整工程において「前フィード率」を連続的に変化させたときの「キャンロールのモータ軸トルクCn」と「前フィードロールのモータ軸トルクFn」をそれぞれ測定し、下記数式(1)から計算される長尺帯状体の「搬入張力」Ffをその都度求める搬入張力計算工程、
(C)連続的に変化させた「前フィード率」と、各「前フィード率」に対応する長尺帯状体の「搬入張力」Ffとの関係をグラフ化し、得られたグラフから「搬入張力」Ffが高過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体がスリップしてしまうことが確認される「スリップ領域」と、「搬入張力」Ffが低過ぎて前フィードロールとキャンロール間の長尺帯状体が弛んでしまうことが確認される「弛み領域」と、これ等「スリップ領域」と「弛み領域」間に存在して長尺帯状体がスリップや弛みを起こすことなくキャンロールの外周面に密着しながら搬送されることが確認される「グリップ領域」をそれぞれ求め、求めた「グリップ領域」の範囲内から上記前フィードロールの「前フィード率」を設定する条件設定工程。
搬入張力Ff=Cn×Cg÷Cr−Fn×Fg÷Fr 式(1)
(但し、式1中、Cgはキャンロールのギア比、Crはキャンロールのロール半径を示し、Fgは前フィードロールのギア比、Frは前フィードロールのロール半径を示す) - 「スリップ領域」における搬入張力の最小値をH1、「弛み領域」における搬入張力の最大値をH2とした場合、「グリップ領域」における搬入張力の値が、
[H2+0.1×(H1−H2)]〜[H2+0.9×(H1−H2)]の範囲になるように前フィードロールの上記「前フィード率」が設定されていることを特徴とする請求項1に記載の長尺帯状体の搬送制御方法。 - 前フィードロールの上記「前フィード率」が99.7%以上100%未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の長尺帯状体の搬送制御方法。
- (後フィードロールの周速度÷キャンロールの周速度)×100=「後フィード率」で定義される後フィードロールの上記「後フィード率」が、100%以上101%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法。
- 上記長尺帯状体が、長尺樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法。
- 長尺帯状体を巻き出す巻出ロールと、長尺帯状体を巻き取る巻取ロールと、巻出ロールと巻取ロール間に設けられかつサーボモータにより回転駆動されるキャンロールと、キャンロールの上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロールから供給された上記長尺帯状体をキャンロールに搬入させる前フィードロールと、キャンロールの下流側に設けられかつキャンロールから送り出される長尺帯状体を上記巻取ロール側へ搬出させる後フィードロールが減圧室内に配置され、かつ、キャンロールの外周面近傍に設けられた表面処理手段により長尺帯状体の表面処理を行なう方法において、
上記長尺帯状体を搬送する制御手段が、請求項1〜5のいずれかに記載の長尺帯状体の搬送制御方法で構成されていることを特徴とする長尺帯状体の表面処理方法。 - 上記表面処理手段が、乾式めっき手段であることを特徴とする請求項6に記載の長尺帯状体の表面処理方法。
- 上記乾式めっき手段が、スパッタリング成膜手段であることをと特徴とする請求項7に記載の長尺帯状体の表面処理方法。
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