JP5488477B2 - キャンロール、長尺樹脂フィルム基板の処理装置及び処理方法 - Google Patents
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Description
[数式1]
0.1×X/375≦Y≦1.0×X/375
図2に示すキャンロールとして、中央部の高さが両端部よりも200μm大きい本発明によるクラウン形状のキャンロールを使用して、長尺樹脂フィルム基板上にNi−Cr膜とCu膜を積層して成膜した。
図2に示すキャンロールとして従来から使用されている円筒形状のキャンロールを使用した以外は上記実施例1と同様にして、長尺樹脂フィルム基板上にNi−Cr膜とCu膜を積層して成膜した。
上記実施例1の本発明によるクラウン形状のキャンロールと、上記参考例の円筒形状のキャンロールについて、上記耐熱性ポリイミドフィルムをフィルム搬送2m/minで搬送させながら、成膜中におけるキャンロール上のポリイミドフィルム表面の観察が可能な観察窓から、スパッタリングの熱負荷によるシワが発生しない最大スパッタリング電力(4台の合計)を求めた。
10a 外周面
11 ガス導入路
12 ガス放出孔
13 有底円筒部材
14 回転軸
15 冷却水循環部
20 ガスロータリージョイント
21 固定リングユニット
22 回転リングユニット
23 ガス導入口
24 ガス分配溝
25 ガス分配管
50 成膜装置
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
56 キャンロール
64 巻取ロール
Claims (8)
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルム基板を外周面に巻き付けながら熱負荷の掛かる処理をするキャンロールであって、周方向に沿って略均等な間隔をあけ且つ全周に亘り回転軸方向に沿って配設された複数のガス導入路を有し、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔で外周面側に開口する複数のガス放出孔を有すると共に、外径が回転軸方向の中央部で最も長く且つ該中央部から両端部に向けて次第に短くなるクラウン形状の外周面を備えることを特徴とするキャンロール。
- 前記ガス導入路のガス供給側に、長尺樹脂フィルム基板がキャンロール外周面に接触する角度範囲外に位置しているガス導入路に対してガスの供給を遮断するガス供給制御手段を備えることを特徴とする、請求項1に記載のキャンロール。
- 前記クラウン形状の外周面は外径が略均一の曲率で変化していることを特徴とする、請求項1又は2に記載のキャンロール。
- 前記キャンロールの中央部の外径と両端部の外径との差Yが、中央部と両端部までの距離Xmmに対して下記数式2で示される範囲にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のキャンロール。
[数式2]
0.1×X/375≦Y≦1.0×X/375 - 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルム基板を外周面に巻き付けながら熱負荷の掛かる処理をするキャンロールを備えた長尺樹脂フィルム基板の処理装置であって、請求項1〜4のいずれかに記載のキャンロールを備えたことを特徴とする長尺樹脂フィルム基板の処理装置。
- 前記熱負荷の掛かる処理が、プラズマ処理、イオンビーム処理、真空成膜処理の少なくともいずれか1種であることを特徴とする、請求項5に記載の長尺樹脂フィルム基板の処理装置。
- 真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルム基板をキャンロールの外周面に巻き付けながら、熱負荷の掛かる処理をする長尺樹脂フィルム基板の処理方法であって、請求項1〜4のいずれかに記載のキャンロールに長尺樹脂フィルム基板を巻き付けながら処理することを特徴とする長尺樹脂フィルム基板の処理方法。
- 前記熱負荷の掛かる処理が、プラズマ処理、イオンビーム処理、真空成膜処理の少なくともいずれか1種であることを特徴とする、請求項7に記載の長尺樹脂フィルム基板の処理方法。
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