JP5065880B2 - 微細構造転写装置および微細構造転写方法 - Google Patents
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Description
図6に示す様に、実施例1と同様の装置で支持基材を使用せずに、これ以外の条件は実施例1と同様の方法で転写を行い、形状を評価した。結果を表1に示す。直径200nm,高さ200nmの突起構造が7.5cm2/sの速さで形成できたが、被転写体表面に皺状痕が発生した。
図7に平行平板方式での転写方法模式図を示す。図7aのように加圧加熱できるプレス装置の下側ステージ16上に180mm×180mmに切断した実施例1と同様のポリカーボネートシートを被転写体15としてセット後、150mm×100mmに切断した実施例1と同様の方法で作製したNi金型14を被転写体15上に置いた。次に、真空脱気の後、下側ステージ16および上側ステージ17を165℃まで加熱した後、図7bのように4MPaで300s加圧加熱した。
2 円筒形加圧機構上側ロール
3 剥離機構上側ロール
4 支持ロール上
5 支持基材
6 円筒形加圧機構下側ロール
7 剥離機構下側ロール
8 支持ロール
9,15 被転写体
10 基材巻き出しロール
11 冷却機構
12 第1剥離ロール
13 第2剥離ロール
14 Ni金型
16 下側ステージ
17 上側ステージ
Claims (10)
- 被転写体表面に微細構造を形成するための微細構造転写装置において、
微細構造が形成されたベルト状金型と、
被転写体の表面に前記ベルト状金型を加圧するための1対の対向する円筒形ロールを有する円筒形加圧機構と、
前記被転写体側の前記円筒形ロール上に配置されるベルト状の支持基材と、
前記被転写体と、前記ベルト状金型及び支持基材とを剥離するための剥離機構と、を備え、
前記剥離機構は、一対の対向する第1剥離ロールと、前記第1剥離ロールよりも下流に配置され、ロール間のギャップを調整する機構を備えた一対の対向する第2剥離ロールを有し、
前記ベルト状金型,被転写体、及び、支持基材が、非接触状態で前記加圧機構まで移動し、前記金型と支持基材との間に前記被転写体が配置された状態で前記加圧機構にて加圧され、
前記剥離機構の第2剥離ロールのギャップにより前記被転写体から前記ベルト状金型及び支持基材を剥離する剥離角度が調整されることを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記支持基材の材質と前記ベルト状金型の材質が同じであることを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記支持基材は金属であることを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記支持基材は可とう性のある材料であることを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記被転写体は厚さが100μm以下の帯状フィルムであることを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記円筒形加圧機構の表面に弾性体が形成されていることを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項1に記載の微細構造転写装置において、
前記ベルト状金型,被転写体、及び、支持基材が円筒形加圧機構から剥離機構まで密着した状態で移動し、剥離機構で前記被転写体が、金型,支持基材より剥離することを特徴とする微細構造転写装置。 - 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記ベルト状金型を前記円筒形加圧機構まで被転写体と非接触状態で支持する支持機構を有することを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項8に記載の微細構造転写装置において、前記支持機構は前記円筒形ロールを含む複数のロールにより構成され、前記ベルト状金型及び支持基材を回転移動が可能な状態で支持することを特徴とする微細構造転写装置。
- 請求項1に記載の微細構造転写装置において、前記円筒形加圧機構と前記剥離機構との間に前記被転写体を冷却するための冷却機構を有することを特徴とする微細構造転写装置。
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