JPS62116450A - 走行ウエブの付着塵除去方法 - Google Patents
走行ウエブの付着塵除去方法Info
- Publication number
- JPS62116450A JPS62116450A JP25651985A JP25651985A JPS62116450A JP S62116450 A JPS62116450 A JP S62116450A JP 25651985 A JP25651985 A JP 25651985A JP 25651985 A JP25651985 A JP 25651985A JP S62116450 A JPS62116450 A JP S62116450A
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- JP
- Japan
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- rubber
- web
- dust
- roll
- degrees
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- Pending
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は、ウェブ上に(」石している付盲兜をつニブ走
行中に除去する走行ウェブの付着塵除去方法に関する。
行中に除去する走行ウェブの付着塵除去方法に関する。
[従来の技術]
プラスチックフィルム、紙等のウェブの製造工程におい
ては、良好な品質を確保するためにウェブ上に付着して
いる付着塵が極力除去されることが望まれる。走行中の
ウェブから付着塵を除去する方法には、大別して、付着
塵除去手段をウェブに接触させる接触法と、接触させな
い非接触法とが必り、それぞれについて従来から各種の
方法が知られている。代表的な方法として、接触法には
、固定ブラシをウェブに接触させ固定ブラシでとった付
着塵をバキュームでとる方法、回転ブラシをウェブに接
触させ回転ブラシでとった付着塵をバキュームでとる方
法、ワイピングクロスをウェブに接触させる方法等があ
り、非接触法には、単にウェブと間隔をもって対向する
バキューム手段で付@塵を吸引する方法、エアナイフか
らの噴射エアでウェブ上の付着塵を吹き飛ばす方法、ウ
ェブに吹き付けるエアに超音波を加え、ウェブ上の境界
層内の空気を撹乱してウェブ上の付着塵を吹き飛ばす方
法等が知られている。これらの方法についてその概略の
機能評価結果を表−1に示す。
ては、良好な品質を確保するためにウェブ上に付着して
いる付着塵が極力除去されることが望まれる。走行中の
ウェブから付着塵を除去する方法には、大別して、付着
塵除去手段をウェブに接触させる接触法と、接触させな
い非接触法とが必り、それぞれについて従来から各種の
方法が知られている。代表的な方法として、接触法には
、固定ブラシをウェブに接触させ固定ブラシでとった付
着塵をバキュームでとる方法、回転ブラシをウェブに接
触させ回転ブラシでとった付着塵をバキュームでとる方
法、ワイピングクロスをウェブに接触させる方法等があ
り、非接触法には、単にウェブと間隔をもって対向する
バキューム手段で付@塵を吸引する方法、エアナイフか
らの噴射エアでウェブ上の付着塵を吹き飛ばす方法、ウ
ェブに吹き付けるエアに超音波を加え、ウェブ上の境界
層内の空気を撹乱してウェブ上の付着塵を吹き飛ばす方
法等が知られている。これらの方法についてその概略の
機能評価結果を表−1に示す。
表−1から明らかなように、従来の接触法ではブラシ、
クロスにより走行中のウェブにすりキズが発生するとい
う問題がおり、キズが問題となる用)♀のrウェブには
使用できない。一方、非接触法では、キズ発生の問題は
ないが、単なるバキュームによる方法およびエアナイフ
による方法では、1μ程度以下の微小付着塵のとり残し
が問題となる。したがって、従来方法のうちで、キズ発
生防止および微小付着塵除去能力の面からみて最も優れ
た方法は超音波エアブロ−による方法ということができ
る。
クロスにより走行中のウェブにすりキズが発生するとい
う問題がおり、キズが問題となる用)♀のrウェブには
使用できない。一方、非接触法では、キズ発生の問題は
ないが、単なるバキュームによる方法およびエアナイフ
による方法では、1μ程度以下の微小付着塵のとり残し
が問題となる。したがって、従来方法のうちで、キズ発
生防止および微小付着塵除去能力の面からみて最も優れ
た方法は超音波エアブロ−による方法ということができ
る。
[発明か解決しようとする問題点]
しかしながら、超音波エアブロ−を行うためには高面な
設備が必要になるとともに、超音波エアブロ−ではまだ
微小付着塵を十分に除去できないという問題がある。
設備が必要になるとともに、超音波エアブロ−ではまだ
微小付着塵を十分に除去できないという問題がある。
そこで本発明は、簡単な設備を用いて、走行中のウェブ
にキズをつけることなく、かつ1μ程度の微小イ」着塵
を再飛散させることなく効率良く除去できる方法を(♀
供することを目的とする。
にキズをつけることなく、かつ1μ程度の微小イ」着塵
を再飛散させることなく効率良く除去できる方法を(♀
供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段]
この目的に沿う本発明の走行ウェブの付着塵除去方法は
、ロール表面がゴム硬度40度以下、ウェブとの粘着力
が10 ”9/ctrr’/;;いし10g/ctr
tのゴムからなる回転自在のゴムロールの表面を、走行
中のウェブに押し付けて前記ゴムロールをウェブの走行
速度と同期する回転速度で回転させ、ウェブ上に付着し
ている付着塵を、前記ロール表面の粘着力によりロール
表面側に粘着させて除去する方法からなっている。
、ロール表面がゴム硬度40度以下、ウェブとの粘着力
が10 ”9/ctrr’/;;いし10g/ctr
tのゴムからなる回転自在のゴムロールの表面を、走行
中のウェブに押し付けて前記ゴムロールをウェブの走行
速度と同期する回転速度で回転させ、ウェブ上に付着し
ている付着塵を、前記ロール表面の粘着力によりロール
表面側に粘着させて除去する方法からなっている。
ここで上記ロール表面を構成するゴムは、ゴム硬度が1
0度ないし30度、ウェブとの粘着力が10−2g/c
tAないし1g/cm(7)ゴムであることがより好ま
しい。
0度ないし30度、ウェブとの粘着力が10−2g/c
tAないし1g/cm(7)ゴムであることがより好ま
しい。
また、上記ゴムロールが、該ゴムロールが前記ウェブに
接触しない部分において、該ゴムロールのロール表面に
粘着したウェブからの付着塵を除去する付着塵除去手段
を備えていてもよい。
接触しない部分において、該ゴムロールのロール表面に
粘着したウェブからの付着塵を除去する付着塵除去手段
を備えていてもよい。
この場合、付着塵除去手段としては、ゴムロールのロー
ル表面に接触される不織布、またはゴムロールのロール
表面に接触されるロールであって、ロール表面がゴム硬
度40度以下、ウェブとの粘着力が10−3’;J/c
tiないし20 ’j / crAのゴムからなる集塵
用ゴムロールからなることが好ましい。
ル表面に接触される不織布、またはゴムロールのロール
表面に接触されるロールであって、ロール表面がゴム硬
度40度以下、ウェブとの粘着力が10−3’;J/c
tiないし20 ’j / crAのゴムからなる集塵
用ゴムロールからなることが好ましい。
ざらに上記付着塵除去手段としての集塵用ゴムロールの
ロール表面を構成するゴムについては、ゴム硬度が10
度ないし20度、ウェブとの粘着力が10 ”j/c
ri’;いし10’i/cri(Dゴムであることがよ
り好ましい。
ロール表面を構成するゴムについては、ゴム硬度が10
度ないし20度、ウェブとの粘着力が10 ”j/c
ri’;いし10’i/cri(Dゴムであることがよ
り好ましい。
なお、本発明におけるウェブとの粘着力とは、ゴムをウ
ェブに粘着させ、その状態でゴムを持ち上げたとき、単
位面積当りどれだけのウェブ側重里を一緒に持ち上げら
れるかを基準にして測定した力である。
ェブに粘着させ、その状態でゴムを持ち上げたとき、単
位面積当りどれだけのウェブ側重里を一緒に持ち上げら
れるかを基準にして測定した力である。
[作用]
このような方法においては、おる種の粘着力を有するゴ
ムの性質が利用され、該粘着力によってウェブ上の付着
塵がウェブ表面からロール表面にもう去られ、走行中の
ウェブから付着塵が除去される。粘着力を有するある種
のゴムとしては、たとえばゴム硬度の低いシ1ノコン系
のゴムが知られている。
ムの性質が利用され、該粘着力によってウェブ上の付着
塵がウェブ表面からロール表面にもう去られ、走行中の
ウェブから付着塵が除去される。粘着力を有するある種
のゴムとしては、たとえばゴム硬度の低いシ1ノコン系
のゴムが知られている。
この粘着九を有するゴムにおいては、たとえば第2図に
示すように、ゴム硬度とウェブとの粘着力とが、そのゴ
ムに応した一定の関係にある。この関係は、ゴムFif
!度が低くなる程ウェブとの粘着力が高くなるものであ
るが、ウェブ上から付着塵をとり去るためには10
’J/ctM以上の粘着力が必要であり、それを実現
するにはゴム硬度を約40度以下にすることが必要であ
る。一方、ゴム硬度が低くなる程ウェブとの粘着力は高
くなるものの、余りゴム硬度が低くなりすぎると、ロー
ル表面を所定形状に形成することが困難になる。したが
ってこの面からゴム硬度は10度以上であることが望ま
しく、その結果ウェブとの粘着力は10 ’j / c
rA以下程度でおることが好ましい範囲となる。
示すように、ゴム硬度とウェブとの粘着力とが、そのゴ
ムに応した一定の関係にある。この関係は、ゴムFif
!度が低くなる程ウェブとの粘着力が高くなるものであ
るが、ウェブ上から付着塵をとり去るためには10
’J/ctM以上の粘着力が必要であり、それを実現
するにはゴム硬度を約40度以下にすることが必要であ
る。一方、ゴム硬度が低くなる程ウェブとの粘着力は高
くなるものの、余りゴム硬度が低くなりすぎると、ロー
ル表面を所定形状に形成することが困難になる。したが
ってこの面からゴム硬度は10度以上であることが望ま
しく、その結果ウェブとの粘着力は10 ’j / c
rA以下程度でおることが好ましい範囲となる。
また、一般にゴム硬度とゴムのけずれにくさくゴムの耐
久性)との間には相関関係があり、ゴム硬度が高い程通
常けずれにくい。ゴムロールの表面は走行中のウェブに
押し付けられるので、けずれA″)すいゴムでは逆にウ
ェブにゴミを供給してしまうことになる。したがって、
このけずれやすさの面からも、ゴム硬度としては10度
以上の範囲が好ましい範囲となる。
久性)との間には相関関係があり、ゴム硬度が高い程通
常けずれにくい。ゴムロールの表面は走行中のウェブに
押し付けられるので、けずれA″)すいゴムでは逆にウ
ェブにゴミを供給してしまうことになる。したがって、
このけずれやすさの面からも、ゴム硬度としては10度
以上の範囲が好ましい範囲となる。
このように、必要なけずれにくさと必要な粘着力を確保
できるゴム硬度範囲として上記範囲が設定される。そし
て、けずれにくさと粘着力を共により満足させるために
、前)ボの如くゴム硬度を10度ないし30度、ウェブ
との粘着力を10−23/cmないし1’j/ctrt
のゴムに設定することがより好ましい。
できるゴム硬度範囲として上記範囲が設定される。そし
て、けずれにくさと粘着力を共により満足させるために
、前)ボの如くゴム硬度を10度ないし30度、ウェブ
との粘着力を10−23/cmないし1’j/ctrt
のゴムに設定することがより好ましい。
このようなゴム表面を有するゴムロールが、走行中のウ
ェブに押し付けられてウェブの走行速度と同門する回転
速度で回転されるのでおるから、接触式の方法ではおっ
ても、通常のウェブ搬送ロールと同様ウェブにキズをつ
けることはなく、ロール表面のゴムが有する粘着力によ
ってウェブ上の付着塵が良好に除去される。一旦とり去
られた付着塵はゴムの粘着力によりゴムロール表面上に
保持されるので、再飛散も防止される。
ェブに押し付けられてウェブの走行速度と同門する回転
速度で回転されるのでおるから、接触式の方法ではおっ
ても、通常のウェブ搬送ロールと同様ウェブにキズをつ
けることはなく、ロール表面のゴムが有する粘着力によ
ってウェブ上の付着塵が良好に除去される。一旦とり去
られた付着塵はゴムの粘着力によりゴムロール表面上に
保持されるので、再飛散も防止される。
このゴムロールに対し、ロール表面上に保持されている
付着塵を除去する不織布あるいは別のゴムロール等の付
着塵除去手段を設ければ、再生された粘着力の十分にあ
るゴムロール表面を常にウェブ表面に押し付けることが
できるので、付着塵はさらに効率良く除去される。
付着塵を除去する不織布あるいは別のゴムロール等の付
着塵除去手段を設ければ、再生された粘着力の十分にあ
るゴムロール表面を常にウェブ表面に押し付けることが
できるので、付着塵はさらに効率良く除去される。
なお、集塵用ゴムロールのロール表面のゴムの性質につ
いて、望ましい範囲がゴム硬度40I5j以下、ウェブ
との粘着力が10−3’;j / cniないし20’
J/c屑、より望ましくはゴム硬度が10度ないし20
度、ウェブとの粘着力か10”J/criないし10’
ij/cntと、ウェブに接触するゴムロールと範囲を
多少ずらしておるのは、集塵用ゴムロールの粘着力をウ
ェブに接触するゴムロールの粘着力よりも人にして効率
良く付着]Wを集塵用ゴムロール側に移すためである。
いて、望ましい範囲がゴム硬度40I5j以下、ウェブ
との粘着力が10−3’;j / cniないし20’
J/c屑、より望ましくはゴム硬度が10度ないし20
度、ウェブとの粘着力か10”J/criないし10’
ij/cntと、ウェブに接触するゴムロールと範囲を
多少ずらしておるのは、集塵用ゴムロールの粘着力をウ
ェブに接触するゴムロールの粘着力よりも人にして効率
良く付着]Wを集塵用ゴムロール側に移すためである。
[実施例1
以下に本発明の置体的な望ましい実施例を図面を参照し
て説明する。
て説明する。
第1図は、本発明の一実施例に係る走行ウェブの(J着
塵除去方法を実施するための装置を示しており、ウェブ
としてポリエチレンテレフタレートからなるプラスチッ
クフィルムを用いた場合の実施例を示している。
塵除去方法を実施するための装置を示しており、ウェブ
としてポリエチレンテレフタレートからなるプラスチッ
クフィルムを用いた場合の実施例を示している。
図にd3いて、1が走行中のウェブとしてのフィルムで
あり、矢印の方向に走行している。2および3は、表面
がゴムからなるゴムロールであり、そのゴムは本発明で
いう所定のゴム硬度およびウェブとの粘着力の範囲に設
定されている。
あり、矢印の方向に走行している。2および3は、表面
がゴムからなるゴムロールであり、そのゴムは本発明で
いう所定のゴム硬度およびウェブとの粘着力の範囲に設
定されている。
ゴムロール2はフィルム1の下方から上昇してフィルム
1に押圧されるようになっており、ゴムロール3はフィ
ルム1上方から下降してフィルム1に押圧されるように
なっている。このロール押しくdげにより、回転自在の
ゴムロール2とゴムロール3かフィルム1の走行速度と
同期して回転される。そして、ゴムロール2とゴムロー
ル3のゴムの粘着力によって、フィルム1上の付@塵が
ゴムロール2.3の表面上に除去される。なお、ゴムロ
ール2どゴムロール3は、本質的にはフリーロールてよ
いが、フィルム1に押圧される際の衝撃を柔げるため助
走されてもよく、また、フィルム1に接触して回転され
ている間のメカニカルロスを軽減するために回転トルク
を付加するようにしてもよい。
1に押圧されるようになっており、ゴムロール3はフィ
ルム1上方から下降してフィルム1に押圧されるように
なっている。このロール押しくdげにより、回転自在の
ゴムロール2とゴムロール3かフィルム1の走行速度と
同期して回転される。そして、ゴムロール2とゴムロー
ル3のゴムの粘着力によって、フィルム1上の付@塵が
ゴムロール2.3の表面上に除去される。なお、ゴムロ
ール2どゴムロール3は、本質的にはフリーロールてよ
いが、フィルム1に押圧される際の衝撃を柔げるため助
走されてもよく、また、フィルム1に接触して回転され
ている間のメカニカルロスを軽減するために回転トルク
を付加するようにしてもよい。
ゴムロール2.3の表面上でフィルム1に接触していな
い部分には、それぞれ付着塵除去手段4.5が設けられ
ている。この付着塵除去手段は、ゴムロール2に対して
はロール表面に接触される不織布4とされ、ゴムロール
3に対してはロール表面に接触される別の集塵用ゴムロ
ール5とされている。集塵用ゴムロール5は、そのロー
ル表面が前jホの如くゴム硬度40度以下、ウェブとの
粘着力が10 ””;j/citないし209 /
ctiのゴムとされ、より好ましくはゴム硬度が10度
ないし20度、ウェブとの粘着力が10”;i/cri
ないし10 ’J / ctttのゴムとされている。
い部分には、それぞれ付着塵除去手段4.5が設けられ
ている。この付着塵除去手段は、ゴムロール2に対して
はロール表面に接触される不織布4とされ、ゴムロール
3に対してはロール表面に接触される別の集塵用ゴムロ
ール5とされている。集塵用ゴムロール5は、そのロー
ル表面が前jホの如くゴム硬度40度以下、ウェブとの
粘着力が10 ””;j/citないし209 /
ctiのゴムとされ、より好ましくはゴム硬度が10度
ないし20度、ウェブとの粘着力が10”;i/cri
ないし10 ’J / ctttのゴムとされている。
これら付着塵除去手段4.5ばゴムロール2.3の表面
上に捕集された付着塵を集めてとり去る役目をなし、不
織布4および集塵用ゴムロール5はとららが用いられで
もよい、。
上に捕集された付着塵を集めてとり去る役目をなし、不
織布4および集塵用ゴムロール5はとららが用いられで
もよい、。
上2のような装置を用いてポリエチレンテレフタレート
フィルムについて本発明を実施したところ、表−2に示
すような結果を得た。表−2は、従来の超音波エアブ1
」−法との比較で示したものでおり、本発明方法の試験
条件は以下の通りでおる。
フィルムについて本発明を実施したところ、表−2に示
すような結果を得た。表−2は、従来の超音波エアブ1
」−法との比較で示したものでおり、本発明方法の試験
条件は以下の通りでおる。
ウェブ幅: 600馴
ウェブ速U : 100 m、 /分
つェブ厚み:12μ
ゴムロール2.3の径:40ar+
ゴム映度:30度
表−2から明らかなように、本発明の方法によれば、超
音波エアブロ−法よりも優れた付着塵除去能力を得るこ
とが可能である。
音波エアブロ−法よりも優れた付着塵除去能力を得るこ
とが可能である。
[発明の効果1
以上説明したように、本発明の走行ウェブの付着塵除去
方法によるときは、ウェブに接触させるゴムロールのゴ
ムを適切な範囲に設定してゴムロールに十分な粘着力を
(=J与することにより、接触方法でありながらウェブ
にキズをつけることなく、1μ程度の微小付着塵を再飛
散させることなく効率良く除去できるという効果か得ら
れる。
方法によるときは、ウェブに接触させるゴムロールのゴ
ムを適切な範囲に設定してゴムロールに十分な粘着力を
(=J与することにより、接触方法でありながらウェブ
にキズをつけることなく、1μ程度の微小付着塵を再飛
散させることなく効率良く除去できるという効果か得ら
れる。
また、本発明は、大ががり設備を用いることなく単に所
定のゴムロールを付加するだけてすむので、容易にかつ
安価に実施できるという効果も得られる。
定のゴムロールを付加するだけてすむので、容易にかつ
安価に実施できるという効果も得られる。
さらに、ゴムか有する粘着力を利用して付着塵を除去す
るものでおり、ゴムの粘着力は基本的にはウェブの走行
速度とは無関係でおるので、高速でも安定した所望の付
着塵除去能力を得ることかできる。
るものでおり、ゴムの粘着力は基本的にはウェブの走行
速度とは無関係でおるので、高速でも安定した所望の付
着塵除去能力を得ることかできる。
第1図は本発明の一実施例に係る方法を実施するための
装置の概略側面図、 第2図はゴムロールのゴム硬度とウェブとの粘着力およ
びけずれにくさとの関係図、 でおる。 1・・・・・・ウェブとしてのフィルム2.3・・・・
・・ゴムロール 4・・・・・・付着塵除去手段としての不織布5・・・
・・・付着塵除去手段としての集塵用ゴムロール 特許出願人 東 し 株 式 会 社第2図 1f1 20 30 40(度)
ゴム硬度
装置の概略側面図、 第2図はゴムロールのゴム硬度とウェブとの粘着力およ
びけずれにくさとの関係図、 でおる。 1・・・・・・ウェブとしてのフィルム2.3・・・・
・・ゴムロール 4・・・・・・付着塵除去手段としての不織布5・・・
・・・付着塵除去手段としての集塵用ゴムロール 特許出願人 東 し 株 式 会 社第2図 1f1 20 30 40(度)
ゴム硬度
Claims (6)
- (1)ロール表面がゴム硬度40度以下、ウェブとの粘
着力が10^−^3g/cm^2ないし10g/cm^
2のゴムからなる回転自在のゴムロールの表面を、走行
中のウェブに押し付けて前記ゴムロールをウェブの走行
速度と同期する回転速度で回転させ、ウェブ上に付着し
ている付着塵を、前記ロール表面の粘着力によりロール
表面側に粘着させて除去することを特徴とする走行ウェ
ブの付着塵除去方法。 - (2)前記ロール表面を構成するゴムが、ゴム硬度が1
0度ないし30度、ウェブとの粘着力が10^−^2g
/cm^2ないし1g/cm^2のゴムである特許請求
の範囲第1項記載の走行ウェブの付着塵除去方法。 - (3)前記ゴムロールが、該ゴムロールが前記ウェブに
接触しない部分において、該ゴムロールのロール表面に
粘着したウェブからの付着塵を除去する付着塵除去手段
を備えている特許請求の範囲第1項記載の走行ウェブの
付着塵除去方法。 - (4)前記付着塵除去手段が、前記ゴムロールのロール
表面に接触される不織布である特許請求の範囲第3項記
載の走行ウェブの付着塵除去方法。 - (5)前記付着塵除去手段が、前記ゴムロールのロール
表面に接触されるロールであつて、ロール表面がゴム硬
度40度以下、ウェブとの粘着力が10^−^3g/c
m^2ないし20g/cm^2のゴムからなる集塵用ゴ
ムロールである特許請求の範囲第3項記載の走行ウェブ
の付着塵除去方法。 - (6)前記集塵用ゴムロールのロール表面を構成するゴ
ムが、ゴム硬度が10度ないし20度、ウェブとの粘着
力が10^−^1g/cm^2ないし10g/cm^2
のゴムである特許請求の範囲第5項記載の走行ウェブの
付着塵除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25651985A JPS62116450A (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 | 走行ウエブの付着塵除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25651985A JPS62116450A (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 | 走行ウエブの付着塵除去方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62116450A true JPS62116450A (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=17293752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25651985A Pending JPS62116450A (ja) | 1985-11-18 | 1985-11-18 | 走行ウエブの付着塵除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62116450A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6485026B1 (en) | 2000-10-04 | 2002-11-26 | Dana Corporation | Non-stainless steel nitrided piston ring, and method of making the same |
JP2015051831A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 株式会社オーク製作所 | 搬送装置及びこれを備えた露光装置 |
JP2018145010A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 住友化学株式会社 | 搬送装置及びフィルムの製造方法 |
-
1985
- 1985-11-18 JP JP25651985A patent/JPS62116450A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6485026B1 (en) | 2000-10-04 | 2002-11-26 | Dana Corporation | Non-stainless steel nitrided piston ring, and method of making the same |
JP2015051831A (ja) * | 2013-09-06 | 2015-03-19 | 株式会社オーク製作所 | 搬送装置及びこれを備えた露光装置 |
JP2018145010A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 住友化学株式会社 | 搬送装置及びフィルムの製造方法 |
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