TW201731753A - 帶狀體搬送裝置 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種搬送帶狀體(W)之帶狀體搬送裝置(1)，係具備：複數個非接觸導引部(2、3、4)，係掛繞有帶狀體之一部分，且以非接觸之方式支撐帶狀體；驅動部(5、6、7)，係使複數個非接觸導引部中之至少一個非接觸導引部移動；以及控制部(10)，係以使供帶狀體之寬度方向之第1邊緣通過之路徑長度與供寬度方向之第2邊緣通過之路徑長度不同之方式，藉由驅動部使非接觸導引部移動。

Description

帶狀體搬送裝置

本發明係關於一種帶狀體搬送裝置。

本案係依據2016年3月4日在日本申請之特願2016-042695號主張優先權，在此援用其內容。

如專利文獻1所示，習知有一種用以搬送具備非接觸式之轉向桿之鋁製之帶狀之帶狀材(web)的搬送裝置。在該種搬送裝置中，藉由將流體從轉向桿噴出至帶狀材，而以非接觸之方式支撐帶狀材。

專利文獻1之搬送裝置係為了調整被搬送之帶狀材的中心位置，且容易且高精確度地進行搬送帶狀材時之帶狀材的定心，而具備變更轉向桿之位置的轉向桿調整手段。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本國特開2007-70084號公報

然而，當對從多重地捲繞有帶狀體之輥體 所送出之帶狀體進行加工等時，加工位置之帶狀體的位置精確度較為重要。因此，加工位置之帶狀體的位置係固定在由規制手段等所預設之位置。另一方面，會有因將帶狀體捲繞於輥體時之帶狀體的捲繞精確度，或將帶狀體搬送至加工位置時之帶狀體的位置偏離等，造成比加工位置更上游側之帶狀體的位置晃動之情形。結果，會有帶狀體在包含表面之面內傾斜，且在帶狀體之途中部位局部地產生應力，而在帶狀體發生變形等之可能性。特別是，近年來會有搬送極薄且可彎曲之由玻璃所構成之帶狀體的情形。此時，必須比以往更避免施加於帶狀體之應力。

為了防止該帶狀體之變形等，即使於帶狀體之表面的面內，上游側的部位相對於帶狀體之下游側的部位傾斜時，亦必須在不會對帶狀體施加應力之狀態下導引帶狀體。然而，在專利文獻1所揭示之搬送裝置中，完全未考慮帶狀體之下游側被固定之情形，且在從帶狀體之表面的垂線方向觀看帶狀體傾斜時，亦未考慮使施加在帶狀體之應力減低。

本發明係鑑於上述之問題點而研創者，其目的在於：在以非接觸之方式支撐帶狀體並予以搬送之帶狀體搬送裝置中，即使為上游側的部位相對於帶狀體之下游側的部位係在從帶狀體之表面的法線方向觀看時為傾斜之情形，亦防止對帶狀體施加較大之應力。

本發明之一態樣之搬送帶狀體之帶狀體搬 送裝置係具備：複數個非接觸導引部，係掛繞有前述帶狀體之一部分，且以非接觸之方式支撐前述帶狀體；驅動部，係使前述複數個非接觸導引部中之至少一個非接觸導引部移動；以及控制部，係以使供前述帶狀體之寬度方向之第1邊緣通過之路徑長度、與供與前述寬度方向之前述第1邊緣相反側之第2邊緣通過之路徑長度不同之方式，藉由前述驅動部使前述非接觸導引部移動。

依據本發明，在以非接觸之方式支撐帶狀體並予以搬送之帶狀體搬送裝置中，即使為上游側的部位相對於帶狀體之下游側的部位係在從帶狀體之表面的法線方向觀看時為傾斜之情形，亦可防止對帶狀體施加較大之應力。

1‧‧‧帶狀體搬送裝置

1A‧‧‧帶狀體搬送裝置

2‧‧‧下游側轉向桿(非接觸導引部)

2a‧‧‧非接觸支撐面

3‧‧‧上游側轉向桿(非接觸導引部)

3a‧‧‧非接觸支撐面

4‧‧‧反轉轉向桿(非接觸導引部)

4a‧‧‧非接觸支撐面

5‧‧‧下游側致動器(驅動部)

6‧‧‧上游側致動器(驅動部)

7‧‧‧反轉致動器(驅動部)

8‧‧‧下游側邊緣感測器單元

8a‧‧‧第1下游側邊緣感測器

8b‧‧‧第2下游側邊緣感測器

9‧‧‧上游側邊緣感測器單元

9a‧‧‧第1上游側邊緣感測器

9b‧‧‧第2上游側邊緣感測器

10‧‧‧控制部

10a‧‧‧目標值設定部

10b‧‧‧減算器

10c‧‧‧回授演算部

10d‧‧‧下游側傾斜角算出部

10e‧‧‧前饋演算部

10f‧‧‧加算器

10g‧‧‧上游側傾斜角算出部

10h‧‧‧目標值設定部

10i‧‧‧減算器

10j‧‧‧回授演算部

10k‧‧‧減算器

10m‧‧‧加算器

10n‧‧‧前饋演算部

10o‧‧‧加算器

W‧‧‧帶狀體

第1圖係示意性顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的側面圖。

第2圖係示意性顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的立體圖。

第3A圖係從上方觀看本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置所具備之下游側轉向桿、上游側轉向桿及反轉轉向桿之示意圖。

第3B圖係從側方觀看本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置所具備之下游側轉向桿及反轉轉向桿之示意圖。

第4圖係在本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置中，僅藉由回授控制而進行控制時之控制系統圖。

第5圖係在本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置中，除了進行回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。

第6圖係顯示本發明第1實施形態之帶狀體搬送裝置的傾斜角度、與下游側轉向桿、上游側轉向桿及反轉轉向桿之轉動角度之關係的展開圖。

第7圖係示意性顯示本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的立體圖。

第8A圖係從上方觀看本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置所具備之下游側轉向桿、上游側轉向桿及反轉轉向桿之示意圖。

第8B圖係從側方觀看本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置所具備之下游側轉向桿及反轉轉向桿之示意圖。

第9圖係在本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置中，僅藉由回授控制而進行控制時之控制系統圖。

第10圖係在本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置中，除了進行回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。

第11圖係顯示本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置的傾斜角度及移動量、與下游側轉向桿、上游側轉向桿及反轉轉向桿之轉動角度之關係的展開圖。

(第1實施形態)

第1圖係示意性顯示本實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的側面圖。第2圖係示意性顯示本實施形態之帶狀體搬送裝置之概略構成的立體圖。此外，在第1圖中，圖示後述之下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯相對於帶狀體W之寬度方向平行的狀態。此外，在第2圖中，圖示下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯相對於帶狀體W之寬度方向傾斜的狀態。

如第1圖及第2圖所示，帶狀體搬送裝置1係具備：下游側轉向桿2(非接觸導引部)；上游側轉向桿3(非接觸導引部)；反轉轉向桿4(非接觸導引部)；下游側致動器5；上游側致動器6；反轉致動器7；下游側邊緣感測器單元8；上游側邊緣感測器單元9；以及控制部10。此外，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，將帶狀體W從第1圖及第2圖之右側搬送至左側。亦即，在本實施形態中，如第1圖及第2圖之箭頭所示，第1圖及第2圖中之左方向係設為帶狀體W之主要的搬送方向。此外，將第1圖及第2圖中之右側設為搬送方向之上游側，將第1圖及第2圖中之左側設為搬送方向之下游側。然而，在帶狀體W朝主要之搬送方向搬送之期間，變更帶狀體W之行進方向。

下游側轉向桿2係具有沿著中心角設為90°之圓弧之周面的中空之棒狀構件。下游側轉向桿2係配置 在下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4中之帶狀體W之行進方向的最下游側。下游側轉向桿2係如第1圖所示，以使下游側轉向桿2之軸芯La朝水準方向延伸之方式，藉由未圖示之支撐部而可移動地被支撐。再者，下游側轉向桿2係配置成使下游側轉向桿2之周面朝上游側轉向桿3側且為下側之姿勢。在下游側轉向桿2之周面，設置有未圖示之複數個貫通孔，且從未圖示之流體供給部供給至下游側轉向桿2之內部的流體會由貫通孔噴出。如此，藉由使從貫通孔噴射之流體朝帶狀體W噴射，帶狀體W會以非接觸之方式支撐在下游側轉向桿2。亦即，下游側轉向桿2之周面係作為以非接觸之方式支撐帶狀體W的非接觸支撐面2a發揮功能。

下游側轉向桿2係藉由從上方被供給之帶狀體W的一部分沿著非接觸支撐面2a而掛繞在第1圖中之順時針方向，藉此以使帶狀體W之行進方向變更90°之方式導引帶狀體W。在本實施形態中，藉由下游側轉向桿2而被導引之帶狀體W係在到達下游側轉向桿2之前，以表背面成為垂直之姿勢行進，且在通過下游側轉向桿2之後，以表背面成為水準之姿勢行進。下游側轉向桿2係使帶狀體W之垂直方向之位置(亦即，在帶狀體W之厚度方向的位置)對合於供給至上游側轉向桿3之前的位置。

上游側轉向桿3係與下游側轉向桿2同樣地，具有沿著中心角設為90°之圓弧之周面的中空之棒狀構件。上游側轉向桿3係配置在下游側轉向桿2、上游側 轉向桿3及反轉轉向桿4中之帶狀體W的行進方向之最上游側。上游側轉向桿3係配置成與下游側轉向桿2相同之高度。上游側轉向桿3係以在基準姿勢下使上游側轉向桿3之軸芯Lb與下游側轉向桿2之軸芯La平行的方式，藉由未圖示之支撐部而可移動地被支撐。再者，上游側轉向桿3係以使上游側轉向桿3之周面成為朝下游側轉向桿2側且為下側之姿勢的方式配置。在上游側轉向桿3之周面，與下游側轉向桿2之周面同樣地，設置有未圖示之複數個貫通孔，且從未圖示之流體供給部供給至上游側轉向桿3之內部的流體會由貫通孔噴出。如此，藉由使從貫通孔所噴射之流體朝帶狀體W噴射，帶狀體W會以非接觸之方式支撐在上游側轉向桿3。亦即，上游側轉向桿3之周面係作為以非接觸之方式支撐帶狀體W之非接觸支撐面3a發揮功能。

上游側轉向桿3係藉由將從水準方向供給之帶狀體W的一部分沿著非接觸支撐面3a掛繞在第1圖中之順時針方向，藉此以將帶狀體W之行進方向變更90°之方式導引帶狀體W。在本實施形態中，藉由上游側轉向桿3所導引之帶狀體W，係在到達上游側轉向桿3之前以表背面成為水準之姿勢行進，且在通過上游側轉向桿3之後，以表背面成為垂直之姿勢行進。

反轉轉向桿4係從水準方向觀看，配置在下游側轉向桿2與上游側轉向桿3之上方，從垂直方向觀看係配置在下游側轉向桿2與上游側轉向桿3之間。反轉轉 向桿4係為具有沿著中心角設為180°之圓弧之周面的中空之棒狀構件。反轉轉向桿4係以在基準姿勢下使反轉轉向桿4之軸芯Lc與下游側轉向桿2之軸芯La及上游側轉向桿3之軸芯Lb平行的方式，藉由未圖示之支撐部而可移動地支撐。再者，反轉轉向桿4係以使反轉轉向桿4之周面朝向上方之方式配置。在反轉轉向桿4之周面，與下游側轉向桿2之周面及上游側轉向桿3之周面同樣地，設置有未圖示之複數個貫通孔，且從未圖示之流體供給部供給至反轉轉向桿4之內部的流體會由貫通孔噴出。如此，藉由使從貫通孔所噴射之流體朝帶狀體W噴射，帶狀體W會以非接觸之方式支撐在反轉轉向桿4。亦即，反轉轉向桿4之周面係作為以非接觸之方式支撐帶狀體W之非接觸支撐面4a發揮功能。

反轉轉向桿4係藉由使通過上游側轉向桿3而從下方供給之帶狀體W的一部分沿著非接觸支撐面4a往第1圖中之逆時針方向掛繞，而以將帶狀體W之行進方向變更180°之方式導引帶狀體W。反轉轉向桿4係使藉由上游側轉向桿3而變更方向之帶狀體W的行進方向朝下游側轉向桿2反轉。在本實施形態中，藉由反轉轉向桿4所導引之帶狀體W係在到達反轉轉向桿4之前及通過反轉轉向桿4之後，使行進方向反轉180°。

下游側致動器5係透過未圖示之傳達機構而與下游側轉向桿2連接，並使下游側轉向桿2轉動(移動)。第3A圖係從上方(供給至非接觸導引部之前沿著帶狀 體之表面之垂線的方向)觀看下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之示意圖。在本實施形態中，下游側轉向桿2係藉由下游側致動器5，如第3A圖所示，以沿著下游側轉向桿2之軸芯La的方向之中心位置O1為中心，在水平面內轉動。

上游側致動器6係透過未圖示之傳達機構而與上游側轉向桿3連接，且使上游側轉向桿3轉動(移動)。在本實施形態中，上游側轉向桿3係藉由上游側致動器6，如第3A圖所示，以沿著上游側轉向桿3之軸芯Lb的方向之中心位置O2為中心在水平面內轉動。

反轉致動器7係透過未圖示之傳達機構而與反轉轉向桿4連接，且使反轉轉向桿4轉動(移動)。在本實施形態中，反轉轉向桿4係藉由反轉致動器7，如第3A圖所示，以沿著反轉轉向桿4之軸芯Lc的方向之中心位置O3為中心，在水平面內轉動。第3B圖係從側方觀看下游側轉向桿2、反轉轉向桿4之示意圖。反轉致動器7係進一步如第3B圖所示，以使反轉轉向桿4之前端部上下移動之方式，以中心位置O3為中心使反轉轉向桿4在垂直面內傾動(移動)。

在此，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，以使帶狀體W之寬度方向的一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之路徑長度不同的方式，使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4轉動或傾動。在控制部10的控制之下，例如第3A圖所示， 使下游側轉向桿2朝逆時針方向以轉動角度θ轉動，且使上游側轉向桿3及反轉轉向桿4朝順時針方向以轉動角度θ轉動。或者，在控制部10的控制之下，例如第3B圖所示，僅使反轉轉向桿4以傾動角度θ’傾動。如此，藉由使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4轉動或傾動，在帶狀體W之寬度方向的一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之路徑長度不同的狀態下可搬送帶狀體W。

如此，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4係可在水平面內轉動。此外，反轉轉向桿4係可在垂直面內傾動。並且，本實施形態之帶狀體搬送裝置1係具備下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7作為驅動部，該驅動部係在控制部10的控制之下，以使帶狀體W之寬度方向之一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之路徑長度不同的方式，使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4轉動或傾動。亦即，在本實施形態中，本發明之驅動部係由下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7所構成。

下游側邊緣感測器單元8係具備第1下游側邊緣感測器8a、及第2下游側邊緣感測器8b。第1下游側邊緣感測器8a及第2下游側邊緣感測器8b係在下游側轉向桿2之更下游側朝帶狀體W之行進方向分離而配置。第1下游側邊緣感測器8a及第2下游側邊緣感測器8b係檢 測出通過下游側轉向桿2之帶狀體W之寬度方向的一方側(在本實施形態中為第1圖及第2圖之正前側)之邊緣位置。上游側邊緣感測器單元9係具備：第1上游側邊緣感測器9a、及第2上游側邊緣感測器9b。第1上游側邊緣感測器9a及第2上游側邊緣感測器9b係在上游側轉向桿3之更上游側朝帶狀體W之行進方向分離而配置。第1上游側邊緣感測器9a及第2上游側邊緣感測器9b係檢測出到達上游側轉向桿3之前的帶狀體W之寬度方向的一方側(在本實施形態中為第1圖及第2圖之正前側)的邊緣位置。第1下游側邊緣感測器8a、第2下游側邊緣感測器8b、第1上游側邊緣感測器9a及第2上游側邊緣感測器9b亦可採用例如雷射式之邊緣感測器。第1下游側邊緣感測器8a、第2下游側邊緣感測器8b、第1上游側邊緣感測器9a及第2上游側邊緣感測器9b係與控制部10電性連接，並將檢測結果朝控制部10輸出。

控制部10係依據第1下游側邊緣感測器8a、第2下游側邊緣感測器8b、第1上游側邊緣感測器9a及第2上游側邊緣感測器9b之至少任一個檢測結果，算出下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、與反轉轉向桿4之轉動角度θ，並算出反轉轉向桿4之傾動角度θ’。此外，在本實施形態中，轉動角度θ係指相對於俯視時之下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、反轉轉向桿4之基準姿勢的角度(軸芯之平擺方向的傾斜角)。再者，傾動角度θ’係指反轉轉向桿4之前端相對於上下之方向(垂直方向)的反轉轉向桿 4之基準姿勢的角度(軸芯之俯仰方向的傾斜角)。控制部10係依據轉動角度θ或傾動角度θ’來控制下游側致動器5、上游側致動器6、及反轉致動器7。

第4圖係在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，僅藉由回授控制而進行控制時之控制系統圖。如第4圖所示，在僅藉由回授控制來進行控制時，控制部10係具備目標值設定部10a、減算器10b、回授演算部10c、及下游側傾斜角算出部10d。目標值設定部10a係設定通過下游側轉向桿2後之帶狀體W的邊緣姿勢(第1圖及第2圖之正前側之邊緣姿勢)的目標值。目標值設定部10a係將預先記憶之值或由外部輸入之值設定作為目標值。減算器10b係計算由下游側傾斜角算出部10d輸入之下游側轉向桿2的更下游側之屬於帶狀體W之傾斜角的下游側傾斜角、與目標值之差分。回授演算部10c係依據由減算器10b所算出之下游側傾斜角與目標值之差分而進行例如PID處理，且算出下游側轉向桿2、與上游側轉向桿3之轉動角度θ。此外，下游側傾斜角算出部10d係由第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果及第2下游側邊緣感測器8b之檢測結果，來算出下游側轉向桿2之更下游側的帶狀體W之傾斜角(下游側傾斜角)。

如上所述，依據由控制部10所算出之轉動角度θ，例如下游側致動器5係使下游側轉向桿2以轉動角度θ朝逆時針方向轉動，上游側致動器6係使上游側轉向桿3以轉動角度θ朝順時針方向轉動，反轉致動器7係 以使反轉轉向桿4以轉動角度θ朝順時針方向轉動。

如此，當使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4轉動時，在帶狀體W之寬度方向的一方邊緣側，下游側轉向桿2與上游側轉向桿3會相接近，在帶狀體W之寬度方向的另一方邊緣側，下游側轉向桿2與上游側轉向桿3會相遠離。藉此，帶狀體W之寬度方向的一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之路徑長度會不同。如此，當帶狀體W之寬度方向的一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之路徑長度不同時，如第2圖所示，帶狀體W係以不會撓曲而使表面彎曲之方式連續地變形，而可使帶狀體W之下游側的部位與上游側之部位傾斜。因此，在對帶狀體W不會施加較大應力之情形下，帶狀體W可在包含表面之面內傾斜。

接著，帶狀體W的邊緣位置會在第1下游側邊緣感測器8a及第2下游側邊緣感測器8b被檢測出，藉由將該檢測結果輸入至控制部10，在本控制系統中，連續地進行回授控制。

在此，下游側傾斜角θ 1係例如可由下式(1)來算出。再者，上游側轉向桿3之更上游側之帶狀體W之傾斜角的上游側傾斜角θ 2係可藉由例如下式(2)來算出。在此，轉動角度θ之範圍係弧度角度-π~π，且當θ>0時，帶狀體W會從基準姿勢朝第6圖中之順時針方向旋轉，當θ<0時，帶狀體W會從基準姿勢朝第6圖之逆時針方向 旋轉。

此外，在下式(1)中，y1係顯示第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果，y2係顯示第2下游側邊緣感測器8b之檢測結果，L1係顯示第1下游側邊緣感測器8a與第2下游側邊緣感測器8b之隔開距離。再者，在下式(2)中，y3係顯示第1上游側邊緣感測器9a之檢測結果，y4係顯示第2上游側邊緣感測器9b之檢測結果，L2係顯示第1上游側邊緣感測器9a與第2上游側邊緣感測器9b之隔開距離。然而，邊緣感測器(第1下游側邊緣感測器8a、第2下游側邊緣感測器8b、第1上游側邊緣感測器9a及第2上游側邊緣感測器9b)之值，係將第2圖之帶狀體W之寬度方向的另一方側(第1圖及第2圖之深側)設為正。

[數學式1]θ 1=tan ^-1 ((y1-y2)/L1)‧‧‧(1)

[數學式2]θ 2=tan ^-1 ((y3-y4)/L2)‧‧‧(2)

第5圖係在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，除了進行回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系統圖。如第5圖所示，除了回授控制之外亦進行前饋控制時，控制部10係除了具備目標值設定部10a、減算器10b、回授演算部10c、下游側傾斜角算出部10d之外，亦具備前饋演算部10e、加算器10f、上游側傾斜角算出部10g。

前饋演算部10e係依據由下游側傾斜角算出部10d所算出之下游側傾斜角θ 1、及由上游側傾斜角算出部10g所算出之上游側傾斜角θ 2來算出轉動角度θ。

此外，上游側傾斜角算出部10g係由第1上游側邊緣感測器9a之檢測結果及第2上游側邊緣感測器9b之檢測結果，來算出上游側轉向桿3之更上游側之帶狀體W的傾斜角(上游側傾斜角θ 2)。再者，加算器10f係進行由回授演算部10c所算出之轉動角度θ及由前饋演算部10e所算出之轉動角度θ的相加，藉此求出輸入至下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7之轉動角度。

依據第5圖所示之構成，可比僅進行回授控制之情形更加提升反應性能。

第6圖係顯示本實施形態之帶狀體搬送裝置1中之帶狀體W的上游側及下游側之傾斜角度△θ、與下游側轉向桿2、上游側轉向桿3之轉動角度θ的關係之第2圖的展開圖。如第6圖所示，將下游側轉向桿2之軸芯La的轉動角度設為-θ，將上游側轉向桿3之軸芯Lb的轉動角度設為θ，將與供給至下游側轉向桿2之前的帶狀體W之一方側之邊緣重疊的直線設為直線LA，將與供給至下游側轉向桿2之前的帶狀體W之另一方側的邊緣重疊之直線設為直線LB，將軸芯La與直線LA之交點設為點A，將軸芯Lb與直線LA之交點設為點B，將軸芯La與直線LB之交點設為點A’，將軸芯Lb與直線LB之交點設為點B’，從點A至點B為止之路徑長度設為L，將從點A’ 至點B’為止之路徑長度設為L’。當使AA’朝水準方向平行移動至上游側，且點A與點B重疊時，A’係成為B”之位置，傾斜角度△θ(∠ B”BB’)係可藉由下式(3)來顯示。

[數學式3]△θ=2 θ=θ 2-θ 1‧‧‧(3)

例如，傾斜角度△θ係可依據第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果，第2下游側邊緣感測器8b之檢測結果而求出，控制部10係藉由利用式(2)而可算出轉動角度θ。

在以上之本實施形態的帶狀體搬送裝置1中，以帶狀體W之寬度方向的一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之路徑長度不同之方式，使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4轉動。在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，藉由下游側轉向桿2與上游側轉向桿3之轉動，因帶狀體W之上游側相對於下游側的傾斜而作用至帶狀體W之應力會減低。再者，藉由反轉轉向桿4，因第6圖中之AB與A’B’之路徑差，作用至帶狀體W之應力會減低。因此，帶狀體W係在不撓曲之情形下，以帶狀體W之表面彎曲之方式連續地變形，帶狀體W之下游側的部位與上游側之部位可傾斜。因此，在不會對帶狀體W施加大應力之情況下，帶狀體W可在包含表面之面內傾斜。因此，依據本實施形態之帶狀體搬送裝置1，即使在帶狀體W之上游側的部位相對於帶狀體 W之下游側的部位係從帶狀體W之表面的法線方向(在本實施形態中為垂直方向)觀看時為傾斜之情形，亦可防止對帶狀體W施加應力。

再者，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，僅使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4轉動或傾動，即可修正帶狀體W之傾斜。因此，與施加外力來修正帶狀體W之傾斜的情況相比較，能以低張力來搬送帶狀體W，且不會使帶狀體W產生過大之應力。亦即，比下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4更上游側的帶狀體W，不論相對於作為基準之方向傾斜何種程度，可在不會對帶狀體W施加過大之應力的情況下，使比下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4更下游側的帶狀體W朝所希望(目標)之方向(例如本實施形態之第1圖及第2圖中之主要搬送方向)搬送。例如，在比帶狀體搬送裝置1更下游側之處，在具有對帶狀體W進行加工(蝕刻等)的區域時，能以朝一定方向搬送且不會從加工位置偏離之方式，以適當之角度使下游側之帶狀體W朝加工位置搬入。

再者，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，利用棒狀之下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4來導引帶狀體W。因此，相較於利用非棒狀體之形狀的非接觸導引部來導引帶狀體W之情形時，可使非接觸導引部之形狀單純化，且可使裝置構成簡單化。

再者，本實施形態之帶狀體搬送裝置1係具 備第1下游側邊緣感測器8a、第2下游側邊緣感測器8b、第1上游側邊緣感測器9a、及第2上游側邊緣感測器9b，且具備控制部10，該控制部係依據第1下游側邊緣感測器8a、第2下游側邊緣感測器8b、第1上游側邊緣感測器9a、及第2上游側邊緣感測器9b之檢測結果，來控制下游側致動器5、上游側致動器6及反轉致動器7。因此，可自動且正確地調整帶狀體W之位置。

再者，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1中，以使下游側轉向桿2與上游側轉向桿3朝相反方向以轉動角度θ轉動。因此，可使令下游側轉向桿2及上游側轉向桿3轉動之控制簡單化。此外，亦可設置產生使下游側轉向桿2及上游側轉向桿3移動之動力的單一之致動器，利用連結機構將由該致動器所生成之動力傳達至下游側轉向桿2及上游側轉向桿3，藉此使下游側轉向桿2及上游側轉向桿3朝相反方向以轉動角度θ轉動。此時，可使裝置構成更簡單化。亦即，此時，可減少致動器之設置數。

此外，亦可在不使下游側轉向桿2與上游側轉向桿3轉動之情況下，僅使反轉轉向桿4傾斜移動。此時，回授演算部10c及前饋演算部10e係求出反轉轉向桿4之傾動角度θ’。傾動角度θ’係可藉由例如下式(4)而算出。此外，在下式(4)中，W係顯示帶狀體之寬度。

[數學式4] θ’=sin ^-1 ((L’-L)/2/W)=sin ^-1 ((2×W×tan θ)/2/W)=sin ^-1 (tan θ))≒θ‧‧‧(4)

(第2實施形態)

接著，針對本發明之第2實施形態，參照第7圖至第11圖加以說明。此外，在本實施形態之說明中，針對與上述第1實施形態相同之部分，省略或簡化其說明。

第7圖係示意性顯示本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置1A之概略構成的立體圖。此外，即使在本實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，帶狀體W會從第7圖之右側搬送至左側。亦即，在本實施形態中，如第7圖之箭頭所示，將第7圖中之左方向設為帶狀體W之主要搬送方向。再者，將第7圖中之右側設為搬送方向之上游側，將第7圖中之左側設為搬送方向之下游側。

此外，在第7圖中，圖示下游側轉向桿2之軸芯、上游側轉向桿3之軸芯及反轉轉向桿4之軸芯相對於帶狀體W之寬度方向傾斜之狀態。再者，第8A圖係從上方(沿供給至非接觸導引部之前的帶狀體之表面之垂線的方向)觀看下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之示意圖。此外，第8B圖係從側方觀看下游側轉向桿2與反轉轉向桿4之示意圖。

如該等圖所示，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4之各者係以不同之轉動角度轉動，且反轉轉向桿4 會傾斜移動。藉此，可使帶狀體W更朝寬度方向移動。此外，在本實施形態中，將下游側轉向桿2之轉動角度設為α，將上游側轉向桿3之轉動角度設為β，將反轉轉向桿4之轉動角度設為γ 1，將反轉轉向桿4之傾動角度設為γ 2。

第9圖係在本發明第2實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，僅藉由回授控制而進行控制時之控制系統圖。此外，在說明之方便上，在第9圖中，雖分別圖示2個反轉致動器7及反轉轉向桿4，但該等皆為相同者。如第9圖所示，在本實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，控制部10係更具備目標值設定部10h、減算器10i、回授演算部10j、減算器10k、及加算器10m。

目標值設定部10h係設定通過下游側轉向桿2之後的帶狀體W之邊緣位置(第7圖之正前側之邊緣位置)的目標值。目標值設定部10h係將由預先記憶之值或從外部輸入之值作為目標值加以設定。減算器10i係計算第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果(亦可為第2下游側邊緣感測器8b之檢測結果)及由目標值設定部10h所設定之目標值的差分。回授演算部10j係依據由減算器10i所算出之第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果及由目標值設定部10h所設定之目標值的差分來進行例如PID處理，並算出下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、與反轉轉向桿4之轉動角度。

減算器10k係算出由回授演算部10j所算出 之轉動角度、與在上述第1實施形態中所說明之回授演算部10c所算出之轉動角度的差分，並作為轉動角度β輸入至上游側致動器6。再者，加算器10m係將由回授演算部10j所算出之轉動角度與由在上述第1實施形態中所說明之回授演算部10c所算出之轉動角度加算而作為轉動角度α，並輸入至下游側致動器5。此外，由回授演算部10j所算出之轉動角度係作為轉動角度γ 1輸入至反轉致動器7。此外，在上述第1實施形態中所說明之回授演算部10c所算出之傾動角度亦作為傾動角度γ 2而輸入至反轉致動器7。

如此，依據由控制部10所算出之轉動角度及傾動角度，進行下游側致動器5、上游側致動器6、與反轉致動器7之控制，並使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4轉動。

在該種之本實施形態的帶狀體搬送裝置1A中，可僅藉由使下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4轉動或傾斜移動，即可修正帶狀體W之傾斜及位置。因此，與施加外力來修正帶狀體W之傾斜及位置之情形相比較，能以低張力搬送帶狀體W，且不會對帶狀體W產生過大之應力。亦即，不論比下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4更上游側的帶狀體W，相對於作為基準之方向及位置傾斜或變位何種程度，皆可在不對帶狀體W施加過大之應力的情況下，使比下游側轉向桿2、上游側轉向桿3及反轉轉向桿4更下游側之帶狀體W朝目 標之方向及位置搬送。例如，在比帶狀體搬送裝置1A更下游側之處，在具有對帶狀體W進行加工的區域時，能以朝一定方向搬送且不會從加工位置偏離之方式，以適當之角度使下游側之帶狀體W朝加工位置搬入。

依據該種之本實施形態的帶狀體搬送裝置1A，如第7圖所示，帶狀體W會沿著上游側轉向桿3大幅地扭曲成螺旋狀，且通過上游側轉向桿3後之帶狀體W的行進方向會相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之法線朝帶狀體W之寬度方向大幅傾斜。如此，行進方向因上游側轉向桿3而傾斜之帶狀體W，係在行進方向因反轉轉向桿4而反轉且行進方向相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之法線大幅傾斜之情形下，到達下游側轉向桿2。在下游側轉向桿2中，帶狀體W會朝與上游側轉向桿3相反之方向扭曲成螺旋狀，而解除帶狀體W之扭曲。在此，帶狀體W係從上游側轉向桿3到達下游側轉向桿2之期間，在相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之法線傾斜的狀態下行進。結果，通過下游側轉向桿2之後的帶狀體W之部位相對於供給至上游側轉向桿3之前的帶狀體W之部位，係朝寬度方向移動。此外，針對帶狀體W之寬度方向的位置，在下游側係以第1下游側邊緣感測器8a進行計測，在上游側係以第1上游側邊緣感測器9a進行計測。

第10圖係在本實施形態之帶狀體搬送裝置1A中，除了進行回授控制之外亦進行前饋控制時之控制系 統圖。如第10圖所示，除了進行回授控制亦進行前饋控制時，控制部10係更具備前饋演算部10n、及加算器10o。

前饋演算部10n係依據第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果(亦可為第2下游側邊緣感測器8b之檢測結果)及第1上游側邊緣感測器9a(亦可為第2上游側邊緣感測器9b之檢測結果)的檢測結果來算出轉動角度。

加算器10o係將由回授演算部10j所算出之轉動角度與由前饋演算部10n所算出之轉動角度予以相加。再者，在本控制系統中，減算器10k係算出由加算器10o所得之算出結果與在上述第1實施形態中所說明之加算器10f所得之算出結果的差分，作為轉動角度β輸入至上游側致動器6。再者，加算器10m係將由加算器10o所得之算出結果與由在上述第1實施形態中所說明之加算器10f所得的算出結果予以相加，而作為轉動角度α輸入至下游側致動器5。此外，由加算器10o所得之算出結果係作為轉動角度γ 1輸入至反轉致動器7。再者，加算器10f係將由回授演算部10c所算出之傾動角度與由前饋演算部10e所算出之傾動角度予以相加，且作為傾動角度γ 2輸入至反轉致動器7。依據該控制，可使比僅進行回授控制之情形更加提升反應性能。

第11圖係顯示第7圖所示之本實施形態帶狀體搬送裝置1A中之帶狀體W之上游側及下游側之傾斜角度△θ、與轉動角度α、轉動角度β及轉動角度γ 1之關係、及帶狀體W之上游側、下游側及邊緣位置之移動量 △h、與轉動角度α、轉動角度β及轉動角度γ 1之關係的展開圖。此外，在第11圖中，將軸芯Lc與直線LA之交點設為A”，將軸芯Lc與直線LB之交點設為B”。此外，從點A至點A”為止之距離與從點A”至點B為止之距離係相等。再者，從點A’至點B”為止之距離與從點B”至點B’為止之距離係相等。

由第11圖得知，移動量△h係能以下式(5)來表示。再者，傾斜角度△θ係能以下式(6)來表示。再者，在轉動角度α及轉動角度β充分小之情形時，可得下式(7)及下式(8)。例如，依據該等之式，控制部10係可算出轉動角度α、轉動角度β及轉動角度γ 1。

[數學式5]△h=L”×sin γ 1×cos γ 1≒L×sin γ 1×cos γ 1≒L×sin γ 1‧‧‧(5)

[數學式6]△θ=α-β=2 θ=(θ 2-θ 1)‧‧‧(6)

[數學式7]L”=L-W/2×tan α+W/2×tan β≒L‧‧‧(7)

再者，反轉轉向桿4a之轉動角度γ 1係依據下式(9)，可利用第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果y1、及第1上游側邊緣感測器9a之檢測結果y3、及第6圖中之從點A至點B為止之路徑長度L而決定。

[數學式9]γ 1=sin ^-1 (△h/L)=sin ^-1 ((y1-y3)/L)‧‧‧(9)

再者，上游側轉向桿3之轉動角度α係依據下式(10)，可利用第1下游側邊緣感測器8a之檢測結果y1，第1上游側邊緣感測器9a之檢測結果y3，第6圖中之從點A至點B為止之路徑長度L，下游側傾斜角θ 1及上游側傾斜角θ 2而決定。

[數學式10]α=γ 1+θ=γ 1+△θ/2=sin ^-1 ((y1-y3)/L)+(θ 2-θ 1)/2‧‧‧(10)

此外，下游側轉向桿4之轉動角度β係依據下式(11)，可利用上游側轉向桿3之轉動角度α及第6圖所示之轉動角度θ來決定。

[數學式11]β=α-2 θ‧‧‧(11)

再者，在僅將下游側轉向桿2及上游側轉向桿3利用在帶狀體W之寬度方向的修正，且僅將反轉轉向 桿4用於帶狀體W之寬度方向的修正及傾斜的修正時，依據下式(12)及下式(13)來決定轉動角度α、轉動角度β、轉動角度γ 1、及轉動角度γ 2。

[數學式12]γ 2=θ=θ 2-θ 1‧‧‧(12)

[數學式13]α=β=γ 1‧‧‧(13)

以上，雖一面參照圖式一面說明本發明之較佳實施形態，但本發明並未限定於上述實施形態。在上述之實施形態中所示之各構成構件的諸形狀或組合等係為一例，在不脫離本發明之主旨的範圍，可依據設計要求等進行各種變更。

例如，在上述實施形態中，具備下游側轉向桿2、上游側轉向桿3、及反轉轉向桿4作為本發明之非接觸導引部。然而，本發明並非限定於此，亦可具備非棒狀之其他形狀的非接觸導引部。此時，全部之非接觸導引部並不一定為相同形狀。

再者，亦可具備僅二個或四個(複數個)以上之非接觸導引部。此外，在具備三個以上之非接觸導引部時，並一定要使該等之全部的非接觸導引部轉動，只要使一個非接觸導引部移動，並使帶狀體W之寬度方向的一方邊緣所通過之路徑長度與寬度方向之另一方邊緣所通過之 路徑長度不同即可。

再者，上述實施形態中，具備下游側邊緣感測器單元8及上游側邊緣感測器單元9。然而，只要為可檢測帶狀體W之邊緣位置的感測器，感測器之配置部位及設置數並不限定於上述實施形態。

再者，在上述實施形態中，藉由噴出流體而以非接觸之方式支撐帶狀體W。然而，本發明並非限定於此，亦可藉由例如磁力或靜電気力而為以非接觸之方式支撐帶狀體W。

上述實施形態中之帶狀體W亦可為例如玻璃、陶瓷、或矽等脆性材料所構成之帶狀體，且亦可為有機材料等之薄膜。由玻璃所構成之帶狀體時，亦可為厚度例如0.2mm以下之極薄玻璃。

再者，在上述實施形態中，針對帶狀體W之主要搬送方向為水準方向之構成加以說明。然而，本發明並非限定於此，亦可為藉由使上述實施形態之裝置構成整體傾斜等，而將帶狀體W之主要搬送方向設為水準方向以外之方向。

此外，在上述實施形態中，控制部10係在進行回授控制或與回授控制同時進行前饋控制。然而，本發明並不限定於此，控制部10亦可僅進行前饋控制。

(產業上之可利用性)

依據本發明，在以非接觸之方式支撐帶狀體並予以搬送之帶狀體搬送裝置中，即使在帶狀體之上游 側的部位相對於帶狀體之下游側的部位係從帶狀體之表面的法線方向觀看時為傾斜之情形，亦可防止對帶狀體施加應力。

1‧‧‧帶狀體搬送裝置

2‧‧‧下游側轉向桿(非接觸導引部)

2a‧‧‧非接觸支撐面

3‧‧‧上游側轉向桿(非接觸導引部)

3a‧‧‧非接觸支撐面

4‧‧‧反轉轉向桿(非接觸導引部)

4a‧‧‧非接觸支撐面

5‧‧‧下游側致動器(驅動部)

6‧‧‧上游側致動器(驅動部)

7‧‧‧反轉致動器(驅動部)

8‧‧‧下游側邊緣感測器單元

8a‧‧‧第1下游側邊緣感測器

8b‧‧‧第2下游側邊緣感測器

9‧‧‧上游側邊緣感測器單元

9a‧‧‧第1上游側邊緣感測器

9b‧‧‧第2上游側邊緣感測器

10‧‧‧控制部

W‧‧‧帶狀體

Claims (5)

1. 一種搬送帶狀體之帶狀體搬送裝置，係具備：複數個非接觸導引部，係掛繞有前述帶狀體之一部分，且以非接觸之方式支撐前述帶狀體；驅動部，係使前述複數個非接觸導引部中之至少一個非接觸導引部移動；以及控制部，係以供前述帶狀體之寬度方向之第1邊緣通過之路徑長度與供前述寬度方向之前述第1邊緣相反側之第2邊緣通過之路徑長度不同之方式，藉由前述驅動部使前述非接觸導引部移動。
2. 如申請專利範圍第1項所述之帶狀體搬送裝置，其中，前述複數個非接觸導引部係具備：上游側轉向桿，係配置在前述複數個非接觸導引部中之前述帶狀體之行進方向的最上游側，而變更前述帶狀體之行進方向；下游側轉向桿，係配置在前述複數個非接觸導引部中之前述帶狀體之行進方向的最下游側，且使前述帶狀體之厚度方向之位置對位於供給至前述上游側轉向桿之前的位置；以及反轉轉向桿，係使藉由前述上游側轉向桿而變更之前述帶狀體的行進方向朝前述下游側轉向桿反轉。
3. 如申請專利範圍第2項所述之帶狀體搬送裝置，其中，前述上游側轉向桿及前述下游側轉向桿係從供給至前述複數個非接觸導引部之前沿著前述帶狀體之表面垂 線的方向觀看，為朝相反方向轉動。
4. 如申請專利範圍第2項所述之帶狀體搬送裝置，係更具備：上游側邊緣感測器單元，係配置在比前述上游側轉向桿更上游側之處，以檢測前述帶狀體之邊緣的傾斜；下游側邊緣感測器單元，係配置在比前述下游側轉向桿更下游側之處，以檢測前述帶狀體之邊緣的傾斜；前述控制部係依據前述上游側邊緣感測器單元之檢測結果及前述下游側邊緣感測器單元之檢測結果的至少一者來控制前述驅動部。
5. 如申請專利範圍第3項所述之帶狀體搬送裝置，係更具備：上游側邊緣感測器單元，係配置在比前述上游側轉向桿更上游側之處，以檢測前述帶狀體之邊緣的傾斜；下游側邊緣感測器單元，係配置在比前述下游側轉向桿更下游側之處，以檢測前述帶狀體之邊緣的傾斜；前述控制部係依據前述上游側邊緣感測器單元之檢測結果及前述下游側邊緣感測器單元之檢測結果的至少一者來控制前述驅動部。