JP2001246610A - セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミックグリーンシート製造装置 - Google Patents
セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミックグリーンシート製造装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28B—SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS; SHAPING SLAG; SHAPING MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 キャリアフィルム面の異物を確実に除去で
き、しかも異物除去装置によるキャリアフィルム搬送に
際してのパスラインの変動を抑制することができ、厚み
ばらつきの少ないセラミックグリーンシートを得ること
を可能とする方法を提供する。 【解決手段】 キャリアフィルム１を搬送し、支持ロー
ル４によりキャリアフィルム１の搬送方向を変更し、支
持ロール４の外周面にキャリアフィルム１が接触してい
る領域において異物除去装置としての粘着ロール５によ
りキャリアフィルム面の異物を除去し、しかる後キャリ
アフィルム１にセラミックスラリー７をセラミックスラ
リー塗工装置６を用いて塗工し、セラミックグリーンシ
ートを形成する、セラミックグリーンシートの製造方
法。
き、しかも異物除去装置によるキャリアフィルム搬送に
際してのパスラインの変動を抑制することができ、厚み
ばらつきの少ないセラミックグリーンシートを得ること
を可能とする方法を提供する。 【解決手段】 キャリアフィルム１を搬送し、支持ロー
ル４によりキャリアフィルム１の搬送方向を変更し、支
持ロール４の外周面にキャリアフィルム１が接触してい
る領域において異物除去装置としての粘着ロール５によ
りキャリアフィルム面の異物を除去し、しかる後キャリ
アフィルム１にセラミックスラリー７をセラミックスラ
リー塗工装置６を用いて塗工し、セラミックグリーンシ
ートを形成する、セラミックグリーンシートの製造方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば積層コンデ
ンサなどのセラミックグリーンシートの製造に用いられ
るセラミックグリーンシートの製造方法及び該セラミッ
クグリーンシート製造装置に関し、より詳細には、キャ
リアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを
製造するための製造方法及び製造装置に関する。
ンサなどのセラミックグリーンシートの製造に用いられ
るセラミックグリーンシートの製造方法及び該セラミッ
クグリーンシート製造装置に関し、より詳細には、キャ
リアフィルムに支持されたセラミックグリーンシートを
製造するための製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、積層コンデンサなどの積層セラミ
ック電子部品では、内部電極間のセラミック層の厚みが
薄くなってきている。そのため、使用されるセラミック
グリーンシートの厚みも薄くなってきている。そこで、
合成樹脂フィルムからなるキャリアフィルム上にセラミ
ックグリーンシートを形成し、該キャリアフィルムに支
持された状態でセラミックグリーンシートを取り扱うの
が一般的である。
ック電子部品では、内部電極間のセラミック層の厚みが
薄くなってきている。そのため、使用されるセラミック
グリーンシートの厚みも薄くなってきている。そこで、
合成樹脂フィルムからなるキャリアフィルム上にセラミ
ックグリーンシートを形成し、該キャリアフィルムに支
持された状態でセラミックグリーンシートを取り扱うの
が一般的である。
【０００３】キャリアフィルム上にセラミックスラリー
を塗布し、セラミックグリーンシートを形成する場合、
キャリアフィルムは清浄に保たれていなければならな
い。そのため、従来、キャリアフィルム表面のゴミなど
の異物を除去するために、種々の方法が採用されてい
た。
を塗布し、セラミックグリーンシートを形成する場合、
キャリアフィルムは清浄に保たれていなければならな
い。そのため、従来、キャリアフィルム表面のゴミなど
の異物を除去するために、種々の方法が採用されてい
た。
【０００４】図７は、従来のキャリアフィルム上の異物
を除去する第１の方法を説明するための略図的側面図で
ある。ここでは、キャリアフィルム５１が図示の矢印Ａ
方向、すなわちその長さ方向に搬送されている。搬送さ
れているキャリアフィルム５１の一方面５１ａに粘着ロ
ール５２が接触され、該粘着ロール５２の表面の粘着力
によりキャリアフィルムの一方面５１ａの異物が除去さ
れる。
を除去する第１の方法を説明するための略図的側面図で
ある。ここでは、キャリアフィルム５１が図示の矢印Ａ
方向、すなわちその長さ方向に搬送されている。搬送さ
れているキャリアフィルム５１の一方面５１ａに粘着ロ
ール５２が接触され、該粘着ロール５２の表面の粘着力
によりキャリアフィルムの一方面５１ａの異物が除去さ
れる。
【０００５】他方、図８は、従来のキャリアフィルム上
の異物を除去する第２の方法を説明するための略図的側
面図である。ここでは、キャリアフィルム５３が図示の
矢印Ａ方向に搬送されている。そして、キャリアフィル
ム５３の一方面５３ａ上のゴミなどの異物を除去するた
めに、吸引ノズル５４が面５３ａ近傍に配置されてい
る。吸引ノズル５４の吸引力により、キャリアフィルム
５３の一方面５３ａ上の異物が吸引され、除去される。
の異物を除去する第２の方法を説明するための略図的側
面図である。ここでは、キャリアフィルム５３が図示の
矢印Ａ方向に搬送されている。そして、キャリアフィル
ム５３の一方面５３ａ上のゴミなどの異物を除去するた
めに、吸引ノズル５４が面５３ａ近傍に配置されてい
る。吸引ノズル５４の吸引力により、キャリアフィルム
５３の一方面５３ａ上の異物が吸引され、除去される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図７に示した粘着ロー
ル５２や図８に示した吸引ノズル５４などの異物除去機
構を用いる場合、搬送されているキャリアフィルム５
１，５３のパスラインが安定せず、搬送速度変動やテン
ション変動を生じ、それによってセラミックグリーンシ
ートの厚みばらつきが生じるという問題があった。
ル５２や図８に示した吸引ノズル５４などの異物除去機
構を用いる場合、搬送されているキャリアフィルム５
１，５３のパスラインが安定せず、搬送速度変動やテン
ション変動を生じ、それによってセラミックグリーンシ
ートの厚みばらつきが生じるという問題があった。
【０００７】すなわち、搬送されているキャリアフィル
ム５１，５３は不安定な状態にある。従って、例えば図
７に示す方法では、粘着ロール５２の粘着力のばらつき
により、キャリアフィルム５１が図示の矢印Ｂ方向すな
わち厚み方向に変動し、キャリアフィルム５１のパスラ
インが安定しなかった。そのため、異物除去後にセラミ
ックスラリーを塗布した場合、塗布ばらつきが生じ、最
終的に得られるセラミックグリーンシートに厚みばらつ
きが生じざるを得なかった。
ム５１，５３は不安定な状態にある。従って、例えば図
７に示す方法では、粘着ロール５２の粘着力のばらつき
により、キャリアフィルム５１が図示の矢印Ｂ方向すな
わち厚み方向に変動し、キャリアフィルム５１のパスラ
インが安定しなかった。そのため、異物除去後にセラミ
ックスラリーを塗布した場合、塗布ばらつきが生じ、最
終的に得られるセラミックグリーンシートに厚みばらつ
きが生じざるを得なかった。
【０００８】同様に、図８に示した方法においても、吸
引ノズル５４の吸引力のばらつきにより、キャリアフィ
ルム５３のパスラインが安定せず、やはり得られたセラ
ミックグリーンシートに厚みばらつきが生じざるを得な
かった。
引ノズル５４の吸引力のばらつきにより、キャリアフィ
ルム５３のパスラインが安定せず、やはり得られたセラ
ミックグリーンシートに厚みばらつきが生じざるを得な
かった。
【０００９】特に、セラミックグリーンシートの厚みを
薄くした場合、上記キャリアフィルム５１，５３のパス
ラインの変動による影響はより顕著となり、セラミック
グリーンシートの厚みばらつきがより大きな問題となっ
てきている。
薄くした場合、上記キャリアフィルム５１，５３のパス
ラインの変動による影響はより顕著となり、セラミック
グリーンシートの厚みばらつきがより大きな問題となっ
てきている。
【００１０】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、除塵効果を低下させることなく、キャリアフ
ィルムの異物除去装置に起因するパスラインの変動を抑
制することができ、従って厚みばらつきの少ないセラミ
ックグリーンシートを安定に得ることを可能とするセラ
ミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を提供す
ることにある。
を解消し、除塵効果を低下させることなく、キャリアフ
ィルムの異物除去装置に起因するパスラインの変動を抑
制することができ、従って厚みばらつきの少ないセラミ
ックグリーンシートを安定に得ることを可能とするセラ
ミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を提供す
ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の広い局面によれ
ば、長尺状のキャリアフィルムにセラミックスラリーを
塗布してセラミックグリーンシートを製造する方法であ
って、キャリアフィルムをその長手方向に搬送する工程
と、支持ロールによりキャリアフィルムの搬送方向を変
更するようにキャリアフィルムを支持ロールに支持しつ
つ、該支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触さ
れている部分で異物除去装置により、キャリアフィルム
の支持ロールと接触している側とは反対側の面の異物を
除去する工程と、前記異物除去後にキャリアフィルムの
少なくとも一方面上にセラミックスラリーを付与してセ
ラミックグリーンシートを形成する工程とを備えること
を特徴とする方法が提供される。
ば、長尺状のキャリアフィルムにセラミックスラリーを
塗布してセラミックグリーンシートを製造する方法であ
って、キャリアフィルムをその長手方向に搬送する工程
と、支持ロールによりキャリアフィルムの搬送方向を変
更するようにキャリアフィルムを支持ロールに支持しつ
つ、該支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触さ
れている部分で異物除去装置により、キャリアフィルム
の支持ロールと接触している側とは反対側の面の異物を
除去する工程と、前記異物除去後にキャリアフィルムの
少なくとも一方面上にセラミックスラリーを付与してセ
ラミックグリーンシートを形成する工程とを備えること
を特徴とする方法が提供される。
【００１２】好ましくは、前記異物除去装置により異物
を除去する部分は、支持ロールの外周面にキャリアフィ
ルムが接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中
央付近である。
を除去する部分は、支持ロールの外周面にキャリアフィ
ルムが接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中
央付近である。
【００１３】本発明の製造方法の特定の局面では、前記
キャリアフィルムの異物が除去された面にセラミックス
ラリーが塗工される。本発明のさらに他の特定の局面で
は、前記キャリアフィルムの異物が除去された面とは反
対側の面にセラミックスラリーが塗工される。
キャリアフィルムの異物が除去された面にセラミックス
ラリーが塗工される。本発明のさらに他の特定の局面で
は、前記キャリアフィルムの異物が除去された面とは反
対側の面にセラミックスラリーが塗工される。
【００１４】本発明の別の広い局面によれば、長尺状キ
ャリアフィルムを供給するための繰り出しロールと、前
記繰り出しロールから引き出されたキャリアフィルムを
その長手方向に搬送する搬送手段と、前記キャリアフィ
ルムの搬送方向を変更するようにかつキャリアフィルム
をその外周面で支持する支持ロールと、前記支持ロール
の外周面にキャリアフィルムが支持されている部分で、
キャリアフィルムの支持ロールに接触している面とは反
対側の面の異物を除去するように配置された異物除去装
置と、前記異物除去装置により異物が除去されたキャリ
アフィルムの一方面にセラミックスラリーを塗工してセ
ラミックグリーンシートを形成するためのセラミックス
ラリー塗布装置とを備えることを特徴とする、セラミッ
クグリーンシート製造装置が提供される。
ャリアフィルムを供給するための繰り出しロールと、前
記繰り出しロールから引き出されたキャリアフィルムを
その長手方向に搬送する搬送手段と、前記キャリアフィ
ルムの搬送方向を変更するようにかつキャリアフィルム
をその外周面で支持する支持ロールと、前記支持ロール
の外周面にキャリアフィルムが支持されている部分で、
キャリアフィルムの支持ロールに接触している面とは反
対側の面の異物を除去するように配置された異物除去装
置と、前記異物除去装置により異物が除去されたキャリ
アフィルムの一方面にセラミックスラリーを塗工してセ
ラミックグリーンシートを形成するためのセラミックス
ラリー塗布装置とを備えることを特徴とする、セラミッ
クグリーンシート製造装置が提供される。
【００１５】好ましくは、前記異物除去装置は、支持ロ
ールに接触されているキャリアフィルム部分の該キャリ
アフィルムの長さ方向中央付近においてキャリアフィル
ムの一方面の異物を除去するように配置されている。
ールに接触されているキャリアフィルム部分の該キャリ
アフィルムの長さ方向中央付近においてキャリアフィル
ムの一方面の異物を除去するように配置されている。
【００１６】本発明に係るセラミックグリーンシート製
造装置の特定の局面では、前記異物除去装置は、キャリ
アフィルムの一方面に接触して異物を除去する接触式異
物除去装置である。
造装置の特定の局面では、前記異物除去装置は、キャリ
アフィルムの一方面に接触して異物を除去する接触式異
物除去装置である。
【００１７】本発明に係るセラミックグリーンシート製
造装置の他の特定の局面では、前記異物除去装置は、支
持ロールに支持されているキャリアフィルムとは非接触
状態でキャリアフィルムの一方面の異物を除去する非接
触式異物除去装置である。
造装置の他の特定の局面では、前記異物除去装置は、支
持ロールに支持されているキャリアフィルムとは非接触
状態でキャリアフィルムの一方面の異物を除去する非接
触式異物除去装置である。
【００１８】本発明のさらに他の特定の局面では、前記
支持ロールが回転駆動源に連結された駆動ロールであ
り、該駆動ロールが前記搬送手段の少なくとも一部を兼
ねている。
支持ロールが回転駆動源に連結された駆動ロールであ
り、該駆動ロールが前記搬送手段の少なくとも一部を兼
ねている。
【００１９】本発明に係るセラミックグリーンシート製
造装置の他の特定の局面では、前記セラミックスラリー
塗布装置は、異物が除去されたキャリアフィルム面にセ
ラミックスラリーを塗布するように配置されている。
造装置の他の特定の局面では、前記セラミックスラリー
塗布装置は、異物が除去されたキャリアフィルム面にセ
ラミックスラリーを塗布するように配置されている。
【００２０】本発明に係るセラミックグリーンシート製
造装置のさらに他の特定の局面では、前記セラミックス
ラリー塗布装置は、異物が除去されたキャリアフィルム
面とは反対側のキャリアフィルム面にセラミックスラリ
ーを塗工するように配置されている。
造装置のさらに他の特定の局面では、前記セラミックス
ラリー塗布装置は、異物が除去されたキャリアフィルム
面とは反対側のキャリアフィルム面にセラミックスラリ
ーを塗工するように配置されている。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
具体的な実施例を説明することにより、本発明を明らか
にする。
【００２２】図１は、本発明の一実施例に係るセラミッ
クグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明するた
めの概略構成図である。第１の実施例のセラミックグリ
ーンシート製造装置は、長尺状のキャリアフィルム１が
巻回されている繰り出しロール２を有する。キャリアフ
ィルム１としては、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムなどの伸びが少ない適宜の合成樹脂フィルムが用いら
れる。
クグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明するた
めの概略構成図である。第１の実施例のセラミックグリ
ーンシート製造装置は、長尺状のキャリアフィルム１が
巻回されている繰り出しロール２を有する。キャリアフ
ィルム１としては、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムなどの伸びが少ない適宜の合成樹脂フィルムが用いら
れる。
【００２３】他方、繰り出しロール２と隔てられた位置
に、巻き取りロール３が配置されている。繰り出しロー
ル２と巻き取りロール３は、図示しないモータなどの回
転駆動源に連結されており、キャリアフィルムのテンシ
ョンを一定になるよう制御して、キャリアフィルム１を
繰り出しロール２から巻き取りロール３側に搬送するよ
うに構成されている。従って、上記繰り出しロール２、
巻き取りロール３並びに繰り出しロール２及び巻き取り
ロール３に連結された回転駆動源が本発明における搬送
手段を構成している。
に、巻き取りロール３が配置されている。繰り出しロー
ル２と巻き取りロール３は、図示しないモータなどの回
転駆動源に連結されており、キャリアフィルムのテンシ
ョンを一定になるよう制御して、キャリアフィルム１を
繰り出しロール２から巻き取りロール３側に搬送するよ
うに構成されている。従って、上記繰り出しロール２、
巻き取りロール３並びに繰り出しロール２及び巻き取り
ロール３に連結された回転駆動源が本発明における搬送
手段を構成している。
【００２４】繰り出しロール２と巻き取りロール３との
間には、支持ロール４が配置されている。本実施例で
は、支持ロール４は、回転自在のロールにより構成され
ており、キャリアフィルム１が支持ロール４の外周面に
接触されて、キャリアフィルム１の搬送に伴って、支持
ロール４が図示の矢印Ｃ方向に回転されるように構成さ
れている。支持ロール４は、キャリアフィルム１の搬送
方向を変更するように配置されている。すなわち、繰り
出しロール２から搬送されてきたキャリアフィルム１が
支持ロール４を通過することにより、本実施例では、約
９０°の方向にキャリアフィルム１の搬送方向が変更さ
れる。もっとも、キャリアフィルム１の搬送方向の変更
程度については、特に限定されるものではなく、９０°
より大きくともよく、あるいは９０°未満であってもよ
い。
間には、支持ロール４が配置されている。本実施例で
は、支持ロール４は、回転自在のロールにより構成され
ており、キャリアフィルム１が支持ロール４の外周面に
接触されて、キャリアフィルム１の搬送に伴って、支持
ロール４が図示の矢印Ｃ方向に回転されるように構成さ
れている。支持ロール４は、キャリアフィルム１の搬送
方向を変更するように配置されている。すなわち、繰り
出しロール２から搬送されてきたキャリアフィルム１が
支持ロール４を通過することにより、本実施例では、約
９０°の方向にキャリアフィルム１の搬送方向が変更さ
れる。もっとも、キャリアフィルム１の搬送方向の変更
程度については、特に限定されるものではなく、９０°
より大きくともよく、あるいは９０°未満であってもよ
い。
【００２５】従って、支持ロール４の外周面に、キャリ
アフィルム１が接触しつつ、キャリアフィルム１が巻き
取りロール３側に搬送される。他方、支持ロール４の外
周面にキャリアフィルム１が接触している部分のキャリ
アフィルム１の長さ方向中央において、キャリアフィル
ム１の支持ロール４の外周面に接触している側とは反対
側の面に粘着ロール５が接触され、該粘着ロール５の粘
着力により、キャリアフィルム１の一方面の塵埃などの
異物が除去される。
アフィルム１が接触しつつ、キャリアフィルム１が巻き
取りロール３側に搬送される。他方、支持ロール４の外
周面にキャリアフィルム１が接触している部分のキャリ
アフィルム１の長さ方向中央において、キャリアフィル
ム１の支持ロール４の外周面に接触している側とは反対
側の面に粘着ロール５が接触され、該粘着ロール５の粘
着力により、キャリアフィルム１の一方面の塵埃などの
異物が除去される。
【００２６】粘着ロール５は、外周面が粘着性を有する
ように構成されており、かつキャリアフィルム１を挟ん
で支持ロール４に接触し得るように構成されている。本
実施例では、異物除去装置として接触式の粘着ロール５
が用いられているが、該粘着ロール５がキャリアフィル
ム１に接触している部分は、キャリアフィルム１の反対
側の面が支持ロール４により支持されている。従って、
粘着ロール５の粘着性表面の粘着力にばらつきが生じて
いたとしても、キャリアフィルム１の搬送に際してのパ
スラインの変動は生じ難い。
ように構成されており、かつキャリアフィルム１を挟ん
で支持ロール４に接触し得るように構成されている。本
実施例では、異物除去装置として接触式の粘着ロール５
が用いられているが、該粘着ロール５がキャリアフィル
ム１に接触している部分は、キャリアフィルム１の反対
側の面が支持ロール４により支持されている。従って、
粘着ロール５の粘着性表面の粘着力にばらつきが生じて
いたとしても、キャリアフィルム１の搬送に際してのパ
スラインの変動は生じ難い。
【００２７】粘着ロール５との接触により異物が除去さ
れたキャリアフィルム１は、巻き取りロール３側に搬送
される。この支持ロール４と巻き取りロール３との間
に、セラミックスラリー塗工装置６が配置されている。
れたキャリアフィルム１は、巻き取りロール３側に搬送
される。この支持ロール４と巻き取りロール３との間
に、セラミックスラリー塗工装置６が配置されている。
【００２８】本実施例では、ドクターブレード法による
セラミックスラリー７の塗布を行うために、セラミック
スラリー塗工装置６が配置されている。なお、塗工方式
は、ロール方式、ダイ方式などのエクストルージョン方
式でもよい。搬送されてきたキャリアフィルム１の異物
除去された側の面に、上記セラミックスラリー塗工装置
６によりセラミックスラリー７が所定の厚みに塗工さ
れ、セラミックグリーンシートが形成される。このよう
にして、キャリアフィルム１上にセラミックグリーンシ
ートが形成され、巻き取りロール３により巻き取られ
る。
セラミックスラリー７の塗布を行うために、セラミック
スラリー塗工装置６が配置されている。なお、塗工方式
は、ロール方式、ダイ方式などのエクストルージョン方
式でもよい。搬送されてきたキャリアフィルム１の異物
除去された側の面に、上記セラミックスラリー塗工装置
６によりセラミックスラリー７が所定の厚みに塗工さ
れ、セラミックグリーンシートが形成される。このよう
にして、キャリアフィルム１上にセラミックグリーンシ
ートが形成され、巻き取りロール３により巻き取られ
る。
【００２９】本実施例によれば、上記のように粘着ロー
ル５がキャリアフィルム１に接触されている部分が、搬
送されているキャリアフィルム１のパスラインの変動を
殆ど生じさせないので、異物が除去されたキャリアフィ
ルム面にセラミックスラリーを高精度に塗工することが
できる。従って、異物が少なく、かつ厚みのばらつきの
少ないセラミックグリーンシートを容易に得ることがで
きる。
ル５がキャリアフィルム１に接触されている部分が、搬
送されているキャリアフィルム１のパスラインの変動を
殆ど生じさせないので、異物が除去されたキャリアフィ
ルム面にセラミックスラリーを高精度に塗工することが
できる。従って、異物が少なく、かつ厚みのばらつきの
少ないセラミックグリーンシートを容易に得ることがで
きる。
【００３０】なお、上記粘着ロール５がキャリアフィル
ム１に接触する部分は、本実施例では、支持ロール４の
外周面にキャリアフィルム１が接触している領域のキャ
リアフィルム１の長さ方向中央部分とされていた。これ
を、図２を参照してより詳細に説明する。図２は、支持
ロール４及び粘着ロール５の間をキャリアフィルム１が
通過する部分を拡大して示す模式的側面図である。キャ
リアフィルム１の搬送方向を変更するように、支持ロー
ル４の外周面にキャリアフィルム１が接触した状態でキ
ャリアフィルム１が搬送される。この場合、キャリアフ
ィルム１が支持ロール４の外周面に接触している角度範
囲を、図２に示す抱き角Ｙとする。第１の実施例では、
上記抱き角Ｙの中心付近において、粘着ロール５がキャ
リアフィルム１に圧接されている。従って、キャリアフ
ィルム１のパスラインの変動をより効果的に抑制するこ
とができる。
ム１に接触する部分は、本実施例では、支持ロール４の
外周面にキャリアフィルム１が接触している領域のキャ
リアフィルム１の長さ方向中央部分とされていた。これ
を、図２を参照してより詳細に説明する。図２は、支持
ロール４及び粘着ロール５の間をキャリアフィルム１が
通過する部分を拡大して示す模式的側面図である。キャ
リアフィルム１の搬送方向を変更するように、支持ロー
ル４の外周面にキャリアフィルム１が接触した状態でキ
ャリアフィルム１が搬送される。この場合、キャリアフ
ィルム１が支持ロール４の外周面に接触している角度範
囲を、図２に示す抱き角Ｙとする。第１の実施例では、
上記抱き角Ｙの中心付近において、粘着ロール５がキャ
リアフィルム１に圧接されている。従って、キャリアフ
ィルム１のパスラインの変動をより効果的に抑制するこ
とができる。
【００３１】もっとも、図２からも明らかなように、粘
着ロール５が、上記抱き角Ｙの範囲でキャリアフィルム
１に接触している限り、パスラインの変動のばらつきは
生じ難い。
着ロール５が、上記抱き角Ｙの範囲でキャリアフィルム
１に接触している限り、パスラインの変動のばらつきは
生じ難い。
【００３２】なお、上記抱き角Ｙが大きい程、キャリア
フィルム１のパスラインの変動を抑制することができ
る。従って、好ましくは、上記抱き角Ｙは、９０°以上
とされる。
フィルム１のパスラインの変動を抑制することができ
る。従って、好ましくは、上記抱き角Ｙは、９０°以上
とされる。
【００３３】また、上記キャリアフィルム１の搬送に際
してのテンションが大きい程、粘着ロール５の圧接によ
る影響を受け難いため、キャリアフィルムのテンション
を高めてキャリアフィルム１を搬送することが望まし
い。
してのテンションが大きい程、粘着ロール５の圧接によ
る影響を受け難いため、キャリアフィルムのテンション
を高めてキャリアフィルム１を搬送することが望まし
い。
【００３４】図３は、本発明の第２の実施例に係るセラ
ミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明す
るための概略構成図である。第２の実施例に係る製造装
置では、繰り出しロール２１からキャリアフィルム１が
繰り出される。繰り出しロール２１は、第１の実施例で
用いた繰り出しロール２と同様に構成されている。ま
た、繰り出しロール２１と距離を隔てて巻き取りロール
２３が配置されている。巻き取りロール２３は、第１の
実施例の巻き取りロール３と同様に構成されており、従
って搬送手段を構成している。キャリアフィルム１は、
図示の矢印Ｘ方向に搬送される。
ミックグリーンシートの製造方法及び製造装置を説明す
るための概略構成図である。第２の実施例に係る製造装
置では、繰り出しロール２１からキャリアフィルム１が
繰り出される。繰り出しロール２１は、第１の実施例で
用いた繰り出しロール２と同様に構成されている。ま
た、繰り出しロール２１と距離を隔てて巻き取りロール
２３が配置されている。巻き取りロール２３は、第１の
実施例の巻き取りロール３と同様に構成されており、従
って搬送手段を構成している。キャリアフィルム１は、
図示の矢印Ｘ方向に搬送される。
【００３５】繰り出しロール２１の下流には、支持ロー
ル２４及び粘着ロール２５が配置されている。支持ロー
ル２４及び粘着ロール２５は第１の実施例と同様に構成
されている。従って、キャリアフィルム１は、支持ロー
ル２４の外周面と接触されて、支持ロール２４に搬送方
向を変更されつつ搬送される。また、粘着ロール２５に
より、キャリアフィルム１の支持ロール２４と接触され
ている側の面とは反対側の面の異物が除去される。
ル２４及び粘着ロール２５が配置されている。支持ロー
ル２４及び粘着ロール２５は第１の実施例と同様に構成
されている。従って、キャリアフィルム１は、支持ロー
ル２４の外周面と接触されて、支持ロール２４に搬送方
向を変更されつつ搬送される。また、粘着ロール２５に
より、キャリアフィルム１の支持ロール２４と接触され
ている側の面とは反対側の面の異物が除去される。
【００３６】第２の実施例が第１の実施例と異なるとこ
ろは、上記支持ロール２４及び粘着ロール５の下流に、
バッキングロール２６が配置されていることにある。バ
ッキングロール２６は、粘着ロール５により異物が除去
されたキャリアフィルム面がバッキングロール２６の外
周面に接触するように配置されている。すなわち、本実
施例では、異物が除去されたキャリアフィルム面がバッ
キングロール２６の外周面に接触された状態でキャリア
フィルム１が搬送される。そして、該バッキングロール
２６の外周面にキャリアフィルムが接触されている部分
において、セラミックスラリー塗工装置６によりセラミ
ックスラリー７が塗布され、キャリアフィルム１の一方
面にセラミックグリーンシートが形成される。
ろは、上記支持ロール２４及び粘着ロール５の下流に、
バッキングロール２６が配置されていることにある。バ
ッキングロール２６は、粘着ロール５により異物が除去
されたキャリアフィルム面がバッキングロール２６の外
周面に接触するように配置されている。すなわち、本実
施例では、異物が除去されたキャリアフィルム面がバッ
キングロール２６の外周面に接触された状態でキャリア
フィルム１が搬送される。そして、該バッキングロール
２６の外周面にキャリアフィルムが接触されている部分
において、セラミックスラリー塗工装置６によりセラミ
ックスラリー７が塗布され、キャリアフィルム１の一方
面にセラミックグリーンシートが形成される。
【００３７】上記のように、第２の実施例では、バッキ
ングロール２６によりキャリアフィルム１が反転される
ので、異物が除去されたキャリアフィルム面とは反対側
の面にセラミックスラリーが塗工されて、セラミックグ
リーンシートが形成される。従って、バッキングロール
２６の外周面とキャリアフィルム１のバッキングロール
２６に接触する面との間に異物が生じ難いため、それに
よって局部的なセラミックグリーンシートの膜厚のばら
つきを抑制することができる。
ングロール２６によりキャリアフィルム１が反転される
ので、異物が除去されたキャリアフィルム面とは反対側
の面にセラミックスラリーが塗工されて、セラミックグ
リーンシートが形成される。従って、バッキングロール
２６の外周面とキャリアフィルム１のバッキングロール
２６に接触する面との間に異物が生じ難いため、それに
よって局部的なセラミックグリーンシートの膜厚のばら
つきを抑制することができる。
【００３８】これを、図４を参照して説明する。図４
（ａ）及び（ｂ）は、バッキングロール２６を用いてセ
ラミックスラリー７をセラミックスラリー塗工装置６に
より塗工する工程を説明するための各部分切欠断面図で
ある。
（ａ）及び（ｂ）は、バッキングロール２６を用いてセ
ラミックスラリー７をセラミックスラリー塗工装置６に
より塗工する工程を説明するための各部分切欠断面図で
ある。
【００３９】図６（ａ）に示すように、バッキングロー
ル２６に対して、キャリアフィルム１の一方面２ａ上に
異物２７が存在するとする。この場合、異物２７が存在
する部分で、キャリアフィルム１が外側に膨らむことに
なる。そのため、図４（ｂ）に示すように、セラミック
スラリー７を塗工ブレードを用いて塗工した場合、異物
２７が存在する部分では、セラミックスラリーの塗工厚
みが小さくなり、矢印Ｚで示す塗布欠陥が生じる。すな
わち、得られたセラミックグリーンシート２８に、非常
に薄い塗工欠陥が生じる。
ル２６に対して、キャリアフィルム１の一方面２ａ上に
異物２７が存在するとする。この場合、異物２７が存在
する部分で、キャリアフィルム１が外側に膨らむことに
なる。そのため、図４（ｂ）に示すように、セラミック
スラリー７を塗工ブレードを用いて塗工した場合、異物
２７が存在する部分では、セラミックスラリーの塗工厚
みが小さくなり、矢印Ｚで示す塗布欠陥が生じる。すな
わち、得られたセラミックグリーンシート２８に、非常
に薄い塗工欠陥が生じる。
【００４０】これに対して、第２の実施例では、バッキ
ングロール２６に供給されるキャリアフィルム１のバッ
キングロール２６の外周面に当接される面が、予め粘着
ロール５により清浄化されているので、上記のような塗
布欠陥が生じ難い。従って、第２の実施例においても、
厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供
することができる。
ングロール２６に供給されるキャリアフィルム１のバッ
キングロール２６の外周面に当接される面が、予め粘着
ロール５により清浄化されているので、上記のような塗
布欠陥が生じ難い。従って、第２の実施例においても、
厚みばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供
することができる。
【００４１】しかも、第２の実施例においても、粘着ロ
ール２５は、第１の実施例と同様にキャリアフィルム１
が支持ロール２４と接触している領域においてキャリア
フィルム１に接触されているので、粘着ロール２５によ
るキャリアフィルム１のパスラインの変動が抑制され、
それによっても塗布ばらつきを低減することができる。
ール２５は、第１の実施例と同様にキャリアフィルム１
が支持ロール２４と接触している領域においてキャリア
フィルム１に接触されているので、粘着ロール２５によ
るキャリアフィルム１のパスラインの変動が抑制され、
それによっても塗布ばらつきを低減することができる。
【００４２】第１，第２の実施例では、支持ロール４，
２４は、回転自在なロールにより構成されていたが、支
持ロールを図示しない回転駆動源に連結して駆動ロール
としてもよい。図５に支持ロールが駆動ロールである変
形例を示す。
２４は、回転自在なロールにより構成されていたが、支
持ロールを図示しない回転駆動源に連結して駆動ロール
としてもよい。図５に支持ロールが駆動ロールである変
形例を示す。
【００４３】図５に示すように、駆動ロール３４は、図
示しない回転駆動源により図示の矢印方向に、すなわち
キャリアフィルム１を搬送させる方向に駆動される。こ
の場合、駆動ロール３４は、搬送手段の一部をも構成す
ることになる。もっとも、駆動ロール３４の後段でキャ
リアフィルム１にセラミックスラリーを塗布し、巻き取
りロールにより巻き取るには、第１，第２の実施例のよ
うに巻き取りロール３，２３を図示しない回転駆動源に
連結し、キャリアフィルム１を巻き取ることが望まし
い。従って、駆動ロール３４を搬送手段の一部として用
いた場合においても、巻き取りロール３，２３を主たる
搬送手段として用いることが望ましい。
示しない回転駆動源により図示の矢印方向に、すなわち
キャリアフィルム１を搬送させる方向に駆動される。こ
の場合、駆動ロール３４は、搬送手段の一部をも構成す
ることになる。もっとも、駆動ロール３４の後段でキャ
リアフィルム１にセラミックスラリーを塗布し、巻き取
りロールにより巻き取るには、第１，第２の実施例のよ
うに巻き取りロール３，２３を図示しない回転駆動源に
連結し、キャリアフィルム１を巻き取ることが望まし
い。従って、駆動ロール３４を搬送手段の一部として用
いた場合においても、巻き取りロール３，２３を主たる
搬送手段として用いることが望ましい。
【００４４】図５に示した変形例では、駆動ロール３４
が積極的に回転駆動されるので、駆動ロール３４による
キャリアフィルム１のグリップ力が高められ、さらに駆
動ロール３４と粘着ロール３５とでキャリアフィルム１
が挟持されるので、キャリアフィルム１を安定に搬送す
ることができ、かつ搬送速度の制御も行い得る。
が積極的に回転駆動されるので、駆動ロール３４による
キャリアフィルム１のグリップ力が高められ、さらに駆
動ロール３４と粘着ロール３５とでキャリアフィルム１
が挟持されるので、キャリアフィルム１を安定に搬送す
ることができ、かつ搬送速度の制御も行い得る。
【００４５】第１，第２の実施例及び上記変形例では、
異物除去装置として粘着ロールを用いたが、粘着ロール
に代えて、布や紙などを用いた拭き取りパッド、あるい
は異物拭き取りブレードなどを用いてもよい。また、こ
れらのキャリアフィルム１の表面に接触して異物を除去
する接触式の異物除去装置に限らず、吸引ノズル、圧縮
ガスにより異物を吹き飛ばす装置のような非接触式異物
除去装置を用いてもよい。例えば、図６に示すように、
吸引ノズル４４を用い、キャリアフィルム１の支持ロー
ル４の外周面に接触している部分において吸引によりキ
ャリアフィルム１の一方面に付着している塵埃を吸引・
除去してもよい。この場合においても、図６に示すよう
に、支持ロール４の外周面において、キャリアフィルム
１が接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中央
付近、すなわち前述した抱き角Ｙの中心近傍において異
物を除去するように吸引ノズル４４を配置することが望
ましい。
異物除去装置として粘着ロールを用いたが、粘着ロール
に代えて、布や紙などを用いた拭き取りパッド、あるい
は異物拭き取りブレードなどを用いてもよい。また、こ
れらのキャリアフィルム１の表面に接触して異物を除去
する接触式の異物除去装置に限らず、吸引ノズル、圧縮
ガスにより異物を吹き飛ばす装置のような非接触式異物
除去装置を用いてもよい。例えば、図６に示すように、
吸引ノズル４４を用い、キャリアフィルム１の支持ロー
ル４の外周面に接触している部分において吸引によりキ
ャリアフィルム１の一方面に付着している塵埃を吸引・
除去してもよい。この場合においても、図６に示すよう
に、支持ロール４の外周面において、キャリアフィルム
１が接触している部分のキャリアフィルム長さ方向中央
付近、すなわち前述した抱き角Ｙの中心近傍において異
物を除去するように吸引ノズル４４を配置することが望
ましい。
【００４６】
【発明の効果】本発明に係るセラミックグリーンシート
の製造方法では、キャリアフィルムの一方面にセラミッ
クスラリーを付与するに先立ち、異物除去装置によりキ
ャリアフィルムが支持ロールに接触している部分におい
て、キャリアフィルムが支持ロールと接触している側と
は反対側の面の異物が除去される。従って、キャリアフ
ィルム面から異物を確実に除去し得るので、厚みのばら
つきの少ないセラミックグリーンシートを得ることがで
きる。
の製造方法では、キャリアフィルムの一方面にセラミッ
クスラリーを付与するに先立ち、異物除去装置によりキ
ャリアフィルムが支持ロールに接触している部分におい
て、キャリアフィルムが支持ロールと接触している側と
は反対側の面の異物が除去される。従って、キャリアフ
ィルム面から異物を確実に除去し得るので、厚みのばら
つきの少ないセラミックグリーンシートを得ることがで
きる。
【００４７】加えて、上記異物除去装置は、キャリアフ
ィルムの支持ロールの外周面に接触している領域におい
てキャリアフィルム面から異物を除去するように配置さ
れているので、異物除去装置により搬送されているキャ
リアフィルムのパスラインの変動が生じ難い。従って、
パスラインの変動が生じ難いことによって、より一層厚
みのばらつきの少ないセラミックグリーンシートを安定
に製造することができる。
ィルムの支持ロールの外周面に接触している領域におい
てキャリアフィルム面から異物を除去するように配置さ
れているので、異物除去装置により搬送されているキャ
リアフィルムのパスラインの変動が生じ難い。従って、
パスラインの変動が生じ難いことによって、より一層厚
みのばらつきの少ないセラミックグリーンシートを安定
に製造することができる。
【００４８】特に、キャリアフィルムが支持ロールの外
周面に接触している領域のキャリアフィルム長さ方向中
央部分において異物を除去する場合には、キャリアフィ
ルムのパスラインの変動をより確実に防止することがで
き、より一層厚みばらつきの少ないセラミックグリーン
シートを得ることができる。
周面に接触している領域のキャリアフィルム長さ方向中
央部分において異物を除去する場合には、キャリアフィ
ルムのパスラインの変動をより確実に防止することがで
き、より一層厚みばらつきの少ないセラミックグリーン
シートを得ることができる。
【００４９】キャリアフィルムの異物が除去された面に
セラミックスラリーを塗布する場合、キャリアフィルム
の清浄な面にセラミックスラリーが塗布されるので、セ
ラミックスラリーの塗布厚みを制御するだけで厚みばら
つきの少ないセラミックグリーンシートを提供すること
ができる。
セラミックスラリーを塗布する場合、キャリアフィルム
の清浄な面にセラミックスラリーが塗布されるので、セ
ラミックスラリーの塗布厚みを制御するだけで厚みばら
つきの少ないセラミックグリーンシートを提供すること
ができる。
【００５０】また、キャリアフィルムの異物が除去され
た面とは反対側の面にセラミックスラリーを塗布する場
合、キャリアフィルムの背面側に異物が付着していない
ため、例えばバッキングロールでキャリアフィルムを支
持してセラミックスラリーを塗布する場合、セラミック
スラリーの塗布欠陥を抑制することができ、やはり厚み
ばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供する
ことができる。
た面とは反対側の面にセラミックスラリーを塗布する場
合、キャリアフィルムの背面側に異物が付着していない
ため、例えばバッキングロールでキャリアフィルムを支
持してセラミックスラリーを塗布する場合、セラミック
スラリーの塗布欠陥を抑制することができ、やはり厚み
ばらつきの少ないセラミックグリーンシートを提供する
ことができる。
【００５１】本発明に係るセラミックグリーンシート製
造装置では、繰り出しロール、搬送手段、支持ロール、
及び異物除去装置を備えるので、本発明の方法に従っ
て、支持ロールの外周面にキャリアフィルムが支持され
ている部分でキャリアフィルムの支持ロールと接触して
いる面とは反対側の面の異物が異物除去装置を用いて除
去される。従って、本発明の製造方法に従って、キャリ
アフィルムのパスラインの変動を抑制しつつ、キャリア
フィルム面から異物を確実に除去し得るので、セラミッ
クスラリー塗布装置を用いて、厚みばらつきの少ないセ
ラミックグリーンシートを安定に得ることが可能とな
る。
造装置では、繰り出しロール、搬送手段、支持ロール、
及び異物除去装置を備えるので、本発明の方法に従っ
て、支持ロールの外周面にキャリアフィルムが支持され
ている部分でキャリアフィルムの支持ロールと接触して
いる面とは反対側の面の異物が異物除去装置を用いて除
去される。従って、本発明の製造方法に従って、キャリ
アフィルムのパスラインの変動を抑制しつつ、キャリア
フィルム面から異物を確実に除去し得るので、セラミッ
クスラリー塗布装置を用いて、厚みばらつきの少ないセ
ラミックグリーンシートを安定に得ることが可能とな
る。
【００５２】特に、上記異物除去装置は、キャリアフィ
ルムの支持ロールの外周面と接触している部分のキャリ
アフィルム長さ方向中央付近において異物を除去するよ
うに構成されている場合には、異物除去装置によるキャ
リアフィルムのパスラインの変動をより確実に抑制する
ことができ、より一層厚みばらつきの少ないセラミック
グリーンシートを得ることができる。
ルムの支持ロールの外周面と接触している部分のキャリ
アフィルム長さ方向中央付近において異物を除去するよ
うに構成されている場合には、異物除去装置によるキャ
リアフィルムのパスラインの変動をより確実に抑制する
ことができ、より一層厚みばらつきの少ないセラミック
グリーンシートを得ることができる。
【００５３】上記異物除去装置として、キャリアフィル
ムに接触する接触式異物除去装置を用いた場合には、キ
ャリアフィルム表面の異物を確実に除去することができ
る。異物除去装置として、非接触式異物除去装置を用い
た場合には、キャリアフィルム表面に傷等を与えること
なく、キャリアフィルム表面の異物を除去することがで
きる。
ムに接触する接触式異物除去装置を用いた場合には、キ
ャリアフィルム表面の異物を確実に除去することができ
る。異物除去装置として、非接触式異物除去装置を用い
た場合には、キャリアフィルム表面に傷等を与えること
なく、キャリアフィルム表面の異物を除去することがで
きる。
【００５４】支持ロールが回転駆動源に連結された駆動
ロールであり、搬送手段の一部を構成している場合に
は、駆動ロールによりキャリアフィルムのグリップ力が
高められ、それによってキャリアフィルムを安定に搬送
することができる。特に、駆動ロールと、接触式異物除
去装置とを用いた場合には、キャリアフィルムが駆動ロ
ールと接触式異物除去装置で挟まれることになるため、
キャリアフィルムの搬送速度を高精度に制御することも
可能となる。
ロールであり、搬送手段の一部を構成している場合に
は、駆動ロールによりキャリアフィルムのグリップ力が
高められ、それによってキャリアフィルムを安定に搬送
することができる。特に、駆動ロールと、接触式異物除
去装置とを用いた場合には、キャリアフィルムが駆動ロ
ールと接触式異物除去装置で挟まれることになるため、
キャリアフィルムの搬送速度を高精度に制御することも
可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例に係るセラミックグリー
ンシート製造方法及び製造装置を説明するための概略構
成図。
ンシート製造方法及び製造装置を説明するための概略構
成図。
【図２】第１の実施例において、支持ロールとキャリア
フィルムとが接触している領域と異物除去装置としての
粘着ロールとの位置関係を説明するための部分拡大側面
図。
フィルムとが接触している領域と異物除去装置としての
粘着ロールとの位置関係を説明するための部分拡大側面
図。
【図３】第２の実施例に係るセラミックグリーンシート
の製造方法及び製造装置を説明するための概略構成図。
の製造方法及び製造装置を説明するための概略構成図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、キャリアフィルムの背面
に異物が付着している場合にセラミックグリーンシート
の厚みばらつきが生じることを説明するための各部分切
欠側面断面図。
に異物が付着している場合にセラミックグリーンシート
の厚みばらつきが生じることを説明するための各部分切
欠側面断面図。
【図５】支持ロールが回転駆動源に連結されて駆動ロー
ルとされている場合の該駆動ロールと異物除去装置とし
ての粘着ロールとがキャリアフィルムを搬送する工程を
説明するための略図的部分切欠側面図。
ルとされている場合の該駆動ロールと異物除去装置とし
ての粘着ロールとがキャリアフィルムを搬送する工程を
説明するための略図的部分切欠側面図。
【図６】異物除去装置としての吸引ノズルを用いた場合
の支持ロールと吸引ノズルの位置関係を説明するための
部分切欠側面図。
の支持ロールと吸引ノズルの位置関係を説明するための
部分切欠側面図。
【図７】従来のセラミックグリーンシートの製造方法に
おいて異物を除去するための方法の一例を説明するため
の側面図。
おいて異物を除去するための方法の一例を説明するため
の側面図。
【図８】従来のセラミックグリーンシートの製造方法に
おいて異物を除去するための方法の他の例を説明するた
めの側面図。
おいて異物を除去するための方法の他の例を説明するた
めの側面図。
１…キャリアフィルム ２…繰り出しロール ３…巻き取りロール ４…支持ロール ５…異物除去装置としての粘着ロール ６…セラミックスラリー塗工装置 ７…セラミックスラリー ２１…繰り出しロール ２３…巻き取りロール ２４…支持ロール ２５…粘着ロール ２６…バッキングロール ２７…セラミックスラリー塗工装置 ３４…駆動ロール ３５…粘着ロール ４４…吸引ノズル
Claims (11)
- 【請求項１】 長尺状のキャリアフィルムにセラミック
スラリーを塗布してセラミックグリーンシートを製造す
る方法であって、 キャリアフィルムをその長手方向に搬送する工程と、 支持ロールによりキャリアフィルムの搬送方向を変更す
るようにキャリアフィルムを支持ロールに支持しつつ、
該支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触されて
いる部分で異物除去装置により、キャリアフィルムの支
持ロールと接触している側とは反対側の面の異物を除去
する工程と、 前記異物除去後にキャリアフィルムの少なくとも一方面
上にセラミックスラリーを付与してセラミックグリーン
シートを形成する工程とを備えることを特徴とする、セ
ラミックグリーンシートの製造方法。 - 【請求項２】 前記異物除去装置により異物を除去する
部分が、支持ロールの外周面にキャリアフィルムが接触
している部分のキャリアフィルム長さ方向中央付近であ
ることを特徴とする、請求項１に記載のセラミックグリ
ーンシートの製造方法。 - 【請求項３】 前記キャリアフィルムの異物が除去され
た面上に前記セラミックスラリーを塗工することを特徴
とする、請求項１または２に記載のセラミックグリーン
シートの製造方法。 - 【請求項４】 前記キャリアフィルムの異物が除去され
た面とは反対側の面にセラミックスラリーを塗工するこ
とを特徴とする、請求項１または２に記載のセラミック
グリーンシートの製造方法。 - 【請求項５】 長尺状キャリアフィルムを供給するため
の繰り出しロールと、 前記繰り出しロールから引き出されたキャリアフィルム
をその長手方向に搬送する搬送手段と、 前記キャリアフィルムの搬送方向を変更するようにかつ
キャリアフィルムをその外周面で支持する支持ロール
と、 前記支持ロールの外周面にキャリアフィルムが支持され
ている部分で、キャリアフィルムの支持ロールに接触し
ている面とは反対側の面の異物を除去するように配置さ
れた異物除去装置と、 前記異物除去装置により異物が除去されたキャリアフィ
ルムの一方面にセラミックスラリーを塗工してセラミッ
クグリーンシートを形成するためのセラミックスラリー
塗布装置とを備えることを特徴とする、セラミックグリ
ーンシート製造装置。 - 【請求項６】 前記異物除去装置が、支持ロールに接触
されているキャリアフィルム部分の該キャリアフィルム
の長さ方向中央付近においてキャリアフィルムの一方面
の異物を除去するように配置されている、請求項５に記
載のセラミックグリーンシート製造装置。 - 【請求項７】 前記異物除去装置が、キャリアフィルム
の一方面に接触して異物を除去する接触式異物除去装置
である、請求項５または６に記載のセラミックグリーン
シート製造装置。 - 【請求項８】 前記異物除去装置が、支持ロールに支持
されているキャリアフィルムとは非接触状態でキャリア
フィルムの一方面の異物を除去する非接触式異物除去装
置である、請求項５または６に記載のセラミックグリー
ンシート製造装置。 - 【請求項９】 前記支持ロールが回転駆動源に連結され
た駆動ロールであり、該駆動ロールが前記搬送手段の少
なくとも一部を兼ねている、請求項５〜８のいずれかに
記載のセラミックグリーンシート製造装置。 - 【請求項１０】 前記セラミックスラリー塗布装置が、
異物が除去されたキャリアフィルム面にセラミックスラ
リーを塗布するように配置されている、請求項５〜９の
いずれかに記載のセラミックグリーンシート製造装置。 - 【請求項１１】 前記セラミックスラリー塗布装置が、
異物が除去されたキャリアフィルム面とは反対側のキャ
リアフィルム面にセラミックスラリーを塗工するように
配置されている、請求項５〜９のいずれかに記載のセラ
ミックグリーンシート製造装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000059139A JP3630065B2 (ja) | 2000-03-03 | 2000-03-03 | セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミックグリーンシート製造装置 |
| SG200100380A SG99340A1 (en) | 2000-03-03 | 2001-01-26 | Method and apparatus for producing ceramic green sheet |
| CNB011036710A CN1149137C (zh) | 2000-03-03 | 2001-02-08 | 生产陶瓷半成品片的方法和装置 |
| US09/783,909 US6605241B2 (en) | 2000-03-03 | 2001-02-15 | Method and apparatus for producing ceramic green sheet |
| US10/338,708 US6749417B2 (en) | 2000-03-03 | 2003-01-09 | Method and apparatus for producing ceramic green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
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