JP4941449B2 - フィルムのスリップ検出方法及びフィルムスリップ検出装置、並びにフィルムスリップ検出装置を備えたフィルム搬送型皮膜成膜装置 - Google Patents
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Description
しかし、これらの方法では、搬送ローラ表面に細かな溝加工を施すことは、搬送ローラの加工費が嵩んで生産コストの増加につながる、或いは粗面加工は搬送ローラ最表面に鋭利な突起が現れやすく、この突起がフィルム表面に傷を付けてしまうといった問題が生じる恐れがある。
また、単純な方法としてはフィルムの進行方向について、エンコーダ等の回転検知により、フィルムの送り出し、巻取り量と、搬送ローラの周速(回転速度)とを比較することでスリップの検出を行う方法が提案されている。
さらに、得られたフィルムのスリップの検出結果に基づいて、成膜工程でのフィルムの搬送状態を監視し、搬送時のフィルムに掛かる張力などの条件を制御することで、スリップの発生を抑制し、スリップによる傷の発生を最小限に保つフィルムの成膜装置である。
より詳細には、本発明の第1の発明は、皮膜を表面に備えるフィルムを、少なくとも2個の搬送ローラを介して搬送するフィルム搬送装置に用いられるフィルムのスリップ検出方法であって、
前記少なくとも2個の搬送ローラ間を搬送されるフィルムに付加した振動波の変化から、前記搬送ローラで発生する前記フィルムのスリップ状態を検出することを特徴とするフィルムのスリップ検出方法である。
また、本発明の第2の発明は、皮膜を表面に備えるフィルムが、少なくとも2個の搬送ローラを介して搬送されるフィルム搬送装置に備わるフィルムスリップ検出装置であって、
前記2個の搬送ローラ間を搬送されるフィルムに付加した振動波の変化を測定する振動検出系と、前記振動検出系から出力される振動波変化から前記搬送ローラで発生する前記フィルムのスリップ状態を検出する信号処理系とからなり、
前記振動検出系は、
振動波をフィルムに付加する振動子を備える搬送ローラ及び前記振動子からの振動波を検出する振動検出子を備える前記搬送ローラと対となる他方の搬送ローラと、
前記振動子を作動させる励起振動部と、
前記振動検出子が検出した振動波を電圧変換した0次電圧信号を出力する振動検出部とを備え、
前記信号検出系は、
前記振動検出部が出力した0次電圧信号から低周波変動成分を除去した1次電圧信号を出力するハイパスフィルターと、
前記1次電圧信号を増幅した2次電圧信号を出力する増幅器と、
前記搬送ローラが回転する時の回転周期信号を出力するエンコーダと、
前記回転周期信号に前記2次電圧信号を同期させて形成したローラ変動電圧信号を記録する波形記録装置と、
前記ローラ変動電圧信号並びに前記2次電圧信号を入力し、前記ローラ変動電圧信号と前記2次電圧信号との信号差を検出し、前記信号差を増幅したスリップ発生信号を出力する差動増幅器とを備え、
前記搬送ローラで発生する前記フィルムのスリップ状態を検出することを特徴とするフィルムスリップ検出装置である。
さらに、本発明の第3の発明は、上記第1の発明に記載のフィルムのスリップ検出方法によって得られたスリップ発生信号に基づいて前記フィルムのスリップ状態を抑制しながら、皮膜が成膜されたフィルムを搬送することを特徴とするフィルム搬送型皮膜成膜装置である。
また、本発明の第4の発明は、フィルム搬送型皮膜成膜装置であって、
対に設けられるフィルム送出部及びフィルム巻取部と、
フィルムを搬送する少なくとも2個以上の搬送ローラと、
前記フィルム上に皮膜を形成する成膜部と、
前記フィルムのスリップを検出する請求項2記載のフィルムスリップ検出装置と、
前記フィルムのスリップを抑制するスリップ制御装置とを備えることを特徴とするフィルム搬送型皮膜性膜装置である。
従って、本発明は工業的価値が高く、産業の発達に大いに貢献するものである。
図1は、本発明の成膜装置1を示すもので、フィルム2、送出ロール10(フィルム送出部)、巻取ロール11(フィルム巻取部)、搬送ローラA〜D、CAN3、ターゲット4a、4b、振動子5a、振動検出子5bの位置関係を示し、さらにフィルムスリップ検出装置30及びスリップ制御装置40が設けられている。
尚、図1中の黒塗り矢印はフィルムの搬送方向を示している。
その際、フィルム2のスリップがフィルムスリップ検出装置30により検出された場合には、検出された信号を基にスリップ制御装置40により適切なスリップ防止の制御が行われる。
この関係から、搬送ローラD或いはCAN3に、この微小振動による振動波を検出する振動検出子5bを設置すると、搬送ローラとフィルムの接触状態をモニターすることになり、この接触状態が変化するスリップを検出することができるものである。
図2、3はフィルムに生じるスリップの態様の説明図で、フィルムのスリップには、図2に示されるフィルムが進行方向にずれるスリップと、図3(a)から(c)に示されるように、フィルムが幅方向にずれるスリップとがある。
尚、図3(b)は、図3(a)を白抜き矢印A側からの図で、図3(c)は白抜き矢印B側からの図である。
フィルムの幅方向のずれによるスリップについては、図3(a)〜(c)にあるように、フィルム幅方向において不均等に掛かる張力やフィルムの膨張による幅方向の寸法の変化によってうねり6が発生し、このうねり6が生じているフィルム2が進み、搬送ローラ20に接触する際に平坦化させられ、その際に生じる。
このように、うねり6が発生すると、搬送ローラ20と皮膜(図示せず)との接触面積が変化するため、音響インピーダンスの変動が生じるものである。
本発明では、図1に示すように、予め成膜後にフィルムと接触する2個の搬送ローラのどちらかに微小振動による振動波を発振する振動子5aを設け、他方の搬送ローラにフィルムを伝導する振動波を検出する振動検出子5bが設けられ、その振動波の変動を解析することによりフィルムスリップの発生を見出すものである。
図5に示すように、本発明におけるフィルムスリップ検出装置30は、搬送ローラR1、R2に振動波を付加する振動子B1または振動検出子D1を設け、振動子B1を駆動する励起振動部V1と、振動検出子D1で検出された振動波を電気信号処理化して、電圧信号を出力する振動検出部S1から構成される振動検出系と、この振動検出部S1から得たスリップ信号を含む電圧信号を処理するハイパスフィルター(HPF)F1、増幅器A1、波形記録装置M1、差動増幅器A2、エンコーダE1から構成される信号処理系よりなる。
次に、この直流成分と、成膜時の影響による長周期の変動を除去するため、出力された0次電圧信号をハイパスフィルター(HPF)F1を通すことで1次電圧信号とし、さらにこの信号を増幅器A1に通し、解析処理可能なレベルまで増幅された2次電圧信号を出力する(図7(b)参照)。
図8(a)に示すエンコーダE1で測定した搬送ローラ回転周期に同期させて2次電圧信号を波形記録装置M1で記録することで、図8(b)に示す搬送ローラの回転変動によって生じる接触抵抗値の周期的な変動であるローラ変動電圧信号を捉える。この際10回〜20回の平均化処理を実施して求めると良い。
本発明における種々の特性値は、下記の通り測定した。なお、本発明は、その範囲を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
厚み100μm、280mフィルム幅のPETフィルムの中央部に約200mm、膜厚10nmの金属膜を成膜したものを使用し、このフィルムを0.5m/minで搬送した際のスリップ信号の確認を行った。
その後スリップ信号が検出された位置のフィルムのスリップによる傷の有無を確認し有効性を検証した。なお、信号処理系の増幅率については、最終出力である差動増幅器の出力が1V程度になるように適宜調整を行った。
スリップ信号が得られたフィルム上の位置には、フィルムのスリップにより発生した数十μm程度の傷2bが実際に確認された。また、この傷の形状はフィルムの進行方向に対して斜めとなっており、幅方向にフィルムがずれたことを示唆していた。これらのことから、この検出手段が成膜装置におけるフィルムのスリップの検出に有効であることが分かる。
図5のフィルムスリップ検出装置を備えた図1に示す成膜装置を用い、フィルムスリップ検出装置を機能させて金属膜をフィルム上に、スパッタ成膜を行ったところ、金属膜上に極めて傷の少ない金属膜付きフィルムを製造することができたが、スリップ検出装置の機能を使用しなかった場合には、成膜された金属膜の表面に少なからず傷の発生を見た。
2 フィルム
2a 皮膜(金属皮膜)
2b 傷
3 CAN
4a、4b ターゲット
5a 振動子
5b 振動検出子
6 うねり
10 送出ロール
11 巻取ロール
20 搬送ローラ
30 フィルムスリップ検出装置
40 スリップ制御装置
A、B、C、D 搬送ローラ
R1、R2 搬送ローラ
Claims (4)
- 皮膜を表面に備えるフィルムを、少なくとも2個の搬送ローラを介して搬送するフィルム搬送装置に用いられるフィルムのスリップ検出方法であって、
前記少なくとも2個の搬送ローラ間を搬送されるフィルムに付加した振動波の変化から、前記搬送ローラで発生する前記フィルムのスリップ状態を検出することを特徴とするフィルムのスリップ検出方法。 - 皮膜を表面に備えるフィルムが、少なくとも2個の搬送ローラを介して搬送されるフィルム搬送装置に備わるフィルムスリップ検出装置であって、
前記2個の搬送ローラ間を搬送されるフィルムに付加した振動波の変化を測定する振動検出系と、前記振動検出系から出力される振動波変化から前記搬送ローラで発生する前記フィルムのスリップ状態を検出する信号処理系とからなり、
前記振動検出系は、
振動波をフィルムに付加する振動子を備える搬送ローラ及び前記振動子からの振動波を検出する振動検出子を備える前記搬送ローラと対となる他方の搬送ローラと、
前記振動子を作動させる励起振動部と、
前記振動検出子が検出した振動波を電圧変換した0次電圧信号を出力する振動検出部とを備え、
前記信号検出系は、
前記振動検出部が出力した0次電圧信号から低周波変動成分を除去した1次電圧信号を出力するハイパスフィルターと、
前記1次電圧信号を増幅した2次電圧信号を出力する増幅器と、
前記搬送ローラが回転する時の回転周期信号を出力するエンコーダと、
前記回転周期信号に前記2次電圧信号を同期させて形成したローラ変動電圧信号を記録する波形記録装置と、
前記ローラ変動電圧信号並びに前記2次電圧信号を入力し、前記ローラ変動電圧信号と前記2次電圧信号との信号差を検出し、前記信号差を増幅したスリップ発生信号を出力する差動増幅器とを備え、
前記搬送ローラで発生する前記フィルムのスリップ状態を検出することを特徴とするフィルムスリップ検出装置。 - 請求項1記載のフィルムのスリップ検出方法によって得られたスリップ発生信号に基づいて前記フィルムのスリップ状態を抑制しながら、皮膜が成膜されたフィルムを搬送することを特徴とするフィルム搬送型皮膜成膜装置。
- フィルム搬送型皮膜成膜装置であって、
対に設けられるフィルム送出部及びフィルム巻取部と、
フィルムを搬送する少なくとも2個以上の搬送ローラと、
前記フィルム上に皮膜を形成する成膜部と、
前記フィルムのスリップを検出する請求項2記載のフィルムスリップ検出装置と、
前記フィルムのスリップを抑制するスリップ制御装置とを備えることを特徴とするフィルム搬送型皮膜性膜装置。
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