JP2015034846A - 縦型フィルム露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上記マスク位置調機構は、互いに直交するXYZ軸方向及びX軸、Y軸、Z軸と平行な軸回りの回転方向の6軸調整可能な機構であることが好ましい。
なお、ベースフレーム45Aに対するXYθ調整機構47A及びXYθステージ44Aとアオリ軸調整機構46A及びチルトステージ43AのZ軸方向の位置関係は、逆にしてもよい。つまり、ベースフレーム45A上にアオリ軸調整機構46Aを介してチルトステージ43Aを装着し、チルトステージ43A上にXYθ調整機構47Aを介してXYθステージ44Aを装着して、XYθステージ44Aに、フォトマスク30Aを有するマスクホルダ32Aを装着してもよい。
なお、マスク位置調整機構40Aと40Bのベースフレーム45A、45Bは、垂直移動フィルム10V(XY平面)に対して正確に平行となるように設置され、さらにマスク位置調整機構40AのXYθステージ44Aは、垂直移動フィルム10V(XY平面)に対して正確に平行となるように設置されているものとする。
マスク位置調整機構40Bのベースフレーム45Bに対して、マスクホルダ32Bに固定されたフォトマスク30Bを、垂直移動フィルム10V(XY平面)と平行に、所定位置、所定の向きに装着する。この装着は、図示しない外部調整器具と、アライメントカメラ35を使用して行う。その際、フォトマスク30Bと垂直移動フィルム10Vの間隔調整も行う。
1)4個のギャップセンサ34により、フォトマスク30Aと30Bの4箇所の間隔を測定する。
2)フォトマスク30Aと30Bの4箇所の間隔が基準値(同一の値)となるように、各アオリ軸調整機構46Aを駆動制御してチルトステージ43Aの4箇所のZ軸方向位置を調整する。この調整により、フォトマスク30Aのフォトマスク30Bに対する間隔と平行度が調整される。
3)フォトマスク30Aと30Bの4箇所の間隔が基準値(許容範囲内の値)になるまで、各ギャップセンサ34による測定及び各アオリ軸調整機構46Aによる調整を繰り返す。
4)フォトマスク30Aと30Bの4箇所の間隔が基準値になったら、各アライメントカメラ35によってフォトマスク30Aと30Bの4箇所のアライメントマーク31Aと31Bを撮影して、フォトマスク30Bに対するフォトマスク30Aのずれ量を測定する。
5)4箇所のアライメントマーク31Aのずれ量がそれぞれ所定値(許容範囲内の値)となるように、XYθ調整機構47Aを駆動制御して、XYθステージ44AをX方向、Y方向、θ方向に移動調整する。
6)4箇所のアライメントマーク31Aのずれ量が所定値となるまで、上記4)と5)の工程を繰り返す。
10V 垂直移動フィルム
11 供給側ロール
12 巻取側ロール
20V 垂直(鉛直)移動区域
20 フィルム搬送機構
21 入口側ローラ
22 出口側ローラ
23 テンション制御機構
24 フィルム搬送制御装置
30 30A 30B フォトマスク
31A 31B アライメントマーク
32 32A 32B マスクホルダ
34 ギャップセンサ
35 アライメントカメラ
40 40A 40B マスク位置調整機構
41 スライドガイド
42 マスク位置制御装置
43A チルトステージ
44A XYθステージ
45A 45B ベースフレーム
46A アオリ軸(Z軸)調整機構
47A XYθ調整機構
50 照明装置(照明手段)
51 光源
52 第1ミラー(平面鏡)
53 第2ミラー(凹面鏡)
54 第3ミラー(平面鏡)
56 照明制御装置
60 エアカーテン装置(エアカーテン手段、気流形成手段)
61 エア供給部
61a エア吹出口
62 エア吸収部
62a エア吸収口
63 圧縮ポンプ(エア供給源)
64 吸引ポンプ(エア吸引源)
65 エアカーテン制御装置
70 フィルム露光制御装置
Claims (5)
- 供給側ロールに巻き取られている感光性フィルムを繰り出して巻取側ロールに巻き取るフィルム搬送機構と、
このフィルム搬送機構中に設定された上記感光性フィルムを垂直に移動させる垂直移動区域と、
この垂直移動区域における上記感光性フィルムのテンションを制御するテンション制御機構と、
上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの表裏の少なくとも一方に対向するフォトマスクと、
該フォトマスクの上記垂直移動区域における上記感光性フィルムとの間隔を調整するマスク位置調機構と、
上記フォトマスクを介して上記感光性フィルムに露光する照明手段と、
を有することを特徴とする縦型フィルム露光装置。 - 請求項1記載の縦型フィルム露光装置において、さらに、上記垂直移動区域のフィルム表裏の少なくとも一方に対してエアカーテンを形成するエアカーテン手段を有する縦型フィルム露光装置。
- 請求項2記載の縦型フィルム露光装置において、上記エアカーテン手段は、上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの上方から該フィルム表裏の少なくとも一方に向けてエアを吐出するエア供給源と、該感光性フィルムの下方において該エア供給源からのエアを吸引するエア吸引源とを有する縦型フィルム露光装置。
- 請求項1ないし3のいずれか1項記載の縦型フィルム露光装置において、上記マスク位置調機構は、上記垂直移動区域の上記感光性フィルムの移動平面をXY平面とし、XY平面と直交する方向をZ方向、XY平面で回転する方向をθ方向としたとき、XYZの直交3方向及びXY平面で回転するθ方向に位置調節可能である縦型フィルム露光装置。
- 請求項4記載の縦型フィルム露光装置において、上記マスク位置調機構は、互いに直交するXYZ軸方向及びX軸、Y軸、Z軸と平行な軸回りの回転方向の6軸調整可能な機構である縦型フィルム露光装置。
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