JP6575399B2 - ロールツーロール処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Description
(1)例えば前フィードロール56を基準ロールとして張力制御が行われている長尺樹脂フィルムFに成膜処理を施している成膜手段(スパッタリングカーソード)への電力供給を停止する
(2)キャンロール58へのガス供給を停止する
(3)ガスロータリージョイント15内のガス分配溝18aに設置した圧力計Pで測定したガス圧が、非ラップ部から徐々にギャップ部のガスが抜けることであらかじめ定められた設定圧力に低下するまで搬送を維持する(例えば、キャンロール58を3回転させて200Pa以下になるまで待機)
(4)圧力計Pで測定したガス圧が上記設定圧力になった時点で長尺樹脂フィルムFの搬送を停止する
(5)停止中の長尺樹脂フィルムFの張力を制御する基準ロールを前フィードロール56からキャンロール58に変更する
(6)長尺樹脂フィルムFの張力を制御する基準ロールをキャンロール58から、例えば前フィードロール56に変更する
(7)長尺樹脂フィルムFの搬送を開始する
(8)キャンロール58へのガス供給を開始する
(9)ガスロータリージョイント15内のガス分配溝18aに設置した圧力計Pの値が設定圧力になるまでこの状態を維持する
(10)熱負荷がのかかる成膜手段(スパッタリングカーソード)に電力を供給する
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53、67 フリーロール
54、66 張力センサロール
55 前駆動ロール
56 前フィードロール
57、63 キャンロール側張力センサロール
58 キャンロール
59、60、61、62 マグネトロンスパッタリングカソード
64 後フィードロール
65 後駆動ロール
68 巻取ロール
10 外周肉厚部
11 冷媒循環路
12 回転軸
13 ガス導入路
14 ガス放出孔
15 ガスロータリージョイント
16 供給管
17 回転リングユニット
17a ガス分配管
18 静止リングユニット
18a ガス分配溝
18b パッキン
A ラップ部
F 長尺樹脂フィルム
0 中心軸
P 圧力計
Claims (7)
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに対して熱負荷のかかる処理を施す際に巻き付けるモーター駆動のキャンロールと、その前段及び/又は後段に設けられたモーター駆動の駆動ロールとを備えたロールツーロール処理装置であって、
前記キャンロールはその外周肉厚部に回転軸方向に延在する複数のガス導入路が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設されており、これら複数のガス導入路の各々は回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側で開口する複数のガス放出孔を有しており、前記キャンロールの外周面のうち長尺樹脂フィルムが巻き付けられるラップ部の角度範囲内に位置する複数のガス導入路にのみガスを分配して供給するガス分配手段を備えており、
前記長尺樹脂フィルムの搬送の開始又は停止の信号に基づいて選択された前記キャンロール又は前記駆動ロールによって前記長尺樹脂フィルムの搬送制御を行う搬送制御手段が設けられており、
前記搬送制御手段は、長尺樹脂フィルムの搬送開始時と搬送を維持する時は、該長尺樹脂フィルムの搬送経路上の少なくとも1つの駆動ロールで該長尺樹脂フィルムの張力を制御し、
搬送中の前記長尺樹脂フィルムを停止に至らせる時は、長尺樹脂フィルムの搬送経路上の少なくとも1つの駆動ロールで長尺樹脂フィルムの張力を制御したまま前記ガス分配手段におけるガスの供給圧力が設定圧力に低下するまで長尺樹脂フィルムの搬送を維持し、該設定圧力になった時点で長尺樹脂フィルムの搬送を停止に至らせる操作を行い、長尺樹脂フィルムの搬送が停止したら長尺樹脂フィルムの張力を制御するロールを前記駆動ロールから前記キャンロールに切り替え、
長尺樹脂フィルムの搬送の停止を維持している間は、前記ガス導入路へのガス供給を行わず且つ長尺樹脂フィルムの張力をキャンロールで制御することを特徴とするロールツーロール処理装置。 - 前記ガス分配手段が、前記キャンロールと共に回転する回転リングユニットと、該回転リングユニットに互いの摺接面で摺接する回転しない静止リングユニットとからなるロータリージョイントであり、該回転リングユニットには前記複数のガス導入路に連通すると共に該摺接面で一端部が開口するガス分配路が設けられており、該静止リングユニットには前記ラップ部に位置するガス分配路にのみガスを供給するように該摺接面で略馬蹄形状に開口するガス分配溝を有していることを特徴とする、請求項1に記載のロールツーロール処理装置。
- 前記熱負荷のかかる処理が乾式めっき処理であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のロールツーロール処理装置。
- 前記乾式めっき処理がスパッタリング成膜処理であることを特徴とする、請求項3に記載のロールツーロール処理装置。
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムをガス放出機構を備えたキャンロールの外周面に巻き付けながら熱負荷のかかる処理を行うロールツーロール処理方法であって、
前記キャンロールはその外周肉厚部に回転軸方向に延在する複数のガス導入路が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設されており、これら複数のガス導入路の各々は回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側で開口する複数のガス放出孔を有しており、前記キャンロールの外周面のうち長尺樹脂フィルムが巻き付けられるラップ部の角度範囲内に位置する複数のガス導入路にのみガスを分配して供給するガス分配手段を備えており、
長尺樹脂フィルムの搬送開始時と搬送を維持する時は、該長尺樹脂フィルムの搬送経路上の少なくとも1つの駆動ロールで該長尺樹脂フィルムの張力を制御し、
搬送中の長尺樹脂フィルムを停止に至らせる時は、長尺樹脂フィルムの搬送経路上の少なくとも1つの駆動ロールで長尺樹脂フィルムの張力を制御したまま前記ガス分配手段におけるガスの供給圧力が設定圧力に低下するまで長尺樹脂フィルムの搬送を維持し、該設定圧力になった時点で長尺樹脂フィルムの搬送を停止に至らせる操作を行い、長尺樹脂フィルムの搬送が停止したら長尺樹脂フィルムの張力を制御するロールを前記駆動ロールから前記キャンロールに切り替え、
長尺樹脂フィルムの搬送の停止を維持している間は、前記ガス導入路へのガス供給を行わず且つ長尺樹脂フィルムの張力をキャンロールで制御することを特徴とするロールツーロール処理方法。 - 前記熱負荷のかかる処理がプラズマ処理、イオンビーム処理、又は乾式めっき処理であることを特徴とする、請求項5に記載のロールツーロール処理方法。
- 前記乾式めっき処理がスパッタリング成膜であることを特徴とする、請求項6に記載のロールツーロール処理方法。
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JP2016039545A JP6575399B2 (ja) | 2016-03-02 | 2016-03-02 | ロールツーロール処理装置及び処理方法 |
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Family Applications (1)
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JP2016039545A Active JP6575399B2 (ja) | 2016-03-02 | 2016-03-02 | ロールツーロール処理装置及び処理方法 |
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