JP2007114385A - 投影露光装置及びその投影露光方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる投影露光装置、及び投影露光方法を提供する。
【解決手段】ワークシート２を間歇的に搬送して投影露光を行なう投影露光装置１であって、ワークシート２を載せ搬送可能な露光テーブル４と、露光テーブル４により投影位置に搬送されたワークシート２に投影露光を行なう投影露光部１０と、を備え、露光テーブル４が、ワークシート２の搬送方向において所定のストロークだけ前進及び後進が可能であり、かつワークシート２の保持及び解放が可能であって、露光テーブル４が、ワークシート２を保持した状態で前進し、ワークシート２を解放した状態で後進することによって、ワークシート２を間歇的に搬送する投影露光装置１を提供する。
【選択図】 図１ｃ

Description

本発明は、ワークシートを間歇的に搬送して、所望のパターンを投影露光する投影露光装置、及びその投影露光方法に関する。

ワークシートを搬送する搬送部と、搬送されるワークシートに所望のパターンを投影露光する投影露光部とを備えた投影露光装置が、回路基板製造の分野で広く用いられている。この投影露光装置の中には、ロール状に巻かれた連続長尺ワークシートを引き出して投影露光を行ない、投影露光が行なわれた連続長尺ワークシートを再びロール状に巻き取る投影露光装置がある。この装置では、連続長尺ワークシートの搬送方法として、連続長尺ワークシートにスプロケット穴を開け、このスプロケット穴にスプロケットを噛み合わせて回転させて、連続長尺ワークシートを搬送するスプロケット方式の搬送方法が広く用いられている。

しかし、このスプロケット方式の搬送方法では、巻出しロールと巻取りロールの間にかけられた張力の影響で、連続長尺ワークシートのスプロケット穴が拡大して、正確な搬送ができないという問題も生じる。そこで、この問題を解決するため、連続長尺ワークシートを把持して所定ストローク移動することにより、連続長尺ワークシートを搬送するグリップフィールド機構を用いた投影露光装置が提案されている。（例えば、特許文献１参照。）

特許文献１には、投影露光部の搬送方向出側にグリップフィールド機構が設置され、グリップフィールド機構が、ワークシートを把持した状態で所定ストロークだけ出側へ移動することによって、連続ワークシートを搬送する投影露光装置が記載されている。しかし、この投影露光装置では、スプロケット方式に比べれば、張力による伸びは減少するが、厚みの薄い連続長尺ワークシートを用いる場合には、依然、張力による伸びの問題が生じる。

そこで、特許文献１における張力による連続長尺ワークシートの伸びの問題を解決するため、特許文献２には、投影露光部の搬送方向入側と出側に、各々グリップフィールド機構を設置して、２つのグリップフィールド機構がワークシートを把持し同速度で移動することによって、連続長尺ワークシートを搬送する投影露光装置が記載されている。
特開２０００−９５４０２号 特開２００３−３３５４４３号

しかし、特許文献２に記載された投影露光装置では、投影露光部の入側と出側でワークシートを把持して搬送する方法であり、投影露光が行なわれる露光テーブルの位置では、ワークシートを保持したりガイドしたりすることはできない。よって、入側と出側のグリップフィールド機構の移動速度を同一にしただけでは、露光テーブルの位置で、ワークシートの伸び、波うち、しわ等が生じない、高い位置決め精度を有する搬送を実現することは困難であり、また、搬送速度を上げることも困難である。もし、特許文献２に記載された投影露光装置を用いて、露光テーブルの位置で高い位置決め精度を得ようとすれば、入側のグリップフィールドと出側のグリップフィールドの間でワークシートに一定の張力をかける必要があり、張力をかければ必然的にワークシートの伸びの問題が生じる。

また、露光テーブルの位置で、ワークシートを保持して搬送する手段として、ワークシートを吸着可能なベルトを周回させる無限軌道を用いることが考えられるが、この場合には、ベルトが周回するときの位置ずれが大きく、投影露光に適した搬送精度を得ることは困難である。

従って、本発明の目的は上述の問題を解決して、ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる投影露光装置、及び投影露光方法を提供することにある。

上術の問題を解決するため、本発明の投影露光装置の１つの実施態様は、ワークシートを間歇的に搬送して投影露光を行なう投影露光装置であって、前記ワークシートを載せ搬送可能な露光テーブルと、前記露光テーブルにより投影位置に搬送された前記ワークシートに投影露光を行なう投影露光部と、を備え、前記露光テーブルが、前記ワークシートの搬送方向において所定のストロークだけ前進及び後進が可能であり、かつ前記ワークシートの保持及び解放が可能であって、前記露光テーブルが、前記ワークシートを保持した状態で前進し、前記ワークシートを解放した状態で後進することによって、前記ワークシートを間歇的に搬送することを特徴とする。

ここで、「ワークシート」は、樹脂や金属等を母材とする感光性シートであり、例えば、通常ロール状に巻かれた連続長尺シートも考えられるし、一定の長さの短尺シートも考えられる。また、ワークシートの厚みは、薄いものは数十ミクロのものから、厚いものは数ミリのものまで、あらゆる厚みのワークシートを用いることができる。なお、ワークシートの表面には、予めレジスト材を始めとするコーティング材を塗布することができる。
また、「投影露光部」は、光源から出力された光を、所定のパターンが描かれたレクチルに照射し、その透過光を投影レンズを介して露光テーブル上のワークシートに照射し、所定のパターンを投影露光する機器である。また、レクチルは、通常、投影露光部に備えられたレチクルステージに交換可能な状態で保持されている。

「露光テーブル」は、投影露光部により投影露光されるワークシートを保持するため、投影露光部の投影レンズに対向した位置に設置される。本実施態様の露光テーブルでは、露光テーブルが投影露光されるワークシートを保持するだけでなく、ワークシートを搬送する機能も備えている。なお、ワークシートの搬送方向としては、水平方向だけではなく、垂直方向、斜めの方向を含むあらゆる方向が考えられる。
ここで、ワークシートを保持する方法としては、例えば、真空吸引を用いることも考えられるし、ワークシートが磁性体であれば磁力を用いることも考えられるし、機械的なクランプ機構等を用いることも考えられるし、その他の様々な保持手段を用いることができる。

本実施形態では、ワークシートを露光テーブル自体が保持して移動するため、ワークシートと露光テーブルとの間でずれや、ワークシートの伸び、波うち、しわ等の発生を防止することができる。また、露光テーブルを所定のストロークだけ前後進させる機構は、ベルト等を用いた無限軌道に比べて、高い機械精度を得ることができる。従って、露光テーブルの移動については、この高い機械精度と、センサ等を用いた移動制御によって、ワークシートの投影露光に適した高い位置決め精度を有する高速搬送を実現することができる。また、露光テーブルの前進、後進と、ワークシートの保持、解放を組み合わせることによって、簡易な構造で確実にワークシートを間歇的に搬送することができる。

従って、本実施態様によれば、ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる。更に、投影露光に際して、投影露光に際しての位置決め調整整に要する時間を削減し、または場合によっては不要にすることができるので、投影露光装置の稼動効率を高めることができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記ワークシートの搬送方向において、前記露光テーブルの入側に設置され、前記ワークシートの保持及び解放が可能な入側保持部と、
前記ワークシートの搬送方向において、前記露光テーブルの出側に設置され、前記ワークシートの保持及び解放が可能な出側保持部と、を更に備え、前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートを解放し、前記露光テーブルが前記ワークシートを保持した状態で、前記露光テーブルが前進し（以下、前進工程という）、前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートを保持し、前記露光テーブルが前記ワークシートを解放した状態で、前記露光テーブルが後進する（以下、後進工程という）ことを特徴とする。

ここで、入側保持部及び出側保持部がワークシートを保持する方法は、上述の露光テーブルの場合と同様に、例えば、真空吸引を用いることも考えられるし、磁力を用いることも考えられるし、機械的なクランプ機構等を用いることも考えられるし、その他様々な保持手段を用いることができる。

本実施態様では、露光テーブルが前進する場合には、ワークシートは露光テーブルによって保持されて搬送され、露光テーブルが後進する場合には、ワークシートは入側保持部及び出側保持部によって保持されるので、位置のずれ、伸び、波うち、しわ等の発生を抑えて、高い位置決め精度を有する搬送を実現できる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記前進工程から前記後進工程へ移行する間、及び前記後進工程から前記前進工程に移行する間の前記露光テーブルが停止した状態において、前記入側保持部、前記出側保持部、及び前記露光テーブルが同時に前記ワークシートを保持する工程を有することを特徴とする。

本実施態様では、前進工程、または後進工程が開始する前に、必ず、入側保持部、出側保持部、及び露光テーブルが同時にワークシートを保持するので、ワークシートの位置のずれを確実に防いで、高い位置決め精度を得ることができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記露光テーブル、前記入側保持部、及び前記出側保持部について、前記ワークシートと接触する状態と前記ワークシートと接触しない状態とに変更する接触状態変更手段を更に備え、前記接触状態変更手段が、前記前進工程では、前記露光テーブルが前記ワークシートと接触し、前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートと接触しない状態を形成し、前記後進工程では、前記露光テーブルが前記ワークシートと接触せずに、前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートと接触する状態を形成することを特徴とする。

ここで、露光テーブル、入側保持部、及び出側保持部とワークシートとの接触状態を変更する方法としては、例えば、露光テーブル、入側保持部、及び出側保持部の接触面を移動させることも考えられるし、ワークシート側の接触面を移動させることも考えられるし、その他の様々な方法が考えられる。
ここで、露光テーブル、入側保持部、及び出側保持部の接触面を移動させる場合には、露光テーブルの接触面だけを移動させることも考えられるし、入側保持部及び出側保持部の接触面だけを移動させることも考えられるし、両方の接触面を移動させることも考えられる。また、接触面が移動する方向としては、ワークシートの厚み方向に移動させることも考えられるし、ワークシートの幅方向においてワークシートの存在しない位置へ移動させることも考えられる。

接触面をワークシートの厚み方向に移動させる場合には、露光テーブル自体、または、入側保持部及び出側保持部自体を動かすこともできるし、露光テーブル自体、または入側保持部及び出側保持部自体は動かさずに、接触面だけを移動させることも考えられる。
接触面だけを移動させる場合には、例えば、露光テーブル、または入側保持部及び出側保持部のワークシートの厚み方向の寸法を、機械的機構により増減させることも考えられるし、また、弾性材の内部に流体を入れ、その流体の流入量や圧力を変化させて変形させることも考えられる。

本実施態様では、前進工程では、ワークシートが入側保持部及び出側保持部と接触することがなく、後進工程では、ワークシートが露光テーブルと接触することがないので、ワークシートの位置のずれや、接触による損傷が生じる恐れがなく、高い位置決め精度を有する搬送が可能となる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記所定のストロークが、前記ワークシートを投影露光する露光ピッチ距離と一致することを特徴とする。

本実施態様では、露光テーブルの移動ストロークと露光ピッチ距離が一致するので、露光テーブルの移動機構の機械精度を十分に取ることによって、露光ピッチ距離に正確に対応したワークシートの搬送を行なうことができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記所定のストロークが、前記ワークシートを投影露光する露光ピッチ距離より長く、前記露光テーブルが前記露光ピッチ距離だけ前進または後進することができることを特徴とする。

本実施態様では、高い機械制度を有する機構または適切な制御手段を用いることによって、露光ピッチ距離に正確に対応したワークシートの搬送を行なうことができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記露光テーブルを前記露光ピッチ距離だけ前進させて前記ワークシートに投影露光を行なう工程を、前記露光テーブルの前進距離が前記所定のストロークに達するまで繰り返し、前記露光テーブルの前進距離が前記所定のストロークに達したときに、前記露光テーブルを前記所定のストロークだけ後進させることを特徴とする。

本実施態様では、露光テーブルを後進させることなく、続けてワークシートの投影露光を行なうことができるので、投影露光の稼動効率を向上させることができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記露光テーブルの前記ワークシートを保持する領域と、前記入側保持部及び前記出側保持部の前記ワークシートを保持する領域とが、前記所定のストロークの全域に渡ってオーバーラップしていることを特徴とする。

本実施態様では、露光テーブルが移動するストローク全域において、露光テーブルがワークシートを保持する領域と、入側保持部及び出側保持部がワークシートを保持する領域とがオーバーラップするので、確実にワークシートを保持することができ、搬送におけるワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等の発生を確実の防ぐことができる。また、露光テーブルがワークシートを保持する領域と、入側保持部及び出側保持部がワークシートを保持する領域とをオーバーラップさせることによって、ワークシートの搬送機構の全長を短縮することができ、コンパクトな投影露光装置を実現することができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記露光テーブル、及び／または前記投影露光部に備えられたレチクルステージを回転させて、前記露光テーブルの移動方向と、前記投影露光部によるレチクルの投影パターンの方向とを一致させる回転機構を更に備えることを特徴とする。

ここで、「回転機構」は、露光テーブルだけを回転させることも、レチクルステージだけを回転させることとも、両方を回転させるともできる。また、レチクルステージを回転させるときには、投影露光部に備えられた他の機器と共に回転させることもできる。

本実施態様では、短い時間に正確な位置の調整を行なうことができ、一度調整を行なえば、調整を行なわずに複数回数の投影露光を行なうこともできるので、投影露光装置の稼動効率を向上させることができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、ロール状に巻かれた前記ワークシートを前記入側保持部へ送り出す巻出し部と、前記出側保持部から送り出された前記ワークシートをロール状に巻き取る巻取り部と、前記巻出し部と前記入側保持部との間、及び前記出側保持部と前記巻取り部との間に設置された前記ワークシートに弛みを持たせるループ部と、を更に備えることを特徴とする。

本実施態様では、ワークシートに弛みを持たせるループ部を備えることによって、露光テーブル上のワークシートに不要な力がかかる恐れがない。ロール状に巻かれた連続長尺ワークシートを用いて、効率的に投影露光を行なうことができる。

本発明の投影露光装置のその他の実施態様は、前記入側保持部、前記出側保持部、及び前記露光テーブルが、真空吸引によって前記ワークシートを保持することを特徴とする。

本実施態様では、入側保持部、出側保持部、及び露光テーブルのワークシートとの接触面に、複数の吸引用の穴を設けて、真空ポンプを含む真空生成手段を用いて、ワークシートを吸引して保持することができる。本実施態様では、入側保持部、出側保持部、及び露光テーブルに機械的なクランプ機構等を設けずに、シンプルな構造でワークシートの保持、解放を行なうことができる。

本発明の投影露光方法の１つの実施態様は、ワークシートを間歇的に搬送して投影露光を行なう方法であって、前記ワークシートの搬送方向において露光テーブルの入側に設置された入側保持部及び出側に設置された出側保持部により前記ワークシートを保持させ、その後、前記露光テーブルが前記ワークシートを保持している場合には、その保持を解放させるステップ１と、前記露光テーブルを、前記ワークシートを解放した状態で、所定のストロークだけ後進させるステップ２と、前記露光テーブルにより前記ワークシートを保持させ、その後、前記入側保持部及び前記出側保持部による前記ワークシートの保持を解放させるステップ３と、前記露光テーブルを、前記ワークシートを保持した状態で、前記ワークシートを投影露光する露光ピッチ距離分だけ前進させるステップ４と、位置ずれの累積誤差が所定値を越えた場合に、前記露光テーブルの移動方向と、投影露光部によるレチクルの投影パターンの方向とを一致させるステップ５と、前記投影露光部により前記ワークシートに投射露光を行なうステップ６と、前記露光テーブルの前進距離が前記所定のストロークに達するまで、前記ステップ４から６のステップを繰り返すステップ７と、を含むことを特徴とする。

本実施態様によれば、ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じることなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる。更に、位置決めの累積誤差が所定値を超えるまでは、位置決め調整を行なわずに投影露光を行なうことができ、また、仮にステップ５に記載の調整を行なう場合でも、調整時間が短縮できるので、投影露光装置の稼動効率を高めることができる。
なお、露光テーブルの移動ストロークと露光ピッチ距離とが一致する場合も、本実施態様に含まれ、この場合には、ステップ７では、ステップ４からステップ６の工程が１回だけ行なわれる。

本発明の投影露光方法のその他の実施態様は、前記ステップ５に、前記投影露光部により、前記レクチルに設けられた第１のアライメントマーク及び第２のアライメントマークを、概略前記搬送方向に沿って前記露光ピッチ距離分離れた位置に投影するステップ５Ａと、前記第１のアライメントマークの投影位置と、前記露光テーブルに設けられた基準マークとを一致させるステップ５Ｂと、前記露光テーブルを、前記基準マークが前記第２のアライメントマークの投影位置に近づく方向に、前記露光ピッチ距離分だけ移動させるステップ５Ｃと、前記基準マークと前記第２のアライメントマークの投影位置との位置のずれを計測するステップ５Ｄと、計測された前記ずれに基づいて、前記第１のアライメントマークまたは前記第２のアライメントマークの投影位置を中心に、前記露光テーブルまたは前記投影露光部に備えられたレチクルステージを回転させるステップ５Ｅと、が含まれることを特徴とする。

本実施態様では、仮に、ワークシートを投影露光する際に位置の調整が必要となったときでも、短い時間に正確な位置合わせを行なうことができるので、投影露光装置の稼動効率を向上させることができる。

本発明の投影露光装置、及び投影露光方法によれば、ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる。更に、投影露光に際して、位置の調整に要する時間を大幅に削減し、または調整を不要にすることができるので、投影露光装置の稼動効率を向上させることができる。

本発明の投影露光装置、及び投影露光方法について、以下に図面を用いながら詳細に説明する。
（本発明の投影露光装置の第１の実施形態の説明）
始めに図１ａから図１ｄを用いて、本発明の投影露光装置の第１の実施形態、及びその投影露光方法の説明を行なう。まず、図１ａを用いて、本実施形態の投影露光装置の全体構造の説明を行なう。

＜全体構造の説明＞
この投影露光装置１は、ワークシート２を間歇的に搬送しながら、投影露光部１０によりワークシート２に投影露光を行なう装置である。このワークシート２の搬送順に沿って、投影露光装置１の各構成機器の説明を行なう。

本実施形態のワークシート２は、連続長尺シートであって通常ロール状に巻かれている。このワークシート２は樹脂製感光性シートで、表面にレジスト材が塗布されている。
ロール状に巻かれたワークシート２は、投影露光装置１の入側に設置された巻出しロール２０に挿入され、電動モータ（図示せず）の駆動力により巻出しロール２０が回転することによって、ワークシート２を巻き出して、入側ダブルロール２４へ送り出す。入側ダブルロール２４は、上ロールと下ロールから構成され、ワークシート２を上下のロールで挟み込むようにしながら、電動モータ（図示せず）の駆動力により上ロールと下ロールが各々回転して、入側サポートロール２８へ送り出す。

入側ダブルロール２４と入側サポートロール２８との間では、ワークシート２を所定量だけ弛ませて蓄える入側ループ部３２が形成されている。この入側ループ部３２によって、露光テーブル４の上のワークシート２に不要な力がかからないようになっている。入側ダブルロール２４は、搬送量に応じた長さのワークシート２を入側ループ部３２に供給し、常に、入側ループ部３２で一定量のワークシート２が蓄えられるようにしている。
また、入側サポートロール２８は駆動されないフリーロールであって、接触したワークシート２の動きに追従して回転する。なお、入側サポートロール２８は、回転抵抗が極力小さくなるようにして、ワークシート２に不要な力が加わらないようなっている。

次に、露光テーブル４は、図１ｂ、１ｃに示すように、所定のストロークだけワークシート２の搬送方向へ移動（前進）でき、また搬送方向と逆の方向へ移動（後進）できるようになっている。更に、露光テーブル４は、真空吸引によりワークシート２を保持し、また開放することができるようになっている。
露光テーブル４の搬送方向における入側には、入側保持部６が設置され、露光テーブル４の搬送方向における出側には、出側保持部８が設置されている。入側保持部６及び出側保持部８は、真空吸引によりワークシート２を保持し、また開放することができるようになっている。本実施形態では、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８によるワークシート２の保持、開放と、露光テーブル４の前進、後進を適切に組み合わせることによって、ワークシート２を間歇的に搬送することができる。この搬送方法については、追って詳述する。

露光テーブル４の上方には、投影露光部１０が設置されている。投影露光部１０は、図示されていない光源と、図示されていないレチクルホルダに取り付けられたレチクル１２と、投影レンズ１４とを備え、露光テーブル４によって、露光位置に搬送されたワークシート２に投影露光を行なう。なお、投影露光に際しては、露光テーブル４は停止し、ワークシート２を保持した状態になっている。

投影露光部１０による投影露光を更に詳しく説明すると、レチクル１２には所定の回路パターンは描かれており、光源から出力された光がレチクル１２へ照射され、その透過光が投影レンズ１４を通過してワークシート２に照射される。これにより、レチクル１２に描かれた回路パターンがワークシート２上に投影露光され、投影パターン１６が形成される。

ワークシート２は、投影露光位置で投影露光された後、出側サポートロール３０側へ搬送され、更に出側ダブルロール２６側へ搬送される。ここで、出側サポートロール３０は、入側サポートロール２８と同様に、駆動されないフリーロールであって、接触したワークシート２の動きに追従して回転する。なお、出側サポートロール３０も、回転抵抗が極力小さくなるようにして、ワークシート２に不要な力が加わらないようなっている。
また、出側ダブルロール２６は、入側ダブルロール２４と同様に、上ロールと下ロールから構成され、ワークシート２を上下のロールで挟み込むようにしながら、電動モータ（図示せず）の駆動力により上ロールと下ロールが各々回転して、ワークシート２を巻取りロール２２へ送り出す。

出側サポートロール３０と出側ダブルロール２６との間には、ワークシート２を所定量だけ弛ませて蓄える出側ループ部３４が形成されている。この出側ループ部３４によって、露光テーブル４の上のワークシート２に不要な力がかからないようになっている。出側ダブルロール２６は、搬送量に応じた長さのワークシート２を出側ループ部３４から搬出し、常に、出側ループ部３４で一定量のワークシート２が蓄えられるようにしている。
そして、電動モータ（図示せず）の駆動力により巻取りロール２２が回転して、ワークシート２を巻取り、ワークシート２の投影露光のための一連の工程を終了する。

＜露光テーブルによるワークシートの搬送方法の説明＞
次に、本実施形態の露光テーブル４によるワークシート２の搬送方法について、図１ａ〜１ｄを用いて説明する。
まず、本実施形態の露光テーブル廻りの構成機器について、更に詳細に説明する。図１ａに示すように、露光テーブル４は、矩形平板状の中央部４ａの前後に、中央部４ａより幅が狭くなった入側部４ｂと出側部４ｃが接続された構造になっている。そして、入側部４ｂは、入側保持部６の保持面６ａと保持面６ｂの間を通るように配置され、同様に、出側保持部４ｃは、出側保持部８の保持面８ａと保持面８ｂの間を通るように配置されている。

また、露光テーブル４の上面、入側保持部６の保持面６ａ、６ｂ、及び出側保持部８の保持面８ａ、８ｂにおいては、ワークシート２が接触する領域に、ワークシート２を真空吸引するための吸引穴（図示せず）が開けられている。各々の吸引穴は、真空ポンプを含む真空生成手段（図示せず）と接続され、真空吸引によってワークシート２を保持（吸着）するようになっている。また、真空生成手段に備えられた制御バルブの切り替えにより、保持したワークシート２を解放することができる。

更に、露光テーブル４は、中央部４ａの出側端が出側保持部８に近接する出側位置（図１ａ、１ｃ、１ｄ参照）と、中央部４ａの入側端が入側保持部６に近接する入側位置（図１ｂ参照）との間を、所定のストロークだけ前進（図１ｃ参照）及び後進（図１ｂ参照）することができる。なお、本実施形態では、露光テーブル４は、リニアモータによって前進及び後進するようになっている。

図面から明らかなように、本実施形態では、露光テーブル４の前後の部分が、入側保持部６の保持面６ａ、６ｂの間、及び出側保持部８の保持面８ａ、８ｂの間を通るように配置されているので、露光テーブル４がどの位置にある場合であっても、露光テーブル４のワークシート２を保持する領域と、入側保持部６及び出側保持部８のワークシート２を保持する領域が、オーバーラップするようになっている。この配置により、露光テーブル４がどの位置にある場合であっても、確実にワークシート２を保持するができ、更に、全長の短いコンパクトな搬送手段を実現することができる。

次に、図１ａ〜１ｄの順に、ワークシート２を間歇的に搬送しながら投影露光する方法を説明する。
＜図１ａに示す状態＞
図１ａは、ワークシート２とレチクル１２の位置決め調整が終了し、１回目の投影露光を行なって１つ目の露光パターン１６を形成したところを示す。１回目の投影露光に際しては、コイル状に巻かれたワークシート２は、巻出しロール２０から巻取りロール２２に至るまで、予め投影露光装置１のライン上の各機器にセットされ、入側ループ部３２及び出側ループ部３４には所定量のワークシート２が蓄えられている。
投影露光する場合には、露光テーブル４は出側位置で停止し、真空吸引によりワークシート２を保持した状態になっている。一方、入側保持部６及び出側保持部８は、ワークシート２を解放した状態になっている。

１回目の投影露光の後、入側保持部６及び出側保持部８が、真空吸引によりワークシート２を保持する。つまり、ワークシート２の位置ずれを防止するため、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する。

＜図１ｂに示す状態＞
その後、露光テーブル４は、保持していたワークシート２を解放し、図１ｂの矢印に示すように、入側位置に到達するまで所定のストローク後進する。この場合、ワークシート２は、入側保持部６及び出側保持部８により保持されているので、ワークシート２に、位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れはない。

露光テーブル４が入側位置に到達し停止すると、次に、露光テーブル４が、真空吸引によりワークシート２を保持する。つまり、ワークシート２の位置ずれを防止するため、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する。
＜図１ｃに示す状態＞
その後、入側保持部６及び出側保持部８は、保持していたワークシート２を解放し、露光テーブル４は、図１ｃの矢印に示すように、出側位置に到達するまで所定のストローク前進する。この場合、ワークシート２は露光テーブル４に保持されているので、位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく搬送が行なわれる。
また、このとき、図１ｃに示すように、搬送された分だけ、入側ループ部３２に蓄えられたワークシート２が減少し、出側ループ部３４に蓄えられたワークシート２が増加する。

露光テーブル４が出側位置に到達して停止すると、次に、ワークシート２とレチクル１２の位置決め調整を行なう。そして、２回目の投影露光を行なって、２つ目の露光パターン１６を形成する。
なお、本実施形態では、露光テーブル４は、機械的なストロークエンド（出側位置と入側位置）の間を移動し、この移動距離と投射ピッチ距離を一致させることによって、投影ピッチ距離に正確に対応させてワークシート２を搬送することができるので、投影露光に際しての位置決め調整を最小限に抑えることができる。
また、仮に、露光テーブル４の移動距離が、ストロークエンド間の距離より小さい場合であっても、本実施形態ではリニアモータを用いて移動するので、正確な搬送距離を確保することができる。更に、リニアモータによりガイドされているので、露光テーブル４の移動において、横ぶれ、蛇行等が生じる恐れもなく、正確なワークシート２の搬送を実現できる。
また、露光テーブル４の広い領域でワークシート２を強く保持できるので、位置ずれ等を生じる恐れがなく、高速でワークシート２を搬送することができる。

なお、後述するように、露光テーブル４の移動方向とレクチル１２の投影パターン１６の方向を一致させる調整を行なうことによって、投影露光を行なうごとの位置決め調整を不要にすることができ、投影露光の稼動効率を更に高めることができる。

＜図１ｄに示す状態＞
２回目の投影露光の後、入側保持部６及び出側保持部８が、真空吸引によりワークシート２を保持する。つまり、ワークシート２の位置ずれを防止するため、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する。そして、この状態において、入側ダブルロール２４及び巻出しロール２０を回転させて、入側ループ部３２にワークシート２を供給し、搬送で減少したワークシート２の量を元に戻す。同様に、出側ダブルロール２６と巻取りロール２２を回転させて、出側ループ部３４からワークシート２を搬出し、搬送で増加したワークシート２の量を元に戻す。

入側ループ部３２と出側ループ部３４のワークシート２に蓄えられた量を調整した後、図１ｂ〜１ｄに示した工程を繰り返すことによって、続けて、ワークシート２を間歇的搬送しながら投影露光することができる。本実施形態によれば、ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる。また、投影露光に際しての位置決め調整を最小限に抑えることができる。

（本発明の投影露光装置の第２の実施形態の説明）
次に、図２を用いて、本発明の投影露光装置の第２の実施形態の説明を行なう。本実施形態では、入側保持部６及び出側保持部８を同時に昇降させる昇降機構を備えている。なお、露光テーブル４を含め、投影露光装置１を構成するその他の機器については、図１ａ〜１ｄに示す機器、または後述する図３ａ〜３ｄに示す機器を適用することができる。また、本実施形態の露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８のワークシート２に接触する領域には、吸引穴が開けられ、真空吸引によりワークシート２を保持することができるようになっている。

本実施形態では、入側保持部６及び出側保持部８は、図示されていない電動シリンダによって昇降するようになっている。ただし、電動シリンダを用いずに、例えば、電動モータと歯車機構（例えば、ラックアンドピニオン、ウオームギア）の組合せ、空圧、油圧シリンダ等を用いることもできる。

入側保持部６及び出側保持部８は、高さ方向において、図２（ａ）に示すような、入側保持部６の保持面６ａ、６ｂ及び出側保持部８の保持面８ａ、８ｂが、露光テーブル４の上面よりも上方にある上昇位置と、図２（ｂ）に示すような、保持面６ａ、６ｂ及び保持面８ａ、８ｂが、露光テーブル４の上面よりも下方にある下降位置と、図２（ｃ）に示すような、保持面６ａ、６ｂ及び保持面８ａ、８ｂが、露光テーブル４の上面と同一の高さにある中間位置の３つのポジションを取ることができる。

入側保持部６及び出側保持部８が上昇位置（図２（ａ）参照）にある場合には、保持面６ａ、６ｂ及び保持面８ａ、８ｂとワークシート２とは接触するが、露光テーブル４の上面とワークシート２とは離れた状態にある。従って、真空吸引によって、入側保持部６及び出側保持部８はワークシート２を保持することはできるが、露出テーブル４はワークシート２を保持することができないようになっている。

入側保持部６及び出側保持部８が下降位置（図２（ｂ）参照）にある場合には、露光テーブル４の上面とワークシート２は接触するが、保持面６ａ、６ｂ及び保持面８ａ、８ｂとワークシート２は離れた状態にある。従って、真空吸引によって、露出テーブル４はワークシート２を保持することができるが、入側保持部６及び出側保持部８はワークシート２を保持することができないようになっている。

入側保持部６及び出側保持部８が中間位置（図２（ｃ）参照）にある場合には、露光テーブル４の上面、保持面６ａ、６ｂ、及び保持面８ａ、８ｂが、全てワークシート２と接触している状態にある。従って、真空吸引によって、露出テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８は、同時にワークシート２を保持することができるようになっている。

入側保持部６及び出側保持部８がワークシート２を保持した状態において、露光テーブル４がワークシート２を解放した状態で後進する場合（図１ｂ参照）には、図２（ａ）に示す入側保持部６及び出側保持部８が上昇位置にいるポジションを取ることによって、入側保持部６及び出側保持部８によって位置が固定されたワークシート２と、後進する露光テーブル４が接触することを確実に防ぐことができる。

また、入側保持部６及び出側保持部８がワークシート２を解放した状態において、露光テーブル４がワークシート２を保持した状態で前進する場合（図１ｃ参照）には、図２（ｂ）に示す入側保持部６及び出側保持部８が下降位置にいるポジションを取ることによって、露光テーブル４に保持されて移動するワークシート２と、位置が固定された入側保持部６及び出側保持部８が接触することを確実に防ぐことができる。

また、露光テーブル４が出側位置または入側位置で停止した状態で、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する場合には、図２（ｃ）に示す入側保持部６及び出側保持部８が中間位置にあるポジションを取ることによって、実現することができる。

以上のように、入側保持部６及び出側保持部８を昇降させる昇降機構を有する本実施形態を用いることによって、ワークシート２の搬送において、ワークシート２が、露光テーブル４、入側保持部６、または出側保持部８に干渉されて、損傷したり位置ずれを起こしたりすることを確実に防止することができる。
なお、本実施形態では、入側保持部６及び出側保持部８を昇降させているが、露光テーブル４の方を昇降させることも可能であるし、両方を昇降させることもできる。更に、露光テーブル４、入側保持部６、出側保持部８自体を昇降させるのではなく、ワークシート２との接触面のみを上下に動かすようにすることも考えられる。

（本発明の投影露光装置の第３の実施形態の説明）
次に、図３ａから図３ｄを用いて、本発明の投影露光装置の第３の実施形態の説明を行なう。本実施形態の機器構成は、図１ａ〜１ｄに示す投影露光装置１と同様である。ただし、本実施形態においては、露光テーブル４が入側位置から出側位置へ移動するストロークが露光ピッチ距離よりも長く、具体的には、露光テーブル４が、露光ピッチ距離分の移動を３回繰り返したときに、移動ストロークに達するようになっている。露光テーブル４は、リニアモータによって移動するので、正確に露光ピッチ距離分移動することができる。

＜図３ａに示す状態＞
図３ａには、露光テーブル４が、露光ピッチ距離分前進し、その都度、投影露光部１０が投影露光を行なう工程が示されている。
（ａ１）には、ワークシート２とレチクル１２の位置決め調整が終了し、１回目の投影露光を行なって、１つ目の露光パターン１６を形成したところを示す。１回目の投影露光に際しては、コイル状に巻かれたワークシート２は、巻出しロール２０から巻取りロール２２に至るまで、予め投影露光装置１のライン上の各機器にセットされ、入側ループ部３２及び出側ループ部３４には所定量のワークシート２が蓄えられている。
１回目の投影露光する場合には、露光テーブル４は、入側位置から露光ピッチ距離１ピッチ分だけ前進した位置で停止し、真空吸引によりワークシート２を保持した状態になっている。一方、入側保持部６及び出側保持部８は、ワークシート２を解放した状態になっている。

１回目の投影露光を行なった後、（ａ２）に示すように、露光テーブル４がワークシート２を保持し、入側保持部６及び出側保持部８がワークシート２を解放した状態のまま、露光テーブル４が露光ピッチ距離分前進して、ワークシート２を搬送する。露光テーブル４が露光ピッチ距離分前進して停止すると、必要に応じて、ワークシート２とレチクル１２の位置決め調整を行ない、その後、２回目の投影露光を行なって、２つ目の露光パターン１６を形成する。

２回目の投影露光を行なった後、（ａ３）に示すように、露光テーブル４がワークシート２を保持し、入側保持部６及び出側保持部８がワークシート２を解放した状態のまま、露光テーブル４が更に露光ピッチ距離分前進して、ワークシートを搬送する。このとき、露光テーブル４は出側位置に達する。つまり、露光テーブル４は、移動ストローク分前進したことになる。
そして、露光テーブル４が露光ピッチ距離分前進して停止すると、必要に応じて、ワークシート２とレチクル１２の位置決め調整を行ない、その後、３回目の投影露光を行なって、３つ目の露光パターン１６を形成する。

３回目の投影露光の後、入側保持部６及び出側保持部８が、真空吸引によりワークシート２を保持する。つまり、ワークシート２の位置ずれを防止するため、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する。

＜図３ｂに示す状態＞
その後、露光テーブル４は、保持していたワークシート２を解放し、図３ｂの矢印に示すように、入側位置に到達するまで移動ストローク分後進する。この場合、ワークシート２は、入側保持部６及び出側保持部８により保持されているので、ワークシート２に、位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れはない。

露光テーブル４が入側位置に到達して停止すると、次に、露光テーブル４が真空吸引によりワークシート２を保持する。つまり、ワークシート２の位置ずれを防止するため、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する。
＜図３ｃに示す状態＞
その後、入側保持部６及び出側保持部８が、保持していたワークシート２を解放し、図３ｃの矢印に示すように、露光テーブル４が、露光ピッチ距離分前進して、ワークシートを搬送する。露光テーブル４が露光ピッチ距離分前進して停止すると、必要に応じて、ワークシート２とレチクル１２の位置決め調整を行ない、その後、４回目の投影露光を行なって、４つ目の露光パターン１６を形成する。

そして、図３ａの（ａ２）、（ａ３）に示す工程と同様に、ワークシート２を露光ピッチ距離分搬送して、その都度、５回目、６回目の投影露光を行なって、５、６つ目の露光パターン１６を形成する。図３ｃにおいて、露光ピッチ距離分の前進を３回繰り返したときに、露光テーブル４は出側位置に達する。つまり、露光テーブル４は、移動ストローク分前進したことになる。
なお、露光テーブル４が前進する場合においては、図３ｃに示すように、搬送の分だけ、入側ループ部３２に蓄えられたワークシート２が減少し、出側ループ部３４に蓄えられたワークシート２が増加する。

＜図３ｄに示す状態＞
６回目の投影露光の後、入側保持部６及び出側保持部８が、真空吸引によりワークシート２を保持する。つまり、ワークシート２の位置ずれを防止するため、露光テーブル４、入側保持部６、及び出側保持部８が、同時にワークシート２を保持する。そして、この状態において、入側ダブルロール２４及び巻出しロール２０を回転させて、入側ループ部３２にワークシート２を供給し、搬送で減少したワークシート２の量を元に戻す。同様に、出側ダブルロール２６と巻取りロール２２を回転させて、出側ループ部３４からワークシート２を搬出し、搬送で増加したワークシート２の量を元に戻す。

入側ループ部３２と出側ループ部３４のワークシート２に蓄えられた量を調整した後、図３ｂから図３ｄに示した工程を繰り返すことによって、続けて、ワークシート２を間歇的搬送しながら投影露光することができる。
本実施形態によれば、ワークシートの位置ずれ、伸び、波うち、しわ等が生じる恐れなく、高い位置決め精度を有するワークシートの高速搬送を行なうことができる。特に、本実施形態では、露光テーブル４を後進させることなく、続けてワークシート２の投影露光を行なうことができるので、投影露光装置の稼動効率を更に高めることができる。
また、本実施形態では、高い搬送精度を有するので、投影ピッチ距離分前進するごとに、投影露光のための位置決め調整を行なう必要はなく、仮に、位置決め調整を行なう場合であっても、位置決め調整に要する時間を削減することができ、投影露光装置の稼動効率を高めることができる。

なお、本実施形態では、露光ピッチ距離分の前進を３回繰り返したときに、移動ストロークに達するようになっているが、これに限られることはなく、露光ピッチ距離と移動ストロークはその他の任意の値を取ることができる。

（本発明の投影露光装置の第４の実施形態の説明）
次に、図４を用いて、本発明の投影露光装置の第４の実施形態の説明を行なう。本実施形態では、露光テーブルの移動方向と、レチクルの投影パターンの方向を一致させるための調整方法を示す。
まず、図４（ａ）を用いて、本実施形態に用いる露光テーブル廻りの構造を説明する。本実施形態に用いる露光テーブル廻りの各機器は、図１ａ〜１ｄ、及び図３ａ〜３ｄに示したものと同様のものである。

ただし、本実施形態では、レチクル１２にアライメントマーク１２ａ、ｂ、ｃ、ｄが描かれていて、投影露光部１０により、アライメントマーク１２ａ、ｂ、ｃ、ｄの投影像１２ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’が露光テーブル４上に投影されるようになっている。
ここで、投影像１２ａ’、ｂ’は、概略露光テーブル４の搬送方向に沿って、露光ピッチ距離分だけ離れた位置に投影される。ここでいう「概略露光テーブル４の搬送方向」とは、投影像１２ａ’、１２ｂ’を結ぶラインと露光テーブルの搬送方向と一致させる調整を行なうことができる、調整可能範囲に入っていることを意味する。

また、露光テーブル４には基準マーク４ａが設定されており、この基準マーク４ａは、搬送方向と直行する方向において、投影像１２ａ’、ｂ’の位置に一致させることができるようになっている。従って、投影像１２ａ’、１２ｂ’を結ぶラインと露光テーブルの搬送方向を一致させる調整を行なえば、露光テーブル４を移動させると、基準マーク４ａは投影像１２ａ’と投影像１２ｂ’を結ぶライン上を移動することになる。
なお、同様に、投影像１２ｃ’、ｄ’を用いて位置調整を行なうための基準マークを、露光テーブル４に設定することもできる。

本実施形態の調整方法を手順を追って説明すると、まず、図４（ａ）に示すように、投影露光部１０に備えられたレチクル顕微鏡及びセンサ（図示せず）を用いて、アライメントマーク１２ａの投影像１２ａ’と基準マーク４ａの位置を計測し、両者の位置を一致させる。両者の位置を一致させる方法は、露光テーブル４を動かすことも考えられるし、レチクル１２を保持したレチクルステージ（図示せず）を動かすことも考えられる。

次に、図４（ｂ）に示すように、露光テーブル４を、基準マーク４ａが投影像１２ｂ’の位置に近づく方向に、露光ピッチ距離分だけ移動させる。そして、レチクル顕微鏡とセンサを用いて、基準マーク４ａと投影像１２ｂ’との位置のずれを計測する。

計測した位置のずれに基づいて、投影露光装置１に備えられた制御部により所定の演算を行なって、投影像１２ａ’または投影像１２ｂ’を回転中心として、露光テーブル４またはレチクルステージを回転させることによって、露光テーブル４の移動方向と、レチクルの投影パターンの方向を一致させることができる。図４（ｃ）では、露光テーブル４を回転させて調整を行なうところを示す。

この調整方法により、一度、露光テーブル４の移動方向と、レチクルの投影パターンの方向を一致させれば、上述のように高い位置決め精度でワークシート２を搬送することができるので、第１または第３の実施形態の説明で記載した位置決め調整が不要となり、投影露光の稼動効率を更に向上させることができる。
また、検出した位置ずれの累積誤差が所定値に達するまで、調整を行なわずに投影露光を行ない、累積誤差が所定値に達したときだけ上述の調整を行なうことによって、投影露光の作業効率を向上させることもできる。

（本発明の投影露光装置のその他の実施形態の説明）
なお、本発明の投影露光装置、及びその投影露光方法は、上述の実施形態だけでなく、その他の様々な実施形態が含まれる。

本発明の投影露光装置の第１の実施形態を示す斜視図であり、１回目の投影露光を行なったところを示す図である。 本発明の投影露光装置の第１の実施形態を示す斜視図であり、露光テーブルが入側位置にあるころを示す図である。 本発明の投影露光装置の第１の実施形態を示す斜視図であり、露光テーブルが出側位置にあるころを示す図である。 本発明の投影露光装置の第１の実施形態を示す斜視図であり、入側、出側ループ部に蓄えられたワークシートの量を調整するところを示す図である。 入側保持部及び出側保持部を昇降させる本発明の投影露光装置の第２の実施形態を示す斜視図である。 本発明の投影露光装置の第３の実施形態を示す斜視図であり、１〜３回目の投影露光を行なうところを示す図である。 本発明の投影露光装置の第３の実施形態を示す斜視図であり、露光テーブルが入側位置にあるころを示す図である。 本発明の投影露光装置の第３の実施形態を示す斜視図であり、４〜６回目の投影露光を行なうところを示す図である。 本発明の投影露光装置の第３の実施形態を示す斜視図であり、入側、出側ループ部に蓄えられたワークシートの量を調整するところを示す図である。 露光テーブルの移動方向と、レチクルの投影パターンの方向を一致させる、本発明の投影露光装置の第４の実施形態を示す斜視図である。

符号の説明

１ 投影露光装置
２ ワークシート
４ 露光テーブル
４ａ 中央部
４ｂ 入側部
４ｃ 出側部
６ 入側保持部
６ａ、ｂ 保持面
８ 出側保持部
８ａ、ｂ 保持面
１０ 投影露光部
１２ レクチル
１２ａ〜ｄ アライメントマーク
１２ａ’〜ｄ’ 投影像
１４ 投影レンズ
１６ 露光パターン
２０ 巻出しロール
２２ 巻取りロール
２４ 入側ダブルロール
２６ 出側ダブルロール
２８ 入側サポートロール
３０ 出側サポートロール
３２ 入側ループ部
３４ 出側ループ部

Claims (13)

1. ワークシートを間歇的に搬送して投影露光を行なう投影露光装置であって、
   前記ワークシートを載せ搬送可能な露光テーブルと、
   前記露光テーブルにより投影位置に搬送された前記ワークシートに投影露光を行なう投影露光部と、
   を備え
   前記露光テーブルが、前記ワークシートの搬送方向において所定のストロークだけ前進及び後進が可能であり、かつ前記ワークシートの保持及び解放が可能であって、
   前記露光テーブルが、前記ワークシートを保持した状態で前進し、前記ワークシートを解放した状態で後進することによって、前記ワークシートを間歇的に搬送することを特徴とする投影露光装置。
2. 前記ワークシートの搬送方向において、前記露光テーブルの入側に設置され、前記ワークシートの保持及び解放が可能な入側保持部と、
   前記ワークシートの搬送方向において、前記露光テーブルの出側に設置され、前記ワークシートの保持及び解放が可能な出側保持部と、
   を更に備え、
   前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートを解放し、前記露光テーブルが前記ワークシートを保持した状態で、前記露光テーブルが前進し（以下、前進工程という）、
   前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートを保持し、前記露光テーブルが前記ワークシートを解放した状態で、前記露光テーブルが後進する（以下、後進工程という）ことを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
3. 前記前進工程から前記後進工程へ移行する間、及び前記後進工程から前記前進工程に移行する間の前記露光テーブルが停止した状態において、前記入側保持部、前記出側保持部、及び前記露光テーブルが同時に前記ワークシートを保持する工程を有することを特徴とする請求項２に記載の投影露光装置。
4. 前記露光テーブル、前記入側保持部、及び前記出側保持部について、前記ワークシートと接触する状態と前記ワークシートと接触しない状態とに変更する接触状態変更手段を更に備え、
   前記接触状態変更手段が、
   前記前進工程では、前記露光テーブルが前記ワークシートと接触し、前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートと接触しない状態を形成し、
   前記後進工程では、前記露光テーブルが前記ワークシートと接触せずに、前記入側保持部及び前記出側保持部が前記ワークシートと接触する状態を形成することを特徴とする請求項２または３に記載の投影露光装置。
5. 前記所定のストロークが、前記ワークシートを投影露光する露光ピッチ距離と一致することを特徴とする請求項２から４の何れか１項に記載の投影露光装置。
6. 前記所定のストロークが、前記ワークシートを投影露光する露光ピッチ距離より長く、前記露光テーブルが前記露光ピッチ距離だけ前進または後進することができることを特徴とする請求項２から４の何れか１項に記載の投影露光装置。
7. 前記露光テーブルを前記露光ピッチ距離だけ前進させて前記ワークシートに投影露光を行なう工程を、前記露光テーブルの前進距離が前記所定のストロークに達するまで繰り返し、前記露光テーブルの前進距離が前記所定のストロークに達したときに、前記露光テーブルを前記所定のストロークだけ後進させることを特徴とする請求項６に記載の投影露光装置。
8. 前記露光テーブルの前記ワークシートを保持する領域と、前記入側保持部及び前記出側保持部の前記ワークシートを保持する領域とが、前記所定のストロークの全域に渡ってオーバーラップしていることを特徴とする請求項２から７の何れか１項に記載の投影露光装置。
9. 前記露光テーブル、及び／または前記投影露光部に備えられたレチクルステージを回転させて、前記露光テーブルの移動方向と、前記投影露光部によるレチクルの投影パターンの方向とを一致させる回転機構を更に備えることを特徴とする請求項２から８の何れか１項に記載の投影露光装置。
10. ロール状に巻かれた前記ワークシートを前記入側保持部へ送り出す巻出し部と、
    前記出側保持部から送り出された前記ワークシートをロール状に巻き取る巻取り部と、
    前記巻出し部と前記入側保持部との間、及び前記出側保持部と前記巻取り部との間に設置された前記ワークシートに弛みを持たせるループ部と、
    を更に備えることを特徴とする請求項２から９の何れか１項に記載の投影露光装置。
11. 前記入側保持部、前記出側保持部、及び前記露光テーブルが、真空吸引によって前記ワークシートを保持することを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載の投影露光装置。
12. ワークシートを間歇的に搬送して投影露光を行なう方法であって、
    前記ワークシートの搬送方向において露光テーブルの入側に設置された入側保持部及び出側に設置された出側保持部により前記ワークシートを保持させ、その後、前記露光テーブルが前記ワークシートを保持している場合には、その保持を解放させるステップ１と、
    前記露光テーブルを、前記ワークシートを解放した状態で、所定のストロークだけ後進させるステップ２と、
    前記露光テーブルにより前記ワークシートを保持させ、その後、前記入側保持部及び前記出側保持部による前記ワークシートの保持を解放させるステップ３と、
    前記露光テーブルを、前記ワークシートを保持した状態で、前記ワークシートを投影露光する露光ピッチ距離分だけ前進させるステップ４と、
    位置ずれの累積誤差が所定値を越えた場合に、前記露光テーブルの移動方向と、投影露光部によるレチクルの投影パターンの方向とを一致させるステップ５と、
    前記投影露光部により前記ワークシートに投射露光を行なうステップ６と、
    前記露光テーブルの前進距離が前記所定のストロークに達するまで、前記ステップ４から６のステップを繰り返すステップ７と、
    を含むことを特徴とする投影露光方法。
13. 前記ステップ５に、
    前記投影露光部により、前記レクチルに設けられた第１のアライメントマーク及び第２のアライメントマークを、概略前記搬送方向に沿って前記露光ピッチ距離分離れた位置に投影するステップ５Ａと、
    前記第１のアライメントマークの投影位置と、前記露光テーブルに設けられた基準マークとを一致させるステップ５Ｂと、
    前記露光テーブルを、前記基準マークが前記第２のアライメントマークの投影位置に近づく方向に、前記露光ピッチ距離分だけ移動させるステップ５Ｃと、
    前記基準マークと前記第２のアライメントマークの投影位置との位置のずれを計測するステップ５Ｄと、
    計測された前記ずれに基づいて、前記第１のアライメントマークまたは前記第２のアライメントマークの投影位置を中心に、前記露光テーブルまたは前記投影露光部に備えられたレチクルステージを回転させるステップ５Ｅと、
    が含まれることを特徴とする請求項１２に記載の投影露光方法。

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