CN104418122B - 输送装置及具有该输送装置的曝光装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。输送装置将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，输送装置设置有浮动辊，浮动辊位于供给卷轴与卷取卷轴之间，随着长条状工件的输送进行升降，并对长条状工件施加张力，浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，浮动辊在随着长条状工件的输送进行升降的同时，使异物去除单元与长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对长条状工件的一个面进行清扫。

Description

输送装置及具有该输送装置的曝光装置

技术领域

本发明涉及将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送的、所谓卷对卷方式的输送装置及具有该输送装置的曝光装置。

背景技术

一般而言，作为用于移动电话和移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基底材料，例如使用将厚度为0.1mm以下且长度为500mm以上的长条状工件(感光性长条膜(在正反的至少一面涂覆感光体而成的合成树脂制柔软膜))设为卷状的工件。

作为在这样的长条状工件形成电子电路的装置，公知有所谓的卷对卷方式的装置，该装置具有供给卷轴、卷取卷轴以及位于该供给卷轴与卷取卷轴之间的曝光部，该装置在将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送的同时，通过曝光部在长条状工件的表面曝光出图案。

在卷对卷方式的装置中，通常在供给卷轴与曝光部之间设置浮动辊，该浮动辊用于通过对长条状工件施加张力来防止长条状工件产生松弛或褶皱。此外，还在供给卷轴与曝光部之间设置清洁辊，该清洁辊用于通过去除附着在长条状工件表面的异物(灰尘或脏东西)来防止曝光缺陷和显影缺陷(专利文献1、2)。

【专利文献1】日本特开2001-125274号公报

【专利文献2】日本特开2006-106097号公报

但是，本发明人发现，该浮动辊和清洁辊有时会相互带来如下的不良影响。

例如在专利文献1、2中，在浮动辊与曝光部之间，由清洁辊夹持着长条状工件，因此浮动辊带来的张力调整的效果难以波及至长条状工件的清洁辊之后的部分。因此，在曝光部中，长条状工件产生褶皱或松弛，或者对长条状工件施加过大的张力而使其拉伸，由此期望的图案尺寸产生误差。即，即使设置用于对长条状工件施加张力的浮动辊，其张力调整的效果在曝光部中也未被适当地发挥，因此设置浮动辊的意义显著降低。

此外，事实上很难使浮动辊和清洁辊对长条状工件的进给速度严格一致，而且通常浮动辊和清洁辊施加到长条状工件的张力也产生不平衡。因此，长条状工件在输送中弯曲行进，由此长条状工件受到损伤，长条状工件的作业位置(曝光位置)的精度发生偏差，或者长条状工件的卷取精度恶化。

并且，由于单独设置有浮动辊、清洁辊以及对它们进行驱动的驱动单元，因此无法避免装置整体的大型化和高成本化。

发明内容

本发明正是根据以上的问题点而完成的，其目的在于提供一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。

本发明人根据现有装置的问题点是由于浮动辊和清洁辊的功能被明确划分成前者进行张力调整且后者进行异物去除这样的认识，着眼于如果对调整长条状工件的张力的浮动辊赋予去除异物的清洁辊的功能，则能够得到克服了上述技术课题的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，从而完成了本发明。

本发明的输送装置在其一个方式中，将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫。

也可以是，所述输送装置设置有浮动辊清扫单元，该浮动辊清扫单元位于所述浮动辊的上方，对所述浮动辊的外周面进行清扫。

也可以是，所述异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，所述浮动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述浮动辊的上方，所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述浮动辊的上升端处接触。

也可以是，所述异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，所述浮动辊用粘接片辊以能够与所述浮动辊一体升降的方式设置在所述浮动辊的正上方位置，所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊不论所述浮动辊的升降位置如何，彼此的外周面都始终接触。

本发明的输送装置在另一个方式中，将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，所述输送装置设置有从动辊，该从动辊位于所述浮动辊的下方，与所述浮动辊之间夹持所述长条状工件且随着所述长条状工件的输送而从动于所述浮动辊进行升降，所述从动辊在其外周面形成有异物去除单元，所述从动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的另一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的另一个面进行清扫。

也可以是，所述输送装置设置有从动辊清扫单元，该从动辊清扫单元位于所述从动辊的下方，对所述从动辊的外周面进行清扫。

也可以是，所述异物去除单元由形成于所述从动辊的外周面的粘接层构成，所述从动辊清扫单元由具有比所述从动辊的所述粘接层强的粘接力的从动辊用粘接片辊构成，所述从动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述从动辊的下方，所述从动辊和所述从动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述从动辊的下降端处接触。

也可以是，所述异物去除单元由形成于所述从动辊的外周面的粘接层构成，所述从动辊清扫单元由具有比所述从动辊的所述粘接层强的粘接力的从动辊用粘接片辊构成，所述从动辊用粘接片辊以能够与所述从动辊一体升降的方式设置在所述从动辊的正下方位置，所述从动辊和所述从动辊用粘接片辊不论所述从动辊的升降位置如何，彼此的外周面都始终接触。

本发明的曝光装置的特征在于，该曝光装置具有：上述任意一个输送装置；以及曝光部，其位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，对所述长条状工件的一个面或另一个面曝光出图案。

根据本发明，能够得到一种小型且低成本的输送装置及具有该输送装置的曝光装置，能够在长条状工件的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。

附图说明

图1是示出本发明第1实施方式的曝光输送装置的整体结构的图。

图2是示出本发明第1实施方式的张力调整单元的详细结构的图。

图3是示出曝光输送装置进行的曝光输送动作的流程图。

图4的(A)～图4的(G)是示出曝光输送装置进行的曝光输送动作的第1工序图～第7工序图。

图5是示出本发明第2实施方式的曝光输送装置的整体结构的图。

图6是示出本发明第2实施方式的张力调整单元的详细结构的图。

标号说明

1、1’：曝光输送装置；CV：输送部；EX：曝光部；W：长条状工件；10：供给卷轴；20：供给导辊；30、30’：张力调整单元；31、31’：浮动辊；31A、31A’：粘接层(异物去除单元)；32、32’：从动辊；32A、32A’：粘接层(异物去除单元)；33、33’：浮动辊用粘接片辊(浮动辊清扫单元)；33A：支承台；33B：支承轴；33C：旋转驱动单元；34、34’：从动辊用粘接片辊(从动辊清扫单元)；34A：支承台；34B：支承轴；34C：旋转驱动单元；35：单元壳体；36：直线移动导轨(导轨)；37：浮动辊升降单元；37A：支承轴；37B：浮动辊移动单元；37C：基座；38：从动辊升降单元；38A：支承轴；38B：从动辊移动单元；39A：钢丝绳；39B：支承辊；39C：配重；40：第1输送辊；50：第2输送辊；60：卷取卷轴；70：曝光台；75：曝光单元；80：升降单元；81：基座；82：第1升降部件；83：第2升降部件；84、85、86、87：支承轴。

具体实施方式

《第1实施方式》

参照图1～图4说明本发明第1实施方式的曝光输送装置1。曝光输送装置1是所谓的卷对卷方式的曝光输送装置，具有将长条状工件W在其长度方向上进行输送的输送部CV、以及通过在由该输送部CV输送的长条状工件W的表面曝光出图案而形成电子电路的曝光部EX。

＜长条状工件W的结构＞

长条状工件W例如是将作为用于移动电话和移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基底材料的感光性长条膜(在表面涂覆感光体而成的合成树脂制柔软膜)设为卷状的工件。长条状工件W例如厚度为0.1mm以下且长度为500mm以上。以下，将长条状工件W的正反面中的朝向图中上方的面称作“正面”、朝向图中下方的面称作“反面”。

＜输送部CV的结构＞

输送部CV从长条状工件W的输送方向的上游侧朝向下游侧，依次具有供给卷轴10、供给导辊20、张力调整单元30、第1输送辊40、第2输送辊50以及卷取卷轴60。供给卷轴10、供给导辊20、张力调整单元30以及第1输送辊40构成用于将长条状工件W供给到曝光部EX的工件供给系统。第2输送辊50和卷取卷轴60构成用于卷取由曝光部EX曝光后的长条状工件W的工件卷取系统。

供给卷轴10保持被卷绕成卷状的长条状工件W，通过以自身的旋转轴为中心旋转，朝下游侧供给(送出)长条状工件W。卷取卷轴60通过以自身的旋转轴为中心旋转，将从上游侧供给来的长条状工件W卷取成卷状并对其进行保持。供给卷轴10和卷取卷轴60具有间歇地且以大致相同的旋转驱动量对该供给卷轴10和卷取卷轴60进行旋转驱动的旋转驱动单元(未图示)。供给卷轴10和卷取卷轴60被配置成各自的旋转轴在水平方向上大致排列成一条直线。供给卷轴10和卷取卷轴60通过伴随长条状工件W的输送而使该长条状工件W的供给量和卷取量发生变化，使其外形发生变化。

供给导辊20、第1输送辊40以及第2输送辊50在供给卷轴10与卷取卷轴60之间架设长条状工件W，通过以自身的旋转轴为中心旋转，向卷取卷轴60输送来自供给卷轴10的长条状工件W。

供给导辊20、第1输送辊40以及第2输送辊50被配置成各自的旋转轴在水平方向上大致排列成一条直线。供给导辊20、第1输送辊40以及第2输送辊50被设定成其外径比供给卷轴10和卷取卷轴60的外径小，其铅直方向位置比供给卷轴10和卷取卷轴60的铅直方向位置高。

供给导辊20是将从供给卷轴10供给的(送出的)长条状工件W引导至下游侧的辅助辊。供给导辊20可以具有防止长条状工件W在宽度方向(图1、图4中的纸面垂直方向，图2中的左右方向)上偏离的凸缘(未图示)。

第1输送辊40和第2输送辊50具有间歇地且以大致相同的旋转驱动量对该第1输送辊40和第2输送辊50进行旋转驱动的旋转驱动单元(未图示)。第1输送辊40和第2输送辊50具有吸附长条状工件W的反面的吸附单元(未图示)。由此，在吸附单元吸附着长条状工件W的反面的状态下，旋转驱动单元间歇地且以大致相同的旋转驱动量对第1输送辊40和第2输送辊50进行旋转驱动，由此能够将架设于供给卷轴10与卷取卷轴60之间的长条状工件W每次输送规定长度(分段进给)。

另外，也可以在第1输送辊40和第2输送辊50中的至少一方设置用于长条状工件W的位置调整的辊移动单元(未图示)。该辊移动单元是如下机构：其用于通过使第1输送辊40和第2输送辊50在轴向上移动，或使第1输送辊40和第2输送辊50的轴角度倾斜，在长条状工件W的输送中，使长条状工件W在第1输送辊40和第2输送辊50的上方朝任意的方向错开，从而进行长条状工件W的位置调整。

张力调整单元30配置于供给导辊20与第1输送辊40之间。张力调整单元30具有以下功能：通过对长条状工件W施加张力，防止长条状工件W产生松弛或褶皱，同时，通过去除附着在长条状工件W的正反面的异物(灰尘或脏东西)，防止曝光缺陷和显影缺陷。

张力调整单元30具有浮动辊31、从动辊32、浮动辊用粘接片辊(浮动辊清扫单元)33以及从动辊用粘接片辊(从动辊清扫单元)34。这些辊31～34被配置成各自的旋转轴在铅直方向上大致排列成一条直线。

浮动辊31随着长条状工件W的输送而升降，从而对长条状工件W施加张力。浮动辊31在其外周面，形成有例如由硅系材料构成的柔软的粘接层(异物去除单元)31A。浮动辊31在随着长条状工件W的输送而升降的同时，使粘接层31A与长条状工件W的正面接触并旋转，由此，清扫长条状工件W的正面。即，浮动辊31通过使粘接层31A与长条状工件W的正面接触并旋转，利用自身的外周面的粘接层的粘接力，移除(卷除)附着在长条状工件W的正面的异物(灰尘或脏东西)。

从动辊32位于浮动辊31的下方。从动辊32，在其与浮动辊31之间夹持长条状工件W，并且随着长条状工件W的输送而从动于浮动辊31升降。从动辊32在其外周面，形成有例如由硅系材料构成的柔软的粘接层(异物去除单元)32A。从动辊32在随着长条状工件W的输送而升降的同时，使粘接层32A与长条状工件W的反面接触并旋转，由此，清扫长条状工件W的反面。即，从动辊32通过使粘接层32A与长条状工件W的反面接触并旋转，利用自身的外周面的粘接层的粘接力，移除(卷除)附着在长条状工件W的反面的异物(灰尘或脏东西)。

浮动辊用粘接片辊33不可升降地(铅直方向的位置被固定)设置在浮动辊31的上方。浮动辊用粘接片辊33在其外周面，形成有具有比形成于浮动辊31的外周面的粘接层31A强的粘接力的粘接层。

浮动辊用粘接片辊33通过旋转驱动单元33C(图2)在铅直方向的固定位置被旋转驱动。浮动辊31和浮动辊用粘接片辊33彼此的外周面仅在浮动辊31的上升端接触，在该接触状态下，由旋转驱动单元33C对浮动辊用粘接片辊33进行旋转驱动，由此，浮动辊用粘接片辊33清扫浮动辊31的外周面(粘接层31A)。即，浮动辊用粘接片辊33通过与浮动辊31的外周面接触并旋转，利用自身的外周面的粘接层的粘接力，移除(卷除)附着在浮动辊31的外周面的异物(灰尘或脏东西)。由此，能够防止浮动辊31去除的异物再次附着到长条状工件W。浮动辊用粘接片辊33卷除的异物通过由操作人员每次切断规定长度的浮动辊用粘接片，排出到张力调整单元30的外部。为了使得该排出作业容易进行，张力调整单元30可具有用于将浮动辊用粘接片辊33引出到外部的导轨(未图示)。

在使用浮动辊用粘接片辊33进行浮动辊31的清扫时，浮动辊31在其上升端与长条状工件W的正面隔开。即，张力调整单元30具有使浮动辊31在其上升端与长条状工件W的正面隔开的浮动辊移动单元37B(图2)。此外，张力调整单元30具有制动机构(未图示)，该制动机构在浮动辊31与长条状工件W的正面隔开时，相对于直线移动导轨36暂且固定在此之前对长条状工件W施加负荷并且移动的用于升降的基座37C(图2)，从而防止浮动辊31的下落。

从动辊用粘接片辊34不可升降地(铅直方向的位置被固定)设置在从动辊32的下方。从动辊用粘接片辊34在其外周面，形成有具有比形成于从动辊31的外周面的粘接层32A强的粘接力的粘接层。

从动辊用粘接片辊34通过旋转驱动单元34C(图2)在铅直方向的固定位置被旋转驱动。从动辊32和从动辊用粘接片辊34彼此的外周面仅在从动辊32的下降端接触，在该接触状态下，由旋转驱动单元34C对从动辊用粘接片辊34进行旋转驱动，由此，从动辊用粘接片辊34清扫从动辊32的外周面(粘接层32A)。即，从动辊用粘接片辊34通过与从动辊32的外周面接触并旋转，利用自身的外周面的粘接层的粘接力，移除(卷除)附着在从动辊32的外周面的异物(灰尘或脏东西)。由此，能够防止从动辊32去除的异物再次附着到长条状工件W。从动辊用粘接片辊34卷除的异物通过由操作人员每次切断规定长度的从动辊用粘接片，排出到张力调整单元30的外部。为了使得该排出作业容易进行，张力调整单元30可具有用于将从动辊用粘接片辊34引出到外部的导轨(未图示)。

在使用从动辊用粘接片辊34进行从动辊32的清扫时，从动辊32在其下降端与长条状工件W的反面隔开。即，张力调整单元30具有使从动辊32在其下降端与长条状工件W的反面隔开的从动辊移动单元38B(图2)。此外，张力调整单元30具有制动机构(未图示)，该制动机构在从动辊32与长条状工件W的反面隔开时，相对于直线移动导轨36暂且固定在此之前对长条状工件W施加负荷并且移动的用于升降的基座37C，从而不会对从动辊用粘接片辊34施加过剩的重量。

参照图2对张力调整单元30的详细结构进行说明。张力调整单元30具有箱形的单元壳体35。浮动辊用粘接片辊33经由支承轴33B被旋转自如地支承于支承台33A，该支承台33A被固定于单元壳体35内部的上端部(顶部)。从动辊用粘接片辊34经由支承轴34B被旋转自如地支承于支承台34A，该支承台34A被固定于单元壳体35内部的下端部(底部)。如上所述，浮动辊用粘接片辊33和从动辊用粘接片辊34通过旋转驱动单元33C、34C被旋转驱动。

在单元壳体35的侧壁部，固定有彼此相对地在铅直方向上延伸的一对直线移动导轨(导轨)36。在该一对直线移动导轨36中，旋转自如地支承浮动辊31的浮动辊升降单元37和旋转自如地支承从动辊32的从动辊升降单元38被相互独立且可升降地引导。浮动辊升降单元37具有：旋转自如地支承浮动辊31的支承轴37A；以及支承该支承轴37A的两端部且使浮动辊31和支承轴37A一体地升降的浮动辊移动单元37B。从动辊升降单元38具有：旋转自如地支承从动辊32的支承轴38A；以及支承该支承轴38A的两端部且使从动辊32和支承轴38A一体地升降的从动辊移动单元38B。并且，浮动辊移动单元37B和从动辊移动单元38B被支承于一对基座37C，一对基座37C被相对于一对直线移动导轨36升降自如地支承。

即，浮动辊31的升降是通过合成基座37C相对于直线移动导轨36的升降和浮动辊移动单元37B进行的支承轴37A的升降而执行的。同样，从动辊32的升降是通过合成基座37C相对于直线移动导轨36的升降和从动辊移动单元38B进行的支承轴38A的升降而执行的。

在一对基座37C中的一个基座37C(图2中右侧的被直线移动导轨36升降自如地支承的基座37C)上，经由钢丝绳39A和一对支承辊39B连结有配重39C。能够通过调整配重39C的重量，对浮动辊31施加到长条状工件W的张力进行调整。

虽然省略图示，但是，在一对直线移动导轨36的上端部和下端部分别设置有对浮动辊升降单元37(浮动辊31)到达上端部(或其附近)的情况进行检测的上端部检测传感器、以及对从动辊升降单元38(从动辊32)到达下端部(或其附近)的情况进行检测的下端部检测传感器。如上所述，浮动辊31通过浮动辊移动单元37B，在基座37C相对于直线移动导轨36的上升端进一步上升一定量，由此，能够与长条状工件W的正面隔开。此外，从动辊32通过从动辊移动单元38B，在基座37C相对于直线移动导轨36的下降端进一步下降一定量，由此，能够与长条状工件W的反面隔开。

＜曝光部EX的结构＞

曝光部EX被配置于第1输送辊40与第2输送辊50之间。曝光部EX具有曝光台70和曝光单元75。

曝光台70吸附从第1输送辊40输送到第2输送辊50的长条状工件W的反面并且平坦地保持工件W。曝光单元75具有汞灯或LED光源等光源部(未图示)，在曝光台70平坦地保持的长条状工件W的正面曝光出图案而形成电子电路。曝光单元75在长条状工件W的输送停止时进行曝光。

曝光单元75的曝光方式例如可使用以下方式等各种方式：使光掩模与工件抵接或真空紧密贴合地进行曝光的接触曝光方式；使光掩模与工件隔开进行曝光的微小间隔曝光方式；使用投影光学系统将光掩模像投影到工件的投影曝光方式；以及使用激光扫描或DMD等光调制元件的直接曝光方式。即，曝光单元75的曝光方式有自由度，不限于特定的曝光方式。

曝光台70能够以在长条状工件W的输送中(分段进给中)不与长条状工件W产生干涉的方式，通过升降驱动单元(未图示)，在曝光台70与长条状工件W的反面接触的上端位置和曝光台70与长条状工件W的反面隔开的下端位置之间升降。此外，在直接曝光方式和投影曝光方式中，曝光台70可以具有用于扫描或分布重复曝光的机构。

虽然省略图示，但是，长条状工件W具有用于划分图案曝光区域且能够由曝光部EX(曝光单元75)执行位置校正的对准标记，曝光部EX(曝光单元75)具有用于读取长条状工件W的对准标记的对准标记读取部。由此，曝光部EX(曝光单元75)能够根据对准标记读取部读取的对准标记的位置数据，校正图案曝光区域相对于长条状工件W的偏离。

＜曝光输送装置1进行的曝光输送动作＞

参照图3的流程图和图4的(A)～图4的(G)的工序图，详细说明曝光输送装置1进行的曝光输送动作。

在步骤S1中，将作为加工前的新材料的卷状的长条状工件W设置于供给卷轴10，送出长条状工件W的前端部而架设到供给导辊20、张力调整单元30、第1输送辊40以及第2输送辊50，并固定于卷取卷轴60。在该初始设置状态下，长条状工件W被夹持在张力调整单元30的浮动辊31与从动辊32之间而描绘出U字形状的输送路径。

在步骤S2中，起动曝光部EX和输送部CV。于是，第1输送辊40和第2输送辊50的吸附单元(未图示)吸附长条状工件W的反面。

在步骤S3中，曝光部EX的曝光台70吸附1段长条状工件W的反面，并且平坦地保持该工件W。然后，曝光部EX和输送部CV同时在各自的步骤进行动作。

在步骤S4中，供给卷轴10的旋转驱动单元(未图示)旋转规定的旋转驱动量，由此，供给卷轴10送出1段长条状工件W。被送出的长条状工件W经由供给导辊20进入张力调整单元30。这里，长条状工件W在下游侧被曝光台70吸附，并且第1输送辊40和第2输送辊50静止，因此，进入到张力调整单元30的长条状工件W在通过其自重和浮动辊31保持适度张力的同时使U字形状逐渐变深，浮动辊31和从动辊32一体地下降(图4的(A)→图4的(B))。伴随该下降，浮动辊31和从动辊32分别与长条状工件W的正面和反面接触并旋转，由此，清扫长条状工件W的正反面。

在步骤S5中，停止供给卷轴10对长条状工件W的送出，使浮动辊31停止在下降端。从动辊32通过从动辊移动单元38B从与浮动辊31的下降端对应的位置起进一步下降，由此与长条状工件W的反面隔开，与从动辊用粘接片辊34接触(图4的(B)→图4的(C))。并且，在该接触状态下，通过旋转驱动单元34C对从动辊用粘接片辊34进行旋转驱动，由此，从动辊用粘接片辊34清扫从动辊32的外周面。从动辊32在从动辊用粘接片辊34进行的清扫结束后，通过从动辊移动单元38B恢复到与浮动辊31的下降端对应的位置，与浮动辊31之间夹持长条状工件W(图4的(C)→图4的(D))。

在输送装置CV进行步骤S4～步骤S5的动作的期间，曝光部EX在步骤S6中，对准曝光台70吸附保持的长条状工件W，通过曝光单元75在长条状工件W的正面曝光出图案而形成电子电路(图4(B)→图4(C))。

在步骤S7中，解除曝光台70对长条状工件W的吸附，并且使第1输送辊40、第2输送辊50以及卷取卷轴60的旋转驱动单元(未图示)旋转规定的旋转驱动量，由此，第1输送辊40和第2输送辊50送出1段长条状工件W，卷取卷轴60卷取送出的1段长条状工件W。这样在下游侧进行长条状工件W的输送和卷取，另一方面，供给卷轴10停止旋转，因此张力调整单元30内的长条状工件W在通过其自重和浮动辊31保持适度张力的同时使U字形状逐渐变浅，浮动辊31和从动辊32一体地上升(图4的(D)→图4的(E))。伴随该上升，浮动辊31和从动辊32分别与长条状工件W的正面和反面接触并旋转，由此，清扫长条状工件W的正反面。

在步骤S8中，停止卷取卷轴60对长条状工件W的卷取，使从动辊32停止在上升端。第1输送辊40和第2输送辊50也同时停止旋转。浮动辊31通过浮动辊移动单元37B从与从动辊32的上升端对应的位置起进一步上升，由此与长条状工件W的正面隔开，与浮动辊用粘接片辊33接触(图4的(E)→图4的(F))。并且，在该接触状态下，通过旋转驱动单元33C对浮动辊用粘接片辊33进行旋转驱动，由此，浮动辊用粘接片辊33清扫浮动辊31的外周面。浮动辊31在浮动辊用粘接片辊33进行的清扫结束后，通过浮动辊移动单元37B恢复到与从动辊32的上升端对应的位置，与从动辊32之间夹持长条状工件W(图4的(F)→图4的(G))。

在步骤S9中，每当进行步骤S3～S8的动作时，判定长条状工件W的最后一段的曝光是否已结束。并且，在长条状工件W的最后一段的曝光结束之前，反复步骤S3～S8的动作(步骤S9：否)，如果长条状工件W的最后一段的曝光结束(步骤S9：是)，则曝光输送动作结束，回收被卷取卷轴60卷取成卷状的长条状工件W。

《第2实施方式》

参照图5、图6说明本发明第2实施方式的曝光输送装置1’。曝光输送装置1’是在第1实施方式的曝光输送装置1中，替代张力调整单元30而具有辊一体移动型的张力调整单元30’的结构。其它结构要素不变，因此标注相同的标号并省略说明。

张力调整单元30’具有浮动辊31’、从动辊32’、浮动辊用粘接片辊(浮动辊清扫单元)33’和从动辊用粘接片辊(从动辊清扫单元)34’。

浮动辊31’在其外周面，形成有例如由硅系材料构成的柔软的粘接层(异物去除单元)31A’。从动辊32’在其外周面，形成有例如由硅系材料构成的柔软的粘接层(异物去除单元)32A’。

浮动辊用粘接片辊33’以能够与浮动辊31’一体升降的方式设置在浮动辊31’的正上方位置。浮动辊31’和浮动辊用粘接片辊33’不论浮动辊31’的升降位置如何，彼此的外周面都始终接触。

从动辊用粘接片辊34’以能够与从动辊32’一体升降的方式设置在从动辊32’的正下方位置。从动辊32’和从动辊用粘接片辊34’不论从动辊32’的升降位置如何，彼此的外周面都始终接触。

如图6所示，在张力调整单元30’中，旋转自如地支承浮动辊31’、从动辊32’、浮动辊用粘接片辊33’以及从动辊用粘接片辊34’的升降单元80在垂直方向的一对直线移动导轨36之间被可升降地引导。更具体而言，升降单元80具有被相对于一对直线移动导轨36升降自如地支承的一对基座81。在该一对基座81上，独立且可升降地支承有第1升降部件82和第2升降部件83。在第1升降部件82中，旋转自如地支承浮动辊31’的支承轴84和旋转自如地支承浮动辊用粘接片辊33’的支承轴85被支承成不可相对升降。在第2升降部件83中，旋转自如地支承从动辊32’的支承轴86和旋转自如地支承从动辊用粘接片辊34’的支承轴87被支承成不可相对升降。

即，浮动辊31’和浮动辊用粘接片辊33’的升降是通过合成基座81相对于直线移动导轨36的升降和第1升降部件82相对于基座81的升降而执行的。同样，从动辊32’和从动辊用粘接片辊34’的升降是通过合成基座81相对于直线移动导轨36的升降和第2升降部件83相对于基座81的升降而执行的。

通过以上的结构，浮动辊31’和从动辊32’在随着长条状工件W的输送进行升降的同时，分别与长条状工件W的正反面接触并旋转，由此，清扫长条状工件W的正反面。与此同时，浮动辊用粘接片辊33’和从动辊用粘接片辊34’在与浮动辊31’和从动辊32’的外周面接触的状态下被旋转驱动，由此，清扫浮动辊31’和从动辊32’的外周面。

根据曝光输送装置1’，不需要在第1实施方式的曝光输送装置1中所需的浮动辊移动单元37B和从动辊移动单元38B，并且，也不需要浮动辊用粘接片辊33’和从动辊用粘接片辊34’的旋转驱动单元(33C、34C)，因此，能够简化曝光输送装置1’的结构。此外，能够在不受长条状工件W的输送状况左右的情况下自由地清扫浮动辊31’和从动辊32’。

由此，本实施方式的曝光输送装置1(1’)在浮动辊31(31’)的外周面形成有粘接层(异物去除单元)31A，该浮动辊31(31’)在随着长条状工件W的输送进行升降的同时使粘接层(异物去除单元)31A与长条状工件W的正面接触并旋转，由此，清扫长条状工件W的正面。由此，能够实现一种小型且低成本的曝光输送装置1(1’)，能够在长条状工件W的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件W弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件W的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。

在以上的实施方式中，例示出张力调整单元30(30’)具有浮动辊31(31’)、从动辊32(32’)、浮动辊用粘接片辊33(33’)以及从动辊用粘接片辊34(34’)的情况进行了说明。但是，本发明的关键是对调整长条状工件W的张力的浮动辊31(31’)赋予去除异物的清洁辊的功能，还能够省略浮动辊用粘接片辊33(33’)和从动辊用粘接片辊34(34’)。

在以上的实施方式中，例示对浮动辊31(31’)和从动辊32(32’)双方赋予去除异物的清洁辊的功能的情况进行了说明，但是，也可以是仅对浮动辊31(31’)和从动辊32(32’)中的任意一方赋予清洁辊的功能的方式。

在以上的实施方式中，例示出在供给导辊20与第1输送辊40之间配置有张力调整单元30的情况进行了说明，但是，除此以外，也可以是在第2输送辊50与卷取卷轴60之间配置与张力调整单元30独立的张力调整单元的方式。由此，能够更显著地得到以下的作用效果：能够在长条状工件W的输送路径的整体范围内施加适当的张力，能够在不使长条状工件W弯曲行进的情况下对其进行输送，能够通过去除附着在长条状工件W的表面的异物来防止曝光缺陷和显影缺陷。

在以上的实施方式中，例示出直接通过卷取卷轴60卷取从第2输送辊50送出的长条状工件W的情况进行了说明，但是，也可以是在第2输送辊50与卷取卷轴60之间设置用于使卷取卷轴60高精度地卷取长条状工件W的工件位置调整单元的方式。

在以上的实施方式中，例示出使用配重39C作为对浮动辊31施加到长条状工件W的张力进行调整的张力调整单元的情况进行了说明，但是，也可以是替代配重39C而使用电动致动器或气动致动器(例如气缸)的方式。在该方式中，能够使作为张力调整单元的电动致动器或气动致动器自身具有浮动辊31的下落防止功能。

Claims (3)

1.一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，

所述输送装置设置有浮动辊和浮动辊清扫单元，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，该浮动辊清扫单元位于所述浮动辊的上方，对所述浮动辊的外周面进行清扫，

所述浮动辊在其外周面形成有异物去除单元，该异物去除单元由形成于所述浮动辊的外周面的粘接层构成，

所述浮动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的一个面进行清扫，

所述浮动辊清扫单元由具有比所述浮动辊的所述粘接层强的粘接力的浮动辊用粘接片辊构成，

所述浮动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述浮动辊的上方，

所述浮动辊和所述浮动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述浮动辊的上升端处接触。

2.一种输送装置，其将架设于供给卷轴与卷取卷轴之间的长条状工件在其长度方向上进行输送，其特征在于，

所述输送装置设置有浮动辊，该浮动辊位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，随着所述长条状工件的输送进行升降，并对所述长条状工件施加张力，

所述输送装置设置有从动辊和从动辊清扫单元，该从动辊位于所述浮动辊的下方，在与所述浮动辊之间夹持所述长条状工件且随着所述长条状工件的输送而从动于所述浮动辊进行升降，该从动辊清扫单元位于所述从动辊的下方，对所述从动辊的外周面进行清扫，

所述从动辊在其外周面形成有异物去除单元，该异物去除单元由形成于所述从动辊的外周面的粘接层构成，

所述从动辊在随着所述长条状工件的输送进行升降的同时，使所述异物去除单元与所述长条状工件的另一个面接触并旋转，由此，对所述长条状工件的另一个面进行清扫，

所述从动辊清扫单元由具有比所述从动辊的所述粘接层强的粘接力的从动辊用粘接片辊构成，

所述从动辊用粘接片辊不能升降地设置在所述从动辊的下方，

所述从动辊和所述从动辊用粘接片辊彼此的外周面仅在所述从动辊的下降端处接触。

3.一种曝光装置，其特征在于，所述曝光装置具有：

权利要求1或2所述的输送装置；以及

曝光部，其位于所述供给卷轴与所述卷取卷轴之间，对所述长条状工件的一个面或另一个面曝光出图案。