JP2006098718A - 描画装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 一定の搬送方向に連続して搬送される長尺の可撓性記録媒体28を、少なくとも2個のローラ30、32間に掛け渡す。さらに、張力設定手段68で、隣接する2個のローラ30、32間に掛け渡されている部分の張力を一定に保つことにより平面的に張架させた長尺の可撓性記録媒体の部分に、描画ユニット48で、二次元のパターンで描画処理を行う。これにより、常に露光処理を続けることができるから、生産性を向上できる。
【選択図】 図1
Description
例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)タイプの空間光変調素子(SLM;Special Light Modulator)や、透過型空間光変調素子(LCD)や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子(PLZT素子)や、液晶光シャッタ(FLC)の液晶シャッターアレイ等、MEMSタイプ以外の空間光変調素子をDMDに代えて用いることができる。さらに、Grating Light Valve(GLV)を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子(GLV)や透過型空間光変調素子(LCD)を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
14 未露光の記録媒体供給部
16 露光済みの記録媒体回収部
20 リニア移動機構
21 移動テーブル
22 基板搬送部
24 基板厚調整用Zステージ
26 検出用ユニット付の走査用搬送部
28 フレキシブルプリント配線基板材
30 ニップローラ対
32 ニップ駆動ローラ対
34 駆動モータ
36 減速機構
38 入口ガイドローラ
40 出口ガイドローラ
42 校正スケール
44 ビーム位置検出装置
45 露光面パワー測定装置
46 アライメントユニット
48 露光ヘッドユニット
50 ベース部
52 カメラ部
54 ヘッドアッセンブリ
58 制御ユニット
60 供給リール
66 出口側ローラ
68 ダンサーローラ
70 巻取りリール
76 搬送経路出口側保持ローラ
78 入口側ローラ
82 平面摺接ガイド部材
Claims (10)
- 長尺の可撓性記録媒体を一定の搬送方向に連続して搬送しながら描画する描画装置であって、
前記長尺の可撓性記録媒体が掛け渡される、少なくとも2個のローラと、
前記長尺の可撓性記録媒体における、前記隣接する2個のローラ間に掛け渡されている部分の張力を一定に保って平面的に張架させる張力設定手段と、
前記隣接する2個のローラ間で平面的に張架されている前記長尺の可撓性記録媒体に、二次元のパターンで描画処理を行う描画ユニットと、
を有することを特徴とする描画装置。 - 前記描画ユニットで描画する、前記隣接する2個のローラ間で平面的に張架されている前記長尺の可撓性記録媒体の裏側に、前記可撓性記録媒体の平面性を保つための下支え手段を配置したことを特徴とする請求項1記載の描画装置。
- 前記下支え手段が、平面摺接ガイド部材であることを特徴とする請求項2に記載の描画装置。
- 前記隣接する2個のローラ間で平面的に張架されている前記長尺の可撓性記録媒体に対し、前記描画ユニットより搬送方向上流側の位置で、前記可撓性記録媒体の描画される面側又は描画されない面側に、アライメントユニットを配置したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の描画装置。
- 前記隣接する2個のローラ間で平面的に張架されている前記長尺の可撓性記録媒体における両面側に、それぞれ描画ユニットを配置したことを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の描画装置。
- 前記隣接する2個のローラ間で平面的に張架されている前記長尺の可撓性記録媒体における前記両面側の少なくとも一方の前記描画ユニットより上流側に、アライメントユニットを配置したことを特徴とする請求項5に記載の描画装置。
- 前記隣接する2個のローラ間で平面的に張架されている前記長尺の可撓性記録媒体における前記両面側の前記描画ユニットより上流側に、アライメントユニットをそれぞれ配置したことを特徴とする請求項5に記載の描画装置。
- 前記描画ユニットを、レーザ露光装置で構成したことを特徴とする請求項1乃至請求項7の何れか1項に記載の描画装置。
- 前記描画ユニットが、光ビームを空間光変調素子によって変調して二次元のパターンを露光処理するよう構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項8の何れか1項に記載の描画装置。
- 前記描画ユニットが、光ビームを空間光変調素子によって変調してから、前記長尺の可撓性記録媒体上へ、オートフォーカス機構により合焦させて二次元のパターンを照射するよう構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項に記載の描画装置。
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