JP2019053140A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
15 露光ステージ
20 基板供給装置
22A、22B 供給リール
30 基板巻取装置
32A、32B 巻取リール
40 露光部
50 ステージ移動機構
60 搬送部移動機構
70 移動制御部
80 位置センサ
90 位置検出用フォトセンサ
Claims (14)
- 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記露光ステージの上流側に配置され、供給リールを設けた基板供給部と、
前記露光ステージの下流側に配置され、巻取リールを設けた基板巻取部とを備え、
前記基板供給部および前記基板巻取部が、基板搬送ラインに沿って移動可能であることを特徴とする露光装置。 - 前記露光ステージを基板搬送ラインに沿って往復移動させるステージ移動機構と、
前記基板供給部と前記基板巻取部とを基板搬送ラインに沿って往復移動させる搬送部移動機構とをさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記露光ステージと前記基板供給部および前記基板巻取部との相対的位置関係を維持するように、前記基板供給部および前記基板巻取部の移動を制御する移動制御部をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。
- 前記基板供給部と前記基板巻取部の少なくとも一方と、前記露光ステージとの距離間隔を検知するセンサをさらに備え、
前記移動制御部が、検出される距離間隔に応じて、前記露光ステージと前記基板供給部および前記基板巻取部の移動を制御することを特徴とする請求項3に記載の露光装置。 - 前記基板供給部と前記基板巻取部とが、連動することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の露光装置。
- 前記基板供給部が上流側支持ローラを備え、
前記基板巻取部が下流側支持ローラを備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の露光装置。 - 前記長尺基板が、並列した複数の長尺基板で構成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の露光装置。
- 前記露光ステージが、前記長尺基板を吸着保持しながら移動するとともに、昇降可能であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の露光装置。
- 長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記露光ステージの上流側と下流側にそれぞれ配置され、前記長尺基板を搬送する一対のリールとを備え、
前記一対のリールが、前記露光ステージとともに基板搬送ラインに沿って往復移動可能であることを特徴とする露光装置。 - 前記一対のリールが、前記露光ステージの移動機構とは異なる移動機構によって基板搬送ラインに沿って往復移動可能であることを特徴とする請求項9に記載の露光装置。
- 並列した複数の長尺基板を支持し、基板搬送ラインに沿って往復移動可能な露光ステージと、
前記露光ステージの両側にそれぞれ対向配置され、複数の長尺基板を搬送する複数のリール対とを備え、
前記複数のリール対が、前記露光ステージとともに基板搬送ラインに沿って往復移動可能であることを特徴とする露光装置。 - 前記複数のリール対が、前記複数の長尺基板を同一方向に巻き取ることを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
- 前記複数のリール対のうち少なくとも1つのリール対が、他の長尺基板と異なる方向に巻き取ることを特徴とする請求項11に記載の露光装置。
- 長尺基板を支持する露光ステージと、
前記露光ステージの上流側と下流側にそれぞれ配置される一対のリールと、
前記長尺基板を露光する露光部とを備え、
前記露光部が、前記露光ステージおよび前記一対のリールに対し、基板搬送ラインに沿って相対的に移動可能であることを特徴とする露光装置。
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