JP6144581B2 - 搬送装置及びこれを備えた露光装置 - Google Patents

Description

本発明は、供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺状ワークをその長手方向に搬送する、いわゆるロールトゥロール方式の搬送装置及びこれを備えた露光装置に関する。

一般的に、携帯電話やモバイル機器等に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）のベース素材として、例えば、厚みが０．１ｍｍ以下かつ長さが５００ｍｍ以上の長尺状ワーク（感光性長尺フィルム（表裏の少なくとも一面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム））をロール状にしたものが使用されている。

このような長尺状ワークに電子回路を形成する装置として、供給リールと、巻取リールと、この供給リールと巻取リールの間に位置する露光部とを備え、供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺状ワークをその長手方向に搬送しながら、露光部によって長尺状ワークの表面にパターンを露光する、いわゆるロールトゥロール方式のものが知られている。

ロールトゥロール方式の装置では、供給リールと露光部の間に、長尺状ワークに対して張力を掛けることで長尺状ワークに弛みやしわが生じるのを防止するためのダンサーローラを設けることが一般的に行われている。また、供給リールと露光部の間に、長尺状ワークの表面に付着した異物（塵やゴミ）を除去することで露光欠陥や現像欠陥を防止するためのクリーニングローラを設けることも行われている（特許文献１、２）。

特開２００１−１２５２７４号公報 特開２００６−１０６０９７号公報

しかしながら、本発明者らによると、このダンサーローラとクリーニングローラは、相互に次のような悪影響を与えることがあった。

例えば、特許文献１、２では、ダンサーローラと露光部の間で、クリーニングローラが長尺状ワークを挟持しているため、ダンサーローラによる張力調整の効果が、長尺状ワークのクリーンローラ以降の部分に及び難い。このため、露光部において、長尺状ワークにしわや弛みが生じ、あるいは長尺状ワークに過大な張力が掛かってこれが伸びることで、所望のパターンの寸法に誤差が生じてしまう。つまり、長尺状ワークに対して張力を掛けるためのダンサーローラを設けていても、その張力調整の効果が露光部において好適に発揮されていないため、ダンサーローラを設けた意味が著しく低減されてしまっている。

また、ダンサーローラとクリーニングローラによる長尺状ワークの送り速度を厳密に一致させることは事実上困難であり、さらに、ダンサーローラとクリーニングローラが長尺状ワークに与える張力にもアンバランスが生じるのが普通である。このため、長尺状ワークが搬送中に蛇行することで、長尺状ワークが損傷し、長尺状ワークの作業位置（露光位置）の精度がばらつき、あるいは長尺状ワークの巻取精度が悪化してしまう。

さらに、ダンサーローラとクリーニングローラひいてはこれらを駆動する駆動ユニットを別々に設けているため、装置全体の大型化と高コスト化が避けられない。

本発明は、以上の問題意識に基づいてなされたものであり、長尺状ワークの搬送経路の全体に亘って適切な張力を掛けることができ、長尺状ワークを蛇行させることなく搬送することができ、長尺状ワークの表面に付着した異物を除去することで露光欠陥や現像欠陥を防止することができ、しかも小型で低コストである搬送装置及びこれを備えた露光装置を得ることを目的とする。

本発明者らは、従来装置における問題点は、ダンサーローラとクリーニングローラの機能が、前者は張力調整、後者は異物除去と明確に分けられているために生じているとの認識の元に、長尺状ワークの張力を調整するダンサーローラに、異物を除去するクリーニングローラの機能を与えれば、上述の技術課題を解消した搬送装置及びこれを備えた露光装置が得られる、との着眼に至って本発明を完成させた。

本発明の搬送装置は、その一態様では、供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺状ワークをその長手方向に搬送する搬送装置であって、前記供給リールと前記巻取リールの間に位置させて、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降し、前記長尺状ワークに対して張力を掛けるダンサーローラが設けられており、前記ダンサーローラは、その外周面に異物除去手段が形成されており、前記ダンサーローラは、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降しながら前記長尺状ワークの一方の面に前記異物除去手段を接触させて回転することで、前記長尺状ワークの一方の面の清掃を行うことを特徴としている。

前記ダンサーローラの上方に位置させて、前記ダンサーローラの外周面を清掃するダンサーローラ清掃手段を設けることができる。

前記異物除去手段は、前記ダンサーローラの外周面に形成された粘着層からなり、前記ダンサーローラ清掃手段は、前記ダンサーローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つダンサーローラ用粘着シートローラからなり、前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの上方に昇降不能に設けられており、前記ダンサーローラと前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの上昇端のみにおいて互いの外周面が接触することができる。

前記異物除去手段は、前記ダンサーローラの外周面に形成された粘着層からなり、前記ダンサーローラ清掃手段は、前記ダンサーローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つダンサーローラ用粘着シートローラからなり、前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの直上位置に、前記ダンサーローラと一体に昇降可能に設けられており、前記ダンサーローラと前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの昇降位置にかかわらず互いの外周面が接触することができる。

本発明の搬送装置は、別の態様では、供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺状ワークをその長手方向に搬送する搬送装置であって、前記供給リールと前記巻取リールの間に位置させて、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降し、前記長尺状ワークに対して張力を掛けるダンサーローラが設けられており、前記ダンサーローラの下方に位置させて、前記ダンサーローラとの間に前記長尺状ワークを挟持し且つ前記長尺状ワークの搬送に従って前記ダンサーローラに従動して昇降する従動ローラが設けられており、前記従動ローラは、その外周面に異物除去手段が形成されており、前記従動ローラは、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降しながら前記長尺状ワークの他方の面に前記異物除去手段を接触させて回転することで、前記長尺状ワークの他方の面の清掃を行うことを特徴としている。

前記従動ローラの下方に位置させて、前記従動ローラの外周面を清掃する従動ローラ清掃手段を設けることができる。

前記異物除去手段は、前記従動ローラの外周面に形成された粘着層からなり、前記従動ローラ清掃手段は、前記従動ローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つ従動ローラ用粘着シートローラからなり、前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの下方に昇降不能に設けられており、前記従動ローラと前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの下降端のみにおいて互いの外周面が接触することができる。

前記異物除去手段は、前記従動ローラの外周面に形成された粘着層からなり、前記従動ローラ清掃手段は、前記従動ローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つ従動ローラ用粘着シートローラからなり、前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの直下位置に、前記従動ローラと一体に昇降可能に設けられており、前記従動ローラと前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの昇降位置にかかわらず互いの外周面が接触することができる。

本発明の露光装置は、上述したいずれかの搬送装置と、前記供給リールと前記巻取リールの間に位置しており、前記長尺状ワークの一方の面または他方の面に対してパターンを露光する露光部と、を備えることを特徴としている。

本発明によれば、長尺状ワークの搬送経路の全体に亘って適切な張力を掛けることができ、長尺状ワークを蛇行させることなく搬送することができ、長尺状ワークの表面に付着した異物を除去することで露光欠陥や現像欠陥を防止することができ、しかも小型で低コストである搬送装置及びこれを備えた露光装置が得られる。

本発明の第１実施形態に係る露光搬送装置の全体構成を示す図である。 本発明の第１実施形態に係る張力調整ユニットの詳細構成を示す図である。 露光搬送装置による露光搬送動作を示すフローチャートである。 図４（Ａ）〜図４（Ｇ）は、露光搬送装置による露光搬送動作を示す第１工程図〜第７工程図である。 本発明の第２実施形態に係る露光搬送装置の全体構成を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る張力調整ユニットの詳細構成を示す図である。

≪第１実施形態≫
図１〜図４を参照して、本発明の第１実施形態に係る露光搬送装置１について説明する。露光搬送装置１は、いわゆるロールトゥロール方式の露光搬送装置であり、長尺状ワークＷをその長手方向に搬送する搬送部ＣＶと、この搬送部ＣＶによって搬送される長尺状ワークＷの表面にパターンを露光して電子回路を形成する露光部ＥＸと、を備えている。

＜長尺状ワークＷの構成＞
長尺状ワークＷは、例えば、携帯電話やモバイル機器等に用いられる電子回路基板（プリント回路基板）のベース素材となる感光性長尺フィルム（表面に感光体を塗布した合成樹脂製柔軟フィルム）をロール状にしたものである。長尺状ワークＷは、例えば、厚みが０．１ｍｍ以下かつ長さが５００ｍｍ以上である。以下では、長尺状ワークＷの表裏面のうち、図中の上方を向く面を「表面」と呼び、図中の下方を向く面を「裏面」と呼ぶ。

＜搬送部ＣＶの構成＞
搬送部ＣＶは、長尺状ワークＷの搬送方向の上流側から下流側に向かって順に、供給リール１０、供給ガイドローラ２０、張力調整ユニット３０、第１搬送ローラ４０、第２搬送ローラ５０、及び巻取リール６０を備えている。供給リール１０、供給ガイドローラ２０、張力調整ユニット３０及び第１搬送ローラ４０は、長尺状ワークＷを露光部ＥＸに供給するためのワーク供給系を構成する。第２搬送ローラ５０及び巻取リール６０は、露光部ＥＸで露光された長尺状ワークＷを巻き取るためのワーク巻取系を構成する。

供給リール１０は、ロール状に巻回された長尺状ワークＷを保持しており、自身の回転軸を中心にして回転することで、長尺状ワークＷを下流側に向けて供給する（繰り出す）ものである。巻取リール６０は、自身の回転軸を中心にして回転することで、上流側から供給されてきた長尺状ワークＷをロール状に巻き取ってこれを保持するものである。供給リール１０と巻取リール６０は、該供給リール１０と巻取リール６０を間欠的に且つ略同一の回転駆動量で回転駆動する回転駆動手段（図示せず）を備えている。供給リール１０と巻取リール６０は、それぞれの回転軸が水平方向に略一直線に並ぶように配置されている。供給リール１０と巻取リール６０は、長尺状ワークＷの搬送に伴って該長尺状ワークＷの供給量と巻取量が変化することにより、その外形が変化する。

供給ガイドローラ２０、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０は、供給リール１０と巻取リール６０の間に長尺状ワークＷを架け渡しており、自身の回転軸を中心にして回転することで、供給リール１０からの長尺状ワークＷを巻取リール６０に向けて搬送するものである。

供給ガイドローラ２０、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０は、それぞれの回転軸が水平方向に略一直線に並ぶように配置されている。供給ガイドローラ２０、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０は、その外径が供給リール１０及び巻取リール６０の外径よりも小さく設定されており、その鉛直方向位置が供給リール１０及び巻取リール６０の鉛直方向位置よりも高く設定されている。

供給ガイドローラ２０は、供給リール１０から供給された（繰り出された）長尺状ワークＷを下流側に案内する補助ローラである。供給ガイドローラ２０は、長尺状ワークＷが幅方向（図１、図４中の紙面垂直方向、図２中の左右方向）にずれるのを防止するフランジ（図示せず）を有していてもよい。

第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０は、該第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０を間欠的に且つ略同一の回転駆動量で回転駆動する回転駆動手段（図示せず）を備えている。第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０は、長尺状ワークＷの裏面を吸着する吸着手段（図示せず）を備えている。これにより、吸着手段が長尺状ワークＷの裏面を吸着した状態で、回転駆動手段が第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０を間欠的に且つ略同一の回転駆動量で回転駆動することにより、供給リール１０と巻取リール６０の間に架け渡された長尺状ワークＷを所定長ずつ搬送（コマ送り）することができる。

なお、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０の少なくとも一方に、長尺状ワークＷの位置調整のためのローラ移動手段（図示せず）を設けてもよい。このローラ移動手段は、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０を軸方向に移動し、または第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０の軸角度を傾けることにより、長尺状ワークＷの搬送中に、長尺状ワークＷを第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０の上で任意の方向にずらして、長尺状ワークＷの位置調整を行うための機構である。

張力調整ユニット３０は、供給ガイドローラ２０と第１搬送ローラ４０の間に配置されている。張力調整ユニット３０は、長尺状ワークＷに対して張力を掛けることで長尺状ワークＷに弛みやしわが生じるのを防止し、同時に、長尺状ワークＷの表裏面に付着した異物（塵やゴミ）を除去することで露光欠陥や現像欠陥を防止する機能を有している。

張力調整ユニット３０は、ダンサーローラ３１、従動ローラ３２、ダンサーローラ用粘着シートローラ（ダンサーローラ清掃手段）３３、及び従動ローラ用粘着シートローラ（従動ローラ清掃手段）３４を備えている。これらのローラ３１〜３４は、それぞれの回転軸が鉛直方向に略一直線に並ぶように配置されている。

ダンサーローラ３１は、長尺状ワークＷの搬送に従って昇降し、長尺状ワークＷに対して張力を掛けるものである。ダンサーローラ３１は、その外周面に、例えばシリコン系の材料からなる柔軟な粘着層（異物除去手段）３１Ａが形成されている。ダンサーローラ３１は、長尺状ワークＷの搬送に従って昇降しながら長尺状ワークＷの表面に粘着層３１Ａを接触させて回転することで、長尺状ワークＷの表面の清掃を行う。すなわち、ダンサーローラ３１は、長尺状ワークＷの表面に粘着層３１Ａを接触させて回転することで、自身の外周面の粘着層の粘着力により、長尺状ワークＷの表面に付着した異物（塵やゴミ）を移し取る（絡め取る）。

従動ローラ３２は、ダンサーローラ３１の下方に位置している。従動ローラ３２は、ダンサーローラ３１との間に長尺状ワークＷを挟持し且つ長尺状ワークＷの搬送に従ってダンサーローラ３１に従動して昇降する。従動ローラ３２は、その外周面に、例えばシリコン系の材料からなる柔軟な粘着層（異物除去手段）３２Ａが形成されている。従動ローラ３２は、長尺状ワークＷの搬送に従って昇降しながら長尺状ワークＷの裏面に粘着層３２Ａを接触させて回転することで、長尺状ワークＷの裏面の清掃を行う。すなわち、従動ローラ３２は、長尺状ワークＷの裏面に粘着層３２Ａを接触させて回転することで、自身の外周面の粘着層の粘着力により、長尺状ワークＷの裏面に付着した異物（塵やゴミ）を移し取る（絡め取る）。

ダンサーローラ用粘着シートローラ３３は、ダンサーローラ３１の上方に昇降不能に（鉛直方向の位置を固定して）設けられている。ダンサーローラ用粘着シートローラ３３は、その外周面に、ダンサーローラ３１の外周面に形成された粘着層３１Ａよりも強い粘着力を持つ粘着層が形成されている。

ダンサーローラ用粘着シートローラ３３は、回転駆動手段３３Ｃ（図２）によって鉛直方向の定位置で回転駆動される。ダンサーローラ３１とダンサーローラ用粘着シートローラ３３は、ダンサーローラ３１の上昇端のみにおいて互いの外周面が接触し、この接触状態で、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３が回転駆動手段３３Ｃによって回転駆動されることで、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３がダンサーローラ３１の外周面（粘着層３１Ａ）を清掃する。すなわち、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３は、ダンサーローラ３１の外周面に接触して回転することで、自身の外周面の粘着層の粘着力により、ダンサーローラ３１の外周面に付着した異物（塵やゴミ）を移し取る（絡め取る）。これにより、ダンサーローラ３１が除去した異物が長尺状ワークＷに再付着するのを防止することができる。ダンサーローラ用粘着シートローラ３３が絡め取った異物は、作業者がダンサーローラ用粘着シートを所定長ずつカットすることで、張力調整ユニット３０の外部に排出される。この排出作業を行いやすくするために、張力調整ユニット３０は、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３を外部に引き出すためのガイドレール（図示せず）を備えることができる。

ダンサーローラ用粘着シートローラ３３を用いてダンサーローラ３１の清掃を行う際には、ダンサーローラ３１がその上昇端で、長尺状ワークＷの表面から離間している。すなわち、張力調整ユニット３０は、ダンサーローラ３１をその上昇端で長尺状ワークＷの表面から離間させるダンサーローラ移動手段３７Ｂ（図２）を備えている。また、張力調整ユニット３０は、ダンサーローラ３１が長尺状ワークＷの表面から離間する際に、それまで長尺状ワークＷに荷重を掛けながら移動していた昇降のためのベース３７Ｃを直動ガイド３６に対して一時的に固定して（図２）、ダンサーローラ３１の落下を防止するためのブレーキ機構（図示せず）を備えている。

従動ローラ用粘着シートローラ３４は、従動ローラ３２の下方に昇降不能に（鉛直方向の位置を固定して）設けられている。従動ローラ用粘着シートローラ３４は、その外周面に、従動ローラ３２の外周面に形成された粘着層３２Ａよりも強い粘着力を持つ粘着層が形成されている。

従動ローラ用粘着シートローラ３４は、回転駆動手段３４Ｃ（図２）によって鉛直方向の定位置で回転駆動される。従動ローラ３２と従動ローラ用粘着シートローラ３４は、従動ローラ３２の下降端のみにおいて互いの外周面が接触し、この接触状態で、従動ローラ用粘着シートローラ３４が回転駆動手段３４Ｃによって回転駆動されることで、従動ローラ用粘着シートローラ３４が従動ローラ３２の外周面（粘着層３２Ａ）を清掃する。すなわち、従動ローラ用粘着シートローラ３４は、従動ローラ３２の外周面に接触して回転することで、自身の外周面の粘着層の粘着力により、従動ローラ３２の外周面に付着した異物（塵やゴミ）を移し取る（絡め取る）。これにより、従動ローラ３２が除去した異物が長尺状ワークＷに再付着するのを防止することができる。従動ローラ用粘着シートローラ３４が絡め取った異物は、作業者が従動ローラ用粘着シートを所定長ずつカットすることで、張力調整ユニット３０の外部に排出される。この排出作業を行いやすくするために、張力調整ユニット３０は、従動ローラ用粘着シートローラ３４を外部に引き出すためのガイドレール（図示せず）を備えていてもよい。

従動ローラ用粘着シートローラ３４を用いて従動ローラ３２の清掃を行う際には、従動ローラ３２がその下降端で、長尺状ワークＷの裏面から離間している。すなわち、張力調整ユニット３０は、従動ローラ３２をその下降端で長尺状ワークＷの裏面から離間させる従動ローラ移動手段３８Ｂ（図２）を備えている。また、張力調整ユニット３０は、従動ローラ３２が長尺状ワークＷの裏面から離間する際に、それまで長尺状ワークＷに荷重を掛けながら移動していた昇降のためのベース３７Ｃを直動ガイド３６に対して一時的に固定して、従動ローラ用粘着シートローラ３４に過剰な重量を掛けないためのブレーキ機構（図示せず）を備えている。

図２を参照して、張力調整ユニット３０の詳細構成について説明する。張力調整ユニット３０は、箱型のユニットケース３５を備えている。ダンサーローラ用粘着シートローラ３３は、ユニットケース３５の内部の上端部（天井部）に固定された支持台３３Ａに支軸３３Ｂを介して回転自在に支持されている。従動ローラ用粘着シートローラ３４は、ユニットケース３５の内部の下端部（底部）に固定された支持台３４Ａに支軸３４Ｂを介して回転自在に支持されている。上述したように、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３及び従動ローラ用粘着シートローラ３４は、回転駆動手段３３Ｃ、３４Ｃによって回転駆動される。

ユニットケース３５の側壁部には、互いに対向して鉛直方向に延びる一対の直動ガイド（ガイドレール）３６が固定されている。この一対の直動ガイド３６には、ダンサーローラ３１を回転自在に支持したダンサーローラ昇降ユニット３７と従動ローラ３２を回転自在に支持した従動ローラ昇降ユニット３８とが、互いに独立して昇降可能にガイドされている。ダンサーローラ昇降ユニット３７は、ダンサーローラ３１を回転自在に支持した支軸３７Ａと、この支軸３７Ａの両端部を支持し且つダンサーローラ３１と支軸３７Ａを一体に昇降させるダンサーローラ移動手段３７Ｂとを備えている。従動ローラ昇降ユニット３８は、従動ローラ３２を回転自在に支持した支軸３８Ａと、この支軸３８Ａの両端部を支持し且つ従動ローラ３２と支軸３８Ａを一体に昇降させる従動ローラ移動手段３８Ｂとを備えている。さらに、ダンサーローラ移動手段３７Ｂと従動ローラ移動手段３８Ｂは、一対の直動ガイド３６に対して昇降自在に支持された一対のベース３７Ｃに支持されている。

すなわち、ダンサーローラ３１の昇降は、直動ガイド３６に対するベース３７Ｃの昇降と、ダンサーローラ移動手段３７Ｂによる支軸３７Ａの昇降とを合成することにより実行される。同様に、従動ローラ３２の昇降は、直動ガイド３６に対するベース３７Ｃの昇降と、従動ローラ移動手段３８Ｂによる支軸３８Ａの昇降とを合成することにより実行される。

一対のベース３７Ｃのうちの一方のベース３７Ｃ（図２中の右側の直動ガイド３６に昇降自在に支持されたベース３７Ｃ）には、ワイヤ３９Ａ及び一対の支持ローラ３９Ｂを介して、カウンターウェイト３９Ｃが連結されている。カウンターウェイト３９Ｃの重量を調整することによって、ダンサーローラ３１が長尺状ワークＷに掛ける張力を調整することができる。

図示は省略しているが、一対の直動ガイド３６の上端部と下端部にはそれぞれ、ダンサーローラ昇降ユニット３７（ダンサーローラ３１）が上端部（またはその近傍）に到達したことを検出する上端部検出センサと、従動ローラ昇降ユニット３８（従動ローラ３２）が下端部（またはその近傍）に到達したことを検出する下端部検出センサとが設けられている。上述したように、ダンサーローラ３１は、ダンサーローラ移動手段３７Ｂにより、直動ガイド３６に対するベース３７Ｃの上昇端においてさらに若干量だけ上昇することで、長尺状ワークＷの表面から離間することができる。また、従動ローラ３２は、従動ローラ移動手段３８Ｂにより、直動ガイド３６に対するベース３７Ｃの下降端においてさらに若干量だけ下降することで、長尺状ワークＷの裏面から離間することができる。

＜露光部ＥＸの構成＞
露光部ＥＸは、第１搬送ローラ４０と第２搬送ローラ５０の間に配置されている。露光部ＥＸは、露光ステージ７０及び露光ユニット７５を備えている。

露光ステージ７０は、第１搬送ローラ４０から第２搬送ローラ５０に搬送される長尺状ワークＷの裏面を吸着しつつこれを平坦に保持するものである。露光ユニット７５は、水銀ランプやＬＥＤ光源等の光源部（図示せず）を備えており、露光ステージ７０が平坦に保持した長尺状ワークＷの表面にパターンを露光して電子回路を形成するものである。露光ユニット７５は、長尺状ワークＷの搬送停止時に露光を行う。

露光ユニット７５による露光方式は、例えば、フォトマスクをワークに当接もしくは真空密着させて露光を行うコンタクト露光方式、フォトマスクをワークと離間させて露光を行うプロキシミティギャップ露光方式、投影光学系を用いてフォトマスク像をワークに投影する投影露光方式、レーザスキャン、あるいはＤＭＤ等の光変調素子を用いてのダイレクト露光方式などの種々の方式を用いることができる。すなわち、露光ユニット７５による露光方式には自由度があり、特定の露光方式に限定されるものではない。

露光ステージ７０は、長尺状ワークＷの搬送中（コマ送り中）に長尺状ワークＷと干渉しないように、昇降駆動手段（図示せず）によって、露光ステージ７０が長尺状ワークＷの裏面に接触する上端位置と、露光ステージ７０が長尺状ワークＷの裏面と離間する下端位置との間で昇降可能になっている。また、ダイレクト露光方式や投影露光方式においては、露光ステージ７０が走査またはステップ・アンド・リピートするための機構を備えていてもよい。

図示は省略しているが、長尺状ワークＷは、パターン露光領域を区画し且つ露光部ＥＸ（露光ユニット７５）による位置補正を実行可能とするためのアライメントマークを有しており、露光部ＥＸ（露光ユニット７５）は、長尺状ワークＷのアライメントマークを読み取るためのアライメントマーク読取部を備えている。これにより、露光部ＥＸ（露光ユニット７５）は、アライメントマーク読取部が読み取ったアライメントマークの位置データに基づいて、長尺状ワークＷに対するパターン露光領域のずれを補正することができる。

＜露光搬送装置１による露光搬送動作＞
図３のフローチャート及び図４（Ａ）〜図４（Ｇ）の工程図を参照して、露光搬送装置１による露光搬送動作について詳細に説明する。

ステップＳ１において、加工前の新しい素材であるロール状の長尺状ワークＷを供給リール１０にセットし、長尺状ワークＷの先端部を繰り出して供給ガイドローラ２０、張力調整ユニット３０、第１搬送ローラ４０、第２搬送ローラ５０に架け渡していき、巻取リール６０に固定する。この初期セット状態において、長尺状ワークＷは、張力調整ユニット３０のダンサーローラ３１と従動ローラ３２の間に挟持されてＵ字形状の搬送経路を描いている。

ステップＳ２において、露光部ＥＸ及び搬送部ＣＶを起動する。すると、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０の吸着手段（図示せず）が長尺状ワークＷの裏面を吸着する。

ステップＳ３において、露光部ＥＸの露光ステージ７０が、１コマ分の長尺状ワークＷの裏面を吸着しつつこれを平坦に保持する。その後、露光部ＥＸ及び搬送部ＣＶは、同時に別々のステップで動作を行う。

ステップＳ４において、供給リール１０の回転駆動手段（図示せず）が所定の回転駆動量だけ回転することにより、供給リール１０が長尺状ワークＷを１コマ分だけ繰り出す。繰り出された長尺状ワークＷは、供給ガイドローラ２０を経由して張力調整ユニット３０に入る。ここで、長尺状ワークＷは下流側において露光ステージ７０で吸着されており、また第１搬送ローラ４０と第２搬送ローラ５０は静止しているため、張力調整ユニット３０に入った長尺状ワークＷは、その自重とダンサーローラ３１により適度な張力を保ちながらＵ字形状を深くしていき、ダンサーローラ３１と従動ローラ３２が一体に下降する（図４（Ａ）→図４（Ｂ））。この下降に伴って、ダンサーローラ３１と従動ローラ３２がそれぞれ長尺状ワークＷの表面と裏面に接触して回転することで、長尺状ワークＷの表裏面の清掃を行う。

ステップＳ５において、供給リール１０による長尺状ワークＷの繰り出しを停止して、ダンサーローラ３１を下降端で停止させる。従動ローラ３２は、従動ローラ移動手段３８Ｂによって、ダンサーローラ３１の下降端に対応する位置からさらに下降することで、長尺状ワークＷの裏面から離間して、従動ローラ用粘着シートローラ３４に接触する（図４（Ｂ）→図４（Ｃ））。そしてこの接触状態で、従動ローラ用粘着シートローラ３４が回転駆動手段３４Ｃによって回転駆動されることで、従動ローラ用粘着シートローラ３４が従動ローラ３２の外周面を清掃する。従動ローラ３２は、従動ローラ用粘着シートローラ３４による清掃が終了した後、従動ローラ移動手段３８Ｂによって、ダンサーローラ３１の下降端に対応する位置に復帰して、ダンサーローラ３１との間に長尺状ワークＷを挟持する（図４（Ｃ）→図４（Ｄ））。

搬送装置ＣＶがステップＳ４〜ステップＳ５の動作を行っている間、露光部ＥＸは、ステップＳ６において、露光ステージ７０が吸着保持する長尺状ワークＷをアライメントして、露光ユニット７５によって長尺状ワークＷの表面にパターンを露光して電子回路を形成する（図４（Ｂ）→図４（Ｃ））。

ステップＳ７において、露光ステージ７０による長尺状ワークＷの吸着を解除するとともに、第１搬送ローラ４０及び第２搬送ローラ５０並びに巻取リール６０の回転駆動手段（図示せず）が所定の回転駆動量だけ回転することにより、第１搬送ローラ４０と第２搬送ローラ５０が長尺状ワークＷを１コマ分だけ送り出し、送り出した１コマ分の長尺状ワークＷを巻取リール６０が巻き取る。このように下流側において長尺状ワークＷの搬送と巻き取りが行われる一方で、供給リール１０は回転停止しているため、張力調整ユニット３０内の長尺状ワークＷは、その自重とダンサーローラ３１により適度な張力を保ちながらＵ字形状を浅くしていき、ダンサーローラ３１と従動ローラ３２が一体に上昇する（図４（Ｄ）→図４（Ｅ））。この上昇に伴って、ダンサーローラ３１と従動ローラ３２がそれぞれ長尺状ワークＷの表面と裏面に接触して回転することで、長尺状ワークＷの表裏面の清掃を行う。

ステップＳ８において、巻取リール６０による長尺状ワークＷの巻き取りを停止して、従動ローラ３２を上昇端で停止させる。同時に第１搬送ローラ４０と第２搬送ローラ５０も回転停止する。ダンサーローラ３１は、ダンサーローラ移動手段３７Ｂによって、従動ローラ３２の上昇端に対応する位置からさらに上昇することで、長尺状ワークＷの表面から離間して、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３に接触する（図４（Ｅ）→図４（Ｆ））。そしてこの接触状態で、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３が回転駆動手段３３Ｃによって回転駆動されることで、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３がダンサーローラ３１の外周面を清掃する。ダンサーローラ３１は、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３による清掃が終了した後、ダンサーローラ移動手段３７Ｂによって、従動ローラ３２の上昇端に対応する位置に復帰して、従動ローラ３２との間に長尺状ワークＷを挟持する（図４（Ｆ）→図４（Ｇ））。

ステップＳ９において、ステップＳ３〜Ｓ８までの動作が行われる度に、長尺状ワークＷの最終コマの露光が終了したか否かが判定される。そして、長尺状ワークＷの最終コマの露光が終了するまで、ステップＳ３〜Ｓ８までの動作が繰り返され（ステップＳ９：ＮＯ）、長尺状ワークＷの最終コマの露光が終了したら（ステップＳ９：ＹＥＳ）、露光搬送動作が終了し、巻取リール６０にロール状に巻き取られた着状ワークＷが回収される。

≪第２実施形態≫
図５、図６を参照して、本発明の第２実施形態に係る露光搬送装置１’について説明する。露光搬送装置１’は、第１実施形態の露光搬送装置１において、張力調整ユニット３０に代えて、ローラ一体移動型の張力調整ユニット３０’を備えた構成である。その他の構成要素に変わりはないため、同一の符号を付して説明を省略する。

張力調整ユニット３０’は、ダンサーローラ３１’、従動ローラ３２’、ダンサーローラ用粘着シートローラ（ダンサーローラ清掃手段）３３’、及び従動ローラ用粘着シートローラ（従動ローラ清掃手段）３４’を備えている。

ダンサーローラ３１’は、その外周面に、例えばシリコン系の材料からなる柔軟な粘着層（異物除去手段）３１Ａ’が形成されている。従動ローラ３２’は、その外周面に、例えばシリコン系の材料からなる柔軟な粘着層（異物除去手段）３２Ａ’が形成されている。

ダンサーローラ用粘着シートローラ３３’は、ダンサーローラ３１’の直上位置に、ダンサーローラ３１’と一体に昇降可能に設けられている。ダンサーローラ３１’とダンサーローラ用粘着シートローラ３３’は、ダンサーローラ３１’の昇降位置にかかわらず互いの外周面が接触している。

従動ローラ用粘着シートローラ３４’は、従動ローラ３２’の直下位置に、従動ローラ３２’と一体に昇降可能に設けられている。従動ローラ３２’と従動ローラ用粘着シートローラ３４’は、従動ローラ３２’の昇降位置にかかわらず互いの外周面が接触している。

張力調整ユニット３０’では、図６に示すように、ダンサーローラ３１’、従動ローラ３２’、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３’及び従動ローラ用粘着シートローラ３４’を回転自在に支持した昇降ユニット８０が、垂直方向の一対の直動ガイド３６の間に昇降可能にガイドされている。より具体的に、昇降ユニット８０は、一対の直動ガイド３６に対して昇降自在に支持された一対のベース８１を有している。この一対のベース８１には、第１昇降部材８２と第２昇降部材８３とが独立して昇降可能に支持されている。第１昇降部材８２には、ダンサーローラ３１’を回転自在に支持した支軸８４と、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３’を回転自在に支持した支軸８５とが、相対昇降不能に支持されている。第２昇降部材８３には、従動ローラ３２’を回転自在に支持した支軸８６と、従動ローラ用粘着シートローラ３４’を回転自在に支持した支軸８７とが、相対昇降不能に支持されている。

すなわち、ダンサーローラ３１’とダンサーローラ用粘着シートローラ３３’の昇降は、直動ガイド３６に対するベース８１の昇降と、ベース８１に対する第１昇降部材８２の昇降とを合成することにより実行される。同様に、従動ローラ３２’と従動ローラ用粘着シートローラ３４’の昇降は、直動ガイド３６に対するベース８１の昇降と、ベース８１に対する第２昇降部材８３の昇降とを合成することにより実行される。

以上の構成により、ダンサーローラ３１’及び従動ローラ３２’が、長尺状ワークＷの搬送に従って昇降しながら長尺状ワークＷの表裏面にそれぞれ接触して回転することで、長尺状ワークＷの表裏面の清掃を行う。これと同時に、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３’及び従動ローラ用粘着シートローラ３４’が、ダンサーローラ３１’及び従動ローラ３２’の外周面に接触した状態で回転駆動されることで、ダンサーローラ３１’及び従動ローラ３２’の外周面の清掃を行う。

露光搬送装置１’によれば、第１実施形態の露光搬送装置１で必要としたダンサーローラ移動手段３７Ｂ及び従動ローラ移動手段３８Ｂが不要となり、さらにダンサーローラ用粘着シートローラ３３’及び従動ローラ用粘着シートローラ３４’の回転駆動手段（３３Ｃ、３４Ｃ）も不要となるため、露光搬送装置１’の構成を簡素化することができる。また、長尺状ワークＷの搬送状況に左右されることなく、ダンサーローラ３１’及び従動ローラ３２’の清掃を自由に行うことができる。

このように本実施形態の露光搬送装置１（１’）は、ダンサーローラ３１（３１’）の外周面に粘着層（異物除去手段）３１Ａが形成されており、このダンサーローラ３１（３１’）が、長尺状ワークＷの搬送に従って昇降しながら長尺状ワークＷの表面に粘着層（異物除去手段）３１Ａを接触させて回転することで、長尺状ワークＷの表面の清掃を行う。これにより、長尺状ワークＷの搬送経路の全体に亘って適切な張力を掛けることができ、長尺状ワークＷを蛇行させることなく搬送することができ、長尺状ワークＷの表面に付着した異物を除去することで露光欠陥や現像欠陥を防止することができ、しかも小型で低コストである露光搬送装置１（１’）が実現可能となる。

以上の実施形態では、張力調整ユニット３０（３０’）が、ダンサーローラ３１（３１’）、従動ローラ３２（３２’）、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３（３３’）及び従動ローラ用粘着シートローラ３４（３４’）を備えている場合を例示して説明した。しかし、本発明のコンセプトは、長尺状ワークＷの張力を調整するダンサーローラ３１（３１’）に異物を除去するクリーニングローラの機能を与える点にあり、ダンサーローラ用粘着シートローラ３３（３３’）及び従動ローラ用粘着シートローラ３４（３４’）を省略することも可能である。

以上の実施形態では、ダンサーローラ３１（３１’）と従動ローラ３２（３２’）の双方に異物を除去するクリーニングローラの機能を与えた場合を例示して説明したが、ダンサーローラ３１（３１’）と従動ローラ３２（３２’）のいずれか一方だけにクリーニングローラの機能を与える態様も可能である。

以上の実施形態では、供給ガイドローラ２０と第１搬送ローラ４０の間に張力調整ユニット３０を配置した場合を例示して説明したが、これに加えて、第２搬送ローラ５０と巻取リール６０の間に、張力調整ユニット３０とは別の張力調整ユニットを配置する態様も可能である。これにより、長尺状ワークＷの搬送経路の全体に亘って適切な張力を掛けることができ、長尺状ワークＷを蛇行させることなく搬送することができ、長尺状ワークＷの表面に付着した異物を除去することで露光欠陥や現像欠陥を防止することができるという作用効果をより顕著に得ることができる。

以上の実施形態では、第２搬送ローラ５０から送り出された長尺状ワークＷが直接的に巻取リール６０によって巻き取られる場合を例示して説明したが、第２搬送ローラ５０と巻取リール６０の間に、巻取リール６０において長尺状ワークＷを精度良く巻き取るためのワーク位置調整手段を設ける態様も可能である。

以上の実施形態では、ダンサーローラ３１が長尺状ワークＷに掛ける張力を調整する張力調整手段として、カウンターウェイト３９Ｃを使用した場合を例示して説明したが、カウンターウェイト３９Ｃに代えて、電動アクチュエータまたは空圧アクチュエータ（例えばエアシリンダー）を使用する態様も可能である。この態様では、張力調整手段としての電動アクチュエータまたは空圧アクチュエータ自体に、ダンサーローラ３１の落下防止機能を持たせることができる。

１ １’ 露光搬送装置
ＣＶ 搬送部
ＥＸ 露光部
Ｗ 長尺状ワーク
１０ 供給リール
２０ 供給ガイドローラ
３０ ３０’ 張力調整ユニット
３１ ３１’ ダンサーローラ
３１Ａ ３１Ａ’ 粘着層（異物除去手段）
３２ ３２’ 従動ローラ
３２Ａ ３２Ａ’ 粘着層（異物除去手段）
３３ ３３’ ダンサーローラ用粘着シートローラ（ダンサーローラ清掃手段）
３３Ａ 支持台
３３Ｂ 支軸
３３Ｃ 回転駆動手段
３４ ３４’ 従動ローラ用粘着シートローラ（従動ローラ清掃手段）
３４Ａ 支持台
３４Ｂ 支軸
３４Ｃ 回転駆動手段
３５ ユニットケース
３６ 直動ガイド（ガイドレール）
３７ ダンサーローラ昇降ユニット
３７Ａ 支軸
３７Ｂ ダンサーローラ移動手段
３７Ｃ ベース
３８ 従動ローラ昇降ユニット
３８Ａ 支軸
３８Ｂ 従動ローラ移動手段
３９Ａ ワイヤ
３９Ｂ 支持ローラ
３９Ｃ カウンターウェイト
４０ 第１搬送ローラ
５０ 第２搬送ローラ
６０ 巻取リール
７０ 露光ステージ
７５ 露光ユニット
８０ 昇降ユニット
８１ ベース
８２ 第１昇降部材
８３ 第２昇降部材
８４ ８５ ８６ ８７ 支軸

Claims (9)

1. 供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺状ワークをその長手方向に搬送する搬送装置であって、
   前記供給リールと前記巻取リールの間に位置させて、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降し、前記長尺状ワークに対して張力を掛けるダンサーローラが設けられており、
   前記ダンサーローラは、その外周面に異物除去手段が形成されており、
   前記ダンサーローラは、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降しながら前記長尺状ワークの一方の面に前記異物除去手段を接触させて回転することで、前記長尺状ワークの一方の面の清掃を行うことを特徴とする搬送装置。
2. 請求項１記載の搬送装置において、
   前記ダンサーローラの上方に位置させて、前記ダンサーローラの外周面を清掃するダンサーローラ清掃手段が設けられている搬送装置。
3. 請求項２記載の搬送装置において、
   前記異物除去手段は、前記ダンサーローラの外周面に形成された粘着層からなり、
   前記ダンサーローラ清掃手段は、前記ダンサーローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つダンサーローラ用粘着シートローラからなり、
   前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの上方に昇降不能に設けられており、
   前記ダンサーローラと前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの上昇端のみにおいて互いの外周面が接触する搬送装置。
4. 請求項２記載の搬送装置において、
   前記異物除去手段は、前記ダンサーローラの外周面に形成された粘着層からなり、
   前記ダンサーローラ清掃手段は、前記ダンサーローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つダンサーローラ用粘着シートローラからなり、
   前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの直上位置に、前記ダンサーローラと一体に昇降可能に設けられており、
   前記ダンサーローラと前記ダンサーローラ用粘着シートローラは、前記ダンサーローラの昇降位置にかかわらず互いの外周面が接触している搬送装置。
5. 供給リールと巻取リールの間に架け渡された長尺状ワークをその長手方向に搬送する搬送装置であって、
   前記供給リールと前記巻取リールの間に位置させて、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降し、前記長尺状ワークに対して張力を掛けるダンサーローラが設けられており、
   前記ダンサーローラの下方に位置させて、前記ダンサーローラとの間に前記長尺状ワークを挟持し且つ前記長尺状ワークの搬送に従って前記ダンサーローラに従動して昇降する従動ローラが設けられており、
   前記従動ローラは、その外周面に異物除去手段が形成されており、
   前記従動ローラは、前記長尺状ワークの搬送に従って昇降しながら前記長尺状ワークの他方の面に前記異物除去手段を接触させて回転することで、前記長尺状ワークの他方の面の清掃を行うことを特徴とする搬送装置。
6. 請求項５記載の搬送装置において、
   前記従動ローラの下方に位置させて、前記従動ローラの外周面を清掃する従動ローラ清掃手段が設けられている搬送装置。
7. 請求項６記載の搬送装置において、
   前記異物除去手段は、前記従動ローラの外周面に形成された粘着層からなり、
   前記従動ローラ清掃手段は、前記従動ローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つ従動ローラ用粘着シートローラからなり、
   前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの下方に昇降不能に設けられており、
   前記従動ローラと前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの下降端のみにおいて互いの外周面が接触する搬送装置。
8. 請求項６記載の搬送装置において、
   前記異物除去手段は、前記従動ローラの外周面に形成された粘着層からなり、
   前記従動ローラ清掃手段は、前記従動ローラの前記粘着層よりも強い粘着力を持つ従動ローラ用粘着シートローラからなり、
   前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの直下位置に、前記従動ローラと一体に昇降可能に設けられており、
   前記従動ローラと前記従動ローラ用粘着シートローラは、前記従動ローラの昇降位置にかかわらず互いの外周面が接触している搬送装置。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項記載の搬送装置と、
   前記供給リールと前記巻取リールの間に位置しており、前記長尺状ワークの一方の面または他方の面に対してパターンを露光する露光部と、を備えることを特徴とする露光装置。

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