JP2011508907A - 微細構造化製品を製造する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
m=PL/(PL−PO)=PL/Δ (1)
これによれば、倍率は、シフトΔの値が小さいほど大きくなる。レンズの反復周期PLの典型的な値は、所望の表現効果に応じて10μm以下であり、最大200μm以上であり、また、シフトΔの典型的な値は0.1μm以下であり、最大5μm以上である。したがって、達成することができる倍率効果は、場合によっては数倍から最大数千倍である。
m(α)=PL/(PL−POcos(α)) (2)
に従う回転角で決まる。回転ミスアライメントが小さい場合、つまりα≒0である場合、cos(0)=1であるため、式(1)によって角倍率を推定することができる。したがって二次元平面におけるミスアライメント・シフトは、x方向における並進、y方向における並進及び回転αの3自由度に適切に分割される。したがって、平面(x0、y0、α0)における任意のシフトによって生じる画像オブジェクトのホログラフィ表現10のシフトは、(m*x0、m*y0、m*α0)として近似することができる。したがって図4bにおける回転シフトβは、m*αとして近似することができる。
−800基板シートの第1の表面に一次製品フィーチャを提供するステップと、
−810基板シートの反対側の表面に二次製品フィーチャを提供するステップと、
−820位置合わせパラメータを推定するために、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの相互位置合わせを表示するステップと、
−830製品フィーチャを提供する少なくとも1つのステップを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの準備を位置合わせさせるステップ
の複数のステップ(図1)を含む両面微細構造化製品を製造する方法の一実施例を概略的に示したものである。
−910ミスアライメント・パターンの反復及び/又は位置決めの変動を見出すために、実施された位置合わせを常に識別し、且つ、解析するステップと、
−920識別された反復ミスアライメント・パターン及び/又は位置決めの変動に応答して、製品フィーチャを提供する第2のステップの予防制御を実施するステップ
が提供される。
−基板シート50の第1の表面に一次製品フィーチャを提供するための手段500と、
−基板シートの反対側の表面に二次製品フィーチャを提供するための手段520と、
−一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの相互位置合わせを表示し、且つ、位置合わせパラメータを推定するようになされた位置決め検出システム540と、
−製品フィーチャを提供するための手段のうちの少なくとも1つを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの準備を位置合わせさせるようになされた位置合わせ制御システム550と
を備えている。
Claims (26)
- 両面微細構造化製品を製造する方法であって、
(800)基板シート(50)の第1の表面に一次製品フィーチャ(80)を提供するステップと、
(810)前記基板シート(50)の反対側の表面に二次製品フィーチャ(90)を提供するステップと、
(820)位置合わせパラメータを推定するために、前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ(80、90)の相互位置合わせを表示するステップと、
(830)製品フィーチャを提供する少なくとも1つのステップを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ(80、90)の準備を位置合わせさせるステップと
を含む方法。 - 一次製品フィーチャ(80)を提供するステップ及び二次製品フィーチャ(90)を提供するステップが、1組の一次製品フィーチャ(80)及び1組の二次製品フィーチャ(90)を前記基板シート(50)に沿って連続プロセスで繰り返し提供するステップを含む、請求項1に記載の方法。
- 二次製品フィーチャを提供するステップ、前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップ、及び前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャを位置合わせさせるステップが、それぞれ前記一次製品フィーチャと位置合わせされている複数の二次製品フィーチャを備えた製品を提供するために1回又は複数回にわたって繰り返される、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、(890)一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの相対位置の識別を含む、請求項1から3までのいずれか一項に記載の方法。
- 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、ホログラフィ表現の位置決めを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記ホログラフィ表現が、前記基板シート(50)の前記第1の面の前記一次製品フィーチャ(80)と、前記基板シート(50)の前記反対側の表面の前記二次製品フィーチャ(90)との相互作用によって提供される、請求項5に記載の方法。
- (870)前記基板シート(50)の前記第1の面に位置決め構造(70)の一次位置決めフィーチャを提供するステップと、
(880)前記基板シート(50)の前記反対側の面の位置決め構造(70)の二次位置決めフィーチャを提供するステップと
をさらに含み、
前記一次位置決めフィーチャが前記基板シート(50)の前記第1の表面の前記一次製品フィーチャと位置合わせされ、前記二次位置決めフィーチャが前記基板シート(50)の前記反対側の表面の前記二次製品フィーチャと位置合わせされる、請求項1から6までのいずれか一項に記載の方法。 - 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、(890)前記位置決め構造の前記一次位置決めフィーチャ及び前記二次位置決めフィーチャの相対位置の識別を含む、請求項7に記載の方法。
- 前記一次位置決めフィーチャが集束エレメントの位置決めアレイを備え、前記二次位置決めフィーチャが基準オブジェクトの位置決めアレイを備え、集束エレメントの前記位置決めアレイ及び基準オブジェクトの前記位置決めアレイが前記基準オブジェクトのホログラフィ表現を提供するようになされ、基準オブジェクトの前記位置決めアレイが基準オブジェクトの隣接する相補サブ・アレイの1つ又は複数の対を備えた、請求項7又は8に記載の方法。
- 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、前記第1の製品フィーチャ及び二次製品フィーチャを提供するステップに引き続いて実施される、請求項1から9までのいずれか一項に記載の方法。
- 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの前記相互位置合わせを表示するステップが、前記第1の製品フィーチャ又は二次製品フィーチャを提供するステップと同時に実施される、請求項1から9までのいずれか一項に記載の方法。
- 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ(80、90)の前記相互位置合わせを表示するステップが、前記基板シート(50)の前記表面に対して垂直の方向における前記一次フィーチャ及び二次フィーチャ(80、90)の相対位置を識別するステップを含む、請求項1から11までのいずれか一項に記載の方法。
- 前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャ(80、90)の前記相互位置合わせを表示するステップが、三次元における前記一次フィーチャ及び二次フィーチャ(80、90)の相対位置を識別するステップを含む、請求項1から12までのいずれか一項に記載の方法。
- 位置合わせさせるステップが、
(910)ミスアライメント・パターンの反復及び/又は位置決めの変動を見出すために、実施された位置合わせを常に識別し、且つ、解析するステップと、
(920)識別された反復ミスアライメント・パターン及び/又は位置決めの変動に応答して、製品フィーチャを提供する1つ又は複数のステップの予防制御を実施するステップと
を含む、請求項1から13までのいずれか一項に記載の方法。 - 製品フィーチャ及び任意選択の位置決めアレイを提供するステップが、印刷、エンボス、連続注型、表面コーティング、積層又はそれらの組合せによって実施される、請求項1から14までのいずれか一項に記載の方法。
- 製品フィーチャを提供するステップのうちの1つ又は複数が、少なくとも1つのエンボス・ロールを使用したローリング・プロセスによって実施される、請求項1から15までのいずれか一項に記載の方法。
- 製品フィーチャを提供する少なくとも1つのステップを制御するステップが、少なくとも1つのロールに対するロール温度、ロール位置、ロール・スキュー、ロール寸法及びロール回転速度、前記基板シートの並進方向及び/又は横方向の張力のパラメータのうちの1つ又は複数を制御するステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 前記エンボス・ロールに配置される圧力ロール(625)の前記基板シートに硬化性重合体が加えられ、製品フィーチャを提供する少なくとも1つのステップを制御するステップが、前記エンボス・ロールに関連して前記圧力ロール(625)の圧力及び/又は位置を制御するステップを含む、請求項16又は17に記載の方法。
- 前記エンボス・ロールが、前記ロールの周りのスリーブ(130)として形成されたエンボス・プレートを備えた、請求項16から18までのいずれか一項に記載の方法。
- 第1の表面の集束エレメント(20)の位置決めアレイと、反対側の表面の基準オブジェクト(30)の位置決めアレイとを備えた位置決め構造であって、集束エレメント(20)の前記位置決めアレイが前記第1の表面の一次製品フィーチャ(80)と位置合わせされ、基準オブジェクト(30)の前記位置決めアレイが前記反対側の表面の二次製品フィーチャ(90)と位置合わせされ、集束エレメント(20)の前記位置決めアレイ及び基準オブジェクト(30)の前記位置決めアレイが、前記基準オブジェクト(30)のホログラフィ表現(10)を提供するようになされた位置決め構造。
- 基準オブジェクトの前記位置決めアレイが、基準オブジェクト(30A、30B)の隣接する相補サブ・アレイの1つ又は複数の対を備えた、請求項20に記載の位置決め構造。
- 基準オブジェクト(30)の前記相補サブ・アレイが、少なくとも1つの方向に異なる反復周期を有する、請求項20から21までのいずれか一項に記載の位置決め構造。
- 基準オブジェクトの相補サブ・アレイの2つの対を備え、第1の対が第1の方向のミスアライメントを示すようになされ、第2の対が前記第1の方向とは異なる第2の方向のミスアライメントを示すようになされた、請求項20から22までのいずれか一項に記載の位置決め構造。
- 給送方向で製造プロセスを継続し、且つ、直接フィードバック・タイプの位置合わせプロセスを継続するようになされ、前記位置決め構造が本質的に前記給送方向に連続的に繰り返され、基準オブジェクトの相補サブ・アレイの第1の対が、前記給送方向に対して横方向のミスアライメントを示すようになされ、前記反復位置決め構造が、前記第1の対の前記基準オブジェクトが前記給送方向に互いに区別することができるように形成された、請求項20から23までのいずれか一項に記載の位置決め構造。
- 第1の表面に提供された一次製品フィーチャと、反対側の表面に提供された、前記一次製品フィーチャと位置合わせされている第2の製品フィーチャと、請求項20から24までのいずれか一項に記載の位置決め構造とを備えた両面微細構造化製品。
- 細長い基板シート(50)に沿って連続プロセスで両面微細構造化製品を製造するための構造であって、
前記基板シート(50)の第1の表面に一次製品フィーチャを提供するための手段(500)と、
前記基板シートの反対側の表面に二次製品フィーチャを提供するための手段(520)と、
前記一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの相互位置合わせを表示し、且つ、位置合わせパラメータを推定するようになされた位置決め検出システム(540)と、
製品フィーチャを提供するための前記手段のうちの少なくとも1つを位置合わせパラメータのフィードバックによって制御することによって、一次製品フィーチャ及び二次製品フィーチャの準備を位置合わせさせるようになされた位置合わせ制御システム(550)と
を備えた構造。
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