JP6818395B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

本発明は、巻出側ロールと巻取側ロールとの間で長尺感光材料（長尺ワーク、長尺基板）を移動させながら露光するいわゆるロールトゥロール方式の露光装置に関する。

この種の露光装置では、巻出側ロールと巻取側ロールの間に、長尺ワークを吸着／開放してワーク搬送方向に往復移動する露光ステージと、該露光ステージに吸着されて搬送される長尺ワークに対して露光する露光手段とを配置している。

このような露光装置では、巻出側ロールと露光ステージとの間及び露光ステージと巻取側ロールとの間における長尺ワークの平面性を確保するため、長尺ワークに一定のテンションを加えることが行われていた。テンションは、例えば、長尺ワークをダンサーローラに掛け回すことで与えられている。

特開２０１５-２２２３７０号公報

ところが、近年、長尺ワークの軟質化が進行しており、単にテンションを加えるだけでは、巻出側ロールと露光ステージとの間及び露光ステージと巻取側ロールとの間において長尺ワークの垂れ下がり現象が発生し、その平面性を確保することが困難になっていることが判明した。また、過度なテンションを加えると、軟質な長尺ワークが部分的に伸張（伸縮）してしまい、同様に平面性が損なわれる。そして、巻出側ロールと露光ステージ及び露光ステージと巻取側ロールの間において長尺ワークの平面性が損なわれると、例えば、露光ステージの移動に伴って長尺ワークに振動が発生し、露光精度に悪影響を与える。

本発明は、以上の問題点の発見に基づき、巻出側ロールと露光ステージ及び露光ステージと巻取側ロールの間における長尺ワークの垂れ下がり現象の発生を防止し、その平面性を確保することができる露光装置を得ることを目的とする。

本発明は、露光ステージの前後において長尺ワークの下方（下面）に支持部材を設ければ長尺ワークの垂れ下がりの防止及び平面性の確保ができるという着眼に基づいてなされたものである。

本発明は、感光層を有する長尺ワークを供給する巻出部と、長尺ワークの表面にパターンを露光する露光部と、露光済みの長尺ワークを回収する巻取部とを有し、上記露光部は、露光手段と、長尺ワークを保持して上記露光手段に対して相対移動する露光ステージとを有する露光装置において、上記巻出部と上記露光ステージの間及び上記露光ステージと上記巻取部の間の少なくとも一方に、長尺ワークの少なくとも一部の下方を支持して上記露光ステージの移動に従って移動可能な帯状のワーク支持部材を設けたことを特徴とする。

上記ワーク支持部材は、好ましい実施形態では、長尺ワークの移動に応じて移動する。

あるいは、上記ワーク支持部材は、上記長尺ワークの移動に応じて移動する態様とし、上記露光ステージは、上記ワーク支持部材及び上記長尺ワークと一体的な移動と上記ワーク支持部材及び上記長尺ワークとは独立した移動を可能とする態様が可能である。

上記ワーク支持部材は、無端ベルトからなることが好ましい。

上記露光ステージは、上記無端ベルトを通すベルト通過空間を有することが好ましい。

上記露光ステージは、上記長尺ワークを湾曲経路に沿ってガイドするワークガイド部を有してもよい。

本発明の露光装置は、長尺ワークの巻出部と露光ステージの間及び露光ステージと長尺ワークの巻取部の間の少なくとも一方に、長尺ワークの長さ方向の少なくとも一部の下方を支持する帯状のワーク支持部材を設けたので、長尺ワークの垂れ下がりをワーク支持部材で防止し、平面性を確保することができる。

本発明による露光装置の一実施形態を示す、露光装置全体の側面透視図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 図１及び図２に示す露光装置の異なる動作状況を示す、図１に対応する側面図である。 本発明による露光装置の別の実施形態を示す、図１に対応する露光装置全体の側面図である。 本発明による露光装置のさらに別の実施形態を示す、図１、図４に対応する露光装置の露光部の側面図である。

図１、図２は、本発明を適用したロールトゥロール方式のダイレクト露光装置の一実施形態を示している。この露光装置１は、長尺ワーク（以下単にワーク）Ｗの搬送方向Ｍの上流側から下流側に向かって順に、ワークＷを供給する巻出部１０と、ワークＷの表面にパターンを露光して電子回路を形成するダイレクト露光部３０と、露光済みのワークＷを回収する巻取部２０とを備えている。

ワークＷは、例えば、スマートフォン、携帯電話やモバイル機器等に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）のベース素材に感光性長尺フィルム（表面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム）をラミネートしてロール状にしたものである。このワークＷは、例えば、幅２５〜５０ｃｍで、数十〜数百メートルの長さを有する。

以下では、搬送方向Ｍに沿った方向を“Ｘ”、搬送方向Ｍに垂直なワークＷの幅方向を“Ｙ”、Ｘ方向とＹ方向の双方と垂直な方向（鉛直方向）を“Ｚ”で表す。また、露光装置１における要素の位置関係を表す際に、巻出側リールに近い側を上流側、巻取側リールに近い側を下流側と呼称することがある。

巻出部１０は、ワークＷの搬送方向Ｍの上流側から下流側に向かって順に、巻出側リール（巻出側ロール、巻出部）１１とガイドローラ（ニップローラ）１２を備え、ワークＷをダイレクト露光部３０に供給するためのワーク供給系を構成する。巻取部２０は、ワークＷの搬送方向Ｍの上流側から下流側に向かって順に、ガイドローラ（ニップローラ）２２と巻取側リール（巻取側ロール、巻取部）２１とを備え、ダイレクト露光部３０で露光されたワークＷを巻き取るためのワーク巻取系を構成する。巻出側リール１１と巻取側リール２１の軸心には回転駆動機構が備えられていて、その回転によりワークＷを搬送する。

ガイドローラ１２、２２はそれぞれワークＷを挟む一対のローラを有し、該ワークＷに対する接離移動及び正逆回転／停止が可能な周知の要素であり、両ガイドローラ１２と２２の間で巨視的にはワークＷを平面状に保持しつつ（一定のテンションを維持して）搬送方向Ｍに正逆移動させあるいは停止させる。巻出部１０と巻取部２０には、周知のダンサーローラ等の基板バッファ、制動ローラあるいは吸着ローラを備えることもできる。

ダイレクト露光部３０は、露光ステージ（可動ステージ）３１、アライメントカメラ５１及び露光ユニット６１を備えている。

露光ステージ３１は、ダイレクト露光部３０の底部機枠３０ａに配置したステージ駆動部３２によって、Ｘ方向に往復直進移動するものであり、ステージ駆動部３２に案内されるＸＹ平面方向に延びる底板部３１ａと、この底板部３１ａのＹ方向の一端部からＺＸ平面方向に延びる垂直板部３１ｂと、垂直板部３１ｂからＸＹ平面方向に延びる露光テーブル（水平板部）３１ｃとを備えている。すなわち、露光ステージ３１はＸ方向から見てコ字状（図２参照）をなしており、底板部３１ａ、垂直板部３１ｂ及び露光テーブル３１ｃの間にベルト通過空間３１ｄが形成されている。垂直板部３１ｂ内には、露光テーブル３１ｃをＺ方向（上下方向）に駆動する昇降駆動装置３８が配設されている。

露光ステージ３１のＸ方向の両端部には、ＺＹ平面方向に延びるローラ支持板部３１ｅ、３１ｆが固定されており、このローラ支持板部３１ｅと３１ｆの上下にそれぞれ、Ｙ方向に延びるフリーローラ３３Ｕ、３３Ｄとフリーローラ３４Ｕ、３４Ｄが回転自在に支持されている。

ダイレクト露光部３０の側部機枠３０ｂには、Ｘ方向の両端部に位置させて、上下（Ｚ方向）で対をなすＹ方向に延びるフリーローラ３５Ｕ、３５Ｄ、フリーローラ３６Ｕ、３６Ｄがそれぞれ回転自在に支持されている。これらのフリーローラ３３Ｕないし３６Ｄは、上方に位置するものにＵ、下方に位置するものにＤのサフィックスを付している。これらのフリーローラ３３Ｕないし３６Ｄは、Ｙ方向の両端部を回転自在に支持する両持ちローラとすることが好ましい。

これらのフリーローラ３３Ｕと３４Ｕの高さ位置（Ｚ方向位置）、フリーローラ３５Ｕと３６Ｕの高さ位置（Ｚ方向位置）、フリーローラ３３Ｄと３４Ｄの高さ位置（Ｚ方向位置）、フリーローラ３５Ｄと３６Ｄの高さ位置（Ｚ方向位置）はそれぞれ同一である。また、露光ステージ３１上のフリーローラ３３Ｄ（３４Ｄ）の高さ位置は、フリーローラ３５Ｄ（３６Ｄ）の高さ位置と同一である。ただし、これらのフリーローラ３３Ｕないし３６Ｕまたはフリーローラ３３Ｄないし３６Ｄは、ワークＷの搬送に支障がない程度であれば高さに違いがあってもよい。図では、フリーローラ３３Ｕと３５Ｕの高さ位置、フリーローラ３４Ｕと３６Ｕの高さ位置を若干異ならせて描いてある。そして、これらのフリーローラ３３Ｕないし３６Ｄに、図示するように無端ベルト（ワーク支持部材、循環構造体）３７が掛け回されている。すなわち、無端ベルト３７は、露光ステージ３１上のフリーローラ３３Ｕを起点にすると、フリーローラ３３Ｕから３５Ｕ至る上方上流側水平区間３７ａ、フリーローラ３５Ｕから３５Ｄに至る上流側垂直区間３７ｂ、フリーローラ３５Ｄから３６Ｄに至る下方水平区間３７ｃ、フリーローラ３６Ｄから３６Ｕに至る下流側垂直区間３７ｄ、フリーローラ３６Ｕから３４Ｕに至る上方下流側水平区間３７ｅ、フリーローラ３４Ｕから３４Ｄに至る露光ステージ内方向転換区間３７ｆ、フリーローラ３４Ｄから３３Ｄに至る露光ステージ内水平区間３７ｇ、及びフリーローラ３３Ｄから３３Ｕに至る露光ステージ内方向転換区間３７ｈの各区間を順番に移動する。上方上流側水平区間３７ａと上方下流側水平区間３７ｅは、ガイドローラ１２と２２の間を移動するワークＷの下面に平行に位置してワークＷの垂れ下がりを阻止する。下方水平区間３７ｃと露光ステージ内水平区間３７ｇは、露光ステージ３１のベルト通過空間３１ｄを通っている。

ワークＷと無端ベルト３７の上方上流側水平区間３７ａ及び上方下流側水平区間３７ｅの間隔は、図１ないし図３Ｇでは誇張して広く描いてあるが、通常使用状態において、ワークＷは、無端ベルト３７の上方上流側水平区間３７ａと上方下流側水平区間３７ｅと接触し、接触状態で搬送方向Ｍに移動する。あるいは、無端ベルト３７の上方上流側水平区間３７ａと上方下流側水平区間３７ｅは、ワークＷが重力により水平面（ＸＹ平面）から所定長垂れ下がったときワークＷの裏面と接触してワークＷがそれ以上垂れ下がるのを阻止し、かつ接触状態で搬送方向ＭにワークＷと同調して（に従って）移動する。

また、図示実施形態では、フリーローラ３３Ｕおよび３４Ｕの高さ位置（Ｚ方向位置）は、露光テーブル３１ｃが上端位置（ワークＷを吸着搬送する位置）にあるときのワーク吸着面よりやや低く設定されている。

無端ベルト３７は、例えば表面材（ワークＷと対向ないし接触する面の部材）にポリウレタンシートを用い、心体（上述の順番にフリーローラ３３ないし３４と接触する面の部材）にポリエステル繊維を用いたクリーンベルトである。また無端ベルト３７は、ワークＷより幅広なものが用いられる。

露光ステージ３１に支持されたフリーローラのいずれか一つ（図示例ではフリーローラ３４Ｄ）には、無端ベルト３７とフリーローラ３４Ｄとの相対移動を拘束しまたは自由にするブレーキ機構３４ＤＢが付設されている。同様に、ダイレクト露光部３０の側部機枠３０ｂに支持されたフリーローラ３５Ｕないし３６Ｄのいずれか一つ（図示例ではフリーローラ３５Ｄ）には、無端ベルト３７とフリーローラ３５Ｄとの相対移動を許しまたは阻止するブレーキ機構３５ＤＢが付設されている。

ブレーキ機構３４ＤＢと３５ＤＢは、同一の機構から構成することができる。ブレーキ機構３４ＤＢ（３５ＤＢ）は、図１の二点鎖線枠内に拡大して示すように、ブレーキパッド３９ａと、このブレーキパッド３９ａをフリーローラ３４Ｄ（３５Ｄ）に対して進退させる進退機構３９ｂとを備え、ブレーキパッド３９ａとフリーローラ３４Ｄ（３５Ｄ）との間に無端ベルト３７を挟着したとき、無端ベルト３７の移動にブレーキを掛ける。

露光ユニット６１は、複数の露光ヘッド（不図示）を備え、ワークＷから所定距離だけ鉛直上方に離れた場所に規則的に配置されている。各露光ヘッドに対し、光源および照明光学系（図示せず）が配置されており、光源から放射された光は、それぞれ対応する照明光学系を介して対応する露光ヘッドに導かれる。各露光ヘッドは、複数のマイクロミラーを２次元配列させたＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）と、ＤＭＤの像をワーク上に結像する結像光学系とを備える。ＤＭＤを備えた露光ユニット６１は周知である。

露光テーブル３１ｃは、ワークＷの裏面の吸着／開放機能を有し、吸着時には該テーブル３１ｃの表面に沿わせてワークＷを平坦に保持する。この露光テーブル３１ｃは、垂直板部３１ｂに備えられた上述の昇降駆動装置３８によって、ワークＷの裏面に接触する上端位置と、ワークＷの裏面と離間する下端位置との間で昇降可能である。また、露光装置１には、該露光テーブル３１ｃ上のワークＷのＹ方向の位置（幅方向の位置）を定めるＹ方向位置規制手段（図示せず）が設けられている。Ｙ方向位置規制手段は、例えばワークＷのエッジ位置を検出し、巻出部１０をＹ方向に移動させることでＹ方向位置を規制する。このようなＹ方向位置規制手段は周知である。

アライメントカメラ５１は、露光ユニット６１より上流側に位置していて、露光ユニット６１とともに、図２に模式的に示す門型構造５２によってワークＷの移動平面上の定位置に設置されている。アライメントカメラ５１は、ワークＷに予め設けられたアライメントマークを撮像することにより、ワークＷの位置情報を取得する。アライメントマークの撮像は、ワークＷをＸ方向に移動させながら行う。露光ユニット６１は、このワークＷの位置情報に基づき、ミクロンオーダの精度でパターンの露光位置を決定する。

以上のように構成された本実施形態の露光装置１の動作例を図３Ａないし図３Ｇで説明する。図３Ａを初期位置（待機位置）とすると、この初期位置では、露光ステージ３１はアライメントカメラ５１、露光ユニット６１の上流側の定位置にあり、露光ステージ３１の露光テーブル３１ｃは昇降駆動装置３８により上昇位置にあって、ワークＷを吸着している。このとき、露光ステージ３１上のブレーキ機構３４ＤＢはブレーキ作動状態にあり無端ベルト３７の露光ステージ内方向転換区間３７ｆ、露光ステージ内水平区間３７ｇ、及び露光ステージ内方向転換区間３７ｈが露光ステージ３１に対して相対移動するのを規制する。また、ダイレクト露光部３０内のブレーキ機構３５ＤＢはブレーキ開放状態にあり無端ベルト３７の上方上流側水平区間３７ａ、上流側垂直区間３７ｂ、下方水平区間３７ｃ及び下流側垂直区間３７ｄが循環移動するのを許容している。

この初期位置から、ステージ駆動部３２により露光ステージ３１をＸ＋（下流）方向に移動させると、図３Ｂに示すように、露光テーブル３１ｃに吸着されているワークＷが露光ユニット６１の下方を通過し、露光ユニット６１によってワークＷに露光パターンが露光形成される。このとき、露光テーブル３１ｃにワークＷが吸着されており、ブレーキ機構３４ＤＢにより露光ステージ３１と無端ベルト３７との相対移動が規制されているため、露光ステージ３１上のフリーローラ３３Ｕ、３３Ｄ、３４Ｕ、３４Ｄ及びダイレクト露光部３０側の３５Ｕ、３５Ｄ、３６Ｕ、３６Ｄに巻回されている無端ベルト３７（上方上流側水平区間３７ａ、上流側垂直区間３７ｂ、下方水平区間３７ｃ、下流側垂直区間３７ｄ、上方下流側水平区間３７ｅ、露光ステージ内方向転換区間３７ｆ、露光ステージ内水平区間３７ｇ、及び露光ステージ内方向転換区間３７ｈの各区間に連続して位置する無端ベルト３７）がワークＷと一緒に（一体的に）移動する。すなわち、巻出部１０と巻取部２０の間に位置するワークＷの下面には、露光ステージ３１が存在する部分を除き、無端ベルト３７の上方上流側水平区間３７ａと上方下流側水平区間３７ｅの上面が位置して、ワークＷの下方を支持し、その垂れ下がりが防止される。このワークＷのＸ＋方向への移動に際しては、ワークＷが無端ベルト２７と同期して移動するように巻出側リール１１、ガイドローラ１２、ガイドローラ２２、及び巻取側リール２１が同調して回転することで、ワークＷと無端ベルト２７の相対移動（滑り、擦動）が防止される。

露光ステージ３１が露光ユニット６１の下方を通過し、予め定めたワークＷの所定露光領域へのパターン露光が終了すると、露光ステージ３１が停止する（図３Ｃ）。すなわち、ステージ駆動部３２、巻出側リール１１、ガイドローラ１２、巻取側リール２１、及びガイドローラ２２が停止し、ワークＷ及び無端ベルト３７が停止する。

露光ステージ３１のＸ＋方向の移動が停止すると、ブレーキ機構３４ＤＢのブレーキを解除し、ブレーキ機構３５ＤＢを作動させる。すなわち、無端ベルト３７は、循環移動が生じない状態となる。この露光ステージ３１の停止状態において、露光テーブル３１ｃによるワークＷの吸着が開放され、昇降駆動装置３８によって露光テーブル３１ｃが下降する（図３Ｄ）。

図３Ｄの工程において、露光テーブル３１ｃによるワークＷの吸着を開放することで、ワークＷに対する露光ステージ３１の相対移動が可能となる。この状態において巻出側リール１１と巻取側リール２１を停止させてワークＷを停止させ、ステージ駆動部３２により露光ステージ３１をＸ−（上流）方向に移動させ、ワークＷの既に露光した領域の次の領域の露光準備に入る（図３Ｅ）。このときの露光ステージ３１のＸ−方向への移動距離は、ワークＷ上に配列される露光領域の設定ピッチに対応する。

次に、露光テーブル３１ｃを昇降駆動装置３８によって再び上昇させ、露光テーブル３１ｃにワークＷの次の露光領域を吸着保持させる（図３Ｆ）。

ワークＷの次回露光領域の露光テーブル３１ｃへの吸着作業が終了したら、ブレーキ機構３４ＤＢをブレーキ動作させ、ブレーキ機構３５ＤＢを開放動作させてから、露光ステージ３１とワークＷを図３Ａと同じ初期位置へ移動させる（図３Ｇ）。すなわち、露光テーブル３１ｃによるワークＷの吸着状態を維持しながら、ステージ駆動部３２によって露光ステージ３１を初期位置に移動させると、露光テーブル３１ｃに吸着されているワークＷがＸ−方向に移動し、この移動に追従して、無端ベルト３７が循環移動する。すなわち、巻出部１０と巻取部２０の間に位置するワークＷの下面には、露光ステージ３１が存在する部分を除き、無端ベルト２７の上方上流側水平区間３７ａと上方下流側水平区間３７ｅの上面が位置し、ワークＷの垂れ下がりが防止される。このワークＷのＸ−方向への移動に際しては、ワークＷが無端ベルト２７に従って（同期して）移動するように巻出側リール１１、ガイドローラ１２、ガイドローラ２２、及び巻取側リール２１が同調して回転することで、ワークＷと無端ベルト２７の擦動（相対移動、滑り）が防止される。

露光ステージ３１に設けたブレーキ機構３４ＤＢは、ブレーキ動作しているときは露光ステージ３１と無端ベルト３７が一緒に移動して無端ベルト３７の循環移動を可能とし、ブレーキ開放動作しているときは、無端ベルト３７が循環移動しない状態で、露光ステージ３１を無端ベルト３７に対して相対移動可能とする。
ダイレクト露光部３０の側部機枠３０ｂに設けたブレーキ機構３５ＤＢは、ブレーキ開放動作しているときは、無端ベルト３７の循環移動を可能とし、ブレーキ動作しているときは、無端ベルト３７の循環移動を阻止する。

本実施形態によれば、巻出部１０（ガイドローラ１２）と露光ステージ３１の間及び露光ステージ３１と巻取部２０（ガイドローラ２２）の間に位置するワークＷの下面が無端ベルト３７（上方上流側水平区間３７ａと上方下流側水平区間３７ｅ）によって支持され、かつワークＷと無端ベルト３７が同期移動するので、ワークＷの垂れ下がり現象を防止し、ワークＷと無端ベルト３７の相対移動（擦動）を防止し、かつワークＷの平面性を無端ベルト３７によって確保できる。

本実施形態によれば、ワークＷの垂れ下がりが無端ベルト３７によって阻止され、ワークＷが無端ベルト３７に接触した状態で移動するので、ワークＷに高いテンションをかけなくても所定以上の垂れ下がりやねじれ防止が可能であり、テンションフリー対応や、薄板ワークなどでも急加速による振動や曲げの発生を防止できる。また、重量ワークに対しても動作応答性を損なうことがない。

ブレーキ機構３４ＤＢは、露光ステージ３１と一緒に移動するように付設すればよく、露光ステージ３１と一緒に移動するフリーローラ３３Ｕないし３４Ｄのいずれかに対してブレーキ動作させればよい。ブレーキ機構３５ＤＢは、ダイレクト露光部３０の構造体に付設すればよく、フリーローラ３５Ｕないし３６Ｄのいずれかに対してブレーキ動作させればよい。また、ブレーキ機構３４ＤＢ、３５ＤＢは、フリーローラに直接作用してフリーローラを制動する機構でもよく、無端ベルト３７を表裏から挟圧して無端ベルト３７を制動する機構でもよい。フリーローラを制動する機構は構成が簡単であり、無端ベルト３７を制動する機構は無端ベルト３７の制動をより確実に短いタイムラグで行うことができる。

図４は、本発明の別の実施形態を示している。この実施形態は、ブレーキ機構３４ＤＢと３５ＤＢに替えて、無端ベルト３７を正逆に駆動しまたは停止させるモータ（回転駆動機構）を設けることで、図３Ａないし図３Ｇに示した動作と同じ動作をさせることを可能とした実施形態である。図４において、図１ないし図３Ｇに示した実施形態の要素と同一機能の要素には同一符号を付して詳細な説明を省略する。この別の実施形態は、露光ステージ３１上にフリーローラ３３Ｕないし３４Ｄの一つ（例えばローラ３４Ｄ）を回転駆動するモータ駆動機構３９を設けてあり、モータ駆動機構３９により駆動するローラ３４Ｄを介して無端ベルト３７をワークＷと同期させて正逆に循環移動させ、あるいは停止状態に保持する。モータ駆動機構３９は、露光ステージ３１に設けることが好ましいが、露光ステージ３１とダイレクト露光部３０の構造体の少なくとも一方に設けることができる。

フリーローラ３３Ｕないし３６Ｄのいずれか一つ以上は、テンション調整装置（図示せず）に接続し、無端ベルト３７のテンションを調整するようにしてもよい。

以上の実施形態では、露光ステージ３１は、底板部３１ａ、垂直板部３１ｂ及び露光テーブル３１ｃを有する搬送方向Ｍから見てコ字状をなしているが、無端ベルト３７を通過させるベルト通過空間３１ｄを形成することができれば、垂直板部３１ｂと平行なもう一つの垂直板部を設けて四角（枠）形状としてもよい。

以上の実施形態では、ワークＷがガイドローラ１２と２２の間で水平（側面視で直線状）に保持されていたが、本発明は、ワークＷが露光テーブル３１ｃの前後（上流側または下流側）においてワークＷの搬送経路を非直線とした露光装置にも適用できる。

図５は、ワークＷの搬送経路が非直線部分を有する本発明のさらに別の実施形態を示している。図５において、図１ないし図４に示した実施形態の要素と同一機能の要素には同一符号を付して詳細な説明を省略する。この実施形態は、露光テーブル３１ｃの前（下流）側において、ワークＷの経路を下方に湾曲させるワークガイド部４２（Ｕ字経路、湾曲経路）を形成する上部ローラ群４２Ｕと下部ローラ群４２Ｄを備えている。上部ローラ群４２Ｕと下部ローラ群４２Ｄは、Ｙ方向に延びる複数の小径フリーローラから構成され、ワークＷが上部ローラ群４２Ｕと下部ローラ群４２Ｄの小径フリーローラ間を走行するように配置されている。
無端ベルト３７は、下方水平区間３７ｃと露光ステージ内水平区間３７ｇが、露光テーブル３１ｃ及び下部ローラ群４２Ｄと底板部３１ａの間のベルト通過空間３１ｄを通過する。

上部ローラ群４２Ｕと下部ローラ群４２Ｄの各小径フリーローラは、Ｙ方向の両端部が、底板部３１ａのＸ方向側面に固定されたＺＹ平面方向に延びるローラ支持部（図示せず）に軸支されている。上部ローラ群４２Ｕは、上下（Ｚ）方向に上下動可能に形成することが好ましい。上部ローラ群４２Ｕを上方に移動して下部ローラ群４２Ｄとの間隔を広げれば、ワークＷの着脱が容易になる。

ダイレクト露光部３０は、露光ステージ３１が図５の初期位置に位置するとき、ワークＷのＵ字経路の上方（すなわち、ワークガイド部４２の中央部）に位置し、露光ユニット６１によって照明されたワークＷの照度を測定する照度測定手段５３を備えている。照明測定手段５３はＵ字形路と干渉しない不図示の支持部によって露光ステージ３１に対して固定されている。
ダイレクト露光部３０は、この照度測定手段５３により、露光ユニット６１による露光の前に照度を測定し、露光時に露光ユニット６１による照度を調整する。

ワークＷへの露光は、露光テーブル３１ｃが露光ユニット６１の下方を通過する際に行なわれ、ワークＷへの露光工程及び搬送動作は、図３Ａないし図３Ｇと同様である。

以上は、本発明をＤＭＤを用いたダイレクト露光装置に適用したものであるが、本発明は、巻出側ロールに巻かれたワークＷを巻取側ロールに巻き取る間に該ワークに露光する装置であれば、投影型露光装置やコンタクト型露光装置などの露光装置一般に適用可能である。

以上の実施形態では、露光ステージ３１と巻出部１０の間、及びと露光ステージ３１と巻取部２０の間の双方に、長尺ワークの長さ方向の少なくとも一部の下方を支持する帯状のワーク支持部材を設けたが、いずれか一方にのみワーク支持部材を設けても一定の作用効果を得ることができる。

１ 露光装置
１０ 巻出部
１１ 巻出側リール（巻出側ロール、巻出部）
１２ ガイドローラ
２０ 巻取部
２１ 巻取側リール（巻取側ロール、巻取部）
２２ ガイドローラ
３０ ダイレクト露光部（露光部、露光手段）
３１ 露光ステージ
３１ａ 底板部
３１ｂ 垂直板部
３１ｃ 露光テーブル
３１ｄ ベルト通過空間
３１ｅ、３１ｆ ローラ支持板部
３２ ステージ駆動部
３３Ｕ、３３Ｄ、３４Ｕ、３４Ｄ、３５Ｕ、３５Ｄ、３６Ｕ、３６Ｄ フリーローラ
３４ＤＢ、３５ＤＢ ブレーキ機構
３７ 無端ベルト（帯状のワーク支持部材）
３７ａ 上方上流側水平区間
３７ｂ 上流側垂直区間
３７ｃ 下方水平区間
３７ｄ 下流側垂直区間
３７ｅ 上方下流側水平区間
３７ｆ 露光ステージ内方向転換区間
３７ｇ 露光ステージ内水平区間
３７ｈ 露光ステージ内方向転換区間
３８ 昇降駆動装置
３９ モータ駆動機構
３９ａ ブレーキパッド
３９ｂ 進退機構
４２ ワークガイド部
４２Ｕ、４２Ｄ ガイドローラ（ガイドローラ群）
５１ アライメントカメラ
５２ 門型構造
５３ 照度測定手段
６１ 露光ユニット（露光手段）
Ｗ ワーク（長尺ワーク）

Claims (6)

1. 感光層を有する長尺ワークを供給する巻出部と、長尺ワークの表面にパターンを露光する露光部と、露光済みの長尺ワークを回収する巻取部とを有し、
   上記露光部は、露光手段と、長尺ワークを保持して上記露光手段に対して相対移動する露光ステージとを有する露光装置において、
   上記巻出部と上記露光ステージの間及び上記露光ステージと上記巻取部の間の少なくとも一方に、長尺ワークの少なくとも一部の下方を支持して上記露光ステージの移動に従って移動可能な帯状のワーク支持部材を設けたこと、を特徴とする露光装置。
2. 請求項１記載の露光装置において、上記ワーク支持部材は、長尺ワークの移動に応じて移動する露光装置。
3. 請求項１記載の露光装置において、上記ワーク支持部材は、上記長尺ワークの移動に応じて移動し、上記露光ステージは、上記ワーク支持部材及び上記長尺ワークと一体的な移動と上記ワーク支持部材及び上記長尺ワークとは独立した移動が可能な露光装置。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項記載の露光装置において、上記ワーク支持部材は無端ベルトからなっている露光装置。
5. 請求項４記載の露光装置において、上記露光ステージは、上記無端ベルトを通すベルト通過空間を有する露光装置。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項記載の露光装置において、上記露光ステージは、上記長尺ワークを湾曲経路に沿ってガイドするワークガイド部を有する露光装置。

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