WO2017149899A1 - 帯状体搬送装置 - Google Patents

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WO2017149899A1
WO2017149899A1 PCT/JP2016/087363 JP2016087363W WO2017149899A1 WO 2017149899 A1 WO2017149899 A1 WO 2017149899A1 JP 2016087363 W JP2016087363 W JP 2016087363W WO 2017149899 A1 WO2017149899 A1 WO 2017149899A1
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turn bar
downstream
upstream
belt
strip
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PCT/JP2016/087363
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塁 大橋
賢輔 平田
智勇 久住
希遠 石橋
敬晃 長谷川
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株式会社Ihi
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Publication date
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    • B65H2701/131—Edges
    • B65H2701/1315—Edges side edges, i.e. regarded in context of transport

Definitions

  • the present disclosure relates to a belt-like body conveyance device.
  • This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2016-042695 for which it applied to Japan on March 4, 2016, and uses the content here.
  • Patent Document 1 a transport device that transports an aluminum belt-like web having a non-contact type turn bar is known.
  • the web is supported in a non-contact manner by ejecting fluid from the turn bar to the web.
  • the transport device of Patent Document 1 includes a turn bar adjusting unit that adjusts the center position of the web to be transported and changes the position of the turn bar in order to easily and accurately center the web when transporting the web. Yes.
  • the positional accuracy of the belt-like body at the processing position is important. For this reason, the position of the belt-like body at the processing position is fixed at a predetermined position by a regulating means or the like.
  • the position of the band on the upstream side of the processing position due to the winding accuracy of the band when winding the band around the roll body, the positional deviation of the band when transporting the band to the processing position, etc. There may be wobble.
  • the belt-like body is inclined in the plane including the surface, which may cause local stress to act on the middle part of the belt-like body and cause deformation or the like in the belt-like body.
  • a belt-shaped body made of extremely thin bendable glass is conveyed. In this case, it is necessary to avoid the stress applied to the belt-like body more than before.
  • the present disclosure has been made in view of the above-described problems, and in the belt-shaped body transport device that transports the belt-shaped body in a non-contact manner, the upstream portion of the belt-shaped body has a belt-like shape with respect to the downstream portion of the belt-shaped body.
  • the object is to prevent a large stress from being applied to the belt-like body even when it is tilted when viewed from the normal direction of the surface of the body.
  • a belt-shaped body transport device that transports a belt-shaped body according to an aspect of the present disclosure includes a plurality of non-contact guide portions that are partly wound around and support the belt-shaped body in a non-contact manner, and the plurality of non-contact guides
  • a drive unit that moves at least one non-contact guide part of the part, a path length through which the first edge in the width direction of the belt-like body passes, and a second side opposite to the first edge in the width direction
  • a control unit that moves the non-contact guide unit by the drive unit so that a path length through which the edge passes is different.
  • the upstream portion of the belt-shaped body with respect to the downstream portion of the belt-shaped body is in the normal direction of the surface of the belt-shaped body Even when it is tilted when viewed from the side, it is possible to prevent the belt-like body from being stressed.
  • FIG. 1 It is a side view which shows typically the schematic structure of the strip
  • Fig. 5 is a control system diagram in the case where control is performed only by feedback control in the belt-like body conveyance device according to the first embodiment of the present disclosure.
  • Fig. 5 is a control system diagram in a case where feedforward control is performed in addition to feedback control in the belt-like body conveyance device according to the first embodiment of the present disclosure.
  • It is an expanded view which shows the relationship between the inclination angle in the strip
  • It is a perspective view showing typically a schematic structure of a strip transportation device in a 2nd embodiment of this indication.
  • Fig. 9 is a control system diagram in a case where control is performed only by feedback control in the belt-like body conveyance device according to the second embodiment of the present disclosure.
  • Fig. 9 is a control system diagram in the case where feedforward control is performed in addition to feedback control in the belt-like body conveyance device in the second embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 1 is a side view schematically showing a schematic configuration of a belt-like body conveyance device 1 of the present embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view schematically showing a schematic configuration of the belt-like body conveyance device 1 of the present embodiment.
  • FIG. 1 illustrates a state in which the axis of the downstream turn bar 2, the axis of the upstream turn bar 3, and the axis of the reverse turn bar 4, which will be described later, are parallel to the width direction of the strip W.
  • Yes. 2 illustrates a state in which the axis of the downstream turn bar 2, the axis of the upstream turn bar 3, and the axis of the reverse turn bar 4 are inclined with respect to the width direction of the strip W.
  • belt-shaped object conveyance apparatus 1 is the downstream turn bar 2 (non-contact guide part), the upstream turn bar 3 (non-contact guide part), and the inversion turn bar 4 (non-contact guide part).
  • the downstream actuator 5, the upstream actuator 6, the reversing actuator 7, the downstream edge sensor unit 8, the upstream edge sensor unit 9, and the control unit 10 are provided.
  • belt-shaped body conveyance apparatus 1 of this embodiment the strip
  • the right side in FIGS. 1 and 2 is the upstream side in the transport direction
  • the left side in FIGS. 1 and 2 is the downstream side in the transport direction.
  • the traveling direction of the strip W is changed while the strip W is transported in the main transport direction.
  • the downstream turn bar 2 is a hollow bar-shaped member having a circumferential surface along an arc having a central angle of 90 °.
  • the downstream turn bar 2 is disposed on the most downstream side in the traveling direction of the belt-like body W among the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4.
  • the downstream turn bar 2 is movably supported by a support portion (not shown) so that the axial center La of the downstream turn bar 2 extends in the horizontal direction.
  • the downstream turn bar 2 is arranged so that the peripheral surface of the downstream turn bar 2 is on the upstream turn bar 3 side and faces downward.
  • a plurality of through holes are provided on the peripheral surface of the downstream turn bar 2, and the fluid supplied from the fluid supply unit (not shown) into the downstream turn bar 2 is ejected from the through holes.
  • the fluid ejected from the through hole is ejected toward the strip W, so that the strip W is supported by the downstream turn bar 2 in a non-contact manner.
  • the peripheral surface of the downstream turn bar 2 functions as a non-contact support surface 2a that supports the strip W in a non-contact manner.
  • the downstream turn bar 2 has a travel direction of the strip W changed by 90 ° by a part of the strip W supplied from above being hung clockwise in FIG. 1 along the non-contact support surface 2a.
  • the strip W is guided as follows.
  • the belt-like body W guided by the downstream turn bar 2 travels in a posture in which the front and back surfaces are vertical before reaching the downstream turn bar 2, and after passing through the downstream turn bar 2, Run in a posture where the back is horizontal.
  • the downstream turn bar 2 matches the position in the vertical direction of the strip W (that is, the position in the thickness direction of the strip W) with the position before being supplied to the upstream turn bar 3.
  • the upstream turn bar 3 is a hollow bar-like member having a circumferential surface along an arc having a central angle of 90 °, like the downstream turn bar 2.
  • the upstream turn bar 3 is disposed on the most upstream side in the traveling direction of the belt-like body W among the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4.
  • the upstream turn bar 3 is arranged at the same height as the downstream turn bar 2.
  • the upstream turn bar 3 is movably supported by a support portion (not shown) so that the axis Lb of the upstream turn bar 3 is parallel to the axis La of the downstream turn bar 2 in the reference posture.
  • the upstream turn bar 3 is arranged so that the peripheral surface of the upstream turn bar 3 is on the downstream turn bar 2 side and faces downward.
  • a plurality of through holes are provided on the peripheral surface of the upstream turn bar 3 in the same manner as the peripheral surface of the downstream turn bar 2, and are supplied from the fluid supply unit (not shown) into the upstream turn bar 3.
  • the fluid is ejected from the through hole.
  • the fluid jetted from the through-hole is jetted toward the strip-shaped body W, so that the strip-shaped body W is supported by the upstream turn bar 3 in a non-contact manner. That is, the peripheral surface of the upstream turn bar 3 functions as a non-contact support surface 3a that supports the strip W in a non-contact manner.
  • the upstream turn bar 3 has a 90 ° change in the traveling direction of the strip W when a part of the strip W supplied from the horizontal direction is hung clockwise in FIG. 1 along the non-contact support surface 3a.
  • the strip W is guided as described above.
  • the belt-like body W guided by the upstream turn bar 3 travels in a posture in which the front and back surfaces are horizontal before reaching the upstream turn bar 3, and after passing through the upstream turn bar 3, Run in a posture where the back is vertical.
  • the reverse turn bar 4 is disposed above the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3 when viewed from the horizontal direction, and is disposed between the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3 when viewed from the vertical direction.
  • the reverse turn bar 4 is a hollow bar-like member having a circumferential surface along an arc whose central angle is 180 °.
  • the reverse turn bar 4 is movably supported by a support portion (not shown) so that the axis Lc of the reverse turn bar 4 is parallel to the axis La of the downstream turn bar 2 and the axis Lb of the upstream turn bar 3 in the reference posture. ing. Further, the reverse turn bar 4 is arranged so that the peripheral surface of the reverse turn bar 4 faces upward.
  • the peripheral surface of the reverse turn bar 4 is provided with a plurality of through holes (not shown).
  • the fluid supplied to the inside of 4 is ejected from the through hole.
  • the fluid ejected from the through-hole is ejected toward the strip W, so that the strip W is supported by the reverse turn bar 4 in a non-contact manner.
  • the peripheral surface of the reversal turn bar 4 functions as a non-contact support surface 4a that supports the strip W in a non-contact manner.
  • the reverse turn bar 4 is formed by passing a part of the strip W supplied from below through the upstream turn bar 3 around the non-contact support surface 4a counterclockwise in FIG.
  • the strip W is guided so that the traveling direction is changed by 180 °.
  • the reverse turn bar 4 reverses the traveling direction of the band W whose direction has been changed by the upstream turn bar 3 toward the downstream turn bar 2.
  • the traveling direction of the strip W guided by the reversing turn bar 4 is reversed by 180 ° before reaching the reversing turn bar 4 and after passing.
  • FIG. 3A is a schematic view of the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4 as viewed from above (in a direction along the vertical line of the surface of the strip before being supplied to the non-contact guide portion).
  • the downstream turn bar 2 is rotated by the downstream actuator 5 in the horizontal plane around the center position O1 in the direction along the axis La of the downstream turn bar 2 as shown in FIG. 3A.
  • the upstream actuator 6 is connected to the upstream turn bar 3 via a transmission mechanism (not shown), and rotates (moves) the upstream turn bar 3.
  • the upstream turn bar 3 is rotated in the horizontal plane by the upstream actuator 6 around the center position O2 in the direction along the axis Lb of the upstream turn bar 3 as shown in FIG. 3A.
  • the reverse actuator 7 is connected to the reverse turn bar 4 via a transmission mechanism (not shown), and rotates (moves) the reverse turn bar 4.
  • the reverse turn bar 4 is rotated in the horizontal plane by the reverse actuator 7 around the center position O3 in the direction along the axis Lc of the reverse turn bar 4 as shown in FIG. 3A.
  • FIG. 3B is a schematic view of the downstream turn bar 2 and the reverse turn bar 4 as viewed from the side. Further, as shown in FIG. 3B, the reversing actuator 7 tilts (moves) the reversing turn bar 4 in the vertical plane around the center position O3 so that the tip of the reversing turn bar 4 moves up and down.
  • the downstream turn bar 2 and the upstream are arranged so that the path length through which one edge in the width direction of the belt W passes and the path length through the other edge in the width direction are different.
  • the side turn bar 3 and the reverse turn bar 4 are rotated or tilted.
  • the downstream turn bar 2 is rotated counterclockwise at the rotation angle ⁇
  • the upstream turn bar 3 and the reverse turn bar 4 are rotated clockwise. Rotate with.
  • the reverse turn bar 4 is tilted at the tilt angle ⁇ ′.
  • the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4 are rotatable in a horizontal plane. Further, the reverse turn bar 4 can be tilted in the vertical plane.
  • the belt-like body conveyance device 1 according to the present embodiment has the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4, with one edge in the width direction of the belt-like body W being controlled by the control unit 10.
  • a downstream actuator 5, an upstream actuator 6, and a reversing actuator 7 are provided as a drive unit that rotates or tilts so that the path length passing through and the path length passing through the other edge in the width direction are different. That is, in the present embodiment, the drive unit of the present disclosure is configured by the downstream actuator 5, the upstream actuator 6, and the reverse actuator 7.
  • the downstream edge sensor unit 8 includes a first downstream edge sensor 8a and a second downstream edge sensor 8b.
  • the first downstream edge sensor 8a and the second downstream edge sensor 8b are arranged on the further downstream side of the downstream turn bar 2 so as to be separated from each other in the traveling direction of the strip W.
  • the first downstream edge sensor 8a and the second downstream edge sensor 8b are edge positions on one side (the front side in FIGS. 1 and 2 in this embodiment) in the width direction of the strip W that has passed through the downstream turn bar 2. Is detected.
  • the upstream edge sensor unit 9 includes a first upstream edge sensor 9a and a second upstream edge sensor 9b.
  • the first upstream edge sensor 9a and the second upstream edge sensor 9b are arranged on the further upstream side of the upstream turn bar 3 so as to be separated from each other in the traveling direction of the strip W.
  • the first upstream edge sensor 9a and the second upstream edge sensor 9b are on one side in the width direction of the strip W before reaching the upstream turn bar 3 (in this embodiment, on the front side in FIGS. 1 and 2).
  • Detect edge position For example, a laser-type edge sensor may be used as the first downstream edge sensor 8a, the second downstream edge sensor 8b, the first upstream edge sensor 9a, and the second upstream edge sensor 9b.
  • the first downstream edge sensor 8a, the second downstream edge sensor 8b, the first upstream edge sensor 9a, and the second upstream edge sensor 9b are electrically connected to the control unit 10, and the detection result is controlled by the control unit. Output to 10.
  • the control unit 10 Based on the detection result of at least one of the first downstream edge sensor 8a, the second downstream edge sensor 8b, the first upstream edge sensor 9a, and the second upstream edge sensor 9b, the control unit 10 The rotation angle ⁇ between the turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4 is calculated, and the tilt angle ⁇ ′ of the reverse turn bar 4 is calculated.
  • the rotation angle ⁇ means an angle (an inclination angle of the axis in the yawing direction) with respect to the reference posture of the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4 in plan view.
  • the tilt angle ⁇ ′ means an angle with respect to the reference posture of the reverse turn bar 4 in the direction in which the tip of the reverse turn bar 4 moves up and down (vertical direction) (tilt angle in the pitching direction of the shaft core).
  • the control unit 10 controls the downstream actuator 5, the upstream actuator 6, and the reversing actuator 7 based on the rotation angle ⁇ or the tilt angle ⁇ ′.
  • FIG. 4 is a control system diagram in the case where control is performed only by feedback control in the belt-like body conveyance device 1 of the present embodiment.
  • the control unit 10 when control is performed only by feedback control, the control unit 10 includes a target value setting unit 10 a, a subtractor 10 b, a feedback calculation unit 10 c, and a downstream side tilt calculation unit 10 d.
  • the target value setting unit 10a sets the target value of the edge posture (the posture of the near side edge in FIGS. 1 and 2) of the strip W after passing through the downstream turn bar 2.
  • the target value setting unit 10a sets a value stored in advance or a value input from the outside as a target value.
  • the subtractor 10b calculates the difference between the downstream inclination angle, which is the inclination angle of the strip W on the downstream side of the downstream turn bar 2 input from the downstream inclination calculation unit 10d, and the target value.
  • the feedback calculation unit 10c performs, for example, PID processing based on the difference between the downstream tilt angle calculated by the subtractor 10b and the target value, and calculates the rotation angle ⁇ between the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3. .
  • the downstream tilt angle calculation unit 10d determines the tilt angle (downstream tilt angle) of the strip W on the further downstream side of the downstream turn bar 2 from the detection result of the first downstream edge sensor 8a and the detection result of the second downstream edge sensor 8b. ) Is calculated.
  • the downstream actuator 5 rotates the downstream turn bar 2 counterclockwise at the rotation angle ⁇ , and the upstream actuator 6 moves upstream.
  • the side turn bar 3 is rotated clockwise by the rotation angle ⁇ , and the reversing actuator 7 is rotated clockwise by the rotation angle ⁇ .
  • the surface is deformed continuously without being bent, and the downstream portion and the upstream portion of the band W can be inclined. Therefore, the belt-like body W can be tilted in a plane including the surface without applying a large stress to the belt-like body W.
  • the edge position of the strip W is detected again by the first downstream edge sensor 8a and the second downstream edge sensor 8b, and the detection result is input to the control unit 10, so that the control system continuously Feedback control is performed.
  • the downstream inclination angle ⁇ 1 can be calculated by, for example, the following equation (1).
  • the upstream inclination angle ⁇ 2, which is the inclination angle of the strip W on the upstream side of the upstream turn bar 3 can be calculated by the following equation (2), for example.
  • the range of the rotation angle ⁇ is a radian angle ⁇ to ⁇ , and when ⁇ > 0, the band W rotates from the reference posture clockwise in FIG. 6, and when ⁇ ⁇ 0, the band It is assumed that W rotates counterclockwise from the reference posture in FIG.
  • y1 indicates the detection result of the first downstream edge sensor 8a
  • y2 indicates the detection result of the second downstream edge sensor 8b
  • L1 indicates the first downstream edge sensor 8a and the first downstream edge sensor 8a. 2 shows the distance from the downstream edge sensor 8b.
  • y3 indicates the detection result of the first upstream edge sensor 9a
  • y4 indicates the detection result of the second upstream edge sensor 9b
  • L2 indicates the first upstream edge sensor 9a and the first upstream edge sensor 9a. 2 shows the separation distance from the upstream edge sensor 9b.
  • the values of the edge sensors are in the width direction of the strip W in FIG.
  • the other side (the back side in FIGS. 1 and 2) is positive.
  • FIG. 5 is a control system diagram in the case where feedforward control is performed in addition to feedback control in the belt-like body conveyance device 1 of the present embodiment.
  • the control unit 10 when performing feedforward control in addition to feedback control, the control unit 10 includes a target value setting unit 10a, a subtractor 10b, a feedback calculation unit 10c, and a downstream tilt angle calculation unit 10d.
  • a feedforward calculation unit 10e, an adder 10f, and an upstream side inclination calculation unit 10g are provided.
  • the feedforward calculation unit 10e calculates the rotation angle ⁇ based on the downstream side tilt angle ⁇ 1 calculated by the downstream side tilt angle calculation unit 10d and the upstream side tilt angle ⁇ 2 calculated by the upstream side tilt angle calculation unit 10g.
  • the upstream tilt angle calculation unit 10g determines the tilt angle (upstream tilt angle) of the strip W on the further upstream side of the upstream turn bar 3 from the detection result of the first upstream edge sensor 9a and the detection result of the second upstream edge sensor 9b. ⁇ 2) is calculated. Further, the adder 10f adds the rotation angle ⁇ calculated by the feedback calculation unit 10c and the rotation angle ⁇ calculated by the feedforward calculation unit 10e, and thereby the downstream actuator 5 and the upstream actuator 6 are added. And the rotation angle input to the reversing actuator 7 is obtained.
  • the response performance can be improved as compared with the case where only feedback control is performed.
  • FIG. 6 shows the relationship between the angle of inclination ⁇ between the upstream side and the downstream side of the band-like body W and the rotation angle ⁇ between the downstream-side turn bar 2 and the upstream-side turn bar 3 in the belt-like body conveying apparatus 1 of the present embodiment.
  • FIG. 3 is a development view of FIG. 2 shown. As shown in FIG. 6, the rotation angle of the axis La of the downstream turn bar 2 is set to ⁇ , and the rotation angle of the axis Lb of the upstream turn bar 3 is set to ⁇ , before being supplied to the downstream turn bar 2.
  • a straight line that overlaps one edge of the band W is a straight line LA
  • a straight line that overlaps the other edge of the band W before being supplied to the downstream turn bar 2 is a straight line LB
  • the axis La and the straight line LA is a point A
  • the intersection point between the axis La and the straight line LB is a point A ′
  • the intersection point between the axis Lb and the straight line LB is a point B ′
  • the path length from the point A to the point B is L
  • the path length from the point A ′ to the point B ′ is L ′.
  • the control unit 10 uses the expression (2).
  • the rotation angle ⁇ can be calculated.
  • the downstream turn bar 2 is configured such that the path length through which one edge in the width direction of the belt-like body W passes and the path length through which the other edge in the width direction pass are different.
  • the upstream turn bar 3 and the reverse turn bar 4 are rotated.
  • the stress acting on the belt-like body W due to the upstream inclination with respect to the downstream side of the belt-like body W is reduced by the rotation of the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3.
  • the reverse turn bar 4 reduces the stress acting on the band W due to the path difference between AB and A′B ′ in FIG. 6.
  • the belt-like body W is continuously deformed so that the surface of the belt-like body W is curved without being bent, and the downstream portion and the upstream portion of the strip-like body W can be inclined. Therefore, the belt-like body W can be tilted in a plane including the surface without applying a large stress to the belt-like body W. Therefore, according to the belt-like body conveyance device 1 of the present embodiment, the upstream side portion of the belt-like body W with respect to the downstream side portion of the belt-like body W is in the normal direction of the surface of the belt-like body W (in this embodiment, Even when it is tilted when viewed from the vertical direction), it is possible to prevent the band W from being stressed.
  • the inclination of the belt-like body W can be corrected only by rotating or tilting the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4. For this reason, compared with the case where an external force is applied and the inclination of the strip
  • the strip W on the downstream side of the reverse turn bar 4 is in a desired (target) direction without applying excessive stress to the strip W (for example, the main transport direction in FIGS. 1 and 2 of the present embodiment). It can be transported toward. For example, when there is an area where processing (etching or the like) is performed on the strip W on the further downstream side than the strip transport device 1, the downstream strip W is transported in a certain direction and does not deviate from the processing position. Thus, it can be carried in at an appropriate angle toward the processing position.
  • the belt-like body W is guided using the rod-like downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4.
  • the shape of the non-contact guide portion can be simplified and the apparatus configuration can be simplified.
  • belt-shaped material conveyance apparatus 1 of this embodiment is provided with the 1st downstream edge sensor 8a, the 2nd downstream edge sensor 8b, the 1st upstream edge sensor 9a, and the 2nd upstream edge sensor 9b.
  • the downstream actuator 5 Based on the detection results of the first downstream edge sensor 8a, the second downstream edge sensor 8b, the first upstream edge sensor 9a, and the second upstream edge sensor 9b, the downstream actuator 5, A control unit 10 that controls the actuator 6 and the reverse actuator 7 is provided. For this reason, it becomes possible to adjust the position of the strip
  • the downstream side turn bar 2 and the upstream side turn bar 3 are rotated in the opposite directions at the rotation angle ⁇ .
  • the control which rotates the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3 can be simplified.
  • a single actuator that generates power for moving the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3 is installed, and the power generated by this actuator is transmitted to the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3 by a link mechanism.
  • the downstream turn bar 2 and the upstream turn bar 3 may be rotated in the opposite directions at the rotation angle ⁇ .
  • the apparatus configuration can be further simplified. That is, in this case, the number of actuators installed can be reduced.
  • the feedback calculation unit 10c and the feedforward calculation unit 10e obtain the tilt angle ⁇ ′ of the reverse turn bar 4.
  • the tilt angle ⁇ ′ can be calculated by the following equation (4), for example.
  • W indicates the width of the strip.
  • FIG. 7 is a perspective view schematically showing a schematic configuration of the belt-like body conveyance device 1A of the present embodiment.
  • belt-shaped body W is conveyed from the right side to the left side of FIG. That is, in this embodiment, as shown by the arrow in FIG. 7, the left direction in FIG. Further, the right side in FIG. 7 is the upstream side in the transport direction, and the left side in FIG. 7 is the downstream side in the transport direction. 7 illustrates a state in which the axis of the downstream turn bar 2, the axis of the upstream turn bar 3, and the axis of the reverse turn bar 4 are inclined with respect to the width direction of the strip W.
  • FIG. 8A is the schematic diagram which looked at the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the inversion turn bar 4 from the upper direction (direction along the perpendicular of the surface of the strip
  • FIG. 8B is a schematic view of the downstream turn bar 2 and the reverse turn bar 4 as viewed from the side.
  • each of the downstream side turn bar 2, the upstream side turn bar 3, and the reverse turn bar 4 is rotated at different rotation angles. Tilted. Thereby, the strip
  • the rotation angle of the downstream turn bar 2 is ⁇
  • the rotation angle of the upstream turn bar 3 is ⁇
  • the rotation angle of the reverse turn bar 4 is ⁇ 1
  • the tilt angle of the reverse turn bar 4 is ⁇ 2.
  • FIG. 9 is a control system diagram in the case where control is performed only by feedback control in the belt-like body conveyance device 1A of the present embodiment.
  • the control unit 10 includes a target value setting unit 10h, a subtractor 10i, a feedback calculation unit 10j, a subtractor 10k, and an adder 10m. Is further provided.
  • the target value setting unit 10h sets the target value of the edge position of the strip W after passing through the downstream turn bar 2 (the position of the edge on the near side in FIG. 7).
  • the target value setting unit 10h sets a value stored in advance or a value input from the outside as a target value.
  • the subtractor 10i calculates the difference between the detection result of the first downstream edge sensor 8a (or the detection result of the second downstream edge sensor 8b) and the target value set by the target value setting unit 10h.
  • the feedback calculation unit 10j performs, for example, PID processing based on the difference between the detection result of the first downstream edge sensor 8a calculated by the subtractor 10i and the target value set by the target value setting unit 10h, and the downstream turn bar 2, the rotation angle of the upstream turn bar 3 and the reverse turn bar 4 is calculated.
  • the subtractor 10k calculates a difference between the rotation angle calculated by the feedback calculation unit 10j and the rotation angle calculated by the feedback calculation unit 10c described in the first embodiment, and sets the upstream as the rotation angle ⁇ .
  • the adder 10m adds the rotation angle calculated by the feedback calculation unit 10j and the rotation angle calculated by the feedback calculation unit 10c described in the first embodiment to obtain a downstream rotation angle ⁇ .
  • the rotation angle calculated by the feedback calculation unit 10j is input to the reversing actuator 7 as the rotation angle ⁇ 1.
  • the tilt angle calculated by the feedback calculation unit 10c described in the first embodiment is also input to the reversing actuator 7 as the tilt angle ⁇ 2.
  • the downstream actuator 5, the upstream actuator 6, and the reversing actuator 7 are controlled, and the downstream turn bar 2 and the upstream actuator are controlled.
  • the side turn bar 3 and the reverse turn bar 4 are rotated.
  • the inclination and position of the belt-like body W can be corrected only by rotating or tilting the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4. For this reason, compared with the case where the inclination and position of the strip-shaped body W are corrected by applying an external force, the strip-shaped body W can be transported with a low tension, and an excessive stress is not generated in the strip-shaped body W.
  • the upstream turn bar 3 and the reverse turn bar 4 can be conveyed toward the target direction and position without applying excessive stress to the band W.
  • the downstream position W is transported in a certain direction so that the processing position does not deviate from the processing position. Can be carried in at an appropriate angle and position.
  • the belt-like body W is twisted in a large spiral along the upstream turn bar 3 and passes through the upstream turn bar 3.
  • the traveling direction of the strip W can be greatly inclined in the width direction of the strip W with respect to the normal of the strip W before being supplied to the upstream turn bar 3.
  • the belt-like body W whose traveling direction is inclined by the upstream turn bar 3 is reversed in the traveling direction by the reversing turn bar 4, and the traveling direction is greatly inclined with respect to the normal line of the belt-like body W before being supplied to the upstream turn bar 3. Reach the downstream turn bar 2 as it is.
  • the strip W is spirally twisted in the opposite direction to the upstream turn bar 3, and the twist of the strip W is eliminated.
  • the band W travels in a state of being inclined with respect to the normal of the band W before being supplied to the upstream turn bar 3 until it reaches the downstream turn bar 2 from the upstream turn bar 3.
  • the portion of the strip W after passing through the downstream turn bar 2 is moved in the width direction of the strip W relative to the portion of the strip W before being supplied to the upstream turn bar 3.
  • the position in the width direction of the strip W is measured by the first downstream edge sensor 8a on the downstream side, and measured by the first upstream edge sensor 9a on the upstream side.
  • FIG. 10 is a control system diagram in the case where feedforward control is performed in addition to feedback control in the belt-like body conveyance device 1A of the present embodiment.
  • the control unit 10 when performing feedforward control in addition to feedback control, the control unit 10 further includes a feedforward calculation unit 10n and an adder 10o.
  • the feedforward calculation unit 10n includes a detection result of the first downstream edge sensor 8a (may be a detection result of the second downstream edge sensor 8b) and a first upstream edge sensor 9a (detection result of the second upstream edge sensor 9b).
  • the rotation angle is calculated based on the detection result.
  • the adder 10o adds the rotation angle calculated by the feedback calculation unit 10j and the rotation angle calculated by the feedforward calculation unit 10n.
  • the subtractor 10k calculates the difference between the calculation result obtained by the adder 10o and the calculation result obtained by the adder 10f described in the first embodiment, and the rotation angle. ⁇ is input to the upstream actuator 6.
  • the adder 10m adds the calculation result obtained by the adder 10o and the calculation result obtained by the adder 10f described in the first embodiment to the downstream actuator 5 as the rotation angle ⁇ . input.
  • the calculation result obtained by the adder 10o is input to the reversing actuator 7 as the rotation angle ⁇ 1.
  • the adder 10f adds the tilt angle calculated by the feedback calculation unit 10c and the tilt angle calculated by the feedforward calculation unit 10e, and inputs the result to the reversing actuator 7 as the tilt angle ⁇ 2. According to such control, response performance can be improved as compared with the case where only feedback control is performed.
  • FIG. 11 shows the inclination angle ⁇ between the upstream side and the downstream side of the strip W in the strip transport apparatus 1A of the present embodiment shown in FIG. 7, the rotation angle ⁇ , the rotation angle ⁇ , and the rotation angle ⁇ 1. It is a development view showing the relationship and the relationship between the movement amount ⁇ h of the upstream and downstream sides of the belt-like body W and the edge position, and the relationship between the rotation angle ⁇ , the rotation angle ⁇ , and the rotation angle ⁇ 1.
  • the intersection between the axis Lc and the straight line LA is A ′′
  • the intersection between the axis Lc and the straight line LB is B ′′.
  • the distance from the point A to the point A ′′ is equal to the distance from the point A ′′ to the point B. Further, the distance from the point A ′ to the point B ′′ is equal to the distance from the point B ′′ to the point B ′.
  • the movement amount ⁇ h can be expressed by the following equation (5).
  • the inclination angle ⁇ can be expressed by the following equation (6).
  • the following expressions (7) and (8) can be obtained. For example, based on these equations, the control unit 10 can calculate the rotation angle ⁇ , the rotation angle ⁇ , and the rotation angle ⁇ 1.
  • the rotation angle ⁇ 1 of the reverse turn bar 4a is based on the following expression (9), the detection result y1 of the first downstream edge sensor 8a, the detection result y3 of the first upstream edge sensor 9a, and the points in FIG. It can be determined using the path length L from A to the point B.
  • the rotation angle ⁇ of the upstream turn bar 3 is based on the following expression (10), the detection result y1 of the first downstream edge sensor 8a, the detection result y3 of the first upstream edge sensor 9a, and in FIG. It can be determined using the path length L from the point A to the point B, the downstream inclination angle ⁇ 1, and the upstream inclination angle ⁇ 2.
  • the rotation angle ⁇ of the downstream turn bar 4 can be determined using the rotation angle ⁇ of the upstream turn bar 3 and the rotation angle ⁇ shown in FIG. 6 based on the following equation (11).
  • the non-contact guide unit of the present disclosure includes the downstream turn bar 2, the upstream turn bar 3, and the reverse turn bar 4.
  • the present disclosure is not limited to this, and may include a non-contact guide portion having another shape that is not a rod shape. In this case, it is not necessary for all non-contact guides to have the same shape.
  • only two or four or more (plural) non-contact guides may be provided. Further, when three or more non-contact guide portions are provided, it is not necessary to rotate all of these non-contact guide portions, and one non-contact guide portion is moved to move one of the strips W in the width direction. The path length along which the other edge passes may be different from the path length along which the other edge in the width direction passes.
  • downstream edge sensor unit 8 and the upstream edge sensor unit 9 are provided.
  • the arrangement location and the number of installation of the sensors are not limited to the above embodiment.
  • the belt-like body W is supported in a non-contact manner by ejecting a fluid.
  • the present disclosure is not limited to this, and the belt-like body W may be supported in a non-contact manner by, for example, magnetic force or electrostatic force.
  • the strip W in the above embodiment may be a strip made of a brittle material such as glass, ceramic, or silicon, or may be a film of an organic material.
  • a strip made of glass it may be an ultrathin glass having a thickness of 0.2 mm or less, for example.
  • the configuration in which the main transport direction of the strip W is the horizontal direction has been described.
  • the present disclosure is not limited to this, and the main conveyance direction of the belt-like body W may be set to a direction other than the horizontal direction by tilting the entire apparatus configuration of the above embodiment.
  • control unit 10 performs feedback control or feed forward control together with feedback control.
  • present disclosure is not limited to this, and the control unit 10 may perform only feedforward control.
  • the upstream portion of the belt-shaped body with respect to the downstream portion of the belt-shaped body is in the normal direction of the surface of the belt-shaped body Even when it is tilted when viewed from the side, it is possible to prevent the belt-like body from being stressed.

Landscapes

  • Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
  • Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
  • Structure Of Belt Conveyors (AREA)

Abstract

帯状体（Ｗ）を搬送する帯状体搬送装置（１）であって、帯状体の一部が掛け回され、帯状体を非接触支持する複数の非接触案内部（２，３，４）と、複数の非接触案内部のうち少なくとも１つの非接触案内部を移動させる駆動部（５，６，７）と、帯状体の幅方向における第１のエッジが通る経路長と、幅方向における第２のエッジが通る経路長とが異なるように非接触案内部を駆動部により移動させる制御部（１０）と、を備える。

Description

帯状体搬送装置
　本開示は、帯状体搬送装置に関する。
　本願は、２０１６年３月４日に日本に出願された特願２０１６－０４２６９５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　例えば、特許文献１に示すように、非接触式のターンバーを備えるアルミニウム製の帯状のウェブを搬送する搬送装置が知られている。このような搬送装置では、ターンバーからウェブに流体を噴出することによってウェブを非接触にて支持している。
　特許文献１の搬送装置は、搬送されるウェブの中心位置を調整し、ウェブを搬送する時のウェブのセンタリングを容易かつ高精度で行うために、ターンバーの位置を変更するターンバー調整手段を備えている。
日本国特開２００７－７００８４号公報
　ところで、帯状体が多重に巻回されたロール体から送り出された帯状体を加工等する場合には、加工位置における帯状体の位置精度が重要となる。このため、加工位置における帯状体の位置は規制手段等によって予め定められた位置に固定される。一方で、ロール体に帯状体を巻き取る時の帯状体の巻取精度や、帯状体を加工位置まで搬送する時の帯状体の位置ずれ等によって、加工位置よりも上流側における帯状体の位置がぐらつく場合がある。この結果、帯状体が表面を含む面内において傾き、これによって帯状体の途中部位に局所的に応力が作用し、帯状体に変形等が生じる可能性がある。特に、近年においては、極めて薄い湾曲可能なガラスからなる帯状体を搬送する場合がある。この場合、帯状体へ掛かるストレスを従来以上に回避する必要がある。
　このような帯状体の変形等を防止するためには、帯状体の表面を含む面内において帯状体の下流側の部位に対して上流側の部位が傾いている場合であっても、帯状体にストレスを掛けることなく帯状体を案内する必要がある。しかしながら、特許文献１に開示された搬送装置では、帯状体の下流側が固定されることについては何ら考慮されておらず、さらに帯状体の表面の垂線方向から見て帯状体が傾いている場合に、帯状体に掛かるストレスを低減させることについても考慮されていない。
　本開示は、上述する問題点に鑑みてなされ、帯状体を非接触で支持しつつ搬送する帯状体搬送装置において、帯状体の下流側の部位に対して帯状体の上流側の部位が、帯状体の表面の法線方向から見て傾いている場合であっても、帯状体に大きなストレスが掛かることを防止することを目的とする。
　本開示の一態様の帯状体を搬送する帯状体搬送装置は、前記帯状体の一部が掛け回され、前記帯状体を非接触支持する複数の非接触案内部と、前記複数の非接触案内部のうち少なくとも１つの非接触案内部を移動させる駆動部と、前記帯状体の幅方向における第１のエッジが通る経路長と、前記幅方向における前記第１のエッジと反対側の第２のエッジが通る経路長とが異なるように前記非接触案内部を前記駆動部により移動させる制御部と、を備える。
　本開示によれば、帯状体を非接触で支持しつつ搬送する帯状体搬送装置において、帯状体の下流側の部位に対して帯状体の上流側の部位が、帯状体の表面の法線方向から見て傾いている場合であっても、帯状体にストレスが掛かることを防止することができる。
本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置の概略構成を模式的に示す側面図である。 本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置の概略構成を模式的に示す斜視図である。 本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置が備える下流側ターンバーと上流側ターンバーと反転ターンバーとを上方から見た模式図である。 本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置が備える下流側ターンバーと反転ターンバーとを側方から見た模式図である。 本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置において、フィードバック制御のみにより制御を行う場合の制御系統図である。 本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置において、フィードバック制御に加えてフィードフォワード制御を行う場合の制御系統図である。 本開示の第１実施形態における帯状体搬送装置における傾斜角度と、下流側ターンバーと、上流側ターンバーと、反転ターンバーとの回動角度との関係を示す展開図である。 本開示の第２実施形態における帯状体搬送装置の概略構成を模式的に示す斜視図である。 本開示の第２実施形態における帯状体搬送装置が備える下流側ターンバーと上流側ターンバーと反転ターンバーとを上方から見た模式図である。 本開示の第２実施形態における帯状体搬送装置が備える下流側ターンバーと反転ターンバーとを側方から見た模式図である。 本開示の第２実施形態における帯状体搬送装置において、フィードバック制御のみにより制御を行う場合の制御系統図である。 本開示の第２実施形態における帯状体搬送装置において、フィードバック制御に加えてフィードフォワード制御を行う場合の制御系統図である。 本開示の第２実施形態における帯状体搬送装置における傾斜角度及び移動量と、下流側ターンバーと、上流側ターンバーと、反転ターンバーとの回動角度との関係を示す展開図である。
（第１実施形態）
　図１は、本実施形態の帯状体搬送装置１の概略構成を模式的に示す側面図である。また、図２は、本実施形態の帯状体搬送装置１の概略構成を模式的に示す斜視図である。なお、図１においては、後述する下流側ターンバー２の軸芯、上流側ターンバー３の軸芯及び反転ターンバー４の軸芯が帯状体Ｗの幅方向に対して平行とされた状態を図示している。また、図２においては、下流側ターンバー２の軸芯、上流側ターンバー３の軸芯及び反転ターンバー４の軸芯が帯状体Ｗの幅方向に対して傾斜された状態を図示している。
　図１及び図２に示すように帯状体搬送装置１は、下流側ターンバー２（非接触案内部）と、上流側ターンバー３（非接触案内部）と、反転ターンバー４（非接触案内部）と、下流側アクチュエータ５と、上流側アクチュエータ６と、反転アクチュエータ７と、下流側エッジセンサユニット８と、上流側エッジセンサユニット９と、制御部１０とを備えている。なお、本実施形態の帯状体搬送装置１においては、帯状体Ｗが図１及び図２の右側から左側に搬送される。すなわち、本実施形態においては、図１及び図２の矢印で示すように、図１及び図２における左方向が帯状体Ｗの主たる搬送方向とされている。また、図１及び図２における右側を搬送方向の上流側、図１及び図２における左側を搬送方向の下流側とする。ただし、帯状体Ｗが主たる搬送方向に搬送される間に、帯状体Ｗの走行方向が変更される。
　下流側ターンバー２は、中心角が９０°とされた円弧に沿った周面を有する中空の棒状部材である。下流側ターンバー２は、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４のうち、帯状体Ｗの走行方向の最も下流側に配置されている。下流側ターンバー２は、図１に示すように、下流側ターンバー２の軸芯Ｌａが水平方向に延びるように、不図示の支持部により移動可能に支持されている。また、下流側ターンバー２は、下流側ターンバー２の周面が上流側ターンバー３側であってかつ下側に向く姿勢となるように配置されている。下流側ターンバー２の周面には、不図示の複数の貫通孔が設けられており、不図示の流体供給部から下流側ターンバー２の内部に供給された流体が貫通孔から噴出される。このように貫通孔から噴射された流体が帯状体Ｗに向けて噴射されることによって、帯状体Ｗが下流側ターンバー２に非接触支持される。つまり、下流側ターンバー２の周面は、帯状体Ｗを非接触で支持する非接触支持面２ａとして機能する。
　下流側ターンバー２は、上方から供給される帯状体Ｗの一部が非接触支持面２ａに沿って図１における右回りに掛け回されることにより、帯状体Ｗの走行方向が９０°変更されるように帯状体Ｗを案内する。本実施形態では、下流側ターンバー２によって案内される帯状体Ｗは、下流側ターンバー２に到達する前においては表裏面が鉛直となる姿勢で走行し、下流側ターンバー２を通過した後においては表裏面が水平となる姿勢で走行する。下流側ターンバー２は、帯状体Ｗの鉛直方向における位置（すなわち、帯状体Ｗの厚み方向における位置）を上流側ターンバー３に供給される前の位置に合わせる。
　上流側ターンバー３は、下流側ターンバー２と同様に、中心角が９０°とされた円弧に沿った周面を有する中空の棒状部材である。上流側ターンバー３は、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４のうち、帯状体Ｗの走行方向の最も上流側に配置されている。上流側ターンバー３は、下流側ターンバー２と同一の高さに配置されている。上流側ターンバー３は、基準姿勢において上流側ターンバー３の軸芯Ｌｂが下流側ターンバー２の軸芯Ｌａと平行となるように不図示の支持部により移動可能に支持されている。また、上流側ターンバー３は、上流側ターンバー３の周面が下流側ターンバー２側であってかつ下側に向く姿勢となるように配置されている。上流側ターンバー３の周面には、下流側ターンバー２の周面と同様に、不図示の複数の貫通孔が設けられており、不図示の流体供給部から上流側ターンバー３の内部に供給された流体が貫通孔から噴出される。このように貫通孔から噴射された流体が帯状体Ｗに向けて噴射されることによって、帯状体Ｗが上流側ターンバー３に非接触支持される。つまり、上流側ターンバー３の周面は、帯状体Ｗを非接触で支持する非接触支持面３ａとして機能する。
　上流側ターンバー３は、水平方向から供給される帯状体Ｗの一部が非接触支持面３ａに沿って図１における右回りに掛け回されることにより、帯状体Ｗの走行方向が９０°変更されるように帯状体Ｗを案内する。本実施形態では、上流側ターンバー３によって案内される帯状体Ｗは、上流側ターンバー３に到達する前においては表裏面が水平となる姿勢で走行し、上流側ターンバー３を通過した後においては表裏面が鉛直となる姿勢で走行する。
　反転ターンバー４は、水平方向から見て下流側ターンバー２と上流側ターンバー３との上方に配置されており、鉛直方向から見て下流側ターンバー２と上流側ターンバー３との間に配置されている。反転ターンバー４は、中心角が１８０°とされた円弧に沿った周面を有する中空の棒状部材である。反転ターンバー４は、基準姿勢において反転ターンバー４の軸芯Ｌｃが下流側ターンバー２の軸芯Ｌａ及び上流側ターンバー３の軸芯Ｌｂと平行となるように不図示の支持部により移動可能に支持されている。また、反転ターンバー４は、反転ターンバー４の周面が上方に向くように配置されている。反転ターンバー４の周面には、下流側ターンバー２の周面及び上流側ターンバー３の周面と同様に、不図示の複数の貫通孔が設けられており、不図示の流体供給部から反転ターンバー４の内部に供給された流体が貫通孔から噴出される。このように貫通孔から噴射された流体が帯状体Ｗに向けて噴射されることによって、帯状体Ｗが反転ターンバー４に非接触支持される。つまり、反転ターンバー４の周面は、帯状体Ｗを非接触で支持する非接触支持面４ａとして機能する。
　反転ターンバー４は、上流側ターンバー３を通過して下方から供給される帯状体Ｗの一部が非接触支持面４ａに沿って図１における左回りに掛け回されることにより、帯状体Ｗの走行方向が１８０°変更されるように帯状体Ｗを案内する。反転ターンバー４は、上流側ターンバー３によって方向が変更された帯状体Ｗの走行方向を下流側ターンバー２に向けて反転する。本実施形態では、反転ターンバー４によって案内される帯状体Ｗは、反転ターンバー４に到達する前と通過した後とでは、走行方向が１８０°反転される。
　下流側アクチュエータ５は、不図示の伝達機構を介して下流側ターンバー２と接続されており、下流側ターンバー２を回動（移動）させる。図３Ａは、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３と反転ターンバー４とを上方（非接触案内部に供給される前における帯状体の表面の垂線に沿う方向）から見た模式図である。本実施形態において下流側ターンバー２は、下流側アクチュエータ５によって、図３Ａに示すように、下流側ターンバー２の軸芯Ｌａに沿う方向における中心位置Ｏ１を中心として水平面内にて回動される。
　上流側アクチュエータ６は、不図示の伝達機構を介して上流側ターンバー３と接続されており、上流側ターンバー３を回動（移動）させる。本実施形態において上流側ターンバー３は、上流側アクチュエータ６によって、図３Ａに示すように、上流側ターンバー３の軸芯Ｌｂに沿う方向における中心位置Ｏ２を中心として水平面内において回動される。
　反転アクチュエータ７は、不図示の伝達機構を介して反転ターンバー４と接続されており、反転ターンバー４を回動（移動）させる。本実施形態において反転ターンバー４は、反転アクチュエータ７によって、図３Ａに示すように、反転ターンバー４の軸芯Ｌｃに沿う方向における中心位置Ｏ３を中心として水平面内において回動される。図３Ｂは、下流側ターンバー２と反転ターンバー４とを側方から見た模式図である。反転アクチュエータ７はさらに、図３Ｂに示すように、反転ターンバー４の先端部が上下動するように、中心位置Ｏ３を中心として反転ターンバー４を鉛直面内において傾動（移動）させる。
　ここで、本実施形態の帯状体搬送装置１では、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なるように下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４を回動あるいは傾動させる。制御部１０の制御の下、例えば、図３Ａに示すように、下流側ターンバー２を左回りに回動角度θで回動させ、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４を右回りに回動角度θで回動させる。あるいは、制御部１０の制御の下、例えば、図３Ｂに示すように、反転ターンバー４のみを傾動角度θ’にて傾動させる。このように下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４を回動あるいは傾動させることにより、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なる状態で帯状体Ｗを搬送することができる。
　このように、本実施形態の帯状体搬送装置１においては、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４とが水平面内において回動可能とされている。また、反転ターンバー４が鉛直面内において傾動可能とされている。また、本実施形態の帯状体搬送装置１は、制御部１０の制御の下、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４とを、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なるように回動あるいは傾動させる駆動部として、下流側アクチュエータ５、上流側アクチュエータ６及び反転アクチュエータ７を備える。つまり、本実施形態においては、本開示の駆動部が、下流側アクチュエータ５、上流側アクチュエータ６及び反転アクチュエータ７によって構成されている。
　下流側エッジセンサユニット８は、第１下流側エッジセンサ８ａと、第２下流側エッジセンサ８ｂとを備えている。第１下流側エッジセンサ８ａ及び第２下流側エッジセンサ８ｂは、下流側ターンバー２のさらに下流側に、帯状体Ｗの走行方向に離間して配置されている。第１下流側エッジセンサ８ａ及び第２下流側エッジセンサ８ｂは、下流側ターンバー２を通過した帯状体Ｗの幅方向における一方側（本実施形態では図１及び図２の手前側）のエッジ位置を検出する。上流側エッジセンサユニット９は、第１上流側エッジセンサ９ａと、第２上流側エッジセンサ９ｂとを備えている。第１上流側エッジセンサ９ａ及び第２上流側エッジセンサ９ｂは、上流側ターンバー３のさらに上流側に、帯状体Ｗの走行方向に離間して配置されている。第１上流側エッジセンサ９ａ及び第２上流側エッジセンサ９ｂは、上流側ターンバー３に到達する前の帯状体Ｗの幅方向における一方側（本実施形態では図１及び図２の手前側）のエッジ位置を検出する。第１下流側エッジセンサ８ａ、第２下流側エッジセンサ８ｂ、第１上流側エッジセンサ９ａ及び第２上流側エッジセンサ９ｂとしては、例えばレーザ式のエッジセンサを用いてもよい。第１下流側エッジセンサ８ａ、第２下流側エッジセンサ８ｂ、第１上流側エッジセンサ９ａ及び第２上流側エッジセンサ９ｂは、制御部１０と電気的に接続されており、検出結果を制御部１０に向けて出力する。
　制御部１０は、第１下流側エッジセンサ８ａ、第２下流側エッジセンサ８ｂ、第１上流側エッジセンサ９ａ及び第２上流側エッジセンサ９ｂの少なくともいずれか一つの検出結果に基づいて、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４との回動角度θを算出し、また反転ターンバー４の傾動角度θ’を算出する。なお、本実施形態において、回動角度θは、平面視における下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４との基準姿勢に対する角度（軸芯のヨーイング方向の傾角）を意味する。また、傾動角度θ’は、反転ターンバー４の先端が上下する方向（鉛直方向）における反転ターンバー４の基準姿勢に対する角度（軸芯のピッチング方向の傾角）を意味する。制御部１０は、回動角度θあるいは傾動角度θ’に基づいて下流側アクチュエータ５と、上流側アクチュエータ６と、反転アクチュエータ７とを制御する。
　図４は、本実施形態の帯状体搬送装置１において、フィードバック制御のみにより制御を行う場合の制御系統図である。図４に示すように、フィードバック制御のみにより制御を行う場合には、制御部１０は、目標値設定部１０ａと、減算器１０ｂと、フィードバック演算部１０ｃと、下流側傾角算出部１０ｄとを備える。目標値設定部１０ａは、下流側ターンバー２を通過した後の帯状体Ｗのエッジ姿勢（図１及び図２の手前側のエッジの姿勢）の目標値を設定する。目標値設定部１０ａは、予め記憶された値あるいは外部より入力される値を、目標値として設定する。減算器１０ｂは、下流側傾角算出部１０ｄから入力される下流側ターンバー２のさらに下流側における帯状体Ｗの傾角である下流側傾角と、目標値との差分を計算する。フィードバック演算部１０ｃは、減算器１０ｂで算出された下流側傾角と目標値との差分に基づいて例えばＰＩＤ処理を行い、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３との回動角度θを算出する。なお、下流側傾角算出部１０ｄは、第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果及び第２下流側エッジセンサ８ｂの検出結果から下流側ターンバー２のさらに下流側における帯状体Ｗの傾角（下流側傾角）を算出する。
　上述のようにして制御部１０によって算出された回動角度θに基づいて、例えば、下流側アクチュエータ５が下流側ターンバー２を左回りに回動角度θで回動し、上流側アクチュエータ６が上流側ターンバー３を右回りに回動角度θで回動し、反転アクチュエータ７が反転ターンバー４を右回りに回動角度θで回動する。
　このように下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４とが回動されると、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジ側で下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とが近づき、帯状体Ｗの幅方向の他方のエッジ側で下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とが遠ざかる。これによって、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なることになる。このように、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と、帯状体Ｗの幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なると、図２に示すように、帯状体Ｗは、屈曲することなく表面が湾曲するように連続的に変形し、帯状体Ｗの下流側の部位と上流側の部位とが傾くことができる。したがって、帯状体Ｗに大きなストレスが掛かることなく、帯状体Ｗが表面を含む面内で傾くことができる。
　さらに、帯状体Ｗのエッジ位置が再び第１下流側エッジセンサ８ａ及び第２下流側エッジセンサ８ｂで検出され、その検出結果が制御部１０に入力されることにより、本制御系では連続的にフィードバック制御が行われる。
　ここで、下流側傾角θ１は、例えば、下式（１）によって算出することができる。また、上流側ターンバー３のさらに上流側における帯状体Ｗの傾角である上流側傾角θ２は、例えば、下式（２）によって算出することができる。ここで、回動角度θの範囲はラジアン角度－π～πであり、またθ＞０のときは帯状体Ｗが基準姿勢から図６における時計回りに回転し、θ＜０のときは帯状体Ｗが基準姿勢から図６における反時計回りに回転するものとする。
　なお、下式（１）において、ｙ１が第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果を示し、ｙ２が第２下流側エッジセンサ８ｂの検出結果を示し、Ｌ１が第１下流側エッジセンサ８ａと第２下流側エッジセンサ８ｂとの離間距離を示している。また、下式（２）において、ｙ３が第１上流側エッジセンサ９ａの検出結果を示し、ｙ４が第２上流側エッジセンサ９ｂの検出結果を示し、Ｌ２が第１上流側エッジセンサ９ａと第２上流側エッジセンサ９ｂとの離間距離を示している。ただし、エッジセンサ（第１下流側エッジセンサ８ａ、第２下流側エッジセンサ８ｂ、第１上流側エッジセンサ９ａ及び第２上流側エッジセンサ９ｂ）の値は、図２の帯状体Ｗの幅方向における他方側（図１及び図２の奥側）を正としている。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
　図５は、本実施形態の帯状体搬送装置１において、フィードバック制御に加えてフィードフォワード制御を行う場合の制御系統図である。図５に示すように、フィードバック制御に加えてフィードフォワード制御を行う場合には、制御部１０は、目標値設定部１０ａと、減算器１０ｂと、フィードバック演算部１０ｃと、下流側傾角算出部１０ｄに加えて、フィードフォワード演算部１０ｅと、加算器１０ｆと、上流側傾角算出部１０ｇとを備える。
　フィードフォワード演算部１０ｅは、下流側傾角算出部１０ｄで算出された下流側傾角θ１と、上流側傾角算出部１０ｇで算出された上流側傾角θ２とに基づいて回動角度θを算出する。
　なお、上流側傾角算出部１０ｇは、第１上流側エッジセンサ９ａの検出結果及び第２上流側エッジセンサ９ｂの検出結果から上流側ターンバー３のさらに上流側における帯状体Ｗの傾角（上流側傾角θ２）を算出する。また、加算器１０ｆは、フィードバック演算部１０ｃで算出された回動角度θとフィードフォワード演算部１０ｅで算出された回動角度θとを加算して、これによって下流側アクチュエータ５、上流側アクチュエータ６及び反転アクチュエータ７に入力する回動角度を求める。
　図５に示す構成によれば、フィードバック制御のみを行う場合よりも応答性能を向上させることが可能となる。
　図６は、本実施形態の帯状体搬送装置１における帯状体Ｗの上流側と下流側との傾斜角度Δθと、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３との回動角度θとの関係を示す図２の展開図である。図６に示すように、下流側ターンバー２の軸芯Ｌａの回動角度を－θとし、上流側ターンバー３の軸芯Ｌｂの回動角度をθとし、下流側ターンバー２に供給される前の帯状体Ｗの一方側のエッジに重なる直線を直線ＬＡとし、下流側ターンバー２に供給される前の帯状体Ｗの他方側のエッジに重なる直線を直線ＬＢとし、軸芯Ｌａと直線ＬＡとの交点を点Ａとし、軸芯Ｌｂと直線ＬＡとの交点を点Ｂとし、軸芯Ｌａと直線ＬＢとの交点を点Ａ’とし、軸芯Ｌｂと直線ＬＢとの交点を点Ｂ’とし、点Ａから点Ｂまでの経路長をＬとし、点Ａ’から点Ｂ’までの経路長をＬ’とする。ＡＡ’を水平方向に上流側に平行移動させ、点Ａと点Ｂとが重なるとき、Ａ’はＢ”の位置になり、傾斜角度Δθ（∠Ｂ”ＢＢ’）は、下式（３）によって示すことができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
　例えば、傾斜角度Δθは、第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果、第２下流側エッジセンサ８ｂの検出結果に基づいて求めることができるため、制御部１０は、式（２）を用いることにより回動角度θを算出することができる。
　以上のような本実施形態の帯状体搬送装置１では、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なるように下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４が回動される。本実施形態の帯状体搬送装置１においては、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３の回動により、帯状体Ｗの下流側に対する上流側の傾きにより帯状体Ｗへ作用する応力が低減する。また、反転ターンバー４により、図６におけるＡＢとＡ’Ｂ’の経路差により帯状体Ｗへ作用する応力が低減する。このため、帯状体Ｗは、屈曲することなく帯状体Ｗの表面が湾曲するように連続的に変形し、帯状体Ｗの下流側の部位と上流側の部位とが傾くことができる。したがって、帯状体Ｗに大きなストレスが掛かることなく、帯状体Ｗが表面を含む面内で傾くことができる。よって、本実施形態の帯状体搬送装置１によれば、帯状体Ｗの下流側の部位に対して帯状体Ｗの上流側の部位が、帯状体Ｗの表面の法線方向（本実施形態では鉛直方向）から見て傾いている場合であっても、帯状体Ｗにストレスが掛かることを防止することができる。
　また、本実施形態の帯状体搬送装置１においては、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４を回動あるいは傾動させるのみで帯状体Ｗの傾きを修正することができる。このため、外力を加えて帯状体Ｗの傾きを修正する場合と比較して、帯状体Ｗを低張力で搬送することができ、帯状体Ｗに過大な応力を発生させることがない。すなわち、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４よりも上流側の帯状体Ｗが、基準となる方向に対してどの程度傾いているかに関わらず、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４よりも下流側の帯状体Ｗを、帯状体Ｗに過大な応力が掛かることなく、所望（目標）の方向（例えば、本実施形態の図１及び図２における、主たる搬送方向）に向けて搬送することができる。例えば、帯状体搬送装置１よりもさらに下流側に、帯状体Ｗに対する加工（エッチング等）を行うエリアがある場合、下流側の帯状体Ｗを、一定の方向に搬送し、加工位置からずれないよう、加工位置に向かって適切な角度で搬入させることができる。
　また、本実施形態の帯状体搬送装置１においては、棒状の下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４を用いて帯状体Ｗを案内している。このため、棒状体ではない形状の非接触案内部を用いて帯状体Ｗを案内する場合と比較して、非接触案内部の形状を単純化し、装置構成を簡素にすることが可能となる。
　また、本実施形態の帯状体搬送装置１は、第１下流側エッジセンサ８ａと、第２下流側エッジセンサ８ｂと、第１上流側エッジセンサ９ａと、第２上流側エッジセンサ９ｂとを備え、第１下流側エッジセンサ８ａと、第２下流側エッジセンサ８ｂと、第１上流側エッジセンサ９ａと、第２上流側エッジセンサ９ｂとの検出結果に基づいて、下流側アクチュエータ５、上流側アクチュエータ６及び反転アクチュエータ７を制御する制御部１０を備えている。このため、帯状体Ｗの位置を、自動かつ正確に調整することが可能となる。
　また、本実施形態の帯状体搬送装置１においては、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とを反対方向に回動角度θで回動させる。このため、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とを回動させる制御を簡素にすることができる。なお、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とを移動させる動力を発生する単一のアクチュエータを設置し、このアクチュエータで生成された動力をリンク機構で下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とに伝達し、これにより下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とを反対方向に回動角度θで回動させてもよい。この場合、装置構成をより簡素にすることができる。すなわち、この場合には、アクチュエータの設置数を削減することができる。
　なお、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とを回動させることなく、反転ターンバー４のみを傾動させてもよい。この場合、フィードバック演算部１０ｃとフィードフォワード演算部１０ｅとは、反転ターンバー４の傾動角度θ’を求める。傾動角度θ’は、例えば、下式（４）によって算出することができる。なお、下式（４）において、Ｗは帯状体の幅を示している。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
（第２実施形態）
　次に、本発明の第２実施形態について、図７～図１１を参照して説明する。なお、本実施形態の説明において、上記第１実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
　図７は、本実施形態の帯状体搬送装置１Ａの概略構成を模式的に示す斜視図である。なお、本実施形態の帯状体搬送装置１Ａにおいても、帯状体Ｗが図７の右側から左側に搬送される。すなわち、本実施形態においては、図７の矢印で示すように、図７における左方向が帯状体Ｗの主たる搬送方向とされている。また、図７における右側を搬送方向の上流側、図７における左側を搬送方向の下流側とする。
　なお、図７においては、下流側ターンバー２の軸芯、上流側ターンバー３の軸芯及び反転ターンバー４の軸芯が帯状体Ｗの幅方向に対して傾斜された状態を図示している。また、図８Ａは、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３と反転ターンバー４とを上方（非接触案内部に供給される前における帯状体の表面の垂線に沿う方向）から見た模式図である。また、図８Ｂは、下流側ターンバー２と反転ターンバー４とを側方から見た模式図である。
　これらの図に示すように、本実施形態の帯状体搬送装置１Ａにおいては、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４の各々が異なる回動角度で回動され、さらに反転ターンバー４が傾動される。これにより、帯状体Ｗをさらに幅方向に移動させることができる。なお、本実施形態において、下流側ターンバー２の回動角度をα、上流側ターンバー３の回動角度をβ、反転ターンバー４の回動角度をγ１、反転ターンバー４の傾動角度をγ２とする。
　図９は、本実施形態の帯状体搬送装置１Ａにおいて、フィードバック制御のみにより制御を行う場合の制御系統図である。なお、説明の便宜上、図９においては、反転アクチュエータ７と反転ターンバー４とを各々２つずつ図示しているが、これらはいずれも同一のものである。図９に示すように、本実施形態の帯状体搬送装置１Ａでは、制御部１０は、目標値設定部１０ｈと、減算器１０ｉと、フィードバック演算部１０ｊと、減算器１０ｋと、加算器１０ｍとをさらに備える。
　目標値設定部１０ｈは、下流側ターンバー２を通過した後の帯状体Ｗのエッジ位置（図７の手前側のエッジの位置）の目標値を設定する。目標値設定部１０ｈは、予め記憶された値あるいは外部より入力される値を、目標値として設定する。減算器１０ｉは、第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果（第２下流側エッジセンサ８ｂの検出結果でも良い）と目標値設定部１０ｈで設定された目標値との差分を計算する。フィードバック演算部１０ｊは、減算器１０ｉで算出された第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果と目標値設定部１０ｈで設定された目標値との差分に基づいて例えばＰＩＤ処理を行い、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４との回動角度を算出する。
　減算器１０ｋは、フィードバック演算部１０ｊで算出された回動角度と、上記第１実施形態で説明したフィードバック演算部１０ｃで算出された回動角度との差分を算出し、回動角度βとして上流側アクチュエータ６に入力する。また、加算器１０ｍは、フィードバック演算部１０ｊで算出された回動角度と、上記第１実施形態で説明したフィードバック演算部１０ｃで算出された回動角度とを加算して回動角度αとして下流側アクチュエータ５に入力する。なお、フィードバック演算部１０ｊで算出された回動角度は、回動角度γ１として反転アクチュエータ７に入力される。また、上記第１実施形態で説明したフィードバック演算部１０ｃで算出された傾動角度も傾動角度γ２として反転アクチュエータ７に入力される。
　このようにして制御部１０によって算出された回動角度及び傾動角度に基づいて、下流側アクチュエータ５と、上流側アクチュエータ６と、反転アクチュエータ７との制御が行われ、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４とが回動される。
　このような本実施形態の帯状体搬送装置１Ａにおいては、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４を回動あるいは傾動させるのみで帯状体Ｗの傾き及び位置を修正することができる。このため、外力を加えて帯状体Ｗの傾き及び位置を修正する場合と比較して、帯状体Ｗを低張力で搬送することができ、帯状体Ｗに過大な応力を発生させることがない。すなわち、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４よりも上流側の帯状体Ｗが、基準となる方向及び位置に対してどの程度傾いているかまたは変位しているかに関わらず、下流側ターンバー２、上流側ターンバー３及び反転ターンバー４よりも下流側の帯状体Ｗを、帯状体Ｗに過大な応力が掛かることなく、目標の方向及び位置に向けて搬送することができる。例えば、帯状体搬送装置１Ａよりもさらに下流側に、帯状体Ｗに対する加工を行うエリアがある場合、下流側の帯状体Ｗを、一定の方向に搬送し、加工位置からずれないよう、加工位置に向かって適切な角度及び位置で搬入させることができる。
　このような本実施形態の帯状体搬送装置１Ａによれば、図７に示すように、帯状体Ｗが上流側ターンバー３に沿って大きく螺旋状に捩られ、上流側ターンバー３を通過した後の帯状体Ｗの走行方向を、上流側ターンバー３に供給される前の帯状体Ｗの法線に対して帯状体Ｗの幅方向に大きく傾けることができる。上流側ターンバー３によって走行方向が傾いた帯状体Ｗは、反転ターンバー４によって走行方向が反転され、上流側ターンバー３に供給される前の帯状体Ｗの法線に対して走行方向が大きく傾いたまま下流側ターンバー２に到達する。下流側ターンバー２では、上流側ターンバー３と反対方向に帯状体Ｗが螺旋状に捩られ、帯状体Ｗの捩れが解消される。ここで、帯状体Ｗは、上流側ターンバー３から下流側ターンバー２に到達するまでの間、上流側ターンバー３に供給される前の帯状体Ｗの法線に対して傾いた状態で走行する。この結果、下流側ターンバー２を通過した後の帯状体Ｗの部位が、上流側ターンバー３に供給される前の帯状体Ｗの部位に対して、帯状体Ｗの幅方向に移動される。なお、帯状体Ｗの幅方向の位置について、下流側では第１下流側エッジセンサ８ａで計測し、上流側では第１上流側エッジセンサ９ａで計測する。
　図１０は、本実施形態の帯状体搬送装置１Ａにおいて、フィードバック制御に加えてフィードフォワード制御を行う場合の制御系統図である。図１０に示すように、フィードバック制御に加えてフィードフォワード制御を行う場合には、制御部１０は、フィードフォワード演算部１０ｎと、加算器１０ｏとをさらに備える。
　フィードフォワード演算部１０ｎは、第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果（第２下流側エッジセンサ８ｂの検出結果でも良い）と第１上流側エッジセンサ９ａ（第２上流側エッジセンサ９ｂの検出結果でも良い）の検出結果とに基づいて回動角度を算出する。
　加算器１０ｏは、フィードバック演算部１０ｊで算出された回動角度とフィードフォワード演算部１０ｎで算出された回動角度とを加算する。また、本制御系統では、減算器１０ｋは、加算器１０ｏで得られた算出結果と、上記第１実施形態で説明した加算器１０ｆで得られた算出結果との差分を算出し、回動角度βとして上流側アクチュエータ６に入力する。また、加算器１０ｍは、加算器１０ｏで得られた算出結果と、上記第１実施形態で説明した加算器１０ｆで得られた算出結果とを加算し、回動角度αとして下流側アクチュエータ５に入力する。なお、加算器１０ｏで得られた算出結果は、回動角度γ１として反転アクチュエータ７に入力される。また、加算器１０ｆは、フィードバック演算部１０ｃで算出された傾動角度とフィードフォワード演算部１０ｅで算出された傾動角度とを加算し、傾動角度γ２として反転アクチュエータ７に入力する。このような制御によれば、フィードバック制御のみを行う場合よりも応答性能を向上させることが可能となる。
　図１１は、図７に示す本実施形態の帯状体搬送装置１Ａにおける帯状体Ｗの上流側と下流側との傾斜角度Δθと、回動角度α、回動角度β及び回動角度γ１との関係、及び、帯状体Ｗの上流側と下流側とエッジ位置の移動量Δｈと、回動角度α、回動角度β及び回動角度γ１との関係との関係を示す展開図である。なお、図１１において、軸芯Ｌｃと直線ＬＡとの交点をＡ”とし、軸芯Ｌｃと直線ＬＢとの交点をＢ”としている。なお、点Ａから点Ａ”までの距離と、点Ａ”から点Ｂまでの距離は等しい。また、点Ａ’から点Ｂ”までの距離と、点Ｂ”から点Ｂ’までの距離は等しい。
　図１１から分かるように、移動量Δｈは、下式（５）で示すことができる。また、傾斜角度Δθは、下式（６）で示すことができる。さらに、回動角度αと回動角度βとが十分に小さい場合には下式（７）及び下式（８）を得ることができる。例えば、これらの式に基づいて、制御部１０は、回動角度α、回動角度β及び回動角度γ１を算出することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
　また、反転ターンバー４ａの回動角度γ１は、下式（９）に基づき、第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果ｙ１と、第１上流側エッジセンサ９ａの検出結果ｙ３と、図６における点Ａから点Ｂまでの経路長Ｌとを用いて決定することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
　また、上流側ターンバー３の回動角度αは、下式（１０）に基づき、第１下流側エッジセンサ８ａの検出結果ｙ１と、第１上流側エッジセンサ９ａの検出結果ｙ３と、図６における点Ａから点Ｂまでの経路長Ｌと、下流側傾角θ１と、上流側傾角θ２とを用いて決定することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
　また、下流側ターンバー４の回動角度βは、下式（１１）に基づき、上流側ターンバー３の回動角度αと、図６に示す回動角度θとを用いて決定することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000011
　さらに、下流側ターンバー２と上流側ターンバー３とを帯状体Ｗの幅方向の修正のみに用い、反転ターンバー４を帯状体Ｗの幅方向の修正及び傾きの修正に用いる場合には、下式（１２）及び下式（１３）に基づいて、回動角度αと、回動角度βと、回動角度γ１と、回動角度γ２とを決定する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000012
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000013
　以上、図面を参照しながら本開示の好適な実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本開示の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
　例えば、上記実施形態においては、本開示の非接触案内部として、下流側ターンバー２と、上流側ターンバー３と、反転ターンバー４とを備える。しかしながら、本開示はこれに限定されるものではなく、棒状ではない他の形状の非接触案内部を備えてもよい。この場合、全ての非接触案内部が同一形状である必要はない。
　また、非接触案内部を２つのみあるいは４つ以上（複数）備えてもよい。また、非接触案内部を３つ以上備える場合には、これらの全ての非接触案内部を回動させる必要はなく、１つの非接触案内部を移動させて、帯状体Ｗの幅方向の一方のエッジが通る経路長と幅方向の他方のエッジが通る経路長とが異なるようにすれば良い。
　また、上記実施形態においては、下流側エッジセンサユニット８及び上流側エッジセンサユニット９を備える。しかしながら、帯状体Ｗのエッジ位置を検出可能なセンサであれば、センサの配置箇所及び設置数は、上記実施形態に限定されるものではない。
　また、上記実施形態においては、流体を噴出することによって帯状体Ｗを非接触支持する。しかしながら、本開示はこれに限定されるものではなく、例えば磁力や静電気力によって帯状体Ｗを非接触支持してもよい。
　上記実施形態における帯状体Ｗは、例えば、ガラス、セラミック、又はシリコン等の脆性材料からなる帯状体であってもよく、また、有機材料等のフィルムであってもよい。ガラスからなる帯状体の場合、厚みが例えば０．２ｍｍ以下の、極薄ガラスであってもよい。
　また、上記実施形態においては、帯状体Ｗの主たる搬送方向が水平方向である構成について説明した。しかしながら、本開示はこれに限定されるものではなく、上記実施形態の装置構成の全体を傾ける等により、帯状体Ｗの主たる搬送方向を水平方向以外の方向としてもよい。
　また、上記実施形態において、制御部１０は、フィードバック制御、あるいは、フィードバック制御と共にフィードフォワード制御を行っている。しかしながら、本開示はこれに限定されるものではなく、制御部１０がフィードフォワード制御のみを行ってもよい。
　本開示によれば、帯状体を非接触で支持しつつ搬送する帯状体搬送装置において、帯状体の下流側の部位に対して帯状体の上流側の部位が、帯状体の表面の法線方向から見て傾いている場合であっても、帯状体にストレスが掛かることを防止することができる。
１　帯状体搬送装置
１Ａ　帯状体搬送装置
２　下流側ターンバー（非接触案内部）
２ａ　非接触支持面
３　上流側ターンバー（非接触案内部）
３ａ　非接触支持面
４　反転ターンバー（非接触案内部）
４ａ　非接触支持面
５　下流側アクチュエータ（駆動部）
６　上流側アクチュエータ（駆動部）
７　反転アクチュエータ（駆動部）
８　下流側エッジセンサユニット
８ａ　第１下流側エッジセンサ
８ｂ　第２下流側エッジセンサ
９　上流側エッジセンサユニット
９ａ　第１上流側エッジセンサ
９ｂ　第２上流側エッジセンサ
１０　制御部
１０ａ　目標値設定部
１０ｂ　減算器
１０ｃ　フィードバック演算部
１０ｄ　下流側傾角算出部
１０ｅ　フィードフォワード演算部
１０ｆ　加算器
１０ｇ　上流側傾角算出部
１０ｈ　目標値設定部
１０ｉ　減算器
１０ｊ　フィードバック演算部
１０ｋ　減算器
１０ｍ　加算器
１０ｎ　フィードフォワード演算部
１０ｏ　加算器
Ｗ　帯状体

Claims (5)

  1. 　帯状体を搬送する帯状体搬送装置であって、
    　前記帯状体の一部が掛け回され、前記帯状体を非接触支持する複数の非接触案内部と、
    　前記複数の非接触案内部のうち少なくとも１つの非接触案内部を移動させる駆動部と、
    　前記帯状体の幅方向における第１のエッジが通る経路長と、前記幅方向における前記第１のエッジと反対側の第２のエッジが通る経路長とが異なるように前記非接触案内部を前記駆動部により移動させる制御部と、
    　を備える帯状体搬送装置。
  2. 　前記複数の非接触案内部は、
    　前記複数の非接触案内部のうち前記帯状体の走行方向の最も上流側に配置され、前記帯状体の走行方向を変更する上流側ターンバーと、
    　前記複数の非接触案内部のうち前記帯状体の走行方向の最も下流側に配置され、前記帯状体の厚み方向における位置を前記上流側ターンバーに供給される前の位置に合わせる下流側ターンバーと、
    　前記上流側ターンバーによって変更された前記帯状体の走行方向を前記下流側ターンバーに向けて反転する反転ターンバーと、
    　を備える請求項１記載の帯状体搬送装置。
  3. 　前記上流側ターンバーと前記下流側ターンバーとが、前記複数の非接触案内部に供給される前における前記帯状体の表面の垂線に沿う方向から見て、反対方向に回動される請求項２記載の帯状体搬送装置。
  4. 　前記上流側ターンバーよりも上流側に配置され、前記帯状体のエッジの傾きを検出する上流側エッジセンサユニットと、
    　前記下流側ターンバーよりも下流側に配置され、前記帯状体のエッジの傾きを検出する下流側エッジセンサユニットと、
    　をさらに備え、
    　前記制御部は、前記上流側エッジセンサユニットの検出結果と前記下流側エッジセンサユニットの検出結果との少なくともいずれか１つに基づいて前記駆動部を制御する
    　請求項２記載の帯状体搬送装置。
  5. 　前記上流側ターンバーよりも上流側に配置され、前記帯状体のエッジの傾きを検出する上流側エッジセンサユニットと、
    　前記下流側ターンバーよりも下流側に配置され、前記帯状体のエッジの傾きを検出する下流側エッジセンサユニットと、
    　をさらに備え、
    　前記制御部は、前記上流側エッジセンサユニットの検出結果と前記下流側エッジセンサユニットの検出結果との少なくともいずれか１つに基づいて前記駆動部を制御する
    　請求項３記載の帯状体搬送装置。
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