JP2006303292A - インプリント方式の転写印刷方法、転写印刷版、転写印刷装置、および転写印刷製品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 転写印刷版1に凹凸の溝パターンを形成し、被印刷部材2または被印刷部材上に形成された樹脂膜17に転写印刷版1の凹凸の溝パターンを形成する、インプリント方式の転写印刷方法である。可撓性を有する転写印刷版1を被印刷部材2側に湾曲させて転写印刷を行なう。
【選択図】図2
Description
1)転写印刷における凹凸の溝パターンの深さばらつきを小さくすること、および樹脂膜の厚さばらつきを小さくすること、また樹脂膜中への気泡の巻き込みを少なくすること。
1)転写印刷された樹脂膜上の凹凸の溝パターンの深さばらつきを小さくできる。
2)被印刷部材上の樹脂膜の厚さばらつきを小さくできる。
3)樹脂膜中への気泡の巻き込みを少なくできる。
4)離版時における転写印刷版への極度の応力の集中を防止できる。
5)転写印刷製品の歩留まりを向上できる。
6)製品のコスト低減が図れる。
以下に以上の実施形態を実施例により詳細を説明する。
PMMA樹脂を、同様に3インチφのナノガラス上にスピンコーターで塗布した。その後溶媒を乾燥させて、200ナノメートルの厚さの樹脂膜17を形成した。この樹脂膜17を形成したナノガラス基板(被印刷部材2)を、実施例1と同様にステージ12上に配置した。その後ステージの温度を100℃に設定し、ステージの温度の上昇を確認してから、赤外線温度計で直接に樹脂膜17の温度を測定し、上昇温度100℃を確認した。ステージ加熱は電熱ヒーターになっている。
Claims (9)
- 転写印刷版に凹凸の溝パターンを形成し、被印刷部材または被印刷部材上に形成された樹脂膜に転写印刷版の凹凸の溝パターンをインプリント方式により転写印刷する転写印刷方法において、可撓性を有する転写印刷版を被印刷部材側に湾曲させて転写印刷を行なうことを特徴とする転写印刷方法。
- インプリント方式の転写印刷により製造される転写印刷製品において、請求項1記載の転写印刷法を用いて表面に微細構造パターンが成形されていることを特徴とする転写印刷製品。
- インプリント方式の転写印刷に用いる転写印刷版おいて、
転写印刷面が被印刷部材側に湾曲するようあらかじめ曲面加工されていることを特徴とする転写印刷版。 - 請求項3において、
前記転写印刷版への曲面加工は、転写印刷版に用いる基板材料への研磨加工、切削加工を施すことにより行なわれる転写印刷版。 - インプリント方式に用いる転写印刷版において、
曲げ応力が加えられて、転写面が被印刷部材側に湾曲させられた構造を有することを特徴とする転写印刷版。 - 請求項5において、
前記転写印刷版の周辺付近に同心円状の加圧治具を配置し、この加圧治具によって転写印刷版に曲げ応力が加えられて湾曲させられた構造になっている転写印刷版。 - インプリント方式の転写印刷版を保持する転写印刷装置において、
前記転写印刷版を保持する保持枠の内側に前記転写印刷版に対して同心円状の曲げ応力を加える加圧治具を設けたことを特徴とする転写印刷装置。 - 請求項7において、
前記転写印刷版の外周側面と前記保持枠の内周にテーパー部を形成し、それらのテーパー部を互いに合わせて前記転写印刷版を前記保持枠に収納するようにした構造の転写印刷装置。 - 請求項7において、
前記加圧治具は、前記転写印刷版の保持枠の内側に配置され、また前記保持枠の内周と前記加圧治具の外周には共に回転ねじの溝が形成され、加圧治具の回転ねじの押し込みによって転写印刷版に湾曲のための曲げ応力が加えられるようにした転写印刷装置。
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