JP6052173B2 - シート部材の搬送方法及び搬送装置 - Google Patents
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Description
このような問題から、近年では、フレキシブル基材として薄膜ガラスといった、厚さ数百μm以下といった極めて薄いガラスが注目されている。しかしながら、この薄膜ガラスは、厚さ数百μm以下といった極めて薄いことから、薄膜ガラスの端部に生じた微細なクラックに応力が集中することで簡単に破損してしまい、上述したような電子デバイスの製造工程、特に搬送工程では薄膜ガラスの扱いが非常に困難であった。
このようなロールトゥロール搬送を行って薄膜ガラスを搬送する技術が開示されている(例えば特許文献1参照)。この文献には、ロール状に巻かれた薄膜ガラスを引き出す際に、その引き出された薄膜ガラスの先端部が破断するおそれがあるため、当該先端部に樹脂フィルムを接合して、薄膜ガラスの先端部の破断を防止することが記載されている。
本発明の課題は、搬送時に薄膜ガラスの位置ズレを補正する際に、薄膜ガラスの破損を防止することである。
シート部材をロールトゥロールで搬送するシート部材の搬送方法において、
前記シート部材は、当該シート部材の延在方向に沿って配列された複数の薄膜ガラスと、複数の前記薄膜ガラスの間に少なくとも一つ介在するように配置された補助シート部とを備え、
前記シート部材の搬送経路上に配置され、当該シート部材の幅方向の位置ズレを補正する補正機構が、前記シート部材の位置ズレを検出すると、前記シート部材における補助シート部分のみに対して前記位置ズレの補正を施すことを特徴としている。
前記補助シート部は、前記薄膜ガラスよりもじん性が高いことを特徴としている。
前記補助シート部は樹脂フィルムであることを特徴としている。
前記位置ズレの補正は、前記シート部材における前記補助シート部を搬送方向に対して捻ることで行われることを特徴としている。
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(1)の関係を満たしていることを特徴としている。
Pl≧W・・・(1)
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(2)の関係を満たしていることを特徴としている。
Pl≧3W/2・・・(2)
延在方向に沿って配列された複数の薄膜ガラスと、複数の前記薄膜ガラスの間に少なくとも一つ介在するように配置された補助シート部とを備えたシート部材をロールトゥロールで搬送するシート部材の搬送装置であって、
前記シート部材の幅方向の位置ズレを検出するズレ検出部と、
前記シート部材の搬送経路上に配置され、前記シート部材の幅方向の位置ズレを補正する補正機構と、
前記補助シート部が前記補正機構に対向したか否かを検出する補助シート検出部と、
前記ズレ検出部及び前記補助シート検出部の検出結果に基づいて前記補正機構を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記ズレ検出部によって前記シート部材の位置ズレが検出され、なおかつ前記補助シート検出部によって前記補助シート部が前記補正機構に対向したことが検出されると、前記補正機構を制御して、前記シート部材における前記補助シート部に対して前記位置ズレの補正を施すことを特徴としている。
前記補助シート部は、前記薄膜ガラスよりもじん性が高いことを特徴としている。
前記補助シート部は樹脂フィルムであることを特徴としている。
前記位置ズレの補正は、前記シート部材における前記補助シート部を搬送方向に対して捻ることで行われることを特徴としている。
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(1)の関係を満たしていることを特徴としている。
Pl≧W・・・(1)
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(2)の関係を満たしていることを特徴としている。
Pl≧3W/2・・・(2)
図1は本実施形態に係るシート部材2の概略構成を示す上面図である。図1に示すようにシート部材2には、それぞれ光透過率の異なる薄膜ガラス21と、補助シート部としての樹脂フィルム22とが延在方向に交互に配列されている。薄膜ガラス21は樹脂フィルム22よりも長く設定されている。薄膜ガラス21と樹脂フィルム22とは接合テープ23によって接合されている。
なお、本実施形態では、薄膜ガラス21と樹脂フィルム22とが交互に配列されたシート部材2を例示して説明したが、シート部材としては、当該シート部材の延在方向に沿って配列された複数の薄膜ガラスと、複数の薄膜ガラスの間に少なくとも一つ介在するように配置された補助シート部とを備えたものであればよい。一例を示すと、薄膜ガラス21、補助シート部、補助シート部、薄膜ガラス21、補助シート部、補助シート部、という具合に薄膜ガラス21の間に、補助シート部が2枚介在したものが挙げられる。
そして、補助シート部としては樹脂フィルム22でなくとも、薄膜ガラス21よりもじん性の高いものであることが好ましく、さらに好ましくは樹脂フィルム以上にじん性が高いものである。
図2に示すように、シート部材の搬送装置1は、ロール状に巻かれたシート部材2を回転自在に保持する引出部3と、シート部材2をロール状に巻き取る巻取部4とを備えており、これによりシート部材2をロールトゥロールで搬送できるようになっている。本実施形態では、シート部材2の上面が処理面であるので、巻取部4では処理面が内側となるようにシート部材2を巻き取っている。そして、引出部3と、巻取部4との間には、シート部材2を支持する複数の搬送ローラ5が配置されている。ここで、巻取部4側に配置された搬送ローラ5の間には、シート部材2の一部が他の部分とは一段高くなるように保持する補正機構7が設けられている。搬送方向における補正機構7の下流側には、シート部材2の幅方向の位置ズレを検出するズレ検出部6が設けられている。また、搬送方向における補正機構7の上流側には樹脂フィルム22が補正機構7に対向したか否かを検出する補助シート検出部8が設けられている。なお、補助シート検出部8は、前述したように補正機構7の上流側に配置されていることが好ましいが、補正機構7の下流側に配置されていてもよい。
制御部10は、ズレ検出部6によってシート部材2の位置ズレが検出され、なおかつ補助シート検出部8によって樹脂フィルム22が補正機構7に対向したことが検出されると、補正機構7の補正機構駆動源11を制御して、シート部材2における樹脂フィルム22部分を搬送方向に対して捻ることで位置ズレを補正するようになっている。
搬送開始に伴い、制御部10は巻取部駆動源12を制御してシート部材2の搬送を開始する。搬送途中に、ズレ検出部6によってシート部材2の位置ズレが検出されると、制御部10は、樹脂フィルム22が補正機構7に対向したとの補助シート検出部8の検出結果が入力されるまでそのままシート部材2の搬送を継続する。そして、補助シート検出部8から樹脂フィルム22が補正機構7に対向したとの検出結果が入力されると、制御部10は位置ズレの補正タイミングと認識して、補正機構駆動源11を制御し、補正機構7の基台71を回転させる。これにより一対の補正用ローラ72も揺動しシート部材2の樹脂フィルム22部分が捻られ、シート部材2の位置ズレが補正される。
なお、このとき、樹脂フィルム22部分に対して位置ズレの補正を施したにも関わらず、位置ズレが完全に補正されずに樹脂フィルム22が補正機構7を通過した場合には、制御部10は、次の樹脂フィルム22が補正機構7に対向するまで待つか、或いは、補正機構7に対向した薄膜ガラス21に対して位置ズレの補正を施してもよい。その際、樹脂フィルム22に比較して薄膜ガラス21は破損しやすいため、薄膜ガラス21に対する位置ズレの補正は、樹脂フィルム22に対する位置ズレの補正よりも応力が小さくなるように、一対の補正用ローラ72の傾斜角度を小さくしておく。
また、位置ズレが補正されることによって巻取部4では良好な巻物が得られることになる。したがって、次工程での巻き出し時に巻きズレによって生じる搬送不良や処理位置不良等を大幅に抑えることができる。
さらに、補助シート部が薄膜ガラス21よりもじん性が高い樹脂フィルム22であるので、薄膜ガラス21に対して位置ズレ補正を行うよりも、樹脂フィルム22部分に位置ズレ補正を行った方が破損を防止することができる。
例えば、一対の補正用ローラ72の中心から搬送ローラ5の下端までの距離Lと、シート部材2の幅Wとの関係は、式(3)の関係を満たしていることが好ましく、さらには式(4)の関係を満たしているとより好ましい。例えば、式(3)の関係を満たしていると、位置ズレの補正の際に樹脂フィルム22が急激に捻られることを防止できるため、樹脂フィルム22がツレたり、塑性変形してしまうおそれがない。また、この状態で巻き取ると段差になって製品として必要な薄膜ガラス21に接触することを防止できるので好ましい。さらに、接触は許容されるが破損しやすい薄膜ガラス21に局所的な応力がかかることがないので、破損するおそれもない。
L≧3W/2・・・(4)
2 シート部材
3 引出部
4 巻取部
5 搬送ローラ
6 ズレ検出部
7 補正機構
8 補助シート検出部
10 制御部
11 補正機構駆動源
12 巻取部駆動源
21 薄膜ガラス
22 樹脂フィルム(補助シート部)
23 接合テープ
61 発光部
62 受光部
71 基台
72 補正用ローラ
73 回転軸
81 発光部
82 受光部
Claims (12)
- シート部材をロールトゥロールで搬送するシート部材の搬送方法において、
前記シート部材は、当該シート部材の延在方向に沿って配列された複数の薄膜ガラスと、複数の前記薄膜ガラスの間に少なくとも一つ介在するように配置された補助シート部とを備え、
前記シート部材の搬送経路上に配置され、当該シート部材の幅方向の位置ズレを補正する補正機構が、前記シート部材の位置ズレを検出すると、前記シート部材における補助シート部分のみに対して前記位置ズレの補正を施すことを特徴とするシート部材の搬送方法。 - 請求項1記載のシート部材の搬送方法において、
前記補助シート部は、前記薄膜ガラスよりもじん性が高いことを特徴とするシート部材の搬送方法。 - 請求項2記載のシート部材の搬送方法において、
前記補助シート部は樹脂フィルムであることを特徴とするシート部材の搬送方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載のシート部材の搬送方法において、
前記位置ズレの補正は、前記シート部材における前記補助シート部を搬送方向に対して捻ることで行われることを特徴とするシート部材の搬送方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のシート部材の搬送方法において、
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(1)の関係を満たしていることを特徴とするシート部材の搬送方法。
Pl≧W・・・(1) - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のシート部材の搬送方法において、
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(2)の関係を満たしていることを特徴とするシート部材の搬送方法。
Pl≧3W/2・・・(2) - 延在方向に沿って配列された複数の薄膜ガラスと、複数の前記薄膜ガラスの間に少なくとも一つ介在するように配置された補助シート部とを備えたシート部材をロールトゥロールで搬送するシート部材の搬送装置であって、
前記シート部材の幅方向の位置ズレを検出するズレ検出部と、
前記シート部材の搬送経路上に配置され、前記シート部材の幅方向の位置ズレを補正する補正機構と、
前記補助シート部が前記補正機構に対向したか否かを検出する補助シート検出部と、
前記ズレ検出部及び前記補助シート検出部の検出結果に基づいて前記補正機構を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記ズレ検出部によって前記シート部材の位置ズレが検出され、なおかつ前記補助シート検出部によって前記補助シート部が前記補正機構に対向したことが検出されると、前記補正機構を制御して、前記シート部材における前記補助シート部に対して前記位置ズレの補正を施すことを特徴とするシート部材の搬送装置。 - 請求項7記載のシート部材の搬送装置において、
前記補助シート部は、前記薄膜ガラスよりもじん性が高いことを特徴とするシート部材の搬送装置。 - 請求項8記載のシート部材の搬送装置において、
前記補助シート部は樹脂フィルムであることを特徴とするシート部材の搬送装置。 - 請求項7〜9のいずれか一項に記載のシート部材の搬送装置において、
前記位置ズレの補正は、前記シート部材における前記補助シート部を搬送方向に対して捻ることで行われることを特徴とするシート部材の搬送装置。 - 請求項7〜10のいずれか一項に記載のシート部材の搬送装置において、
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(1)の関係を満たしていることを特徴とするシート部材の搬送装置。
Pl≧W・・・(1) - 請求項7〜10のいずれか一項に記載のシート部材の搬送装置において、
一つの前記補助シート部の長さをPlとし、前記シート部材の幅をWとすると、式(2)の関係を満たしていることを特徴とするシート部材の搬送装置。
Pl≧3W/2・・・(2)
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