JP2011167967A - 機能性フィルムの製造方法 - Google Patents
機能性フィルムの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011167967A JP2011167967A JP2010034813A JP2010034813A JP2011167967A JP 2011167967 A JP2011167967 A JP 2011167967A JP 2010034813 A JP2010034813 A JP 2010034813A JP 2010034813 A JP2010034813 A JP 2010034813A JP 2011167967 A JP2011167967 A JP 2011167967A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- support
- laminate
- organic
- functional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 239000005001 laminate film Substances 0.000 claims abstract description 138
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 26
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 10
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 396
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 48
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 29
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 10
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 6
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 5
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 5-(2,4-dioxooxolan-3-yl)-7-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C(OC2=O)=O)C2C(C)=CC1C1C(=O)COC1=O FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 238000007754 air knife coating Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007765 extrusion coating Methods 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 238000007761 roller coating Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007767 slide coating Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
【解決手段】有機膜成膜装置22により裏面側に第1のラミネートフィルムが付与され自己支持性を有する長尺の支持体12を送り出し、支持体12を搬送しながら、その表面側に有機膜を形成し、有機膜の表面に第2のラミネートフィルム82を付与し、支持体12をフィルムロール42にして巻き取る。 フィルムロール42を真空成膜装置24内に装填し、フィルムロール42から連続的に第1のラミネートフィルムと第2のラミネートフィルム82が付与された支持体12を送り出す。支持体12を搬送しながら、第2のラミネートフィルム82を剥離し、支持体12の有機膜上に無機膜を形成し、支持体12をフィルムロール48に巻き取る。
【選択図】 図2
Description
支持体の厚さ25μmとし、支持体の両面にラミネートフィルムを貼り付けなかった。真空成膜装置内での支持体の搬送に、段差のないガイドローラを使用した。有機膜上に50nmの無機膜を成膜した。
支持体の厚さを50μmとした以外は、試験1と同様の条件とした。
支持体の厚さを100μmとした以外は、試験1と同様の条件とした。
厚さ50μmの支持体の裏面に厚さ5μmのラミネートフィルムを有機材料の塗布前に貼り合せ、フィルムロールとした。なお、ラミネートフィルムの厚さは粘着層を含めた厚さとした。フィルムロールを有機膜成膜装置内にセットし、支持体上の有機材料に紫外線を照射して硬化させた後(つまり有機膜の成膜後)、有機膜の表面にラミネートフィルムを貼り合せ、フィルムロールに巻き取った。裏面側のラミネートフィルムの粘着力を0.005(N/25mm)とし、有機膜面側のラミネートフィルムの粘着力を0.002(N/25mm)とした。フィルムロールを真空成膜装置内にセットし、有機面側のラミネートフィルムを無機膜の成膜直前で剥離し、露出した有機膜上に50nmの無機膜を成膜した。支持体の搬送に、段差のないガイドローラを使用した。「成膜直前」とは、真空成膜装置の成膜室に配置されたドラムの直前の位置を意味する。
裏面側のラミネートフィルムの厚さを25μmとした以外は、試験4と同様とした。
裏面側のラミネートフィルムの厚さを50μmとした以外は、試験4と同様とした。
有機膜側のラミネートフィルムの粘着力を0.01(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
有機膜側のラミネートフィルムの粘着力を0.04(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
有機膜側のラミネートフィルムの粘着力を0.06(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
有機膜側のラミネートフィルムの粘着力を0.07(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
裏面側のラミネートフィルムの粘着力を0.01(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
裏面側のラミネートフィルムの粘着力を0.02(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
裏面側のラミネートフィルムの粘着力を0.06(N/25mm)とした以外は、試験6と同様とした。
有機膜側のラミネートフィルムの剥離位置を「成膜送り出し」とした以外は、試験6と同様とした。「成膜送り出し」とは、真空成膜装置の供給室に配置された送出し機から送り出された直後の位置を意味する。
裏面側のラミネートフィルムの貼り付け位置を塗布後とした以外は、試験6と同様とした。「塗布後」とは、有機膜成膜装置のUV照射装置を通過した後の位置を意味する。
段差付きのガイドローラで支持体の搬送した以外は、試験1と同様とした。
段差付きのガイドローラで支持体の搬送した以外は、試験6と同様とした。
有機膜側にラミネートフィルムを貼り合せなかった以外は、試験6と同様とした。
試験1〜3について、ラミネートフィルムが支持体の両面に貼り合わされていない。その結果、試験1、2について、支持体の厚さが50μm以下で両面にラミネートフィルムが貼り付けられていないので、バリア性の評価は×であった。これは、搬送でのシワにより、バリア膜が壊れたことが理由と考えられる。試験3について、支持体が100μmの厚さを有していたので、バリア性の評価は△であった。試験3は支持体の厚さが厚いので、薄いものよりも搬送は安定したが、塗布面が保護されていないので微小に傷が発生する問題がある。
Claims (9)
- 裏面側に第1のラミネートフィルムが付与され自己支持性を有する長尺の支持体を送り出し、前記支持体を搬送しながら、前記支持体の表面側に有機膜を形成し、前記有機膜の表面に第2のラミネートフィルムを付与し、前記支持体をフィルムロールにして巻き取る第1の工程と、
前記フィルムロールを真空成膜装置内に装填し、前記フィルムロールから連続的に前記第1のラミネートフィルムと前記第2のラミネートフィルムが付与された前記支持体を送り出し、前記支持体を搬送しながら、前記第2のラミネートフィルムを剥離し、前記支持体の前記有機膜上に無機膜を形成し、前記支持体をフィルムロールに巻き取る第2の工程と、
を含む機能性フィルムの製造方法。 - 請求項1記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記第1のラミネートフィルムと前記支持体との総厚みが75μm以上である機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1又は2記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記第1のラミネートフィルムは0.01N/25mm以上の粘着力である機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜3の何れか記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記第2のラミネートフィルムは0.06N/25mm以下の粘着力である機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜4の何れか記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記第1の工程、及び前記第2の工程において、前記支持体の裏面側、及び前記支持体の表面側の端部の少なくとも一方をパスローラにより支持して、前記支持体を搬送する機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜5の何れか記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記支持体に無機膜を成膜する前に、さらに前記支持体と前記第1のラミネートフィルムとの間の密着性を改善する工程を有する機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜6の何れか記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記無機膜が5nm以上200nm以下の厚みを有する機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜7の何れか記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記無機膜が金属、金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属フッ化物、若しくはその複合物から成る群から選択された一つを含む機能性フィルムの製造方法。
- 請求項1〜8の何れか記載の機能性フィルムの製造方法であって、前記有機膜が放射線硬化性のモノマー、及びオリゴマーの一つを含む機能性フィルムの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010034813A JP5198493B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 機能性フィルムの製造方法 |
US13/030,757 US9067381B2 (en) | 2010-02-19 | 2011-02-18 | Manufacturing method of functional film and functional film |
US13/859,120 US8597765B2 (en) | 2010-02-19 | 2013-04-09 | Functional film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010034813A JP5198493B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 機能性フィルムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011167967A true JP2011167967A (ja) | 2011-09-01 |
JP5198493B2 JP5198493B2 (ja) | 2013-05-15 |
Family
ID=44682583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010034813A Active JP5198493B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | 機能性フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5198493B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013116442A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Mitsubishi Plastics Inc | 積層多孔フィルムの製造方法 |
JP2015224373A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法 |
KR20160045824A (ko) | 2013-09-30 | 2016-04-27 | 후지필름 가부시키가이샤 | 기능성 필름 및 기능성 필름의 제조 방법 |
JP2016182744A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
JP2018525243A (ja) * | 2015-06-29 | 2018-09-06 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 極薄バリア積層体及びデバイス |
JPWO2020050112A1 (ja) * | 2018-09-05 | 2021-08-26 | 富士フイルム株式会社 | 成膜方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0892727A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-04-09 | Mitsubishi Chem Corp | 透明なガスバリア性フィルムの製造方法 |
JP2008189957A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Kobe Steel Ltd | 連続成膜装置 |
JP2009179853A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法 |
JP2011084776A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Fujifilm Corp | 機能性フィルム及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-02-19 JP JP2010034813A patent/JP5198493B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0892727A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-04-09 | Mitsubishi Chem Corp | 透明なガスバリア性フィルムの製造方法 |
JP2008189957A (ja) * | 2007-02-02 | 2008-08-21 | Kobe Steel Ltd | 連続成膜装置 |
JP2009179853A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法 |
JP2011084776A (ja) * | 2009-10-15 | 2011-04-28 | Fujifilm Corp | 機能性フィルム及びその製造方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013116442A (ja) * | 2011-12-02 | 2013-06-13 | Mitsubishi Plastics Inc | 積層多孔フィルムの製造方法 |
KR20160045824A (ko) | 2013-09-30 | 2016-04-27 | 후지필름 가부시키가이샤 | 기능성 필름 및 기능성 필름의 제조 방법 |
JP2015224373A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | コニカミノルタ株式会社 | ガスバリア性フィルムの製造方法 |
JP2016182744A (ja) * | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムおよび機能性フィルムの製造方法 |
JP2018525243A (ja) * | 2015-06-29 | 2018-09-06 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 極薄バリア積層体及びデバイス |
JPWO2020050112A1 (ja) * | 2018-09-05 | 2021-08-26 | 富士フイルム株式会社 | 成膜方法 |
JP7109554B2 (ja) | 2018-09-05 | 2022-07-29 | 富士フイルム株式会社 | 成膜方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5198493B2 (ja) | 2013-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8597765B2 (en) | Functional film | |
JP5371680B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP5579465B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP5198493B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP2013031794A (ja) | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム | |
JP5318020B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP5364001B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
KR101819402B1 (ko) | 기능성 필름 및 기능성 필름의 제조 방법 | |
JP5331740B2 (ja) | 機能性フィルム | |
JP5274342B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP2009269193A (ja) | 積層体及びその製造方法 | |
KR101730780B1 (ko) | 기능성 필름 및 기능성 필름의 제조 방법 | |
JP5507335B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法及び製造装置 | |
WO2015198701A1 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP2015231667A (ja) | 機能性フィルム | |
JP5335720B2 (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP5461245B2 (ja) | 積層体の製造方法 | |
JP2011184770A (ja) | 機能性フィルムの製造方法 | |
JP2010070309A (ja) | 光学フィルム及びその製造方法 | |
JP2010194814A (ja) | 機能性フィルムの製造方法、及び製造装置 | |
JP2013208855A (ja) | 機能性フィルムの製造方法、及びその製造装置 | |
JP4321396B2 (ja) | 保護フィルムの製造方法およびその製造方法で製造された保護フィルム | |
JP2010069693A (ja) | 積層体及びその製造装置 | |
JP2010229520A (ja) | 機能性フィルムの製造方法、及び製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130131 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130206 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160215 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5198493 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |