JPH04296741A - フィルム搬送機構およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルムを摩擦駆動力
により搬送し所定の位置に停止させるフィルム搬送機構
およびこのフィルム搬送機構を具えた露光装置に関する
。

【０００２】

【従来の技術】例えば、フレキシブルプリント基板のパ
ターン露光装置においては、パーフォレーションを有す
るフィルムを用い、このフィルムをスプロケットで露光
位置まで搬送し、この露光位置でパーフォレーションに
複数個のピンを差し込んで、フィルムの正しい位置にパ
ターンの像が露光されるよう位置合わせが行われている
。

【０００３】しかして、最近においては、技術の高度化
に伴って、露光されるフィルムの厚さが薄くなっていく
傾向があり、厚さ７５〜１００　μｍの従来のフィルム
に代わって厚さ３０〜５０μｍのフィルムが対象となる
場合がある。このような薄いフィルムに対して、スプロ
ケットによる搬送やピンの差し込みによる位置決めを行
うと、パーフォレーションの変形や破損を生じ、確実な
搬送、正確な位置決めができなくなり、フィルムの正し
い位置にパターンの像を露光することができない。また
、パーフォレーションの形成加工自体も煩雑である。

【０００４】このようなことから、パーフォレーション
の形成されていないフィルムを、摩擦ローラによる摩擦
駆動力を利用して搬送する搬送機構が採用されている。 摩擦駆動力を利用する搬送機構における位置決めは、フ
ィルムの一コマ毎に穿孔された２つアライメント穴を露
光装置の検出部によって検出し、これに基づいて摩擦駆
動を制御することにより行われる。従って、フィルムの
搬送方向における位置合わせが正確になされる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、摩擦駆
動力を利用する搬送機構においては、フィルムの厚さに
起因して、フィルムの送り方向に伸びる皺が発生し、あ
るいは幅方向への位置ズレ即ち偏行や蛇行が発生しやす
い。そして幅方向への位置ズレが大きくなると、送り方
向の位置を決定するためのアライメント穴も検出できな
くなり、極端な場合にはフィルムが駆動ローラから外れ
てしまう。このような薄いフィルムは、厚いフィルムに
比べ剛性が低いため当然皺が発生しやすい。そして幅方
向への位置ズレが発生しやすい理由は、駆動ローラの表
面状態、寸法精度、ローラ面の回転軸に対する振れ等の
影響を受けやすく、またフィルム自体の表面状態、平面
度等の微妙な変化にも影響されるからである。

【０００６】そしてこのような不具合の発生により、フ
ィルムの正しい位置にパターンの像を露光することがで
きない、という問題が生じる。

【０００７】本発明は、上記のような問題に鑑みてなさ
れたものであって、本発明の第１の目的は、搬送される
フィルムに送り方向に伸びる皺を発生させないフィルム
搬送機構を提供することにある。また本発明の第２の目
的は、搬送されるフィルムの幅方向への位置ズレ即ち偏
行や蛇行を自動的に矯正することが可能なフィルム搬送
機構を提供することにある。更に本発明の第３の目的は
、フィルムの確実な搬送および正確な位置合わせを行わ
せることにより、フィルムの正しい位置にパターンの像
を露光することができるフィルム露光装置を提供するこ
とにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のフィルム搬送機
構は、駆動ローラと、押圧ローラとよりなるフィルム搬
送機構であって、フィルムを幅方向に引張する幅方向引
張機構を有し、この幅方向引張機構は、前記駆動ローラ
より常に大きな周速で駆動される、フィルムの幅方向の
両端部に接する矯正ローラを具えていることを特徴とす
る。

【０００９】また、搬送されるフィルムの幅方向の位置
ズレを検出する位置ズレ検出手段と、この位置ズレ検出
手段からの信号によって、一端側の矯正ローラと他端側
の矯正ローラとを異なる周速で駆動させることにより、
幅方向の位置ズレを矯正する位置ズレ矯正手段とを具え
ていることを特徴とする。

【００１０】本発明の露光装置は、帯状のフィルムの長
さ方向に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを
露光していくフィルム露光装置であって、照射部と、照
射部からの光が照射される位置に配置された、回路パタ
ーンが形成されたフォトマスクと、フォトマスクの回路
パターンの像を投影する投影レンズと、投影レンズによ
る回路パターンの像の投影位置に、フィルムを一コマず
つ搬送するフィルム搬送機構とを具備してなるフィルム
露光装置であって、前記フィルム搬送機構は、上記のフ
ィルム搬送機構であることを特徴とする。

【００１１】

【作用】フィルムの幅方向の両端部に接する矯正ローラ
は、駆動ローラより常に大きな周速で駆動されるので、
フィルムは中央から幅方向の両端へ引張力が作用された
状態で搬送される。従って、搬送されるフィルムに送り
方向に伸びる皺を発生させない。

【００１２】フィルムの幅方向の位置ズレが発生したと
きには、位置ズレ検出手段からの信号を受けた位置ズレ
矯正手段によって、周速の大きい矯正ローラの方向へフ
ィルムが移動するので、幅方向の位置ズレを矯正するこ
とができる。

【００１３】送り方向に伸びる皺の発生およびフィルム
の幅方向の位置ズレを防止するフィルム搬送機構を具え
ているので、フィルムの確実な搬送および正確な位置合
わせが可能になり、フィルムの正しい位置にパターンの
像を露光することができる。

【００１４】フィルムの幅方向の位置ズレを矯正する手
段を有するフィルム搬送機構を具えているので、フィル
ムの搬送および位置合わせが一層確実なものとなり、フ
ィルムの正しい位置にパターンの像を露光することがで
きる。

【００１５】

【実施例】＜フィルム搬送機構＞以下、本発明の実施例
を図面に基づいて説明する。

【００１６】図１は本発明のフィルム搬送機構の一実施
例を示す説明用斜視図であり、図２は、その要部を示す
説明用断面図である。本実施例のフィルム搬送機構は、
駆動ローラ１０と、押圧ローラ２０とを有してなるフィ
ルム搬送機構であって、フィルムを幅方向に引張する幅
方向引張機構を有し、この幅方向引張機構は、駆動ロー
ラ１０より常に大きな周速で駆動される、フィルムＦの
幅方向の両端部に接する矯正ローラ３１、矯正補助ロー
ラ３２、矯正ローラ４１および矯正補助ローラ４２を具
えている。

【００１７】駆動ローラ１０の表面は硬質ゴム等よりな
り、押圧ローラ２０の表面は金属等よりなる。このよう
に両表面に硬度差があるので、フィルムＦは押圧ローラ
２０により確実に押圧され、フィルムＦと駆動ローラ１
０とのスベリが防止される。図１において、１５はガイ
ドローラ、２５はテンションローラであり、フィルムＦ
の送り方向にテンション（引張）を与えている。

【００１８】図２において、５０は、駆動ローラ１０、
押圧ローラ２０、矯正ローラ３１，４１および矯正補助
ローラ３２，４２を駆動させる駆動モータである。この
駆動モータ５０は、スッテピングモータまたはサーボモ
ータよりなる。 ６０は押圧ローラ２０および矯正補助ローラ３２，４２
に押圧力を与えるスプリングである。３３は矯正ローラ
３１および矯正補助ローラ３２の駆動機構であり、４３
は矯正ローラ４１および矯正補助ローラ４２の駆動機構
である。駆動機構３３は、歯車３３Ａ〜歯車３３Ｆより
なる歯車機構である。歯車３３Ａおよび歯車３３Ｅは、
駆動ローラ１０の回転軸Ｐ１に固定されて、駆動モータ
５０により駆動ローラ１０と同じ回転数で回転する。一
方、歯車３３Ｃおよび歯車３３Ｄは、矯正補助ローラ３
２と一体となって、押圧ローラ２０の回転軸Ｐ２　に対
して回転自在に取り付けられている。この駆動機構３３
においては、歯車３３Ａ、歯車３３Ｆのピッチ円の直径
および矯正ローラ３１の外径は、駆動ローラ１０の外径
と同じであり、歯車３３Ｅのピッチ円の直径はこれより
も大きく設定してある。また、歯車３３Ｂ、歯車３３Ｄ
のピッチ円の直径および矯正補助ローラ３２の外径は押
圧ローラ２０の外径と同じであり、歯車３３Ｃのピッチ
円の直径はこれよりも小さく設定してある。駆動モータ
５０により駆動ローラ１０が回転数Ｎ１０で回転すると
き、矯正ローラ３１の回転数Ｎ３１は、

【００１９】

【数１】

【００２０】となる（数１において、ｄＣ　、ｄＤ　、
ｄＥ　およびｄＦ　は、それぞれ歯車３３Ｃ，３３Ｄ，
３３Ｅ，３３Ｆのピッチ円の直径を示す。）。ここで、
ｄＥ　＞ｄＦ　かつｄＤ　＞ｄＣ　であるので、Ｎ３１
＞Ｎ１０となる。従って、矯正ローラ３１の周速は駆動
ローラ１０の周速より常に大きくなる。また、押圧ロー
ラ２０の回転数Ｎ２０は、

【００２１】

【数２】

【００２２】となり（数２において、ｄＡ　およびｄＢ
　は、それぞれ歯車３３Ａ，３３Ｂのピッチ円の直径を
示す。）、矯正補助ローラ３２の回転数Ｎ３２は、

【０
０２３】

【数３】

【００２４】となる（数３において、ｄＣ　およびｄＥ
　は、それぞれ歯車３３Ｃ，３３Ｅのピッチ円の直径を
示す。）。ここで、ｄＥ　＞ｄＡ　かつｄＢ　＞ｄＣ　
であるので、Ｎ３２＞Ｎ２０となる。従って、矯正補助
ローラ３２の周速は、押圧ローラ２０の周速より常に大
きくなる。

【００２５】なお、駆動機構４３も駆動機構３３と同様
の機構である。このように、駆動機構３３および駆動機
構４３によって、矯正ローラ３１，４１は、駆動ローラ
１０より常に大きな周速で駆動されるので、フィルムＦ
は、その幅方向に引張されることになり、送り方向に伸
びる皺の発生が防止される。

【００２６】図３は本発明のフィルム搬送機構の他の実
施例の要部を示す説明用断面図である。本実施例のフィ
ルム搬送機構においては、駆動ローラ１０および押圧ロ
ーラ２０を駆動させる駆動モータ５１と共に、駆動モー
タ５２および駆動モータ５３がそれぞれ独立して設けら
れている。 駆動モータ５１の回転により、駆動ローラ１０が回転し
、歯車３５Ｄおよび歯車３５Ｅを介して押圧ローラ２０
が回転する。駆動モータ５２の回転により、歯車３５Ａ
および歯車３５Ｂを介して矯正ローラ３１が回転し、更
に歯車３５Ｃを介して矯正補助ローラ３２が回転する。 駆動モータ５３の回転により、歯車４５Ａおよび歯車４
５Ｂを介して矯正ローラ４１が回転し、更に歯車４５Ｃ
を介して矯正補助ローラ４２が回転する。本実施例によ
れば、駆動モータ５２および駆動モータ５３の回転数を
、駆動モータ５１の回転数よりも大きくすることにより
、矯正ローラ３１，４１の周速を、駆動ローラ１０の周
速よりも速くすることができ、これによりフィルムＦを
、その幅方向に引張することができる。従って、搬送さ
れるフィルムＦに送り方向に伸びる皺の発生が防止され
る。

【００２７】更に、本実施例においては、駆動モータ５
２および駆動モータ５３の回転速度を相対的に変えるこ
とができ、フィルムＦは周速の大きい矯正ローラの方向
へ移動する。従って、後述する位置ズレ検出手段および
位置ズレ矯正手段によって、搬送されるフィルムの幅方
向への位置ズレを矯正することができる。

【００２８】以上、本発明のフィルム搬送機構は、上記
の実施例に限定されるものではなく、種々の変化が可能
である。例えば、図４に示すように、駆動モータ５０お
よび駆動機構３３によって矯正ローラ３１，矯正補助ロ
ーラ３２を駆動ローラ１０より常に大きな周速で駆動さ
せるとともに、駆動モータ５４および駆動機構４５によ
って矯正ローラ４１，矯正補助ローラ４２を駆動させる
ことも可能である。

【００２９】また、フィルムＦへの押圧はレジストが塗
布されていない領域のみで行われるため、図５に示すよ
うに、押圧ローラ２０が当接される周縁部の径よりも中
央部の径が小さい駆動ローラ１１を用いてもよい。この
ような駆動ローラ１１を用いることによって、幅方向引
張機構と相まって確実に皺の発生を防止することができ
、また、ローラ表面とフィルムとの接触面積が小さいの
で、フィルムＦを傷付けにくい。

【００３０】＜露光装置＞図６は、フィルムの搬送機構
を具えた本実施例の露光装置の一例を示す説明図である
。本実施例の露光装置は、帯状のフィルムＦの長さ方向
に沿って並ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光し
ていくフィルム露光装置であって、照射部１と、照射部
１からの光が照射される位置に配置されたフォトマスク
Ｍと、投影レンズ３と、フィルム搬送機構４とを具備し
てなる。

【００３１】照射部１は、超高圧水銀灯等のようにレジ
ストが感度を有する光を効率的に放射するランプ２を内
蔵している。

【００３２】フォトマスクＭは、照射部１からの光が照
射される位置に配置されており、このフォトマスクＭに
は、フィルムＦに投影して転写すべき回路パターンとと
もに、フィルム側アライメント用マークに対応してフォ
トマスク側アライメント用マークが形成されている。Ｍ
１０はフォトマスクの位置調節機構であり、フォトマス
クホルダーＭ１１とサーボモータＭ１２を備えている。 システムコントローラ７からの信号によってサーボモー
タＭ１２が駆動されるとフォトマスクホルダーＭ１１が
移動してフォトマスクＭが追従制御される。フォトマス
クホルダーＭ１１を駆動するサーボモータＭ１２は、光
軸に直角な平面内で互いに直角な二つの方向への駆動お
よび光軸を中心としたフォトマスクＭの回転駆動が可能
なように、実際には三つ設けられている。

【００３３】投影レンズ３は、照射されたフォトマスク
Ｍの像を投影するものである。６は、ステージ５の下部
に配置された検出部であり、この検出部６は、フィルム
側アライメント用マークを臨む位置に配置された対物レ
ンズおよび検出器を具えている。

【００３４】フィルム搬送機構４は、図２に示したもの
と同様の機構であり、このフィルム搬送機構４によって
、フィルムＦの確実な搬送および正確な位置合わせが行
われ、フィルムＦの正しい位置にパターンの像を露光す
ることができる。

【００３５】図７は、フィルムの搬送機構を具えた本実
施例の露光装置の他の例を示す説明図である。この例の
露光装置は、図６に示す装置と略同様であるが、フィル
ム搬送機構９は、図３に示したものと同様の機構である
。

【００３６】図７において、９１は搬送されるフィルム
の幅方向の位置ズレを検出するレーザ検出器等よりなる
位置ズレ検出手段であり、９２は位置ズレ検出手段９１
からの信号によって、矯正ローラ３１と矯正ローラ３２
とを異なる周速で駆動させる位置ズレ矯正手段である。 本実施例の露光装置において、フィルムＦが幅方向に位
置ズレした状態で搬送されたときには、位置ズレ検出手
段９１がこれを検出し、その検出信号を位置ズレ矯正手
段９２へ送る。 この検出信号を受けた位置ズレ矯正手段９２は、位置ズ
レが発生した方向と反対側の矯正ローラの周速を大きく
するよう駆動モータ５２および５３の回転速度を相対的
に変化させる。これにより、フィルムＦは周速の大きい
方向へ移動して、幅方向への位置ズレが矯正される。な
お、回転速度の相対的な変化としては、駆動モータ５２
および駆動モータ５３のうち一方を一定のスピードで固
定し、他方のスピードを変化させて行ってもよい。

【００３７】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、フィルムの幅
方向の両端部に接する矯正ローラが、駆動ローラより常
に大きな周速で駆動されるので、フィルムは中央から幅
方向の両端へ引張力が作用された状態で搬送され、送り
方向に伸びる皺の発生を防止することができる。

【００３８】請求項２の発明によれば、フィルムの幅方
向の位置ズレが発生したときには、位置ズレ検出手段か
らの信号を受けた位置ズレ矯正手段によって、周速の大
きい矯正ローラの方向へフィルムが移動するので、幅方
向の位置ズレを矯正することができる。

【００３９】請求項３の発明によれば、送り方向に伸び
る皺の発生およびフィルムの幅方向の位置ズレを防止す
るフィルム搬送機構を具えているので、フィルムの確実
な搬送および正確な位置合わせが可能になり、フィルム
の正しい位置にパターンの像を露光することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のフィルム搬送機構の一実施例を示す説
明用斜視図である。

【図２】図１に示すフィルム搬送機構の要部を示す説明
用断面図である。

【図３】本発明のフィルム搬送機構の他の実施例の要部
を示す説明用断面図である。

【図４】本発明のフィルム搬送機構の要部の変更例を示
す説明用断面図である。

【図５】本発明のフィルム搬送機構の要部の変更例を示
す説明用断面図である。

【図６】フィルムの搬送機構を具えた本実施例の露光装
置の一例を示す説明図である。

【図７】フィルムの搬送機構を具えた本実施例の露光装
置の他の例を示す説明図である。

【符号の説明】

１　　　　照射部 ２　　　　ランプ ３　　　　投影レンズ ４　　　　フィルム搬送機構 ５　　　　ステージ ６　　　　検出部 ７　　　　システムコントローラ ９　　　　フィルム搬送機構 １０　　　　駆動ローラ １１　　　　駆動ローラ １５　　　　ガイドローラ ２０　　　　押圧ローラ ２５　　　　テンションローラ ３１　　　　矯正ローラ ３２　　　　矯正補助ローラ ３３　　　　駆動機構 ４１　　　　矯正ローラ ４２　　　　矯正補助ローラ ４３　　　　駆動機構 ４５　　　　駆動機構 ５０　　　　駆動モータ ５１　　　　駆動モータ ５２　　　　駆動モータ ５３　　　　駆動モータ ５４　　　　駆動モータ ６０　　　　スプリング ９１　　　　位置ズレ検出手段 ９２　　　　位置ズレ矯正手段 Ｍ　　　　フォトマスク Ｍ１０　　フォトマスクの位置調節機構Ｍ１１　　フォ
トマスクホルダー Ｍ１２　　サーボモータ Ｆ　　　　フィルム

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　駆動ローラと、押圧ローラとよりなる
   フィルム搬送機構であって、フィルムを幅方向に引張す
   る幅方向引張機構を有し、この幅方向引張機構は、前記
   駆動ローラより常に大きな周速で駆動される、フィルム
   の幅方向の両端部に接する矯正ローラを具えていること
   を特徴とするフィルムの搬送機構。
2. 【請求項２】　　搬送されるフィルムの幅方向の位置ズ
   レを検出する位置ズレ検出手段と、この位置ズレ検出手
   段からの信号によって、一端側の矯正ローラと他端側の
   矯正ローラとを異なる周速で駆動させることにより、幅
   方向の位置ズレを矯正する位置ズレ矯正手段とを具えて
   いることを特徴とする請求項１に記載のフィルム搬送機
   構。
3. 【請求項３】　　帯状のフィルムの長さ方向に沿って並
   ぶ複数のコマに順次に回路パターンを露光していくフィ
   ルム露光装置であって、照射部と、照射部からの光が照
   射される位置に配置された、回路パターンが形成された
   フォトマスクと、フォトマスクの回路パターンの像を投
   影する投影レンズと、投影レンズによる回路パターンの
   像の投影位置に、フィルムを一コマずつ搬送するフィル
   ム搬送機構とを具備してなるフィルム露光装置であって
   、前記フィルム搬送機構は、請求項１もしくは請求項２
   のいずれかに記載のフィルム搬送機構であることを特徴
   とするフィルム露光装置。