JP2017119613A - ガラスリボン成膜装置及びガラスリボン成膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラスリボンに膜を形成する装置であって、搬送手段による搬送の際に、ガラスリボンが傷つくことを抑えることが可能なガラスリボン成膜装置を提供する。【解決手段】ガラスリボンＧを搬送させる搬送手段である搬送ローラー部４と、搬送ローラー部４により搬送されるガラスリボンＧに対して、ガラスリボンＧの一方面側に膜を形成する成膜手段６と、ガラスリボンＧと成膜手段６との間の距離を一定にする支持手段である支持ローラー２０と、を備えるガラスリボン成膜装置１であって、支持ローラー２０とガラスリボンＧが直接接触しないように、ガラスリボンＧの延出方向に沿って、ガラスリボンＧの他方面側に樹脂材料からなるシート部材である保護フィルムＰが配置されるガラスリボン成膜装置１。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラスリボン成膜装置及びガラスリボン成膜方法の技術に関する。

従来より、例えばガラスリボンの表面に成膜する技術として、ロール・ツー・ロール方式が広く利用されている。
前記ロール・ツー・ロール方式は、ロール状のガラスリボンを真空中で巻き出し、スパッタ・蒸着・ＣＶＤなどの手法で連続的に成膜を行い、再びロール状に巻き取る方式の成膜方法である。

ここで、このようなロール・ツー・ロール方式による成膜技術の一例が、「特許文献１」によって開示されている。
前記「特許文献１」においては、巻出し部及び巻取り部を有するガラスフィルム搬送装置と、成膜ローラー及びスパッタ蒸発源を有するスパッタ成膜部と、を備えるロール・ツー・ロール方式の成膜装置が開示されている。
この装置では、ガラスフィルム搬送装置によりガラスフィルムを搬送しつつ、スパッタ成膜部により該ガラスフィルムの表面にスパッタ処理が施されることで成膜が行われる。

特開２０１４−０４３３２６号公報

ところで、前記「特許文献１」における成膜装置において、前述したロール・ツー・ロール方式によって、ガラスフィルムを搬送しながら当該ガラスフィルムの被成膜面に、所定の材料を連続的に成膜する場合、被成膜面の反対面には成膜ロールと直接接触することにより傷等が発生する虜があった。
そのため、このようにガラスフィルムを用いる場合、ガラスフィルムが成膜ロールと直接接触する際にガラスフィルムが傷つかないように保護する対策が切望されていた。

本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、ガラスフィルムに膜を形成する装置であって、ガラスフィルムが成膜ロールと直接接触する際に、ガラスフィルムが傷つくことを抑えることが可能なガラスフィルム成膜装置を提供することを課題とする。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、本発明に係るガラスリボン成膜装置は、ガラスリボンを搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送されるガラスリボンに対して、該ガラスリボンの一方面側に膜を形成する成膜手段と、前記ガラスリボンと前記成膜手段との間の距離を一定にする支持手段と、を備えるガラスリボン成膜装置であって、前記支持手段と前記ガラスリボンが直接接触しないように、前記ガラスリボンの延出方向に沿って、前記ガラスリボンの他方面側にシート部材が配置されることを特徴とする。

このように、本発明のガラスリボン成膜装置は、前記ガラスリボンの延出方向に沿って、前記ガラスリボンの他方面側にシート部材が配置されることで、ガラスリボンを搬送手段により搬送する際に、支持手段や搬送手段との接触により、傷付くことを抑えることができる。
すなわち、前記支持手段や前記搬送手段にガラスリボンの被成膜面の反対面が直接接触することがなく、ガラスリボンが傷付くことを抑えることができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置において、前記搬送手段は、前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材を配置した状態で巻き出す巻出し手段と、前記成膜手段により前記膜が形成された前記ガラスリボンの一方面側を内側にするとともに、前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材を配置した状態で前記巻出し手段とは逆の方向に巻き取る巻取り手段と、を有することが好ましい。

このような構成からなるガラスリボン成膜装置によれば、前記巻取り手段により膜が形成されたガラスリボンを内側に、該ガラスリボンの外側にシート部材が配置された状態で巻き取られる。
当該ガラスリボンの他方面側に膜を形成する際においては、外側に配置されたシート部材をガラスリボンから分離し、これを膜の外側面側に配置した状態で成膜手段に搬送することで、膜の外側面側をシート部材により保護しつつ、前記成膜手段によりガラスリボンの他方面側に膜を形成することができる。
よって、シート部材を有効に用いて、容易にガラスリボンの両面に膜を形成することができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置において、前記搬送手段は、前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材を配置した状態で巻き出す巻出し手段と、前記成膜手段により前記膜が形成された前記ガラスリボンの一方面側を内側にするとともに、前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材とは別の新たなシート部材を配置した状態で前記巻出し手段とは逆の方向に巻き取る巻取り手段と、を有することを特徴とする。

このような構成を有することで、本発明のガラスリボン成膜装置においては、例えば成膜時の加熱によって、巻出し手段より巻き出されたシート部材が変形したとしても、熱の影響を受けていない別の新たなシート部材を用いることで、成膜後のガラスリボンとともに安定して巻取り手段によって巻き取ることができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置において、前記巻出し手段と前記巻取り手段との間に配置され、前記シート部材に対して所定の張力を付与するテンション機構を有することが好ましい。

このような構成からなるガラスリボン成膜装置によれば、前記ガラスリボンと前記シート部材との間で長さのずれが生じた場合でも、それに追従して適切な張力を付与することができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置において、前記巻出し手段は、前記ガラスリボン及び前記シート部材を巻き出す張力を調節する張力調節手段を有することが好ましい。

このような構成からなるガラスリボン成膜装置によれば、前記ガラスリボン及び前記シート部材を巻き出す張力を張力調節手段により調節することで、前記ガラスリボン及び前記シート部材が弛むことを抑えることができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置において、前記巻出し手段と前記巻取り手段との間において、前記成膜手段に対向して配置される支持ローラーを備え、前記支持ローラーは、外周面に亘って前記ガラスリボン及び前記巻出し手段より巻き出された前記シート部材を位置決めする段差部を有することが好ましい。

このような構成からなるガラスリボン成膜装置によれば、前記ガラスリボン及び前記巻出し手段より巻き出された前記シート部材を位置決めする段差部を有することで、前記ガラスリボン及び前記シート部材を所定の成膜位置に位置決めすることができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置において、前記シート部材は、前記ガラスリボンより幅広であることが好ましい。

このような構成からなるガラスリボン成膜装置によれば、シート部材の幅方向両端部がガラスリボンの幅方向両端部より外側に延設されるため、ガラスリボンの幅方向両端部をシート部材により保護することができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜方法は、ガラスリボンを搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送されるガラスリボンに対して、該ガラスリボンの一方面側に膜を形成する成膜手段と、前記ガラスリボンと前記成膜手段との間の距離を一定にする支持手段と、を備えるガラスリボン成膜装置を用いたガラスリボン成膜方法であって、前記支持手段と前記ガラスリボンが直接接触しないように、前記ガラスリボンの延出方向に沿って、前記ガラスリボンの他方面側にシート部材を配置することを特徴とする。

このように、本発明のガラスリボン成膜方法は、前記ガラスリボンの延出方向に沿って、前記ガラスリボンの他方面側に樹脂材料からなるシート部材が配置されることで、ガラスリボンを搬送手段により搬送する際に、支持手段や搬送手段との接触により、傷つくことを抑えることができる。
すなわち、前記支持手段や前記搬送手段にガラスリボンの被成膜面の反対面が直接接触することがなく、ガラスリボンが傷つくことを抑えることができる。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明に係るガラスリボン成膜装置及びガラスリボン成膜方法によれば、ガラスリボンを搬送手段により搬送する際に、ガラスリボンが搬送手段と接触することで傷つくことを抑えることができる。

本発明の一実施形態に係るガラスリボン成膜装置の全体構成を示した側面図。 主ローラーの外周面近傍を示した図であって、図１における矢印Ｂの方向から見た拡大断面図。 ガラスリボン成膜装置の各領域におけるガラスリボンの状態を示した図であって、（ａ）は図１における領域ｃでのガラスリボンの状態を示した側面図、（ｂ）は図１における領域ｂでのガラスリボンの状態を示した側面図、（ｃ）は図１における領域ａでのガラスリボンの状態を示した側面図。 両面に膜が成膜されたガラスリボンの構成を示した断面図。 本発明の別実施形態に係るガラスリボン成膜装置の全体構成を示した側面図。

次に、発明の実施形態について、図１乃至図５を用いて説明する。
なお、以下の説明に関しては便宜上、図１、図３および図５における矢印Ａの方向をガラスリボンＧの搬送方向と規定して記述する。
また、以下の説明に関しては便宜上、図１の上下方向をガラスリボン成膜装置１の上下方向と規定して記述する。
また、以下の説明に関しては便宜上、図５の上下方向を別実施形態におけるガラスリボン成膜装置１０１の上下方向と規定して記述する。
さらに、以下の説明に関しては便宜上、図２によって示されるガラスリボンＧにおいて、成膜手段６に対向する面側を「一方面側」、その反対面側を「他方面側」と規定して記述する。

［ガラスリボン成膜装置１］
先ず、本発明を具現化するガラスリボン成膜装置１（以下、単に「成膜装置１」と記載する）の全体構成について、図１及び図２を用いて説明する。
本実施形態における成膜装置１は、図１に示すように、ロール・ツー・ロール方式によって、例えばガラスリボンＧに連続的に金属膜Ｍを形成するのに用いられるものである。

なお、本実施形態で説明する成膜装置１は、ガラスリボンＧの片面もしくは両面に金属を成膜して、薄膜状の金属電極（本実施形態では、厚さ４０ｎｍの金属電極）を形成するものであり、例えば、キャパシタ（コンデンサー）を構成する金属電極付誘電体を製造する際に適用可能である。

ここで、ガラスリボンＧは、長尺で帯状のガラス部材からなり、成膜装置１によって所定の被膜（本実施形態では、金属膜）が施される。
また、図２に示すように、ガラスリボンＧは、後述する成膜手段６と対向する一方面Ｇａ、及び当該一方面Ｇａの反対面側の他方面Ｇｂを有して構成され、例えばその幅寸法は２５ｍｍ、また厚み寸法は１０μｍに設定されている。

なお、ガラスリボンＧの厚み寸法は、特に限定するものではなく、用途に応じて変更可能である。
例えば、キャパシタ等の電子部品用途の場合は、ガラスリボンＧを巻回して構成するため、１〜３００μｍであることが好ましい。さらには、１〜２００μｍであることがより好ましい。

ガラスリボンＧの構成材料は、ガラスである限りにおいて特に限定されない。
具体的には、ガラスリボンＧは、例えば、珪酸塩系ガラス、硼酸塩系ガラス、硼珪酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラス、硼リン酸塩系ガラス等により構成することができる。
また、ガラスリボンＧは、ナトリウム成分、カリウム成分等のアルカリ金属成分を含んでいてもよいし、含んでいなくてもよい。

ガラスリボンＧにおいては、一方面Ｇａ及び他方面Ｇｂのどちらか一方に膜を形成する際に、ガラスリボンＧの被成膜面の反対面側を保護するためのシート状部材である保護フィルムＰが配置される。

保護フィルムＰは、後述するが、巻出しローラー４ａや巻取りローラー４ｂに巻かれた状態、または成膜の際に支持ローラー２０に支持された状態などにおいて、ガラスリボンＧが支持ローラー２０等に直接接触して傷つかないように保護するためのものである。
保護フィルムＰは、本実施形態では、樹脂材料（ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）等）からなる長尺で帯状のフィルム部材であって、ガラスリボンＧより幅広に形成されている。

そして、保護フィルムＰは、支持ローラー２０とガラスリボンＧが直接接触しないように、ガラスリボンＧの延出方向に沿って、ガラスリボンＧの一方面Ｇａ及び他方面Ｇｂのどちらか一方に配置される。

成膜装置１は、キャパシタの誘電体を製造する際に用いられるガラスリボンＧに対して、スパッタリング法によりスパッタリングを行うことで所定の被膜（本実施形態では、金属膜Ｍ）を形成するためのスパッタリング装置である。
成膜装置１は、図１に示すように、主に真空槽３、ガラスリボンＧを搬送する搬送手段である搬送ローラー部４、テンション機構５、成膜手段６、支持手段である支持ローラー２０、およびマスク部材２などにより構成される。

なお、成膜装置１の構成については、本実施形態のものに限定されるものではなく、例えば、ガラスリボンＧに表面処理（例えば、エッチング処理）を施すための表面処理手段や、ガラスリボンＧを所定方向にガイドするガイドローラー等を追加することも可能である。

真空槽３は、真空槽３内を減圧雰囲気（高真空状態）とするための排気手段８と、真空槽３内にスパッタリングに用いる不活性ガスとして高純度Ａｒガスを供給するためのＡｒガス供給手段９とを具備している。

搬送ローラー部４は、ガラスリボンＧおよび保護フィルムＰを複数のローラーに係合して所定の速度にて成膜手段６に供給する搬送手段であり、主に巻出しローラー４ａ、及び巻取りローラー４ｂなどにより構成されている。
搬送ローラー部４を構成する巻出しローラー４ａ及び巻取りローラー４ｂの間には、支持部材である支持ローラー２０が配置されている。

支持ローラー２０は、巻出しローラー４ａと巻取りローラー４ｂとの間において、成膜手段６に対向して配置されるローラーである。
支持ローラー２０は、例えばアルミニウムなどの金属部材により形成される。

支持ローラー２０には、図２に示すように、外周面の全周に亘って、かつ支持ローラー２０の幅方向中央に断面視矩形状の溝部１０が形成されている。
溝部１０は、幅寸法が保護フィルムＰの幅寸法よりも大きく形成されている。

また、溝部１０は、深さ寸法がガラスリボンＧと保護フィルムＰとを合わせた厚み寸法よりも大きく形成されている。
これにより、溝部１０の内部にガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを配置した際に、ガラスリボンＧの外側面（一方面Ｇａ）は支持ローラー２０の外周面に対してクリアランスを確保することができ、支持ローラー２０の外周面に配置されたマスク部材２とガラスリボンＧとが接触するのを防いでいる。

溝部１０は、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが搬送方向に搬送されるようにガイドするとともに、成膜手段６のターゲット部７およびマスク部材２に対して好適な位置に配置されるように位置決めする段差部分である。

支持ローラー２０は、ガラスリボンＧと成膜手段６との間の距離を一定にする支持手段である。
支持ローラー２０は、溝部１０にガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが係合することで、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを成膜手段６に対して一定の距離を保持するように支持している。
これにより、ガラスリボンＧに対して均質な成膜を行うことができる。

なお、本実施形態では、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを位置決めする段差部分として溝形状の溝部１０を設ける構成としているが、特に限定するものではなく、支持ローラー２０の外周面から凸状に形成される段差部分を設ける構成とすることもできる。

巻出しローラー４ａは、予めロール状に巻回されたガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを支持ローラー２０の回転方向と同方向に回転して巻き出す巻出し手段である。
巻出しローラー４ａは、主にローラー軸４ａ１、及びローラー軸４ａ１に対して着脱可能に挿嵌されたプラスチック製のボビン４ａ２などにより構成される。

そして、巻出しローラー４ａには、図１に示すように、ガラスリボンＧの内側面側（図２では、他方面Ｇｂ側）に保護フィルムＰを配置した状態になるようにして、ガラスリボンＧが巻かれている。

ここで、ボビン４ａ２は、ローラー軸４ａ１に対して着脱可能に軸支される。
そして、ボビン４ａ２は、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰに加えられる巻出し張力により支持ローラー２０の回転方向と同方向に回転する。

巻出しローラー４ａには、保護フィルムＰの巻出し張力を調節する図示せぬブレーキ（張力調節手段）が設けられている。
具体的には、巻出しローラー４ａに設けられたブレーキを操作することにより、ガラスリボンＧおよび保護フィルムＰに所望の巻出し張力を付与することができる。
これにより、搬送ローラー部４により搬送されるガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが弛むことがなく、適度な張力を保持して搬送される。

巻取りローラー４ｂは、巻出しローラー４ａの回転方向と逆方向（支持ローラー２０の回転方向と逆方向）に回転して、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰをロール状に巻き取る巻き取り手段である。
巻取りローラー４ｂは、主にローラー軸４ｂ１、及びローラー軸４ｂ１に対して着脱可能に挿嵌されたプラスチック製のボビン４ｂ２などにより構成される。

そして、巻取りローラー４ｂには、成膜手段６により金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧの一方面Ｇａ側を内側にするとともに、ガラスリボンＧの他方面Ｇｂ側に保護フィルムＰを配置した状態になるようにして、ガラスリボンＧが巻かれている。

ここで、ボビン４ｂ２は、ローラー軸４ｂ１を駆動する駆動手段（本実施形態では、ステッピングモーター）を備え、該駆動手段を駆動することにより巻出しローラー４ａの回転方向と逆方向にローラー軸４ｂ１が駆動され、ボビン４ｂ２にガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが巻き取られる。

テンション機構５は、巻出しローラー４ａと巻取りローラー４ｂとの間に配置される可動式のテンションローラーであり、一端が真空槽３に対して回動自在に軸支された縦長の支持板５ａ、及び該支持板５ａの他端に回動自在に軸支されたテンションローラー５ｂなどにより構成される。

テンションローラー５ｂには、支持ローラー２０から巻取りローラー４ｂに搬送される保護フィルムＰの中途部が巻回され、テンションローラー５ｂの自重により支持板５ａの一端を支点としてテンションローラー５ｂが巻取りローラー４ｂより離間する方向に回動することで、保護フィルムＰに対して所定の張力が付与される。
これにより、成膜時の加熱や巻出しローラー４ａにおけるガラスリボンＧと保護フィルムＰとの間の円周差などの影響によってガラスリボンＧと保護フィルムＰとの間で長さのずれが生じた場合でも、それに追従して保護フィルムＰに対して適切な張力を付与することができる。

なお、上記張力を付与する場合、テンション機構５の支持板５ａは、水平状態から垂直状態の角度間隔９０度の間に配置されるように設定することが好ましい。

以上のような構成からなる支持ローラー２０、巻出しローラー４ａ、及び巻取りローラー４ｂにおいて、巻出しローラー４ａには、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが予め所定長巻回されており、巻出しローラー４ａから巻き出されたガラスリボンＧ及び保護フィルムＰは、該保護フィルムＰの外側面にガラスリボンＧが配置された状態で一緒に搬送されるともに、支持ローラー２０の外周面に穿設された溝部１０に係合され、当該支持ローラー２０から延出されたガラスリボンＧが巻取りローラー４ｂに巻き取られる。
一方、支持ローラー２０から延出された保護フィルムＰは、テンション機構５のテンションローラー５ｂを介して巻取りローラー４ｂに巻き取られる。

こうして、巻取りローラー４ｂを所定の速度にて回転駆動した場合、巻出しローラー４ａに巻回されたガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが一緒に巻き出されるとともに、保護フィルムＰが溝部１０の底面１０ａに当接した状態で支持ローラー２０に係合され、ガラスリボンＧはその一方面Ｇａを、ターゲット部７に対向するように供給される。
つまり、搬送ローラー部４は、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを所定速度にて成膜手段６のターゲット部７の近傍に搬送することが可能である。

成膜手段６は、搬送ローラー部４により搬送されるガラスリボンＧの一方面Ｇａ側に対して金属膜Ｍを形成するものである。
成膜手段６は、支持ローラー２０の外周面に対向して配置されており、スパッタリング法により支持ローラー２０に巻回したガラスリボンＧの表面側（図２では、一方面Ｇａ側）に所定の被膜を形成するスパッタリングを行う手段である。
成膜手段６は、ターゲット部７と、ターゲット部７に接続されるスパッタ電源１１とにより主に構成される。

ターゲット部７は、スパッタリングを行う際のターゲット材として、本実施形態ではＣｕ（銅）を成分とするＣｕターゲットを有しており、Ｃｕターゲットの表面が支持ローラー２０の溝部１０に係合されたガラスリボンＧの表面側（図２では、一方面Ｇａ側）に対して対向配置される。
また、ターゲット部７には、スパッタ電源１１が接続され、所定の電圧を印加することが可能となっている。

なお、本実施形態では、ターゲット材としてＣｕを用いているが、特に限定するものではなく、その他の金属材料でも構わない。

マスク部材２は、支持ローラー２０の溝部１０（図２を参照）の近傍に設けられたマスク取付部１２・１２を介して真空槽３に取り付けれ、ガラスリボンＧの幅方向の一端側を覆うものである。

マスク部材２は、アルミホイルで形成されている。
マスク部材２は、正面視短冊状に形成され、側面視においては、支持ローラー２０の外周面に対して当接もしくは近接するように配置される円弧状の部分を有する。
また、マスク部材２は、図２に示すように、溝部１０により幅方向が位置決めされた保護フィルムＰの外側面に配置されたガラスリボンＧの幅方向の一端側を覆うようにして貼設される。

マスク部材２は、溝部１０の開口部の一部を覆うように支持ローラー２０の外周面に沿って当接もしくは近接するように配置されるため、溝部１０内に配置されるガラスリボンＧの外側面とは、所定のクリアランスを有し、マスク部材２がガラスリボンＧに接触しないように構成されている。

なお、マスク部材２の材質は本実施形態で用いるアルミホイルのようなホイル状の金属箔が好ましい。
ホイル状の金属箔を用いることで、所望のマスク形状にすることが容易であり、薄い形状のため金属膜Ｍの端部を鮮明に形成することができる。
また、ホイル状の金属箔を用いることで、成膜時の加熱による保護フィルムＰ内での金属膜Ｍが形成される側と金属膜Ｍが形成されない側との間の温度差の影響が小さくなり、保護フィルムＰの変形が抑えられる効果がある。

こうして、図１に示すように、成膜手段６は、排気手段８により真空槽３を所定の圧力まで減圧して減圧雰囲気にし、Ａｒガス供給手段９により所定量のＡｒガスを供給した後に、スパッタ電源１１によりターゲット部７のＣｕターゲットに所定の電圧を印加することでＡｒ原子がイオン化され、ＡｒイオンによりＣｕターゲットをスパッタし、ターゲット材から弾き飛ばされたターゲット材料の粒子であるＣｕ粒子が、所定の速度にて搬送されているガラスリボンＧの表面（外側面）に堆積（吸着）することで、ガラスリボンＧの表面（外側面）に、所定厚さの金属膜Ｍを形成することが可能である。

また、成膜手段６とガラスリボンＧとの間に、前述したようにマスク部材２を配置したことで、ガラスリボンＧの幅方向の一端側に金属膜Ｍを形成しない領域である非成膜部１３（図４を参照。本実施形態における非成膜部１３の幅寸法は５ｍｍ）を形成することができる。

なお、本実施形態では、成膜手段としてスパッタリング法を用いて金属膜ＭをガラスリボンＧの表面に形成する構成としているが、特に限定するものでなく、例えば所望の金属蒸着源を有する蒸着装置により金属膜ＭをガラスリボンＧの表面に蒸着して形成することも可能である。

［成膜方法］
次に、前述した成膜装置１を用いてガラスリボンＧに膜を形成する成膜方法について、図１、図３及び図４を用いて説明する。

成膜装置１を用いて成膜を開始する前段階工程として、図１に示すように、巻出しローラー４ａから所定長巻き出された被膜対象物であるガラスリボンＧ、及び保護フィルムＰを、支持ローラー２０の溝部１０に係合する。

また、支持ローラー２０の上部からガラスリボンＧの先端を延出して巻取りローラー４ｂに取り付け、該ガラスリボンＧより分離した保護フィルムＰをテンション機構５のテンションローラー５ｂに巻回させるとともに、巻取りローラー４ｂに取り付けたガラスリボンＧの外側面に当接するように取り付ける。
こうして、支持ローラー２０とガラスリボンＧが直接接触しないように、ガラスリボンＧの延出方向に沿って、ガラスリボンＧの他方面側に保護フィルムＰが配置される。

そして、排気手段８により真空槽３内を所定の圧力まで減圧して減圧雰囲気にした後、成膜工程に移行する。

なお、以下において説明する成膜工程は、搬送ローラー部４により搬送されるガラスリボンＧの表面（外側面）に対して連続して行われる工程である。
また、成膜工程に投入されるガラスリボンＧ及び保護フィルムＰは、図３（ｃ）に示すように、ガラスリボンＧが外側（成膜手段６に対向する側）、保護フィルムＰが内側（ガラスリボンＧの背面側）に位置するように構成されている。

成膜工程は、ガラスリボンＧの外側面（図２では、一方面Ｇａ）に金属膜Ｍを形成する工程である（図３（ｂ）を参照）。
具体的には、ガラスリボンＧの外側面において、幅方向の一端側に金属膜Ｍを形成するとともに他端側に膜が形成されていない非成膜部１３を形成する工程である。

ところで、図４に示すように、非成膜部１３に隣接する金属膜Ｍは、非成膜部１３から離れるに従って徐々に膜厚が厚くなる傾斜部Ｍ１と、該傾斜部Ｍ１に連続して略膜厚一定の膜厚領域となっている部分とを有する。

ここで、成膜工程は、ガラスリボンＧの外側面の所定領域にスパッタリングにて金属膜Ｍを形成する工程であり、減圧雰囲気下において、Ａｒガス供給手段９（図１を参照）によりスパッタリングガスとしてＡｒガスを真空槽３内に供給し、スパッタ電源１１によりターゲット部７に所定の電圧を印加することでＡｒ原子がイオン化され、Ａｒイオンによりターゲット部７をスパッタし、ガラスリボンＧの外側面に堆積（吸着）することで成膜が行われて、ガラスリボンＧの外側面に所定の金属膜Ｍを形成する工程である。
続いて、巻取り工程に移行する。

巻取り工程は、成膜工程により金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧと、該ガラスリボンＧを保護していた保護フィルムＰとを分離して、ガラスリボンＧの内側面（図２では他方面Ｇｂ）に保護フィルムＰが配置されるように巻き取る工程である。

巻取り工程では、ガラスリボンＧが巻取りローラー４ｂに直接巻き取られながら、保護フィルムＰがテンション機構５により所定の張力が付与され、巻取りローラー４ｂに巻き取られる。

その結果、図３（ａ）に示すように、内側にガラスリボンＧ、その外側に保護フィルムＰが配置された状態で、連続的に巻取りローラー４ｂに巻き取られる。

ここで、ガラスリボンＧと保護フィルムＰの長さは、巻出し及び巻取り時の円周の差、成膜時の加熱によりずれが生じやすい。
これを吸収するため、保護フィルムＰにガラスリボンＧよりも長くなるように余り部分を持たせ、テンション機構５によりガラスリボンＧとは別に保護フィルムＰに対してテンションを与え、その後、保護フィルムＰはガラスフィルムＧと一緒に巻取りローラー４ｂに巻き取られる。

以上の各工程を行うことで、ガラスリボンＧの一方面Ｇａに金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧが得られる。
続いて、第２成膜工程に移行する。

第２成膜工程は、ガラスリボンＧの他方面Ｇｂに金属膜Ｍを形成する工程である。
具体的には、ガラスリボンＧの他方面Ｇｂにおいて、幅方向の一端側に金属膜Ｍを形成するとともに他端側に膜が形成されていない非成膜部１３を形成する工程である。
すなわち、第２成膜工程では、成膜工程と同様の工程が行われる。

第２成膜工程では、前述した巻取り工程で得られたボビンにおいて、ガラスリボンＧの外側に配置される保護フィルムＰの先端をガラスリボンＧから分離するとともにボビンの外側を一周させて、保護フィルムＰの外側面をガラスリボンＧの金属膜Ｍの外側面に配置した状態で、前述した成膜工程以降を実施する。

以上の工程を行うことで、図４に示すように、一方面Ｇａ及び他方面Ｇｂに金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧが得られる。
そして、一方面Ｇａ及び他方面Ｇｂに金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧにおいては、マスク部材２によりガラスリボンＧの幅方向の一端側に非成膜部１３・１３が設けられ、金属電極としての絶縁性が確保される。

なお、図４においては、理解に供するために、金属膜Ｍ及びガラスリボンＧが実際より厚く図示されている。

このように、本実施形態における成膜装置１においては、巻取りローラー４ｂにより金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧを内側に、該ガラスリボンＧの外側に保護フィルムＰが配置された状態で巻き取られる。
当該ガラスリボンＧの他方面Ｇｂ側に金属膜Ｍを形成する際においては、外側に配置された保護フィルムＰをガラスリボンＧから分離し、これを金属膜Ｍの外側面側に配置した状態で成膜手段６に搬送することで、金属膜Ｍの外側面側を保護フィルムＰにより保護しつつ、成膜手段６によりガラスリボンＧの他方面Ｇｂ側に金属膜Ｍを形成することができる。
よって、保護フィルムＰを有効に用いて、容易にガラスリボンの両面に金属膜を形成することができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置１では、巻出しローラー４ａは、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを巻き出す張力を調節する張力調節手段を有する。

これにより、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを巻き出す張力を張力調節手段により調節することで、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰが弛むことを抑えることができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置１では、支持ローラー２０は、外周面にガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを位置決めする溝部１０を有する。

これにより、ガラスリボンＧ及び保護フィルムＰを所定の成膜位置に位置決めすることができる。

また、本発明に係るガラスリボン成膜装置１では、保護フィルムＰは、ガラスリボンＧより幅広である。

これにより、保護フィルムＰの幅方向両端部がガラスリボンＧの幅方向両端部より外側に延設されるため、ガラスリボンＧの両端部を保護フィルムＰにより保護することができる。

［ガラスリボン成膜装置１０１（別実施形態）］
次に、別実施形態におけるガラスリボン成膜装置１０１（以下、単に「成膜装置１０１」と記載する）の全体構成について、図５を用いて説明する。
成膜装置１０１は、前述した成膜装置１と略同等な構成を有する一方、成膜工程においてガラスリボンＧの他方面Ｇｂ（図２を参照）側に配置されていた保護フィルムＰ（以下、適宜「第一保護フィルムＰ１」と記載する）とは別の新たな保護フィルムＰ（以下、適宜「第二保護フィルムＰ２」と記載する）を備える点について、成膜装置１と相違する。
よって、以下の説明においては、主に成膜装置１との相違点について記載し、当該成膜装置１との同等な構成についての記載は省略する。

成膜装置１０１は、主に真空槽１０３、ガラスリボンＧを搬送する搬送手段である搬送ローラー部１０４、成膜手段１０６、支持手段である支持ローラー１２０、およびマスク部材１０２などにより構成される。
ここで、真空槽１０３、成膜手段１０６、支持ローラー１２０、およびマスク部材１０２は、前述した成膜装置１における真空槽３、成膜手段６、支持ローラー２０、およびマスク部材２と各々略同等の構成からなる。

搬送ローラー部１０４は、ガラスリボンＧおよび保護フィルムＰを複数のローラーに係合して所定の速度にて成膜手段１０６に供給する搬送手段であり、主に巻出しローラー１０４ａ、巻取りローラー１０４ｂ、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃ、及び第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄなどにより構成される。
そして、巻出しローラー１０４ａ及び巻取りローラー１０４ｂの間には、支持部材である支持ローラー１２０が配置されている。

巻出しローラー１０４ａは、予めロール状に巻回されたガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１を支持ローラー１２０の回転方向と同方向に回転して巻き出す巻出し手段である。
巻出しローラー１０４ａは、主にローラー軸１０４ａ１、ローラー軸１０４ａ１に対して着脱可能に挿嵌されたプラスチック製のボビン１０４ａ２、およびローラー軸１０４ａ１に貫設された第一プーリー１０４ａ３などにより構成される。
なお、後述するように、巻出しローラー１０４ａは、第一プーリー１０４ａ３において第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃと駆動連結される。

巻出しローラー１０４ａには、ガラスリボンＧの内側面側（図２では、他方面Ｇｂ側）に第一保護フィルムＰ１を配置した状態になるようにして、ガラスリボンＧが巻かれている。
このような構成からなる巻出しローラー１０４ａにおいて、ボビン１０４ａ２は、ガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１に加えられる巻出し張力により支持ローラー１２０の回転方向と同方向に回転する。

なお、巻出しローラー１０４ａには、ガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１の巻出し張力を調節する図示せぬブレーキ（張力調節手段）が設けられている。
具体的には、巻出しローラー１０４ａに設けられたブレーキを操作することにより、ガラスリボンＧおよび第一保護フィルムＰ１に所望の巻出し張力を付与することができる。
これにより、搬送ローラー部１０４により搬送されるガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１が弛むことがなく、適度な張力を保持して搬送される。

次に、巻取りローラー１０４ｂについて説明する。
巻取りローラー１０４ｂは、巻出しローラー１０４ａの回転方向と逆方向（支持ローラー１２０の回転方向と逆方向）に回転して、ガラスリボンＧ及び後述する第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄより巻き出された第二保護フィルムＰ２を、ロール状に巻き取る巻き取り手段である。
巻き取りローラー１０４ｂは、主にローラー軸１０４ｂ１、ローラー軸１０４ｂ１に対して着脱可能に挿嵌されたプラスチック製のボビン１０４ｂ２などにより構成される。

巻取りローラー１０４ｂには、成膜手段１０６により金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧの一方面Ｇａ側を内側にするとともに、ガラスリボンＧの他方面Ｇｂ側に第二保護フィルムＰ２を配置した状態になるようにして、ガラスリボンＧが巻かれる。
このような構成からなる巻出しローラー１０４ａにおいて、ボビン１０４ｂ２は、ローラー軸１０４ｂ１を駆動する駆動手段（本実施形態では、ステッピングモーター）を備え、該駆動手段を駆動することにより巻出しローラー１０４ａの回転方向と逆方向にローラー軸１０４ｂ１が駆動され、ボビン１０４ｂ２にガラスリボンＧ及び第二保護フィルムＰ２が巻き取られる。

次に、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃについて説明する。
第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃは、成膜手段１０６によってガラスリボンＧに成膜される際に当該ガラスリボンＧを保護していた第一保護フィルムＰ１を、ロール状に巻き取るための巻き取り手段である。
第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃは、主にローラー軸１０４ｃ１、ローラー軸１０４ｃ１に対して着脱可能に挿嵌されたプラスチック製のボビン１０４ｃ２、およびローラー軸１０４ａ１に貫設された第二プーリー１０４ｃ３などにより構成される。

ここで、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃは、前述した巻出しローラー１０４ａに隣接し、且つ軸心が当該巻出しローラー１０４ａの軸心に対して平行となるようにして配置される。

そして、第二プーリー１０４ｃ３は、巻出しローラー１０４ａの第一プーリー１０４ａ３とともに、例えばＶベルトなどからなる伝動ベルト１０５によって巻回されており、これにより、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃは、当該伝達ベルト１０５を介して、巻出しローラー１０４ａと駆動連結される。

このような構成を有することにより、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃにおいては、巻出しローラー１０４ａに加えられるボビン１０４ａ２を回転させる駆動力（前述した巻出し張力）が、伝達ベルト１０５を介して第二プーリー１０４ｃ３に伝達され、ボビン１０４ｃ２が巻出しローラー１０４ａの回転方向と同方向（支持ローラー１２０の回転方向と同方向）に回転される。

ところで、第二プーリー１０４ｃ３の直径Ｄ２は、第一プーリー１０４ａ３の直径Ｄ１に対して１／２となるように設定されている（Ｄ１：Ｄ２＝２：１）。
つまり、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃのボビン１０４ｃ２の回転速度は、巻出しローラー１０４ａのボビン１０４ａ２の回転速度に比べて常に速くなるように設定されている。
これにより、後述するように、ボビン１０４ｃ２上に第一保護フィルムＰ１を巻き取る際、当該第一保護フィルムＰ１に対して適度な張力を付加することができ、弛んで皺などが発生することなく当該第一保護フィルムＰ１を巻き取ることができる。
よって、成膜装置１０１においては、前述した成膜装置１のテンション機構５のように、第一保護フィルムＰ１に張力を付加させるための機構を別途設ける必要もない。

なお、ボビン１０４ｃ２に巻き取られる第一保護フィルムＰ１が増加するのに伴い、当該第一保護フィルムＰ１に付加される張力も増加するが、当該張力が所定値を超えると、伝達ベルト１０５は双方のボビン１０４ａ２・１０４ｃ２に対して滑動するように構成されている。
これにより、第一保護フィルムＰ１に付加される張力は、常に所定値以内の値となるように調整されている。

以上のような構成からなる第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃによって、ガラスリボンＧへの成膜時に当該ガラスリボンＧを保護していた第一保護フィルムＰ１が巻き取られる。
具体的には、成膜工程後にガラスリボンＧより分離された第一保護フィルムＰ１は、さらに支持ローラー１２０の外周面に沿って進行方向を替えられ、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃに向かって延出され、ボビン１０４ｃ２に巻き取られる。

次に、第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄについて説明する。
第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄは、予めロール状に巻回された第二保護フィルムＰ２を巻取りローラー１０４ｂの回転方向と同方向（支持ローラー１２０の回転方向と逆方向）に回転して巻き出す巻出し手段である。
第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄは、主にローラー軸１０４ｄ１、およびローラー軸１０４ｄ１に対して着脱可能に挿嵌されたプラスチック製のボビン１０４ｄ２などにより構成される。

そして、このような構成からなる第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄにおいて、ボビン１０４ｄ２は、第二保護フィルムＰ２に加えられる巻出し張力により、当該巻取りローラー１０４ｂの回転方向と同方向に回転する。

なお、第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄには、第二保護フィルムＰ２の巻出し張力を調節する図示せぬブレーキ（張力調節手段）が設けられている。
具体的には、第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄに設けられたブレーキを操作することにより、第二保護フィルムＰ２に所望の巻出し張力を付与することができる。
これにより、巻取りローラー１０４ｂにおいて、ガラスリボンＧとともに巻き取られる第二保護フィルムＰ２が、弛むことがなく適度な張力を保持して搬送される。

以上のような構成からなる支持ローラー１２０、巻出しローラー１０４ａ、巻取りローラー１０４ｂ、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃ、及び第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄにおいて、巻出しローラー１０４ａには、ガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１が予め所定長巻回されており、巻出しローラー１０４ａから巻き出されたガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１は、該第一保護フィルムＰ１の外側面にガラスリボンＧが配置された状態で一緒に搬送されるともに、支持ローラー１２０の外周面に穿設された溝部（図示せず）に係合され、当該支持ローラー１２０から延出されたガラスリボンＧが巻取りローラー１０４ｂに巻き取られる。
一方、成膜工程後にガラスリボンＧより分離された第一保護フィルムＰ１は、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃによって巻き取られる。
また、支持ローラー１２０を通過したガラスリボンＧは、第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄより巻き出された新たな第二保護フィルムＰ２とともに巻取りローラー１０４ｂに巻き取られる。

こうして、巻取りローラー１０４ｂを所定の速度にて回転駆動した場合、巻出しローラー１０４ａに巻回されたガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１が一緒に巻き出されるとともに、第一保護フィルムＰ１が前記溝部の底面に当接した状態で支持ローラー１２０に係合され、ガラスリボンＧはその一方面Ｇａを、ターゲット部１０７に対向するように供給される。
つまり、搬送ローラー部１０４は、ガラスリボンＧ及び第一保護フィルムＰ１を所定速度にて成膜手段１０６のターゲット部１０７の近傍に搬送することが可能である。

［成膜方法（別実施形態）］
次に、別実施形態における成膜装置１０１を用いてガラスリボンＧに膜を形成する成膜方法について、図５を用いて説明する。
別実施形態の成膜装置１０１による成膜方法は、前述した成膜装置１による成膜方法と略同等である一方、成膜工程においてガラスリボンＧの他方面Ｇｂ（図２を参照）側に配置されていた第一保護フィルムＰ１を、別の新たな第二保護フィルムＰ２に交換する作業を含む点について、成膜装置１による成膜方法と相違する。
第一保護フィルムＰ１及び第二保護フィルムＰ２は、保護フィルムＰと同様に、樹脂材料（ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）等）からなる長尺で帯状のフィルム部材であって、ガラスリボンＧより幅広に形成されている。
よって、以下の説明においては、主に成膜装置１による成膜方法との相違点について記載し、当該成膜方法と同等な内容についての記載は省略する。

成膜装置１０１を用いて成膜を開始する前段階工程として、巻出しローラー１０４ａから所定長巻き出された被膜対象物であるガラスリボンＧ、及び第一保護フィルムＰ１を、支持ローラー１２０の溝部（図示せず）に係合する。

また、支持ローラー１２０の上部からガラスリボンＧの先端を延出して巻取りローラー１０４ｂに取り付けるとともに、該ガラスリボンＧより分離した第一保護フィルムＰ１を、第一保護フィルム巻取りローラー１０４ｃのボビン１０４ｃ２に捲回させ、且つ第二保護フィルム巻出しローラー１０４ｄより巻き出された第二保護フィルムＰ２を、巻取りローラー１０４ｂに取り付けたガラスリボンＧの外側面に当接するように取り付ける。
こうして、支持ローラー１２０とガラスリボンＧが直接接触しないように、ガラスリボンＧの延出方向に沿って、ガラスリボンＧの他方面側に第一保護フィルムＰ１が配置されるとともに、支持ローラー１２０の通過後においては、第一保護フィルムＰ１とは別の新たな第二保護フィルムＰ２がガラスリボンＧの他方面側に配置される。

そして、排気手段１０８により真空槽１０３内を所定の圧力まで減圧して減圧雰囲気にした後、成膜工程、巻取り工程、第２成膜工程と順に行われ、ガラスリボンＧの両面に金属膜Ｍが形成される。

ここで、巻取り工程においては、ガラスリボンＧが巻取りローラー１０４ｂに直接巻き取られながら、第二保護フィルムＰ２が図示せぬブレーキ（張力調節手段）により所定の張力が付与され、巻取りローラー１０４ｂに巻き取られる。
その結果、内側にガラスリボンＧ、その外側に第二保護フィルムＰ２が配置された状態で、これらのガラスリボンＧ及び第二保護フィルムＰ２は、連続的に巻取りローラー１０４ｂに一緒に巻き取られる。

このように、別実施形態における成膜装置１０１においては、巻取りローラー１０４ｂにより金属膜Ｍが形成されたガラスリボンＧを内側に、該ガラスリボンＧの外側に第二保護フィルムＰ２が配置された状態で巻き取られる。
即ち、成膜装置１０１においては、成膜工程においてガラスリボンＧの他方面Ｇｂ（図２を参照）側に配置されていた第一保護フィルムＰ１とは別の新たな第二保護フィルムＰ２によって、成膜後のガラスリボンＧが保護される構成となっている。

このような構成を有することにより、例えば成膜時の加熱によって第一保護フィルムＰ１が変形したとしても、熱の影響を受けていない別の新たな第二保護フィルムＰ２を用いることで、成膜後のガラスリボンＧとともに安定して巻取りローラー１０４ｂに捲回することができる。

１ 成膜装置
４ 搬送ローラー部（搬送手段）
４ａ 巻出しローラー
４ｂ 巻取りローラー
６ 成膜手段
２０ 支持ローラー（支持手段）
１０１ 成膜装置
１０４ 搬送ローラー部（搬送手段）
１０４ａ 巻出しローラー
１０４ｂ 巻取りローラー
１０６ 成膜手段
１２０ 支持ローラー（支持手段）
Ｇ ガラスリボン
Ｍ 金属膜
Ｐ 保護フィルム（シート部材）
Ｐ１ 第一保護フィルム（シート部材）
Ｐ２ 第二保護フィルム（シート部材）

Claims (8)

1. ガラスリボンを搬送する搬送手段と、
   該搬送手段によって搬送されるガラスリボンに対して、該ガラスリボンの一方面側に膜を形成する成膜手段と、
   前記ガラスリボンと前記成膜手段との間の距離を一定にする支持手段と、
   を備えるガラスリボン成膜装置であって、
   前記支持手段と前記ガラスリボンが直接接触しないように、前記ガラスリボンの延出方向に沿って、前記ガラスリボンの他方面側にシート部材が配置される、
   ことを特徴とするガラスリボン成膜装置。
2. 前記搬送手段は、
   前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材を配置した状態で巻き出す巻出し手段と、
   前記成膜手段により前記膜が形成された前記ガラスリボンの一方面側を内側にするとともに、前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材を配置した状態で前記巻出し手段とは逆の方向に巻き取る巻取り手段と、
   を有する、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のガラスリボン成膜装置。
3. 前記搬送手段は、
   前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材を配置した状態で巻き出す巻出し手段と、
   前記成膜手段により前記膜が形成された前記ガラスリボンの一方面側を内側にするとともに、前記ガラスリボンの他方面側に前記シート部材とは別の新たなシート部材を配置した状態で前記巻出し手段とは逆の方向に巻き取る巻取り手段と、
   を有する、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のガラスリボン成膜装置。
4. 前記巻出し手段と前記巻取り手段との間に配置され、前記シート部材に対して所定の張力を付与するテンション機構を有する、
   ことを特徴とする、請求項２に記載のガラスリボン成膜装置。
5. 前記巻出し手段は、前記ガラスリボン及び前記シート部材を巻き出す張力を調節する張力調節手段を有する、
   ことを特徴とする、請求項２〜請求項４の何れか一項に記載のガラスリボン成膜装置。
6. 前記巻出し手段と前記巻取り手段との間において、前記成膜手段に対向して配置される支持ローラーを備え、
   前記支持ローラーは、外周面に亘って前記ガラスリボン及び前記巻出し手段より巻き出された前記シート部材を位置決めする段差部を有する、
   ことを特徴とする、請求項２〜請求項５の何れか一項に記載のガラスリボン成膜装置。
7. 前記シート部材は、前記ガラスリボンより幅広である、
   ことを特徴とする、請求項１〜請求項４の何れか一項に記載のガラスリボン成膜装置。
8. ガラスリボンを搬送する搬送手段と、
   該搬送手段によって搬送されるガラスリボンに対して、該ガラスリボンの一方面側に膜を形成する成膜手段と、
   前記ガラスリボンと前記成膜手段との間の距離を一定にする支持手段と、
   を備えるガラスリボン成膜装置を用いたガラスリボン成膜方法であって、
   前記支持手段と前記ガラスリボンが直接接触しないように、前記ガラスリボンの延出方向に沿って、前記ガラスリボンの他方面側にシート部材を配置する、
   ことを特徴とするガラスリボン成膜方法。

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