JP2019082610A - 両面露光装置及び両面露光方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ロールから引き出しての基板の搬送は間欠的であり、搬送後に停止した基板のうち、一対の露光ユニットの間に位置する部位の両面に対して所定のパターンの光が照射され、両面が同時に露光される。
しかしながら、発明者の研究によると、特許文献2で開示された構成のみでは各アライメントを必要な精度で行うことは実際には難しい。この理由の一つは、カメラの視野の問題である。
この場合、発明者の研究によると、基板のアライメントマーク(以下、基板マークという。)と一対のマスクのアライメントマークとを重ねて合わせて撮影するべく、一対のマスクに対して基板を所定位置で停止させようとしても、基板マークの形成位置の精度や基板の送り機構の精度の関係で基板がずれて停止してしまい、基板マークがカメラの視野から外れてしまうことがある。特に、ロールツーロール方式の露光装置の場合、露光において必要とされる高いアライメント精度の割にはロール送りの機構の停止位置の精度は低く、基板マークがカメラの視野から外れた状態で停止し易い。
この出願の発明は、上記の点を考慮して為されたものであり、一対のマスクのアライメントとともに基板に対するアライメントも要求される両面露光装置において、基板マークがカメラの視野から外れた状態で基板が停止してしまう問題を効果的に解決することを目的としている。
送られた基板を挟む位置に配置された一対の第一第二のマスクと、
搬送系が基板を停止させアライメントの後に基板に各マスクを通して光を照射して基板の両面を露光する露光ユニットと
を備えており、
基板は、露光すべき領域に対して所定の位置関係で設けられたアライメント用開口を有しており、
第一のマスクは、アライメント用のマークである第一マスクマークを有しており、
第二のマスクは、アライメント用のマークである第二マスクマークを有しており、
第一マスクマーク、第二マスクマーク及び基板のアライメント用開口を撮影することが可能なカメラが設けられており、
第一マスクマーク、第二マスクマーク及びアライメント用開口を撮影したカメラからの撮影データにより第一第二のマスクを基板の露光すべき領域に対して位置合わせするアライメント手段が設けられており、
搬送系が基板を停止させた際にカメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に、搬送系を制御して基板の戻し又は送りを行ってカメラが基板のアライメント用開口を撮影した状態とする制御ユニットを備えているという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項2記載の発明は、前記請求項1の構成において、前記アライメント手段は、前記第一第二のマスクを基板に平行な方向に移動させるマスク移動機構を含んでいるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項3記載の発明は、前記請求項2の構成において、前記マスク移動機構は、基板の表面に平行な方向であって前記搬送系による送りの方向に垂直な方向に前記第一第二のマスクを移動させることができる機構であるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項4記載の発明は、前記請求項1乃至3いずれかの構成において、前記制御ユニットは、前記搬送系が基板を停止させた際に前記カメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に、基板の戻しを最初に行って基板の位置を変更し、その位置でも前記カメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に基板の送りを行うよう前記搬送系を制御するものであるという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項5記載の発明は、前記請求項1乃至4いずれかの構成において、前記搬送系が基板を停止させた際にカメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合の前記戻し又は送りのストロークは、前記カメラの視野の当該ストロークの方向の長さよりも短いという構成を有する。
また、上記課題を解決するため、請求項6記載の発明は、ロールに巻かれたフレキシブルな基板を搬送系により引き出して間欠的に送り、送られて停止した基板に対し、当該基板を挟んで配置された一対の第一第二のマスクを通して露光ユニットにより光を照射して当該基板の両面を露光する両面露光方法であって、
基板は、露光すべき領域に対して所定の位置関係で設けられたアライメント用開口を有しており、
第一のマスクは、アライメント用のマークである第一マスクマークを有しており、
第二のマスクは、アライメント用のマークである第二マスクマークを有しており、
露光に先立って、第一マスクマーク、第二マスクマーク及び基板のアライメント用開口をカメラで撮影しながら、得られた撮影データにより第一第二のマスクを基板の露光すべき領域に対して位置合わせするアライメントを行う方法であり、
アライメントの際、搬送系が基板を停止させた際にカメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に、搬送系を制御して基板の戻し又は送りを行ってカメラが基板のアライメント用開口を撮影した状態とするという構成を有する。
また、請求項2記載の発明によれば、上記効果に加え、搬送系によってアライメントを行うことが不要になるので、搬送系の構造が複雑化するのが避けられる。
また、請求項3記載の発明によれば、上記効果に加え、基板が蛇行したりアライメント用開口が基板の幅方向にずれて形成されていたりした場合にも簡便に対応できるので、好適となる。
また、請求項4記載の発明によれば、上記効果に加え、基板の戻しを最初に行って基板の位置を変更するので、アライメント用開口を探すための基板の戻し量を少なくでき、戻し量が大きい場合にも蛇行が抑えられる複雑で高価な機構が不要になる。
また、請求項5記載の発明によれば、上記効果に加え、戻し又は送りのストロークがカメラの視野の当該ストロークの方向の長さよりも短いので、アライメント用開口の中心がカメラの視野の境界線に位置してしまった場合でも、戻し又は送りの後は、アライメント用開口は半分より大きな量でカメラにより撮影される。このため、アライメント用開口が撮影されているかどうかの判断のミスの可能性が低下する。
図1は、実施形態の両面露光装置の正面断面概略図である。実施形態の装置は、ポリイミドのような柔らかなもので帯状の基板Wを露光する装置となっている。図1に示すように、両面露光装置は、搬送系1と、露光ユニット2とを備えている。
搬送系1は、ロールに巻かれたフレキシブルな基板Wを引き出して間欠的に送り出す機構である。「フレキシブルな」とは、ロールに巻くことができる程度の柔軟性を有するという意味であり、一例としてはフレキシブルプリント基板用の基板が挙げられる。
図1に示すように、露光作業位置において基板Wを挟んで一対のマスク3,4が配置されている。以下、上側のマスク3を第一のマスク、下側のマスク4を第二のマスクと呼ぶ。各マスク3,4は、水平な姿勢である。
二つの露光ユニット2は上下に対称な配置であり、構造的には同様である。即ち、各露光ユニット2は、光源21と、光源21からの光をマスク3,4に照射する光学系22等を備えている。後述するように、この実施形態の装置はコンタクト露光を行う装置となっており、各露光ユニット2は、各マスク3,4に平行光を照射するユニットとなっている。したがって、光学系22は、コリメータレンズを含む。
図1に示すように、送り出し側ピンチローラ12と、第一駆動ローラ15との間が送り出し側バッファエリア101となっている。また、第二駆動ローラ16と巻き取り側ピンチローラ14との間が巻き取り側バッファエリア102となっている。
巻き取り側バッファエリア102も同様であり、不図示のセンサが配置されている。センサからの信号に従い、弛み量が限度まで多くなると、巻き取り側ピンチローラ14と巻き取り側芯ローラ13が同期して動作し、設定された最小値まで弛み量が減るように基板Wを巻き取る。
尚、各マスク3,4には、不図示のZ方向移動機構が設けられている。Z方向移動機構は、コンタクト露光のため、各マスク3,4を基板Wに向けて移動させ、基板Wに密着させるための機構である。
前述したように、アライメントは、一対のマスクを互い位置合わせするとともに一対のマスクを基板に対して位置合わせする動作である。このためには、一対のマスクマークと基板のアライメントマークとが重なる状態を基準とし、この状態が理想的な状態(精度の基準)であるとしてアライメントを行うのが簡便である。「重なる状態」とは、図2に示すように、各マーク31,41,Wmの中心が一直線上(基板Wに垂直な一つの直線上)に位置する場合が典型的であるが、他の状態を精度の基準とする場合もある。
図1に示すように、装置は、各アライメントマーク31,41,Wmを撮影するカメラ8を備えている。カメラ8はメインコントローラ6に接続されており、カメラ8の撮影データはメインコントローラ6に送られるようになっている。
各カメラ8は、光軸(内蔵したレンズの光軸)Aが垂直になるように配置されており、下方を撮影する姿勢で取り付けられている。各カメラ8を据え付けた台座には、カメラ8のXY方向の位置を変更するためのカメラ移動機構81が設けられている。
開口欠け判定ステップS2は、開口欠け判定プログラム73を実行してその戻り値を取得するステップである。開口欠け解消プログラム74は、少なくとも1個のアライメント用開口Wmについて欠けがあると判定された場合に実行されるプログラムである。
マーク判定ステップS4は、マーク欠け判定プログラム77を実行してその戻り値を取得するステップである。
本アライメントプログラム79は、全てのマスクマーク31,41が基板Wによって隠れておらず、アライメント可能と判断された場合に実行されるプログラムである。
図3に示すように、メインシーケンスプログラム7は、間欠送り完了後、開口有無判定プログラム71を実行する。開口有無判定プログラム71の戻り値は、全てのアライメント用開口Wmが撮影されている場合は正常値、そうでない場合は異常値が戻される。
開口有無判定プログラム71は、各カメラ8からの画像データを処理し、パターンマッチングによりアライメント用開口Wmの像が含まれているかを判断するようプログラミングされている。この実施形態ではアライメント用開口Wmは円形であり、その径は設計情報として既知である。したがって、開口有無判定プログラム71は、明暗の境界線で円形と見なせるもののうち、アライメント用開口Wmであると判断できるもの探す。少なくとも一つの画像データについて、アライメント用開口Wmであると見なせるものがなければ異常値を返し、そうでなければ正常値を返す。
図6には、開口検索用送り信号及び開口検索用戻し信号により基板Wに対して相対的に視野Vが変位する様子が描かれている。実際には基板Wが移動し、視野Vは移動しないが、理解のため、視野Vの相対的な変位が描かれている。
図6に示すように、検索ストロークLsは、カメラ8の視野Vの長さ(X方向の長さ)Lcよりも少し短い。したがって、検索ストロークLsの長さだけ基板Wが移動した場合、移動後の視野Vは、元の視野Vと一部重なる(同じ領域をカメラ8が視認する)ことになる。
開口欠け判定プログラム73で正常値が戻された場合又は開口欠け解消プログラム74が終了した状態では、各カメラ8においてアライメント用開口Wmが欠けのない状態で撮影されてはいるものの、一対のマスクマーク31,41が各アライメント用開口Wm内には位置しておらず、基板Wによって隠れてしまっている場合がある。図9(1)には、このような一対のマスクマーク31,41の隠れが生じた状況の一例が示されている。
第一マスクマーク31の中心と第二マスクマーク41の中心が必要な精度の範囲で一致しているのを確認した上で、本アライメントプログラム79は、それら中心の中間点を求める。そして、本アライメントプログラム79は、基板Wのアライメント用開口Wmの中心を求め、一対のマスクマーク31,41の中心の中間点とのずれを求め、そのずれを解消させるための各マスク3,4の移動の向きと距離を算出する。
メインシーケンスプログラム7は、戻り値である移動指令をマスク移動機構5に送り、一対のマスク3,4を一体に移動させ、各中心が必要な精度で一直線上に並ぶようにする。これで、本アライメントは終了である。尚、図3中不図示であるが、メインシーケンスプログラム7は、次の目標露光領域Rの露光の際のアライメントのために、本アライメント完了時点での各マスクマーク31,41の中心の座標を記憶部60に記憶する。
一対のマスク3,4は、Z方向において、基板Wから離れた待機位置に位置している。この位置は、各マスク3,4のアライメントが行われるXY平面が存在する位置である。
メインシーケンスプログラム7が実行されているメインコントローラ6からは、送りストロークLfの分だけ基板Wを送るよう搬送系1に制御信号が送られる。これにより、第一駆動ローラ15及び第二駆動ローラ16が同期して動作し、基板Wが送りストロークLfだけX方向前側(巻き取り側)に送られる。
各マスク3,4が待機位置に戻ったのが確認されると、メインシーケンスプログラム7は、搬送系1に制御信号を送り、送りストロークLfの分だけ基板WをX方向前側に送らせる。その後は、上記と同じ動作であり、送りストロークLfの基板Wの間欠送りの合間にアライメントをした上で露光を行う動作を繰り返す。
ロールに巻かれた基板Wを引き出して間欠送りをする搬送系1を使用した両面露光装置では、基板Wの蛇行を極力少なくした送りを行うことが重要である。蛇行が生じると、基板Wの幅方向(Y方向)の位置ずれが生じ、それが大きくなるとアライメント不能になり易いからである。
この場合、搬送系1は、前側への送りの際には蛇行がないように高精度の送り機構やセンサを備えているものの、後ろ側への送り(戻し)については、蛇行がないようにする機構が簡略化されることが多い。これは、基板Wを戻す状況が少ないためである。即ち、後ろ側への送りの際にも同程度に蛇行を防止する機構を構成すると、機構が不必要に大がかりで高価なものになってしまうからである。
つまり、開口検索の際に最初に基板Wの戻しを行う構成は、基板Wの戻しの距離を極力少なくするという意義があり、開口検索の際に基板Wの蛇行の発生を極力抑えるという意義がある。言い換えれば、最初に基板Wの戻し行う構成は、長い距離で戻しを行う際にも蛇行が抑えられるような複雑で高価な機構を不要にするという意義がある。
反対側のマスクマークが基板Wに隠れている場合にまず仮アライメントを行う構成は、マスクマークを探す手間が省力化され、アライメントに要する全体の時間を短くする効果がある。
さらに、マーク欠け判定を行い、欠けている場合には欠けを解消させた状態として本アライメントを行う構成は、一対のマスクマーク31,41の完全な像を取り込んだ上でアライメントを行うことになるので、この点でアライメント精度をより高くする効果がある。
尚、搬送系1としては、基板Wの送り方向が上下方向の場合もある。この場合は、垂直な姿勢の基板Wの両面にマスクを通して露光を行うことになり、左右に露光ユニット2が配置される。
さらに「開口」とは、光を通すという意味で開口ということである。これは、基板Wが遮光性であることを想定しており、レジストが塗布された場合がその典型例である。光を通すという意味で開口であることから、貫通孔でなく光透過性の部材で塞がれている場合であっても良い。つまり、光を遮断する層がそこで開いているという程度の意味である。
第一マスクマーク31、第二マスクマーク41についても、円周状や円形以外の形状が採用されることがある。例えば、一方が円形で他方が十字状でも良い。尚、第一マスクマーク31が第二マスクマーク41の内側に入り込んだ状態でアライメントがされる場合もある。
尚、プロキシミティ方式や投影露光方式の場合、一対のマスクを基板に密着させることは不要であるので、マスクをZ方向に移動させる機構が設けられない場合もある。
また、メインコントローラ6は制御ユニットの一例であるが、他の構成もあり得る。例えば、メインコントローラ6とは別に制御ユニットが設けられていたり、メインコントローラ6内の一部が制御ユニットに相当していたりする場合もある。
2 露光ユニット
21 光源
22 光学系
3 第一のマスク
31 第一マスクマーク
4 第二のマスク
41 第二マスクマーク
5 マスク移動機構
6 メインコントローラ
61 記憶部
7 メインシーケンスプログラム
71 開口有無判定プログラム
72 開口検索プログラム
73 開口欠け判定プログラム
74 開口欠け解消プログラム
75 マーク隠れ判定プログラム
76 仮アライメントプログラム
77 マーク欠け判定プログラム
78 マーク欠け解消プログラム
79 本アライメントプログラム
8 カメラ
81 カメラ移動機構
W 基板
Wm アライメント用開口
V 視野
Claims (6)
- ロールに巻かれたフレキシブルな基板を引き出して間欠的に送る搬送系と、
送られた基板を挟む位置に配置された一対の第一第二のマスクと、
搬送系が基板を停止させアライメントの後に基板に各マスクを通して光を照射して基板の両面を露光する露光ユニットと
を備えており、
基板は、露光すべき領域に対して所定の位置関係で設けられたアライメント用開口を有しており、
第一のマスクは、アライメント用のマークである第一マスクマークを有しており、
第二のマスクは、アライメント用のマークである第二マスクマークを有しており、
第一マスクマーク、第二マスクマーク及び基板のアライメント用開口を撮影することが可能なカメラが設けられており、
第一マスクマーク、第二マスクマーク及びアライメント用開口を撮影したカメラからの撮影データにより第一第二のマスクを基板の露光すべき領域に対して位置合わせするアライメント手段が設けられており、
搬送系が基板を停止させた際にカメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に、搬送系を制御して基板の戻し又は送りを行ってカメラが基板のアライメント用開口を撮影した状態とする制御ユニットを備えていることを特徴とする両面露光装置。 - 前記アライメント手段は、前記第一第二のマスクを基板に平行な方向に移動させるマスク移動機構を含んでいることを特徴とする請求項1記載の両面露光装置。
- 前記マスク移動機構は、基板の表面に平行な方向であって前記搬送系による送りの方向に垂直な方向に前記第一第二のマスクを移動させることができる機構であることを特徴とする請求項2記載の両面露光装置。
- 前記制御ユニットは、前記搬送系が基板を停止させた際に前記カメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に、基板の戻しを最初に行って基板の位置を変更し、その位置でも前記カメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に基板の送りを行うよう前記搬送系を制御するものであることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の両面露光装置。
- 前記搬送系が基板を停止させた際にカメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合の前記戻し又は送りのストロークは、前記カメラの視野の当該ストロークの方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の両面露光装置。
- ロールに巻かれたフレキシブルな基板を搬送系により引き出して間欠的に送り、送られて停止した基板に対し、当該基板を挟んで配置された一対の第一第二のマスクを通して露光ユニットにより光を照射して当該基板の両面を露光する両面露光方法であって、
基板は、露光すべき領域に対して所定の位置関係で設けられたアライメント用開口を有しており、
第一のマスクは、アライメント用のマークである第一マスクマークを有しており、
第二のマスクは、アライメント用のマークである第二マスクマークを有しており、
露光に先立って、第一マスクマーク、第二マスクマーク及び基板のアライメント用開口をカメラで撮影しながら、得られた撮影データにより第一第二のマスクを基板の露光すべき領域に対して位置合わせするアライメントを行う方法であり、
アライメントの際、搬送系が基板を停止させた際にカメラが基板のアライメント用開口を撮影していない場合に、搬送系を制御して基板の戻し又は送りを行ってカメラが基板のアライメント用開口を撮影した状態とすることを特徴とする両面露光方法。
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