TWI698320B - 表面構造薄膜之製造方法及製造裝置 - Google Patents

Abstract

以提供用高精度且便宜的模成本在薄膜表面連續地轉印構造的裝置及方法。一種製造裝置，製造在薄膜的表面具有包含熱硬化性材料的表面構造的表面構造薄膜，其係至少具備下述(1)~(6)的表面構造薄膜的製造裝置。

(1)在形成了表面構造的環形帶狀的模；(2)供藉由旋轉加熱輥來旋繞搬送捲繞到2個以上的前述加熱輥的前述模用的模搬送手段；(3)至少具備配置成與前述模搬送手段中的1根加熱輥平行，表面被彈性體包覆的夾持輥、和使用前述加熱輥和前述夾持輥的挾壓手段的加壓機構；(4)設置在比前述加壓機構還靠前述模的搬送方向上游側的塗布單元；(5)將薄膜供給於前述模的表面的薄膜供給手段；和(6)供剝離前述模的表面的薄膜用的薄膜剝離手段。

Description

表面構造薄膜之製造方法及製造裝置

本發明涉及藉由在薄膜轉印表面構造來製造表面構造薄膜的方法及其製造裝置。利用本發明的方法所得到的表面構造薄膜可用作具有擴散、集光、反射、透射等光學性功能的光學薄膜或具有超撥液功能或適合細胞培養性的凹凸構造薄膜等、在其表面需要微米尺寸至奈米尺寸的微細構造的構件。

作為在表面具有微細構造的表面構造薄膜之製造方法，有下述方法：使用在表面形成有微細構造的模，在將熱硬化性或放射線硬化性材料塗布於模或被供給於模之前的薄膜後，將前述薄膜捲繞到經加熱的模，從而在塗布膜形成微細構造，同時使其硬化，進一步從模剝離前述薄膜，從而在前述薄膜的表面轉印微細構造以得到表面構造薄膜。

專利文獻1中，記載了下述方法：在將熱硬化性材料的溶膠凝膠塗布於用輥對輥的方式所拉出的薄膜模後，一邊在基板按住模一邊進行熱處理，從而在基板表面將包含溶膠凝膠材料的微細構造轉印於基板。在薄膜模表面預先形成有微細構造，也在基板表面形成形狀 與此微細構造幾乎相同的構造。由於應用了溶膠凝膠材料，因此能形成耐熱性較高的凹凸構造。

此外，專利文獻2中，記載了下述方法：在一邊將預先在表面塗布了放射線硬化性樹脂的薄膜壓抵於在表面形成了微細構造的環形帶，一邊進行放射線照射，從而在薄膜表面形成微細構造後，剝離模和薄膜，從而製造在表面形成了微細構造的薄膜。記載了環形帶使用包含樹脂的複製，藉此可以抑制模成本。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利第5695804號公報

專利文獻2：日本特開2008-137282號公報

儘管如此，就專利文獻1中記載的微細構造轉印薄膜的製造方法而言，由於以長狀的薄膜輥作為模，因此有模成本變高這樣的問題。此外，雖然能應用於單片狀的基板，但是在應用於輥對輥狀的薄膜的情況下，有因加熱時的收縮而熱硬化材料在未硬化下模與基板剝離，無法形成既定的表面構造這樣的問題。

此外，就專利文獻2中記載的微細構造轉印薄膜的製造方法而言，在應用於包含熱硬化性材料的材料的情況下，有因硬化途中的收縮而熱硬化材料在未硬化下模與基板剝離，無法形成既定的表面構造這樣的問題。

本發明的目的係解消上述的問題，提供用高精度且便宜的模成本來在薄膜表面連續地轉印包含熱硬化性材料的微細表面構造的裝置及方法。

本發明係以下的製造方法及製造裝置。

一種表面構造薄膜的製造裝置，係製造在薄膜的表面具有包含熱硬化性材料的表面構造的表面構造薄膜的製造裝置，其至少具備：(1)形成了表面構造的環形帶狀的模；(2)供藉由旋轉加熱輥來旋繞搬送捲繞到2個以上的前述加熱輥的前述模用的模搬送手段；(3)至少具備配置成與前述模搬送手段中的第1加熱輥平行，表面被彈性體包覆的夾持輥、和使用前述加熱輥和前述夾持輥的挾壓手段的加壓機構；(4)設置在比前述加壓機構還靠前述模的搬送方向上游側的塗布單元；(5)將薄膜供給於前述模的表面的薄膜供給手段；和(6)供剝離前述模的表面的薄膜用的薄膜剝離手段。

一種表面構造薄膜之製造方法，係製造表面構造薄膜的方法，其特徵為至少包含下述步驟：(1)在藉由將形成了表面構造的環形帶狀的模捲繞到經加熱的至少2個以上的加熱輥，來一邊加熱前述模一邊使其旋繞搬送的模搬送部中，將熱硬化性材料塗布於前述模的表面的步驟；(2)在將熱硬化性材料塗布於前述模表面的狀態下 ，從熱硬化性材料側貼合薄膜的步驟；(3)在將前述薄膜、前述熱硬化性材料、及前述模積層的狀態下利用夾持輥進行加壓的步驟；(4)在將加壓後的前述薄膜、前述熱硬化性材料、及前述模積層的狀態下一邊加熱一邊搬送的步驟；(5)從前述模剝離前述薄膜和前述熱硬化性材料緊貼的狀態的表面構造薄膜的步驟。

根據本發明的話，便能應用環形帶狀的模來製作表面構造薄膜。由於省略了如現有技術按製品製作輥薄膜狀的長狀模這樣的步驟，因此可謀求模的低成本化。此外，能夠在硬化過程中薄膜和模不會剝離地維持積層狀態，因此能形成高精度的表面構造。

10‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

11‧‧‧薄膜

12‧‧‧模

13‧‧‧熱硬化性材料

13a‧‧‧突起

14‧‧‧積層體

15‧‧‧表面構造薄膜

20‧‧‧模搬送手段

21‧‧‧第1加熱輥

22‧‧‧第2加熱輥

23‧‧‧薄膜供給手段

23a‧‧‧捲出輥

23b‧‧‧導引輥

24‧‧‧薄膜剝離手段

24a‧‧‧剝離輥

25a‧‧‧捲繞輥

25b‧‧‧導引輥

27‧‧‧加壓機構

27a‧‧‧加壓部

28‧‧‧夾持輥

29‧‧‧按壓手段

30‧‧‧塗布單元

31‧‧‧狹縫模

32‧‧‧支撐輥

35‧‧‧端部檢測感測器

36‧‧‧控制器

40‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

41‧‧‧加壓單元

45‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

46‧‧‧平坦化手段

50‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

51‧‧‧按壓機構

52、53‧‧‧輥

54‧‧‧環形帶

60‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

66a~66d‧‧‧加熱輥

70‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

71‧‧‧第2模搬送手段

72、73‧‧‧加熱輥

74‧‧‧狹縫模

75‧‧‧加熱單元

77‧‧‧薄膜接觸點

78、79‧‧‧加熱輥

80‧‧‧模

81‧‧‧表面構造薄膜

100‧‧‧應用於本發明的表面構造薄膜的製造裝置的模的製造裝置的例子

101‧‧‧模具

102‧‧‧薄膜

110‧‧‧捲出輥

120‧‧‧加熱輥

121‧‧‧夾持輥

130‧‧‧冷卻輥

140‧‧‧剝離輥

150‧‧‧捲繞輥

第1圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。

第2圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。

第3圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。

第4圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。

第5圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。

第6圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。

第7圖係從剖面觀看製造應用於本發明的表面構造薄膜的模的裝置的一例的概略圖。

第8圖係顯示利用本發明的表面構造薄膜之製造方法所製造的表面構造薄膜的一例的斜視圖。

第9圖係利用電子顯微鏡觀察由實施例1所製造的表面構造薄膜的表面的照片。

[實施發明之形態]

本發明的表面構造薄膜的製造裝置，係至少具備下述構件的裝置：形成了表面構造的環形帶狀的模；供藉由旋轉加熱輥來旋繞搬送捲繞到2個以上的前述加熱輥的前述模用的模搬送手段；至少具備配置成與前述模搬送手段中的1根加熱輥平行，表面被彈性體包覆的夾持輥、和使用前述加熱輥和夾持輥的挾壓手段的加壓機構；設置在比前述加壓機構還靠前述模的搬送方向上游側的塗布單元；將薄膜供給於前述模的表面的薄膜供給手段；和供剝離前述模的表面的薄膜用的薄膜剝離手段。

第1圖係從剖面觀看本發明的表面構造薄膜的製造裝置的一例的概略圖。表面構造薄膜的製造裝置10係形成在薄膜11的表面形成了包含熱硬化性材料13的構造的表面構造薄膜15的裝置的例子。

如第1圖所示，本發明的表面構造薄膜的製造裝置10具備：環形帶狀的模12；將模12懸架於第1加熱輥 21及第2加熱輥22以使其旋繞搬送的模搬送手段20；將配置成與第1加熱輥21平行的夾持輥28對第1加熱輥21按壓的加壓機構27；在模12的表面塗布熱硬化性材料的塗布單元30；將薄膜11供給於模12的表面的薄膜供給手段23；和由模12剝離表面構造薄膜15的薄膜剝離手段24。各結構的概要如下。

模搬送手段20具備了第1加熱輥21、第2加熱輥22、和使兩輥或第1加熱輥21旋轉的驅動部。在僅使第1加熱輥21旋轉驅動的情況下，第2加熱輥22係以能自由地旋轉的方式保持而利用與模20的摩擦旋轉。此外，第1加熱輥21及第2加熱輥22包含加熱手段。作為加熱手段，較佳為從輥內部加熱的構造，但也可以是在輥外表面附近設置紅外線加熱加熱器或感應加熱裝置，使其從輥外表面促進加熱。

加壓機構27係能以寬度方向均勻的壓力將夾持輥28對第1加熱輥21按壓的機構，就夾持輥28而言應用在芯層的外表面被覆彈性體的構造，芯層係由軸承旋轉支撐其兩端部。夾持輥28係利用此加壓機構27的衝程而開閉，在將模12、熱硬化性材料13及薄膜11積層的狀態下挾壓或放開。此外，夾持輥28可以根據所要的製程或薄膜材質而具有調溫機構。

作為薄膜供給手段23，具備1根或複數根的從被捲成輥狀的薄膜捲出薄膜的捲出輥23a、還有用於對準薄膜11的搬送路徑的導引輥23b，薄膜11被捲繞到夾持輥後，搬入加壓部27a。

作為薄膜剝離手段24，具備1根或複數根的供將包含薄膜11和熱硬化性材料的積層體的表面構造薄膜15從模12撕掉用的剝離輥24a、將剝離的表面構造薄膜15捲繞成輥狀的捲繞輥25a、還有用於對準表面構造薄膜15的搬送路徑的導引輥25b。

塗布單元30，若為能在寬度方向上連續地、一定地吐出塗布材料的熱硬化性材料13者的話即可，例如，可以是組合如圖示的包含狹縫模(slit die)31的吐出器和能連續地供給定量的塗布液的送液機構等的構造者。此外，為了高精度地維持狹縫模的吐出前端面與模的間隔，可以在模的塗布的相反側配置支撐輥32。較佳為設置像是能夠以高解析度、左右調整塗布器的位置的位置調整機構。

環形帶狀的模12係形成了表面構造的環形帶。因為在搬送過程中捲繞於輥，因此較佳為具有可撓性者。此外，為了使其均勻地加壓、加熱，較佳為厚度均勻的材料。作為形狀，考慮熱硬化性材料的變形時間或硬化時間，較佳為高低差為1mm以下的表面構造。此外，搬送中會加熱，因此較佳為可耐加熱溫度的材料。

基於表面構造薄膜的製造裝置10的一連串成形動作如下。模12係利用第1加熱輥21、第2加熱輥22旋繞搬送，成為加熱至既定的溫度的狀態。然後，利用塗布單元30在模12的表面塗布熱硬化性材料13。此外，由作為薄膜供給手段23的捲出輥23a捲出的成形用薄膜11係在加壓部27a中供給於模12的表面。利用加壓機構27 ，在將模12、熱硬化性材料13、和薄膜11積層的狀態下在加壓部27a予以挾壓。熱硬化性材料係在塗布後，立即加熱而慢慢地進行硬化，但是在硬化尚未完全結束的狀態下利用加壓機構27加壓，從而將熱硬化性材料放進形成在模12的表面的表面構造之中，同時進一步在加熱輥21的表面繼續接受熱能，因此可促進硬化。藉由促進硬化，產生熱硬化性材料與薄膜緊貼而開始變得不容易剝離。在此狀態下，將模、熱硬化性材料、薄膜的積層體14搬送至第2加熱輥22，熱硬化性材料進一步從經加熱的輥表面接收熱能，使熱硬化性材料的硬化反應結束。若熱硬化性材料的硬化結束，熱硬化性材料對模12和薄膜11的緊貼成為牢固的狀態。接著，利用作為薄膜剝離手段24的剝離輥24a，分開為模12的側、與積層了薄膜11和熱硬化性材料的表面構造薄膜15的側。表面構造薄膜的表面構造成為模表面構造的相反形狀。剝離後，再次於模12的表面塗布熱硬化性材料。另一方面，表面構造薄膜15係利用捲繞輥25a進行捲繞。上述動作係連續地進行。

利用上述裝置結構及動作，能在薄膜11的表面形成包含熱硬化性材料的表面構造。熱硬化性材料並非成為基材的薄膜11，而是藉由塗布在預先經加熱的模，使其在加壓前稍微硬化成保留流動性的程度而設為適度的彈性率，從而能夠兼顧加壓時樹脂進入的形狀(高填充性)、和成為在模表面的膜的形狀(高平坦性)，以高精度得到微細的表面構造。此處，樹脂的填充性高係指用 相對於熱硬化性材料的彈性率充分高的壓力進行夾持來使樹脂流動至形成在模表面的構造的間隙。此外，平坦性高係指抑制當加壓時樹脂朝向夾持寬度方向的端部或搬送方向的流入，在寬度方向和搬送方向上都得到均勻的厚度。

另外，能夠藉由應用環形帶狀的模，取得夠長的加熱輥間的距離，依情況進一步在輥間追加加熱裝置，從而確保充分的樹脂硬化時間。藉此，可以加大高速化或熱硬化性材料的應用範圍。環形帶狀的模，若以在劣化的時候或產生缺陷的時候更換模的方式進行管理的話即可，因為並非像輥薄膜狀的模那樣扔掉，因此能夠壓低模所花費的成本。

接著，對於各部份的結構，一邊參照第1圖一邊詳細地進行說明。

構成模搬送手段20的第1加熱輥21係當夾持時接受荷重，因此要求強度及加工精度，還包含加熱手段。作為材質，例如，可舉出：鋼或纖維強化樹脂、陶瓷、鋁合金等。此外，作為加熱手段，可採用以下構造：藉由使內部成為中空而設置盒式加熱器或感應加熱裝置，或者在內部加工出流路而使油或水、蒸汽等熱介質流過來從輥內部進行加熱。此外，也可採用以下構造：在輥外表面附近設置紅外線加熱加熱器或感應加熱裝置，從輥外表面進行加熱。

第1加熱輥21的加工精度，較佳為按照JIS B 0621(修訂年1984)所定義的圓筒度公差為0.03mm以下， 圓周偏轉公差(circular run-out tolerance)為0.03mm以下。若這些值變得過大，則挾壓時在第1加熱輥21與夾持輥28之間形成部分的間隙，因此有變得不能均勻地按壓積層體14而在轉印的表面構造的形狀上發生變異的情況。此外，輥的表面粗糙度，較佳為按照JIS B 0601(修訂年2001)所定義之算術平均粗糙度Ra為0.2μm以下。這是因為若Ra超過0.2μm，則有會在模12的背面轉印出第1加熱輥21的形狀，其進一步轉印於薄膜11的表面構造的情況。

較佳為對第1加熱輥21的表面施加硬質鉻鍍敷、陶瓷熱噴塗、類金剛石碳塗層(diamond-like carbon coating)等的高硬度皮膜的形成處理。這是因為有下述的情形：第1加熱輥21總是與模12接觸而且透過積層體14接受基於夾持輥28的按壓力，因此其表面非常容易磨損，若第1加熱輥21的表面有磨損、損傷，則會發生如前述的表面構造的形狀變異、或轉印出輥表面的形狀這樣的問題。

另一方面，第2加熱輥22也包含加熱手段。作為材質及加熱手段，與第1加熱輥相同。第2加熱輥22的加工精度，較佳為按照JIS B 0621(修訂年1984)所定義的圓筒度公差為0.05mm以下，圓周偏轉公差為0.05mm以下。若這些值變得過大，則有搬送精度降低的情況，有在積層體14或者模12中發生寬度方向上的張力不均或者過大的蛇行的可能性。第2加熱輥22的表面粗糙度係與第1加熱輥相同，較佳為按照JIS B 0601(修訂年2001)所定義之算術平均粗糙度Ra為0.2μm以下者。若Ra超過0.2μm， 則有對模的熱傳導變得不充分的可能性。此外，對於材質，也與第1加熱輥21相同，較佳為施加硬質鉻鍍敷、陶瓷熱噴塗、類金剛石碳塗層等的高硬度皮膜的形成處理。這是因為防止了因與模接觸所造成的損傷或磨損。

然後，各輥的端部係由滾動軸承等旋轉支撐。第1加熱輥21係與未圖示的馬達等驅動手段連結，可以一邊控制速度一邊旋轉。此外，第2加熱輥22較佳為通過模12，利用第1加熱輥21的驅動力旋轉。就速度而言，較佳為在1~30m/分鐘的範圍內搬送，也能一邊高精度地轉印表面構造一邊提高生產性。

此外，設置模蛇行修正機構可穩定地搬送模12，因而較佳。模蛇行抑制機構的較佳形態係如第1圖所示，在模12的搬送路徑中，具有：偵測模12的端部的位置的端部檢測感測器35；和供基於所檢測的值控制第2加熱輥22的移動，從而調整模12的搬送位置的控制器36。

作為第2加熱輥22的移動手段，較佳為能分別對模12的搬送方向調整第2加熱輥22的角度。較佳為採用下述的構造：基於來自端部檢測感測器的值，以張力在想移動的方向上降低的方式調整第2加熱輥的對模搬送方向的角度。藉由具備上述的模12的蛇行抑制機構，抑制因熱變形所造成的模的蛇行，能實現穩定的模12的搬送和成形動作。此外，第2加熱輥22較佳為用空氣汽缸等的按壓手段，以一定的荷重按壓模12的非表面構造面。由於模具會隨溫度變化而發生尺寸變化，因此上述構造在用以維持一定的張力上，是有效的。

此外，也可以在模搬送過程中塗布熱硬化性材料後到加壓之間利用其他的加熱單元加熱來促進熱硬化性材料的硬化。第2圖係顯示追加了加熱單元的裝置的一例，從剖面觀看表面構造薄膜的製造裝置40的概略圖。藉由將加熱單元41設置在剛塗布後的位置，開始進行剛塗布後的熱硬化性材料的硬化，在某種程度硬化的狀態下，在利用加壓機構27將薄膜11積層的狀態下加壓。抑制加壓時材料的寬度方向端部的擴展，能使加壓後的熱硬化性材料膜的厚度在寬度方向上均勻。就加熱單元41而言，若為能加熱熱硬化性材料者的話即可，可以是分開設置紅外線加熱器等的加熱單元41的結構、使加熱輥從模12的非塗布側接觸而利用熱傳導進行加熱的結構。

此外，也可以在模搬送過程中塗布熱硬化性材料13後到加壓之間設置將熱硬化性材料的塗布面平坦化的平坦化手段。第3圖係顯示追加了平坦化手段46的裝置的一例，從剖面觀看表面構造薄膜的製造裝置45的概略圖。平坦化手段46係供將具有凹凸的塗布面平坦化用的構造體，較佳為具有與塗布面抵接的邊緣的構造體。另外，較佳為具有邊緣部能在下述狀態下與塗布面抵接的機構或構造：在模12的寬度方向上保持均勻的壓力或者是保持均勻的與模12表面的距離。

除此之外，平坦化手段46可以具備將因塗布面的平坦化所產生的剩餘的熱硬化性材料13除去或回收的手段。藉由將剩餘的熱硬化性材料13除去或回收，可以連續地進行穩定的平坦化，能夠防止熱硬化性材料13 轉到模12的非塗布側。除去或回收手段較佳為與真空泵等連接的抽吸噴嘴方式，但也可以是用刮刀機械性撥除剩餘液體的方式，沒有特別的限定。

此外，也可以在模搬送過程中、在加壓熱硬化性材料後到加熱之間設置使薄膜11緊貼於熱硬化性材料的按壓機構。第4圖係顯示追加了按壓機構的裝置的一例，從剖面觀看表面構造薄膜的製造裝置50的概略圖。按壓機構51係在第1加熱輥21的表面中，利用環形帶54按壓由加壓機構27所加壓的積層體14的機構的一例。環形帶54係懸架於輥52、53，追隨積層體14的搬送，環形帶54係藉由與薄膜11的摩擦而旋轉。輥52、53係保持成可自由旋轉。較佳為將環形帶54加熱，較佳為也在輥52、53設置調溫機構。作為環形帶54的材質，較佳為不會對薄膜11造成損傷的樹脂，但也可以是不鏽鋼等金屬帶。藉由上述結構，加壓後的積層體14，能夠藉由一邊予以加熱一邊將薄膜11對熱硬化性材料13按住來促進熱硬化性材料13的硬化，同時促進熱硬化性材料13對模12的表面構造的填充、和薄膜11與熱硬化性材料13與薄膜11的緊貼。

此外，也可以為了在模搬送過程中促進熱硬化性材料13加壓後的硬化而在模搬送手段追加加熱輥。第5圖係顯示在模搬送手段追加了3個以上的加熱輥的裝置的一例，從剖面觀看表面構造薄膜的製造裝置60的概略圖。設置加熱輥66a、66b、66c、66d作為搬送手段，另外，與第4圖同樣地設置供按壓第1加熱輥21和積層體 14用的按壓機構51。利用追加了上述加熱輥66a~66d、按壓機構51的結構，可以維持薄膜11與熱硬化性材料13的緊貼，同時促進硬化，因此對於第1圖或第2圖所例示的模搬送手段無法充分硬化的材料是有效的。

此處，對於加壓機構27，一邊參照第1圖一邊進行說明。加壓機構27係由夾持輥28、和對與其平行地對向配置的第1加熱輥21進行按壓的機構構成。夾持輥28係在芯層的外表面被覆彈性體的構造。芯層要求強度及加工精度，可應用例如鋼或纖維強化樹脂、陶瓷、鋁合金等。此外，彈性體係因按壓力而變形的層，較佳地應用以橡膠為代表的樹脂層或彈性體材質。芯層係在其兩端部由軸承予以旋轉支撐，另外，軸承係與汽缸等按壓手段29連接。夾持輥28係利用此按壓手段29的衝程而開閉，將積層體14挾壓或放開。

此外，夾持輥28可以根據所需的製程或薄膜材質而具有調溫機構。作為調溫機構，可採用以下構造：藉由使輥內部成為中空而埋入盒式加熱器或感應加熱裝置，或者在內部加工出流路而使油或水、蒸汽等熱介質流過來從輥內部進行加熱。此外，也可採用以下構造：在輥外表面附近設置紅外線加熱加熱器，從輥外表面進行加熱。

夾持輥28的加工精度，較佳為按照JIS B 0621(修訂年1984)所定義的圓筒度公差為0.03mm以下，圓周偏轉公差為0.03mm以下。若這些值變得過大，則挾壓時在第1加熱輥21與夾持輥28之間形成部分的間隙，因 此有變得不能用均勻的力量在寬度方向上按壓積層體14，變得不能均勻地按壓積層體14，而在轉印的表面構造的形狀上發生變異的情況。此外，彈性體的表面粗糙度，較佳為按照JIS B 0601(修訂年2001)所定義之算術平均粗糙度Ra為1.6μm以下。這是因為若Ra超過1.6μm，則有當按壓時會在薄膜11的背面轉印出彈性體的表面形狀的情況。

夾持輥28的彈性體的耐熱性較佳為具有160℃以上的耐熱溫度者，更佳為具有180℃以上的耐熱溫度者。此處，所謂的耐熱溫度係用在該溫度下放置24小時時的拉伸強度的變化率超過10%時的溫度來判斷。

作為彈性體的材質，在例如使用橡膠的情況下，能使用矽酮橡膠或EPDM(乙烯-丙烯-二烯橡膠)、氯丁橡膠、CSM(氯磺化聚乙烯橡膠)、胺基甲酸乙酯橡膠、NBR(丁腈橡膠)、硬橡膠等。要求更高的彈性率和硬度，能使用使韌性提高的硬質耐壓樹脂(例如聚酯樹脂)。按照ASTM D2240：2005(肖氏D)規格，彈性體的橡膠硬度較佳為在70~97°範圍內。這是因為若硬度低於70°則彈性體的變形量變大、與薄膜11的加壓接觸寬度變得過大，有變得不能確保形成構造所需的壓力的情況，此外，若硬度超過97°則該層的變形量反而變小、加壓接觸寬度變得過小，有不能確保轉印表面構造所需的按壓時間的情況。

夾持輥28的驅動手段，較佳為用鏈或帶等來與第1加熱輥21的端部連結，能與第1加熱輥21連動地旋 轉，或者使用可與第1加熱輥21速度同步的馬達等來獨立旋轉，但也可以作成自由旋轉的構造，藉由與薄膜11的摩擦來旋轉。

薄膜供給手段23係由捲出輥23a、還有用於對準薄膜11的搬送路徑所設置的1根或複數根導引輥23b構成，但較佳為導引輥23b具備張力偵測機構，以張力成為一定的方式控制導引輥23a的轉矩。薄膜11係捲繞於夾持輥28後，搬送至加壓部27a，但也可以在即將捲繞前設置弄平皺摺的輥。

薄膜剝離手段24係用利用剝離輥24a將表面構造薄膜15從模12撕掉後，捲繞成輥狀的捲繞輥25a、還有1根或複數根導引輥25b構成，但較佳為導引輥25b具備張力偵測機構，以張力成為一定的方式控制捲繞輥25a的轉矩。此外，表面構造薄膜15未必捲繞成輥狀，也可以具備一邊把持寬度方向端部，一邊在搬送過程中裁斷成片狀而以單片狀回收的機構。此外，也可以在剝離輥24a的內面設置冷卻機構。也可以在捲繞經加熱的表面構造薄膜15前進行冷卻。此外，也可以在從剝離輥到捲繞之前的搬送過程中設置噴氣等的冷卻裝置以冷卻表面構造薄膜15。能藉由在捲繞之前冷卻至室溫，來抑制在捲繞後的表面構造薄膜15中因溫度變化所引起的皺摺或平面性不良等。

塗布單元30係在模12的搬送過程中，在比加壓部27a還靠上游側具備狹縫模31和與其連接的塗布材料供給機構。狹縫模31係以能在模12的形成了表面構造 的面塗布熱硬化性材料13的方式使其相向。為了形成均勻的塗膜，較佳為高精度地且均勻地保持狹縫模31與模12的間隔，較佳為如圖示般以從與形成了表面構造的面為相反側的面支撐模的方式配置支撐輥32。此外，支撐輥32較佳為以能在接觸模時將模溫度控制在既定的溫度的方式在內部設置調溫機構。此處，對於狹縫模31與模12的間隔，較佳為以能在狹縫模31的吐出面與模12的表面的距離為10μm~500μm的間隔下控制位置的方式進行。此外，作為寬度方向的間隔精度，較佳為10μm以下，更佳為3μm以下。此外，為了實現本發明的精度，支撐輥32的真直度及旋轉偏轉較佳為5μm以下，更佳為1μm以下。又，此處例示了使用狹縫模的塗布方式，但也可以是其他塗布方式。

也可以進一步追加熱硬化性材料的塗布單元，以能在薄膜11的兩面形成熱硬化性材料的層的方式進行。第6圖係顯示供在兩面形成包含熱硬化性材料的層用的裝置的一例者，從剖面觀看表面構造薄膜的製造裝置70的概略圖。與模搬送手段20平行地設置第2模搬送手段71。構成第2模搬送手段71的第2模80可以在表面設置表面構造，也可以不設置。在沒有表面構造的情況下，可得到平坦的熱硬化性材料的面。第2模搬送手段71係模12在與第1加熱輥21分開的附近、以第2模80與薄膜11接觸的方式配置加熱輥72、73，將第2模80懸架於兩輥。構成第2塗布單元的狹縫模74係在第2模的搬送過程中，設置在比薄膜接觸點77還靠模搬送步驟上游側。此外，在狹 縫模74與薄膜接觸點77之間設置加熱單元75。此外，在通過第1加熱輥21後，可以利用加熱輥78、79進行複數次挾壓，能促進熱硬化性材料的硬化、及薄膜11與熱硬化性材料的緊貼。在挾持搬送至第2加熱輥22的薄膜並相向的位置設置加熱輥73。表面構造薄膜81係利用加熱輥72從模12剝離，捲繞於捲繞輥。表面構造薄膜81係在兩面形成熱硬化性材料的層，因此能抑制伴隨熱硬化性材料的收縮的薄膜的翹曲變形，使平面性提升。

環形帶狀的模12係加工出表面構造的環形帶。材質，考慮高強度和熱傳導率，可以採用鎳或鋼、不鏽鋼、銅等金屬，但若考慮與熱硬化性材料的剝離性則較佳為樹脂。在為樹脂的情況下，為了可得到更高的剝離性，較佳為表面能為25mN/m以下的熱塑性材料。作為材質，可較佳地例示聚烯烴系材料。為了提高作為模的平面性，可以與雙軸延伸(bi-axial orientation)聚對苯二甲酸乙二酯薄膜(PET)貼合。

作為具有表面構造的模12的製作方法，可以應用在熱塑性薄膜的表面按住模具以形成形狀的方法。在熱塑性薄膜的表面按住模具以形成形狀的方法係在加熱的狀態下將熱塑性薄膜壓抵在模具，在熱塑性薄膜的表面形成與在模具的表面所形成的構造相反的構造。例如，可以藉由透過如第7圖所示的模製造裝置的製程來製造。第7圖係顯示供使用環形帶狀的模具101製造模12用的裝置的一例的剖面圖。

在第7圖所示的例子中，薄膜102係從捲出輥 110拉出，利用加熱輥120，供給於經加熱的具有表面構造的環形帶狀的模具101的表面。模具101的表面構造係形成與最終想得到的表面構造薄膜15的表面構造幾乎相同的形狀。模具101係在即將與薄膜接觸之前利用加熱輥120加熱。被連續地供給的薄膜102係利用夾持輥121按住模具101的表面構造，在薄膜102形成與模具101的表面構造相反的構造。

之後，薄膜102係在與模具101緊貼的狀態下搬送至冷卻輥130的外表面位置。薄膜102係利用冷卻輥130透過模具101利用熱傳導進行冷卻後，利用剝離輥140從模具101剝離，薄膜被捲繞於捲繞輥150。藉由這樣的製程，得到輥薄膜狀的模。第1圖所示的模12係根據應用的裝置裁剪成合適的長度，進行從內面側用膠帶固定端部等處理以加工成環形帶狀。

又，作為對模具101的表面施加的加工方法，可舉出：對金屬帶的表面直接實施切削或雷射加工的方法、對在金屬帶的表面形成的鍍金皮膜直接實施切削或雷射加工的方法、對在內面具有微細構造的圓筒狀的原版施加電性鑄造的方法、在金屬帶的表面持續貼附具有微細構造面的薄板的方法等。又，可列舉出使具有既定的厚度、長度的金屬板的端部彼此對接且熔接的方法等。

此外，作為模12的表面構造，適合為分散地配置凹陷形狀者。這是因為當加壓時能夠在模平坦面接受壓力，因此在形狀的前端集中地接受壓力而在前端引起變形的可能性低。作為凹陷形狀，較佳為以間距100nm ~1mm配置直徑10nm~1mm、高度10nm~0.5mm的圓柱狀的凹陷的形狀，更佳為高度1μm~500μm。但是，不限於此，也可以是圓錐或角錐狀的凹陷。另外，例如，可以是溝排列成複數個條紋狀者，也可以是分散地配置凸形狀者。

又，對於第6圖所示的在兩面形成熱硬化性材料的情況所使用的第2模80，可以是與模12同樣的結構、材料、製造方法。又，也可以是沒有表面構造的平坦物。

接著，對於本發明的表面構造薄膜之製造方法進行說明。本發明的表面構造薄膜之製造方法的特徵為藉由至少包含下述步驟來製造表面構造薄膜：在藉由將形成了表面構造的環形帶狀的模捲繞到經加熱的至少2個以上的加熱輥，來一邊加熱前述模一邊使其旋繞搬送的模搬送部中，將熱硬化性材料塗布於前述模的表面的步驟；在將熱硬化性材料塗布於前述模表面的狀態下，從熱硬化性材料側貼合薄膜的步驟；在將前述薄膜、前述熱硬化性材料、及前述模積層的狀態下利用夾持輥進行加壓的步驟；在將加壓後的前述薄膜、前述熱硬化性材料、及前述模積層的狀態下一邊加熱一邊搬送的步驟；從前述模剝離前述薄膜和前述熱硬化性材料緊貼的狀態的表面構造薄膜的步驟。

接著，一邊參照第1圖至第6圖，一邊說明製造方法。

作為準備階段，利用捲出輥23a拉出薄膜11，使其沿著模12上，經過剝離輥24a，成為用捲繞輥25a 捲繞的狀態。

然後，一邊利用驅動手段搬送薄膜11，一邊使第1加熱輥21和第2加熱輥22作動，進行調溫直到兩加熱輥的表面溫度達到既定溫度。兩加熱輥的表面溫度的條件視塗布的熱硬化性材料13的材質、薄膜11的耐熱性、模12的表面構造的形狀、高寬比等而定，但通常設定在80℃~200℃之間。在模為樹脂的情況下，加熱輥的表面溫度較佳為比模的玻璃轉移溫度低20℃以上。這是因為能抑制模的表面構造的形狀變形。此外，如第2圖所示，可以在從塗布單元30至加壓部27a之間設置加熱單元41以加熱模。此時，加熱單元41的設定溫度可以以熱硬化性材料13在加壓部27a中成為合適的硬化狀態的方式設定。藉由成為合適的硬化狀態，來抑制加壓時材料的寬度方向端部的擴展，能使加壓後的熱硬化性材料膜的厚度在寬度方向上均勻。

一旦第1加熱輥21及第2加熱輥22的表面溫度到達設定值，則與用成形速度搬送薄膜11同時地，使塗布單元30作動，與開始對模12塗布熱硬化性材料13同時地關閉夾持輥28，用第1加熱輥21和夾持輥28加壓薄膜11、模12，將與模12的表面構造相反的形狀形成於熱硬化性材料13。作為此時的條件，視塗布的熱硬化性材料13的機械特性、模12的表面構造的形狀、高寬比等而定，但較佳為設定在薄膜的成形速度為1~30m/分鐘、夾持壓力為10MPa以上100MPa以下的範圍內。

此外，如第3圖所示，可以在塗布單元30至加 壓部27a之間設置平坦化手段46以預先將剛塗布熱硬化性材料13後的塗布面平坦化。完全平坦化是困難的，但藉由將塗布面的凹凸的大小縮小，變得容易促進之後的與薄膜11的緊貼。

作為應用的熱硬化性材料13，可以是無機材料、有機材料中任一者，考慮薄膜11的耐熱性，適合為硬化溫度較低的有機材料。例如，可適合使用酚樹脂、脲樹脂(尿素樹脂)、三聚氰胺樹脂、環氧樹脂、不飽和聚酯、矽酮樹脂、聚胺基甲酸乙酯等。其中，可適合使用能廣泛地選擇塗布時的黏度或硬化時的硬度等的2液硬化型矽酮橡膠。

在夾持壓力小於10MPa轉印微細構造的情況下，會有樹脂無法充分地完全變形而成為成形不良的情況。此外，在超過100MPa下，有下述情形：有模的形狀變形的情況；和強度設計上、裝置變大而成本成為問題。

熱硬化性材料13係利用來自模12的熱傳導來加熱，利用第1加熱輥21和夾持輥28挾壓，從而填充於模12的表面構造內。然後，積層了通過加壓部27a的薄膜11、熱硬化性材料13、模12的積層體14係一邊近乎維持溫度一邊搬送至第2加熱輥22。此處也進一步加熱模12，也利用來自模12的熱傳導來加熱熱硬化性材料13，進行硬化。之後，利用作為薄膜剝離手段的剝離輥24a予以剝離。此外，可以如第4圖所示，在第1加熱輥21的表面中，使用環形帶54從薄膜11側加壓積層體14。能促進熱硬化性材料13的硬化、和薄膜11與熱硬化性材料13的緊貼。

接著，在第2加熱輥22的表面，利用作為薄膜剝離手段的剝離輥24a，將積層了緊貼的薄膜11和熱硬化性材料13的表面構造薄膜15從模12剝離。用捲繞輥25a捲繞被剝離的表面構造薄膜15。

此外，可以如第6圖所示，進一步追加熱硬化性材料的塗布單元，在薄膜11的兩面形成熱硬化性材料的層。塗布的熱硬化性材料的材質或塗布厚度較佳為使其與在相反面形成的熱硬化性材料13相等。此外，對於加熱輥72、73或其他追加的加熱輥的設定溫度，也較佳為使其與熱硬化性材料13側的加熱設定相等。這是因為在表面構造薄膜81中，使薄膜的兩面的熱收縮量相等以抑制薄膜的翹曲，使平面性提升。

作為薄膜11，較佳為具有即使在搬送或熱硬化性材料的硬化收縮中也不會變形的程度的強度和耐熱性，具體而言，較佳有包含聚對苯二甲酸乙二酯、聚2,6-萘二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸丙二酯、聚對苯二甲酸丁二酯等聚酯系樹脂、聚乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚異丁烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等聚烯烴系樹脂、聚醯胺系樹脂、聚醯亞胺系樹脂、聚醚系樹脂、聚酯醯胺系樹脂、聚醚酯系樹脂、丙烯酸系樹脂、聚胺基甲酸酯系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、或聚氯乙烯基系樹脂等者。

將製造的表面構造薄膜的形態的一例顯示於第8圖。第8圖係截取表面構造薄膜15的一區域的斜視圖。表面構造薄膜15係在薄膜11的表面被覆熱硬化性材料13，在表層形成了構造。作為適合應用本發明的製造方 法的較佳構造，係分散地配置了柱狀或錐狀的突起13a者，但不限於此。表面構造的形狀較佳為以間距100nm~1mm配置直徑10nm~1mm、高度10nm~0.5mm的圓柱狀的凸形狀者，更佳為高度1μm~500μm。但是，不限於此，也可以是圓錐或角錐狀的凸形狀。另外，例如，可以是條紋狀，也可以是分散地配置凹陷形狀者。

[實施例]

[實施例1]

薄膜11係使用厚度100μm的雙軸配向聚對苯二甲酸乙二酯薄膜(商品名”LUMIRROR”(註冊商標)，S10，東麗股份有限公司製)。寬度設為300mm。

模12係應用包含甲基戊烯聚合物的厚度100μm、長度3m、寬度320mm的薄膜(Opulent，三井化學股份有限公司製)，表面構造的形成係使用第7圖所示的在熱塑性薄膜的表面按住模具以形成形狀的裝置。作為表面構造，係高度50μm、直徑40μm、以間距120μm正方配置的凹陷形狀。

作為熱硬化性材料13，使用2液硬化型矽酮橡膠(商品名7-6830，道康寧東麗股份有限公司製)。

使用第1圖所示的裝置作為表面構造薄膜的製造裝置，第1、第2加熱輥21、22使用使包含碳鋼的筒狀的芯材內建盒式加熱器，在表面進行硬質鉻鍍敷者。支撐模12的中央部的外徑設為400mm，寬度方向長度設為340mm。將兩加熱輥的表面溫度加熱至160℃。

狹縫模31係吐出寬度為290mm，狹縫寬度為 100μm，在塗布於平坦面的情況下以塗布厚度成為20μm的方式進行塗布。

作為薄膜剝離手段的剝離輥24a係作成外徑為400mm，寬度方向長度為340mm，在包含碳鋼的中空芯材使冷卻水流過內部的構造。冷卻水的溫度設為30℃。

薄膜11對模12的供給係由被捲成輥狀的薄膜進行，將捲出張力設為30N。

表面構造薄膜15的薄膜係用捲繞張力30N從模12剝離，捲繞為薄膜輥。

模12係用2m/分鐘的速度旋繞搬送。以對模12施加張力30N的方式保持第1、第2加熱輥。

夾持輥28使用在外徑為160mm、包含碳鋼的筒狀的芯材表面、在加壓寬度為290mm的表面覆蓋聚酯樹脂(硬度：肖式D80°)作為彈性體者。按壓手段使用油壓汽缸對夾持輥28負載按壓力100kN。此時，使用壓力測定薄膜(Prescale，富士軟片股份有限公司製)確認夾持輥28和薄膜11的接觸寬度B後，在整個寬度上為6mm，成形用薄膜2所負載的壓力成為約50MPa，在寬度方向上是均勻的。

連續地進行成形動作，結果能將模12的表面形狀幾乎100%地轉印於熱硬化性材料13。第9圖中顯示用掃描型電子顯微鏡觀察表面構造薄膜的表面的結果。

[實施例2]薄膜11及模12使用與實施例1的記載相同者。

作為熱硬化性材料13，使用2液硬化型矽酮橡 膠(商品名RBL-9101-05，道康寧東麗股份有限公司製)。

使用第3圖所示的裝置作為表面構造薄膜的製造裝置，第1、第2加熱輥21、22使用使包含碳鋼的筒狀的芯材內建盒式加熱器，在表面進行硬質鉻鍍敷者。支撐模12的中央部的外徑設為400mm，寬度方向設為340mm。將第1加熱輥21的表面溫度加熱至160℃，將第2加熱輥22的表面溫度加熱至90℃。

狹縫模31係吐出寬度為290mm，狹縫寬度為100μm，在塗布於平坦面的情況下以塗布厚度成為25μm的方式進行塗布。平坦化手段46使用包含不鏽鋼之撥除寬度320mm的撥除刮刀，以模12表面與撥除刮刀的最短距離成為20μm的方式保持。

由撥除刮刀所撥除的剩餘液體係用配置在撥除刮刀上方、與真空泵連接的抽吸寬度320mm、狹縫寬度200μm的抽吸噴嘴回收。抽吸噴嘴的抽吸壓力係利用壓力調整器設定為10kPa。

作為薄膜剝離手段的剝離輥24a係作成外徑為400mm，寬度方向長度為340mm，在包含碳鋼的中空芯材使冷卻水流過內部的構造。冷卻水的溫度設為30℃。

薄膜11對模12的供給係由被捲成輥狀的薄膜進行，將捲出張力設為30N。

表面構造薄膜15的薄膜係用捲繞張力30N從模12剝離，捲繞為薄膜輥。

模12係用2m/分鐘的速度旋繞搬送。以對模12施加張力30N的方式保持第1、第2加熱輥。

夾持輥28使用在外徑為160mm、包含碳鋼的筒狀的芯材表面、在加壓寬度為290mm的表面覆蓋聚酯樹脂(硬度：肖式D80°)作為彈性體者。按壓手段使用油壓汽缸對夾持輥28負載按壓力100kN。

連續地進行成形動作，結果能將模12的表面形狀幾乎100%地轉印於熱硬化性材料，藉由在塗布後立即將塗布面平坦化，薄膜11與熱硬化性材料13的緊貼性也是良好的。

10‧‧‧本發明的表面構造薄膜的製造裝置的例子

11‧‧‧薄膜

12‧‧‧模

13‧‧‧熱硬化性材料

14‧‧‧積層體

15‧‧‧表面構造薄膜

20‧‧‧模搬送手段

21‧‧‧第1加熱輥

22‧‧‧第2加熱輥

23‧‧‧薄膜供給手段

23a‧‧‧捲出輥

23b‧‧‧導引輥

24‧‧‧薄膜剝離手段

24a‧‧‧剝離輥

25a‧‧‧捲繞輥

25b‧‧‧導引輥

27‧‧‧加壓機構

27a‧‧‧加壓部

28‧‧‧夾持輥

29‧‧‧按壓手段

30‧‧‧塗布單元

31‧‧‧狹縫模

32‧‧‧支撐輥

35‧‧‧端部檢測感測器

36‧‧‧控制器

Claims (14)

1. 一種表面構造薄膜的製造裝置，係製造在薄膜的表面具有包含熱硬化性材料的表面構造之表面構造薄膜的製造裝置，其至少具備：(1)形成有表面構造的環形帶狀的模；(2)模搬送手段，用於藉由旋轉加熱輥來將捲繞於2個以上的該加熱輥的該模進行旋繞搬送；(3)加壓機構，其至少具備配置成與該模搬送手段中的第1加熱輥平行且表面被彈性體包覆的夾持輥、以及使用該加熱輥和該夾持輥的挾壓手段；(4)設置在比該加壓機構還靠該模的搬送方向上游側的塗布單元；(5)將薄膜供給於該模的表面的薄膜供給手段；和(6)用於剝離該模的表面的薄膜之薄膜剝離手段。
2. 如請求項1的表面構造薄膜的製造裝置，其中在該塗布單元與該第1加熱輥之間，具備加熱該模的加熱手段。
3. 如請求項1或2的表面構造薄膜的製造裝置，其中在該塗布單元與該加壓機構之間，具備用於將塗布於模表面的材料平坦化之平坦化手段。
4. 如請求項1或2的表面構造薄膜的製造裝置，其中在該第1加熱輥的外周表面，具備能對該第1加熱輥進行按壓的機構。
5. 如請求項1或2的表面構造薄膜的製造裝置，其中該環形帶狀的模係樹脂。
6. 如請求項1或2的表面構造薄膜的製造裝置，其中具備轉印單元，其用於在該薄膜的與具有該表面構造的面為相反側的表面，進一步轉印熱硬化性材料的層。
7. 一種表面構造薄膜之製造方法，係製造表面構造薄膜的方法，其特徵為至少包含下述步驟：(1)在藉由將形成有表面構造的環形帶狀的模捲繞於經加熱的至少2個以上的加熱輥，來一邊加熱該模一邊使其旋繞搬送的模搬送部中，將熱硬化性材料塗布於該模的表面的步驟；(2)在將熱硬化性材料塗布於該模表面的狀態下，從熱硬化性材料側貼合薄膜的步驟；(3)將該薄膜、該熱硬化性材料、及該模在積層的狀態下利用夾持輥進行加壓的步驟；(4)將加壓後的該薄膜、該熱硬化性材料、及該模在積層的狀態下一邊加熱一邊搬送的步驟；及(5)從該模剝離該薄膜和該熱硬化性材料緊貼的狀態的表面構造薄膜的步驟。
8. 如請求項7的表面構造薄膜之製造方法，其中在將熱硬化性材料塗布於該模的表面的步驟之後，且在從熱硬化性材料側貼合薄膜的步驟之前，加熱該模。
9. 如請求項7或8的表面構造薄膜之製造方法，其中在將該薄膜、該熱硬化性材料、及該模於積層的狀態下利用夾持輥進行加壓的步驟之後，在將該模捲繞於該加熱輥的狀態下，從該薄膜側對該加熱輥按壓。
10. 如請求項7或8的表面構造薄膜之製造方法，其中在 將熱硬化性材料塗布於該模的表面的步驟之後，且在從該熱硬化性材料側貼合薄膜的步驟之前，將該熱硬化性材料的塗布面平坦化。
11. 如請求項7或8的表面構造薄膜之製造方法，其中該環形帶狀的模係樹脂。
12. 如請求項11的表面構造薄膜之製造方法，其中環形帶狀的模係由熱塑性薄膜所構成，該熱塑性薄膜係藉由在熱塑性薄膜的表面按壓模具以成形出形狀的方法所製造。
13. 如請求項11的表面構造薄膜之製造方法，其中加熱中的該加熱輥的溫度比該模的玻璃轉移溫度低20度以上。
14. 如請求項7或8的表面構造薄膜之製造方法，其中具備轉印單元，其用於在該模的旋繞搬送過程中，對該表面構造薄膜之形成有表面構造的相反側的表面，轉印熱硬化性材料的層。

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