JP6085193B2 - 微細構造フィルムの製造方法および製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、熱可塑性フィルムの表面に微細な凹凸パターンを成形することにより微細構造フィルムを製造する方法およびその製造装置に関する。本方法により得られた微細構造フィルムは、拡散、集光、反射、透過等の光学的な機能を有する光学フィルム等、ミクロンサイズからナノサイズの微細構造をその表面に必要とする部材として用いられる。

プリズムシート、光拡散シート、レンズシート等の光学フィルムの製造方法として、表面に微細な凹凸パターンが形成されているエンドレスベルト状の金型の表面に、フィルムを加圧し、フィルムの表面に前記金型の微細な凹凸パターンを成形する方法がある。かかる方法は、長尺の熱可塑性材料からなるフィルムに適用可能であり、例えば、巻き出しから成形工程を経て巻き取りまで連続的に処理する装置が提案されている。

特許文献１に、微細構造を表面に形成したエンドレスベルトからなる金型を適用して、加熱した前記金型に熱可塑性樹脂からなるフィルムを加圧してフィルム表面に微細凹凸構造を成形した後、前記金型を冷却してからフィルムを剥離する方法が記載されている。前記金型の加熱および冷却は、エンドレスベルトからなる前記金型を加熱ロールおよび冷却ロールと接触させることにより行われ、フィルムへの微細構造の成形は、加熱ロールと、加熱ロールと対向するニップロールとの間にエンドレスベルトからなる前記金型とフィルムを加圧することにより行われている。この構造では、成形時の温度と、剥離時の温度をそれぞれ独立に制御できるので、成形時の前記金型の温度を高く設定しても、剥離性が問題とならず、高い精度での微細凹凸構造の成形が可能である。

特開２００８−２６０２６８号公報

しかしながら、特許文献１に記載の微細構造フィルムの製造方法では、エンドレスベルト状の金型搬送方向における金型の温度変化によって金型の幅方向の熱応力起因のシワやうねりが発生して、冷却ロールと金型との接触不良が発生する。その結果、フィルムの冷却不良を引き起こし、フィルムと金型の剥離不良やフィルム成形精度悪化の問題を発生させることがわかった。

本発明の目的はこれらの問題を解決することであり、熱可塑性樹脂からなるフィルムに、表面に微細構造を形成したエンドレスベルト形状を有する金型を押し当てて、フィルムの表面に微細構造を連続的に成形する微細構造フィルムの製造方法および製造装置において、金型にシワやうねりを発生させることなく安定的に搬送することにより、高い生産性で高精度な成形フィルムを製造することができる微細構造フィルムの製造方法および製造装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を有する。すなわち、
（１）
１）表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型と、
２）前記エンドレスベルト形状を有する金型を加熱するための加熱ロールと加熱ロールと平行に配置され、表面が弾性体に覆われたニップロールおよび前記両ロールを用いた挟圧手段とを少なくとも備えた加圧機構と、
３）前記エンドレスベルト形状を有する金型を冷却するための冷却ロールと、
４）エンドレスベルト形状を有する金型に密着したフィルムを剥がすための剥離機構と、
５）前記加熱ロールおよび前記冷却ロールを回転させて、前記エンドレスベルト形状を有する金型を搬送する搬送機構と、
を少なくとも備えた微細構造フィルムの製造装置であって、
前記加熱ロールから前記冷却ロールに向かう第１の金型搬送経路において
前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面にシワ伸ばしロールが配置されていること
を特徴とする微細構造フィルムの製造装置。
（２）
前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
前記第１の金型搬送経路にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記冷却ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ１、
とした場合、数式１を満たすように前記第１の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置されていること
を特徴とする（１）に記載の微細構造フィルムの製造装置。

１×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）≦１×１０^８・・・（数式１）
（３）
前記第１の金型搬送経路に配置されたシワ伸ばしロールが、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行う温度調整機構を有すること
を特徴とする（１）または（２）に記載の微細構造フィルムの製造装置。
（４）
前記冷却ロールから前記加熱ロールに向かう第２の金型搬送経路において
前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面にシワ伸ばしロールが配置されていること
を特徴とする（１）〜（３）のいずれかに記載の微細構造フィルムの製造装置。
（５）
前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
前記第２の金型搬送経路にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記加熱ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ２、
とした場合、数式２を満たすように前記第２の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置されていること
を特徴とする（４）に記載の微細構造フィルムの製造装置。

１×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）≦１×１０^８・・・（数式２）
（６）
前記第２の金型搬送経路に配置されたシワ伸ばしロールが、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行う温度調整機構を有すること
を特徴とする（４）または（５）に記載の微細構造フィルムの製造装置。
（７）
１）表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型を、加熱された加熱ロールに抱かせながら加熱する金型加熱工程と、
２）フィルムの成形側表面と前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造表面とを密着させた状態で、前記加熱ロールを含む一対のロールによりニップ加圧する加圧成形工程と、
３）加圧後の前記エンドレスベルト形状を有する金型と前記フィルムを密着させたまま冷却ゾーンまで搬送する第１の搬送工程と、
４）前記冷却ゾーンでエンドレスベルト形状を有する金型とフィルムを密着させたままエンドレスベルト形状を有する金型側から冷却する冷却工程と、
５）冷却後のエンドレスベルト形状を有する金型とフィルムとを剥離するフィルム剥離工程と、
６）フィルムを剥離した前記エンドレスベルト形状を有する金型を再度加熱ロールまで搬送する第２の搬送工程と、
を少なくとも含むことにより、エンドレスベルト形状を有する金型の表面に形成された微細構造を、加熱したフィルムの表面に成形する微細構造フィルムの製造方法であって、
前記第１の搬送工程において、前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面に配置されたシワ伸ばしロールにより前記エンドレスベルト形状を有する金型のシワを伸ばすこと
を特徴とする微細構造フィルムの製造方法。
（８）
前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
前記第１の搬送工程にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記冷却ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ１、
前記第１の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点での前記シワ伸ばしロールの表面温度をＴ１、
前記第１の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記冷却ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点での前記冷却ロールの表面温度をＴ２、
とした場合、数式３および数式４を満たすように前記シワ伸ばしロールを配置してシワを伸ばすこと
を特徴とする（７）に記載の微細構造フィルムの製造方法。

２０≦（Ｔ１−Ｔ２）≦１００・・・（数式３）
１×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）≦１×１０^１０・・・（数式４）
（９）
前記第１の搬送工程に配置されたシワ伸ばしロールが、温度調整機構を有し、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行うこと
を特徴とする（７）または（８）に記載の微細構造フィルムの製造方法。
（１０）
前記第２の搬送工程において、前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面に配置されたシワ伸ばしロールにより前記エンドレスベルト形状を有する金型のシワを伸ばすこと
を特徴とする（７）〜（９）のいずれかに記載の微細構造フィルムの製造方法。
（１１）
前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
前記第２の搬送工程にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記加熱ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ２、
前記第２の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点での前記シワ伸ばしロールの表面温度をＴ３、
前記第２の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記加熱ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点での前記加熱ロールの表面温度をＴ４、
とした場合、数式５を満たすように前記シワ伸ばしロールを配置してシワを伸ばすこと
を特徴とする（１０）に記載の微細構造フィルムの製造方法。

１×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）≦１×１０^１０・・・（数式５）
（１２）
前記第２の搬送工程に配置されたシワ伸ばしロールが、温度調整機構を有し、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行うこと
を特徴とする（１０）または（１１）に記載の微細構造フィルムの製造方法。

熱可塑性樹脂からなるフィルムに、表面に微細構造を形成したエンドレスベルト形状を有する金型を押し当てて、フィルムの表面に微細構造を連続的に成形する微細構造フィルムの製造方法および製造装置において、金型にシワやうねりを発生させることなく金型を搬送させて金型とフィルムの剥離挙動を安定化させることで、高精度な成形面を有するフィルムを製造することができる。

本発明を適用した微細構造フィルム製造装置の一実施形態を、フィルム幅方向から見た概略断面図である。 微細構造フィルムの製造装置のシワ伸ばしロールの一実施形態を示す概略平面図である。 微細構造フィルムの製造装置のシワ伸ばしロールの一実施形態を、フィルム幅方向から見た概略側面図である。 本発明を適用した微細構造フィルム製造装置の別の一実施形態を、フィルム幅方向から見た概略図である。 微細構造フィルムの製造装置における、冷却ロールから加熱ロールに向かう第２の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置された場合の一実施形態を、フィルム幅方向から見た概略側面図である。 第１の金型搬送経路におけるシワ伸ばしロール付近の拡大図である。 本発明を適用した微細構造フィルム製造装置における、加熱ロールから冷却ロールに向かう第１の金型搬送経路のシワ伸ばしロールを、フィルム幅方向から見た概略側面図である。 本発明を適用した微細構造フィルム製造装置における、冷却ロールから加熱ロールに向かう第２の金型搬送経路のシワ伸ばしロールを、フィルム幅方向から見た概略側面図である。

本発明の微細構造フィルムの製造装置は、表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型と、前記エンドレスベルト形状を有する金型を加熱するための加熱ロールと加熱ロールと平行に配置され、表面が弾性体に覆われたニップロールおよび前記両ロールを用いた挟圧手段とを少なくとも備えた加圧機構と、前記エンドレスベルト形状を有する金型を冷却するための冷却ロールと、エンドレスベルト形状を有する金型に密着したフィルムを剥がすための剥離機構と、前記加熱ロールおよび前記冷却ロールを回転させて、前記エンドレスベルト形状を有する金型を搬送する搬送機構と、を少なくとも備えた微細構造フィルムの製造装置であって、前記加熱ロールから前記冷却ロールに向かう第１の金型搬送経路において前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面にシワ伸ばしロールが配置されていることを特徴とする微細構造フィルムの製造装置である。

本発明の実施形態の一例として、本発明を適用した微細構造フィルムの製造装置の一実施形態をフィルム幅方向から見た概略断面図を図1に示す。

図１に示すように、本発明の微細構造フィルムの製造装置１は、表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型３（以下金型３と略すこともある）と、金型３を加熱するための加熱ロール４、シワ伸ばしロール３１、冷却ロール５と、加熱ロール４と平行に配置され、フィルムを加圧成形する表面に弾性体の層１０を有するニップロール６と、成形後のフィルムを金型３より剥離する剥離機構たる剥離ロール７から構成される。そして加熱ロール４とニップロール６は、挟圧手段として金型３と成形用フィルム２とを積層した状態で挟んで加圧するために、少なくともどちらか一方に加圧装置１２が接続され、加圧機構として構成されている。また、加熱ロール４、シワ伸ばしロール３１、冷却ロール５に懸架した金型３を周回させるように搬送するための搬送機構として、加熱ロール４および／または冷却ロール５を回転駆動する駆動装置を備えている。また、成形用フィルムを搬送するため、巻出ロール８、巻取ロール９を備えており、さらに、必要に応じて図示しないガイドロールを１本ないしは複数本備えていてもよい。

微細構造フィルムの製造装置１の動作は以下の通りである。まず、巻出ロール８より巻き出されたフィルム２を加熱ロール４の表面部での熱伝導により加熱された金型３上に供給する。金型３上に供給されたフィルム２は、ニップロール６により金型３の微細構造が形成された面３ａに押し付けられ、フィルム２の被成形層が設けられている面２ａに金型３の表面の形状に対応する形状、すなわち金型３の微細構造とは逆パターンの微細構造が成形される。その後、フィルム２は金型３と密着したまま加熱ロール４から冷却ロール５へ向かう第１の金型搬送経路７１を通って冷却ロール５の表面部まで搬送される。この搬送途中において、シワ伸ばしロール３１は金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面から金型３を幅方向にわたって加圧し、第１の金型搬送経路７１において金型３に発生したシワやうねりを取り除く。冷却ロール５の表面部まで搬送されたフィルム２は、金型３を介して冷却ロール５との間の熱伝導によって冷却された後、剥離ロール７によって金型３から剥離され、巻取ロール９に巻き取られる。一方、剥離ロール７でフィルム２と剥離した金型３は、冷却ロール５から加熱ロール４へ向かう第２の金型搬送経路７２を通って、加熱ロール４まで搬送され再び加熱される。この動作が連続的に行われる。

本発明のシワ伸ばしロール３１について図面を用いて詳細に説明する。

本発明の微細構造フィルムの製造装置１における、シワ伸ばしロールの一実施形態の概略平面図を図２に、フィルム幅方向から見た概略側面図を図３に示す。

図３に示す形態では、シワ伸ばしロール３１は空圧や油圧で作動する流体圧シリンダ４２によって金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面に押し付けられている。加圧方法については特に限定はされないが、一定圧力で押し付けることが好ましい。一定圧力で押し付けることで、金型３が等速で搬送されている間、常にシワやうねりの発生を抑制することができるようになる。

また、金型３のシワやうねりの発生抑制をより高精度に行うためには、流体圧シリンダ４２の加圧力を調整できることが好ましい。加圧力を調整する機構の一実施形態を図３に示す。シワ伸ばしロール加圧装置４４は、流体圧シリンダ４２、荷重検知器４３、図示しない制御回路から構成される。流体圧シリンダ４２はシワ伸ばしロール３１の軸受４１を接続されていて、流体圧シリンダ４２が動くことでシワ伸ばしロール３１は金型３を微細構造が形成された面３ａの反対側の面から金型３の幅方向にわたって加圧する。また、荷重検知器４３は流体圧シリンダ４２を挟んで軸受４１と反対側に接続されていて、流体圧シリンダ４２が金型３を加圧した際の荷重を検知し、図示しない制御回路に信号を伝達する。図示しない制御回路は、外部から与えられた流体圧シリンダ４２の加圧目標値に対して、荷重検知器４３からの荷重信号に基づいて流体圧シリンダ４２を動かし加圧目標値に近づける操作を行う。なお、シワ伸ばしロール加圧装置４４は図３で示すシワ伸ばしロール３１の両端の軸受４１にそれぞれ備えられていることが好ましく、さらにシワ伸ばしロール加圧装置４４により、シワ伸ばしロール３１が金型３の幅方向にわたって均一に加圧することが好ましい。
また、シワ伸ばしロール３１と冷却ロール５の間の金型搬送方向の距離を調整できるようにしてもよい。ここで、金型搬送方向とは図３の金型搬送方向８１の矢印の向きの方向のことである。フィルム２や金型３の材質、厚さ、幅などによって金型３へのシワやうねりの発生する条件は異なるが、前記距離を変更できるようにすることで、金型３に発生したシワやうねりを容易に抑制できるようになる。金型３のシワやうねりの抑制方法として、シワ伸ばしロール３１の位置を調整することができるシワ伸ばしロール移動装置を備えていることが好ましい。シワ伸ばしロール移動装置の一実施形態を、本発明の微細構造フィルムの製造装置１におけるシワ伸ばしロールの一実施形態の概略平面図である図２と、フィルム幅方向から見た概略側面図である図３を用いて説明する。

シワ伸ばしロール移動装置４７は、シワ伸ばしロール加圧装置４４を固定するための架台４５と、架台４５をシワ伸ばしロール移動装置移動方向８２の矢印の向きの方向に移動させることができるスライドレール４６と、架台４５をスライドレール４６の長手方向にスライド可能なモータ４８を備えている。このとき架台４５およびスライドレール４６は、水平な面に設置されている。

図３に示す機構を用いて、シワ伸ばしロール３１の両端にある流体圧シリンダ４２を作動させて金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面から金型３を幅方向にわたって加圧し、金型３を幅方向に押し広げることで、シワやうねりを除去することができる。金型３のシワやうねりが除去されると、冷却ロール５の表面において金型３の接触不良が抑制されるため、結果として、フィルム２の冷却不良を抑制するためフィルム２の冷却ロール５からの剥離挙動が安定し、高精度な成形面を有するフィルム２を製造することができる。

また、図３ではシワ伸ばしロール加圧装置４４に流体圧シリンダ４２を採用したが、これに限られるわけではなく例えばモータ駆動などでもよい。さらに、図３ではシワ伸ばしロール３１の軸方向は金型３の幅方向に平行な配置としたが、金型３の幅方向に対して斜め方向に配置されていてもよい。

なお、シワ伸ばしロール３１を支持する軸受４１は、そのロールの質量や受ける負荷、回転速度などに応じて設計される。

シワ伸ばしロール３１の形状について、シワ伸ばしロール３１の断面のロール径がシワ伸ばしロール３１の軸方向にわたって均一であってもよいし、軸方向の中央部のロール径を最大とし両端側に進むにつれロール径が連続的に順次減少する形状とし、軸方向の中央部の金型３の張力が最大になるようにすることでシワ伸ばしロール３１の軸方向に金型３との間で摩擦勾配を作り、金型３との間に噛み込んだエアをシワ伸ばしロール３１の両端側に排出できるようにしてもよい。なお、シワ伸ばしロール３１の形状はこれらに限られるものではなく、これらの組み合わせやその他の形状であってもよい。

シワ伸ばしロール３１の加工精度は、ＪＩＳ Ｂ ０６２１（改訂年１９８４）にて定義される円筒度公差において０．１ｍｍ以下、円周振れ公差において０．１ｍｍ以下であることが好ましい。これらの値が０．１ｍｍより大きくなると、加圧時のシワ伸ばしロール３１と金型３の間に部分的な隙間ができるため、金型３のシワ伸ばしを行えない場合がある。また、加熱ロール４の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（改訂年２００１）にて定義される、算術平均粗さＲａが０．２μｍ以下のものが好ましい。Ｒａが０．２μｍを超えると、上記と同様金型３との接触不良が発生し、シワ伸ばしが行えない場合がある。

続いてシワ伸ばしロール３１のロール径は３０〜２００ｍｍが好ましい。３０ｍｍ未満では、シワ伸ばしロール３１と金型３の間に大きな曲げ応力が加わり、金型３を連続して搬送するうちに徐々に金型３が変形する場合がある。一方、２００ｍｍより大きくなると、シワ伸ばしロール３１自身の自重によりシワ伸ばしロール３１自身が変形しやすくなったり、製作コストが多大になったりする場合がある。

シワ伸ばしロール３１の表面には、硬質クロムめっき、セラミック溶射、ダイヤモンド・ライク・カーボン・コーティングなどの高硬度皮膜の形成処理を施すことが好ましい。なぜなら、シワ伸ばしロール３１は常に金型３と接触していて、その表面が非常に磨耗しやすいためである。

続いてシワ伸ばしロール３１以外の各構成部材の構造について説明する。

本発明において用いられる金型３は、表面に微細構造が形成された面を有するエンドレスベルト形状を有する金型である。エンドレスベルト形状を有する金型の材質は強度と熱伝導率が高い金属が好ましく、例えばニッケルや鋼、ステンレス鋼、銅などが好ましい。また、エンドレスベルト形状を有する金型として、エンドレスベルト形状を有する金属ベルトの表面に鍍金を施したものを使用してもよい。

金型３の表面に微細構造を形成する方法については、金属ベルトの表面に直接切削やレーザー加工を施工する方法、金属ベルトの表面に形成した鍍金皮膜に直接切削やレーザー加工を施工する方法、微細構造を内面に有する円筒状の原版に電気鋳造を施す方法、金属ベルトの表面に微細構造面が形成された薄板を連続して貼り付ける方法などが挙げられる。

エンドレスベルト形状を有する金属ベルトは、所定の厚さ、長さを持つ金属板の端部同士を突き合わせ溶接する方法や、例えば所定の倍の厚さの金属板を所定の半分の長さで溶接してエンドレス形状にした後に２倍に圧延する方法、などによって製造される。このとき、金属ベルトの厚さは金型として必要な強度とハンドリング性等の理由により、０．１〜０．４ｍｍの範囲とすることが好ましい。この範囲よりも厚さが小さくなると、加熱ロール４と冷却ロール５によって懸架されるときに与えられる張力により、金属ベルトが破断あるいは塑性変形する場合がある。一方、この範囲よりも厚さが大きい場合、金属ベルトの曲げ剛性が大きくなりすぎて、加熱ロール４および冷却ロール５に懸架したり、これらのロールに懸架した状態で搬送させたりすることが難しくなったりする場合がある。

エンドレス形状を有する金属ベルトの表面に鍍金を施す場合は、鍍金の材質はニッケルや銅などが好ましい。また、鍍金の厚さは０．０３〜０．１ｍｍの範囲とすることが好ましい。金属ベルトの厚さに対して鍍金の厚さが大きくなると、金属ベルトと鍍金の境界面で剥離が発生する場合がある。一方、鍍金の厚さが小さすぎると、微細構造を精度よく加工することが困難となる場合がある。

微細構造とは、高さ１０ｎｍ〜１００μｍの凸形状および／または凹形状が、ピッチ１０ｎｍ〜１ｍｍ、より好ましくは高さ１μｍ〜５０μｍの凸形状および／または凹形状が、ピッチ１μｍ〜１００μｍで周期的に繰り返された形状のことを示し、例えば、三角形状の溝が複数個ストライプ状に並んでいるものでもよいし、矩形、半円形状もしくは半楕円形状等でもよい。さらには溝が直線である必要はなく、曲線のストライプパターンでもよい。また、その稜線方向はベルトの周方向に限らず幅方向であってもよい。さらに、微細構造は他にも直線状あるいは曲線状に連続したものに限られず、半球や円錐や直方体などの凸形状あるいは凹形状がドット状に離散的に配置されたものでもよい。凸形状および／または凹形状の高さやピッチが１０ｎｍより小さくなると、金型３への微細構造の形成が困難となり加工精度が悪化する場合がある。一方、凸形状および／または凹形状の高さが１００μｍより大きくなったり、ピッチが１ｍｍより大きくなったりすると、フィルム２の被成形層が設けられている面２ａに金型３の表面の微細構造に対応する形状、すなわち金型３の微細構造とは逆パターンの微細構造が成形される際に、成形不良が発生しやすくなる場合がある。

ここで、エンドレスベルト形状を有する金型の製造方法の一例を以下に示す。

まず、薄肉のステンレス鋼板の端部を突き合わせ溶接し、エンドレス形状を有する金属ベルトに加工する。次に、この金属ベルトをロールにはめて固定し、表面にニッケル鍍金処理を施し、その後、旋盤加工機にて金属ベルトの鍍金層に所定の微細構造を切削加工する方法がある。切削加工を施した金属ベルトは、ロールより取り外すことで、表面に所定の微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型が得られる。

また、エンドレスベルト形状を有する金型の他の製造方法の例として、薄板状の金属板に微細構造を加工した後に、突き合わせ溶接でエンドレスベルト化する方法がある。薄板状の金属板への加工は、表面にニッケル鍍金処理を施した後、平面切削加工機にて鍍金層に所定の微細構造を切削する方法や、金属板表面を直接レーザー加工や、電子ビーム加工、あるいはフォトリソグラフィーにより微細精密構造を形成する方法が挙げられる。

続いて各ロール部材の構成について説明する。
ニップロール６は芯層の外表面に弾性体の層１０を有する構造である。芯層は、強度および加工精度が求められ、例えば鋼や繊維強化樹脂、セラミックス、アルミ合金などが適用される。また、弾性体の層１０は、加圧により変形する層であり、ゴム、樹脂、もしくはエラストマー材質等が好ましく適用される。芯層はその両端部で軸受１１によって回転可能なように支持されており、さらに軸受１１は、シリンダなどの加圧装置１２と接続されている。ニップロール６はこの加圧装置１２のストロークにより開閉し、フィルム２を加圧または開放する。

また、ニップロール６は所望のプロセスやフィルム材質に合わせて、温調機構を有してもよい。温調機構としては、ロール内部を中空にしてカートリッジヒーターや誘導加熱装置を埋め込んだり、内部に流路を加工して油や水、蒸気等の熱媒を流したりすることにより、ロール内部から加熱する構造でもよい。また、ロール外表面付近に赤外線加熱ヒーターを設置して、ロール外表面から加熱する構造でもよい。

ニップロール６の加工精度は、ＪＩＳ Ｂ ０６２１（改訂年１９８４）にて定義される円筒度公差において０．０３ｍｍ以下、円周振れ公差において０．０３ｍｍ以下であることが好ましい。これらの値が０．０３ｍｍを超えると、加圧時の加熱ロール４とニップロール６の間に部分的な隙間ができるため、フィルム２を均一に加圧できなくなり、フィルム２の被成形層が設けられている面２ａで成形性の低下が生じる場合がある。また、弾性体の層１０の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（改訂年２００１）にて定義される、算術平均粗さＲａが１．６μｍ以下のものが好ましい。Ｒａが１．６μｍを超えると、加圧時にフィルム２の被成形層が設けられている面２ａの反対側の面に、弾性体の層１０の表面形状が成形してしまう場合があるためである。

ニップロール６の弾性体の層１０の耐熱性は、１６０℃以上の耐熱温度を有することが好ましく、さらに好ましくは１８０℃以上の耐熱温度を有することが好ましい。ここで耐熱温度とはその温度で２４時間放置したときの引張強さの変化率が１０％を超えるときの温度を言う。

弾性体の層１０の材質としては、例えばゴムを用いる場合には、シリコーンゴムやＥＤＰＭ（エチレンプロピレンジエンゴム）、ネオプレン、ＣＳＭ（クロロスルホン化ポリエチレンゴム）、ウレタンゴム、ＮＢＲ（ニトリルゴム）、エボナイトなどを用いることができる。更に高い弾性率と硬度を求める場合には、カレンダーローラ用樹脂としてゴムメーカ各社から販売されている上記ゴムに特殊な処方を用いたものや、じん性を向上させた硬質耐圧樹脂（例：ポリエステル樹脂）を用いることができる。

ニップロール６のロール径は特に制限されるものではないが、ニップロール６の軸方向の長さや質量などによって異なる適切な強度を確保できる最低限のロール径を有しつつ、さらに２００ｍｍ以下とすることが好ましい。２００ｍｍより大きくなると金型搬送方向の加圧長さが長くなるために、フィルム２が金型３の微細構造が形成された面３ａに押し付けられる圧力が低下し、微細構造の成形に必要な押圧時間が確保できない場合がある。

次に、ニップロール６と金型３を挟んで対向する加熱ロール４について説明する。加熱ロール４はニップ時に荷重を受けるので、強度および加工精度が求められ、さらに加熱装置を含むことが好ましい。ニップロール６の材質としては、例えば鋼や繊維強化樹脂、セラミックス、アルミ合金などが考えられる。また、加熱方式としては内部を中空にしてカートリッジヒーターや誘導加熱装置を設置したり、内部に流路を加工して油や水、蒸気等の熱媒を流したりすることにより、ロール内部から加熱する構造でもよい。また、ロール外表面付近に赤外線加熱ヒーターや誘導加熱装置を設置して、ロール外表面から加熱する構造でもよい。

ニップロール６は加熱ロール４と平行に配置されることが好ましい。

加熱ロール４の加工精度も、前述したニップロール６と同じく、ＪＩＳ Ｂ ０６２１（改訂年１９８４）にて定義される円筒度公差において０．０３ｍｍ以下、円周振れ公差において０．０３ｍｍ以下であることが好ましい。これらの値が０．０３ｍｍより大きくなると、加圧時の加熱ロール４とニップロール６の間に部分的な隙間ができるため、フィルム２を均一に加圧できなくなり、フィルム２の被成形層が設けられている面２ａで成形性の低下が生じる場合がある。また、加熱ロール４の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（改訂年２００１）にて定義される、算術平均粗さＲａが０．２μｍ以下のものが好ましい。Ｒａが０．２μｍを超えると、金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面に加熱ロール４の形状が成形し、さらにそれがフィルム２の被成形層が設けられている面２ａに成形してしまう場合があるためである。

加熱ロール４の表面には、硬質クロムめっき、セラミック溶射、ダイヤモンド・ライク・カーボン・コーティングなどの高硬度皮膜の形成処理を施すことが好ましい。なぜなら、加熱ロール４は常に金型３と接触しているうえ、ニップロール６による加圧力を受けるため、その表面は非常に磨耗しやすく、加熱ロール４の表面が磨耗したり、傷が入ったりすると、前述したようなフィルムの成形性の低下や、フィルムへのロール表面形状の成形が生じる場合があるためである。

加熱ロール４のロール径は、２００〜５００ｍｍが好ましい。２００ｍｍ未満では、金型３に大きな曲げ応力がかかり金型３が変形したり、繰り返しかかる応力により金型３の耐久性が低下したりする場合がある。一方、５００ｍｍより大きくなると、加工精度が低下したり、加熱ロール４自身の自重により加熱ロール４自身が変形しやすくなったり、製作コストが多大となったりする場合がある。

冷却ロール５は例えば内部に通水路が設けられ、一定の温度の水を連続して循環させる水冷式の冷却方式などによって冷却されることが好ましい。そして金型３との接触面における熱伝導により金型３を冷却する。

冷却ロール５は金型３との密着性を良くして幅方向に均一に熱伝達させて冷却するために、ロールの表面材質は鋼やアルミ合金、銅などの金属とし、加工精度はＪＩＳ Ｂ ０６２１（改訂年１９８４）にて定義される円筒度公差において０．１ｍｍ以下、円周振れ公差において０．１ｍｍ以下であることが好ましい。これらの値が０．１ｍｍより大きくなると、冷却する金型３と接触不良を引き起こし、金型３の冷却不足につながり、結果としてフィルム２の冷却不良を引き起こし成形精度が悪化したり、剥離跡が発生したりする場合がある。また、冷却ロール５の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（改訂年２００１）にて定義される、算術平均粗さＲａが０．２μｍ以下のものが好ましい。Ｒａが０．２μｍを超えると、上記と同様、金型３との接触不良が発生し、結果として冷却不良によってフィルム２の成形精度が悪化したり、剥離跡が発生したりする場合がある。

冷却ロール５の表面には、硬質クロムめっき、セラミック溶射、ダイヤモンド・ライク・カーボン・コーティングなどの高硬度皮膜の形成処理を施すことが好ましい。なぜなら、冷却ロール５は常に金型３と接触していて非常に磨耗しやすいからである。

冷却ロール５のロール径は、加熱ロール４の場合と同様２００〜５００ｍｍの間が好ましい。２００ｍｍ未満では、金型３に大きな曲げ応力がかかり金型３が変形したり、繰り返しかかる応力により金型３の耐久性が低下したりする場合がある。一方、５００ｍｍより大きくなると、加工精度が低下したり、冷却ロール５自身の自重により冷却ロール５自身が変形しやすくなったり、製作コストが多大となったりする問題が発生する場合がある。

剥離ロール７は冷却ロール５と同様に冷却装置を有しており、フィルム２の被成形層が設けられている面２ａの反対側の面から冷却し、金型３からの剥離を補助する役割を果たす。また、剥離ロール７は流体圧シリンダなどにより冷却ロール５に対して押し当てられる構造であってもよい。剥離ロール７のフィルム２に対する加圧力は特に制限されず、剥離ロール７の周面がフィルム２の被成形層が設けられている面２ａの反対側の面に密着していればよい。

剥離ロール７は金型３との密着性を良くして幅方向に均一に熱伝導させて冷却するために、ロールの表面材質は鋼やアルミ合金、銅などの金属とし、加工精度はＪＩＳ Ｂ ０６２１（改訂年１９８４）にて定義される円筒度公差において０．１ｍｍ以下、円周振れ公差において０．１ｍｍ以下であることが好ましい。これらの値が０．１ｍｍを超えると、フィルム２との接触不良が発生し、結果として冷却不良によってフィルム２の成形精度が悪化したり、剥離跡が発生したりする場合がある。また、剥離ロール７の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ ０６０１（改訂年２００１）にて定義される、算術平均粗さＲａが０．２μｍ以下のものが好ましい。Ｒａが０．２μｍを超えると上記と同様、フィルム２との接触不良が発生し、結果として冷却不良によってフィルム２の成形精度が悪化したり、剥離跡が発生したりする場合がある。

巻出ロール８および巻取ロール９はともにフィルム２を巻きつけるコアを固定できる構造となっており、端部はモータ等の駆動装置と連結され、速度を制御しながら回転可能となっている。また、トルク制御により、フィルム２に与えられる張力を調整できることが好ましい。

各ロールの端部は、ころがり軸受などにより回転支持される。加熱ロール４はモータ等の駆動装置と連結され、速度を制御しながら回転可能となっている。またシワ伸ばしロール３１、冷却ロール５は金型３を通じて、加熱ロール４の駆動力により回転することが好ましい。搬送速度は微細構造の成形性と微細構造フィルムの生産性のバランスを考慮して決定されるが、微細構造を高精度に成形しながら生産性を高くするために、速度は１〜３０ｍ／分の範囲より決定されることが好ましい。速度が１ｍ／分より遅くなると、第１の金型搬送経路７１においてフィルム２への金型３からの熱負荷が大きくなりすぎてフィルム２が溶断する場合がある。一方、速度が３０ｍ／分より早くなると、ニップロール６によってフィルム２が加圧成形される際の時間が短くなり、フィルム２の成形性が低下する場合がある。ニップロール６の駆動装置は、加熱ロール４の端部とチェーンまたはベルトなどで連結し、加熱ロール４と連動して回転できるようにしたり、あるいは、加熱ロール４と速度を同期可能なモータなどを用いて独立して回転させたりすることが好ましいが、回転自在の構造とし、フィルム２との摩擦によって回転されるようにしてもよい。

各ロールを支持する軸受は、そのロールの質量や受ける負荷、回転速度などに応じて設計される。

図４に本発明の微細構造フィルムの製造装置１に関する別の好ましい形態を示す。
冷却ロール５から加熱ロール４に向かう第２の金型搬送経路７２において、金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面に金型３のシワ伸ばしロール３２を有することが好ましい。

シワ伸ばしロール３２付近のフィルム幅方向から見た概略側面図を図５に示す。シワ伸ばしロール３２、シワ伸ばしロール機構５０、シワ伸ばしロール３２の金型３への加圧方式はシワ伸ばしロール３１の場合と同様である。

図５に示す機構を用いて、シワ伸ばしロール３２の両端にある流体圧シリンダ５２を作動させて、金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面から金型３を幅方向にわたって加圧し、金型３を幅方向に押し広げることで、シワやうねりを除去することができる。金型３のシワやうねりが除去されると、加熱ロール４の表面において金型３の接触不良が抑制されるため、金型３が幅方向にわたって均一に加熱される。その結果、金型３上に供給されたフィルム２がニップロール６により金型３の微細構造が形成された面３ａに押し付けられ、フィルム２の被成形層が設けられている面２ａに金型３の表面の微細構造に対応する形状、すなわち金型３の微細構造とは逆パターンの微細構造が成形される際に、金型３の幅方向にわたって均一に成形されるようになる。

本発明の微細構造フィルムの製造装置は、エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、第１の金型搬送経路にあるシワ伸ばしロールとエンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある冷却ロールとエンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ１、とした場合、数式１を満たすように第１の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置されていることが好ましい。

１×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）≦１×１０^８・・・（数式１）。

ここで、本発明の微細構造フィルムの製造装置を図６、７を参照しながら具体的に説明する。金型３の幅をＷ（単位 ｍ）、金型３の厚さをｔ（単位 ｍ）、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ１（単位 ｍ）、とした場合、数式１を満たすように第１の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置されることが好ましい。

１×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）≦１×１０^８・・・（数式１）。

金型３の幅Ｗとは、図６で示す金型３の幅Ｗのことであり、金型３の幅Ｗは金型搬送方向で異なる１０箇所において、定規で測定した金型３の幅の平均値とする。また、金型３の厚さｔとは図６で示す金型３の厚さｔのことであり、マイクロメータで測定した、金型３の微細構造が形成された面３ａを有する任意の１０点における金型３の厚さの平均値とする。

測定の際に金型３の微細構造が形成された面３ａがある箇所においては、厚さｔは微細構造のうち最も凸となっている部分の厚さをいう。また、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点までの金型搬送方向の距離Ｌ１とは、図７で示す金型３のシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２までの距離Ｌ１のことである。

ここで、数式１についてより好ましくは５×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）≦５×１０^７である。（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）がこの範囲にあることで、より金型３へのシワやうねりの発生を抑制することができるため好ましい。

図６は第１の金型搬送経路におけるシワ伸ばしロール付近の拡大図であり、図７は本発明を適用した微細構造フィルム製造装置における、加熱ロールから冷却ロールに向かう第１の金型搬送経路７１のシワ伸ばしロールを、フィルム幅方向から見た概略側面図である。

まず、金型３でのシワやうねりの発生メカニズムについて図６を用いて説明する。
金型３は加熱ロール４と冷却ロール５に懸架されて搬送されているため、常に第１の金型搬送経路７１の金型搬送方向には温度差が発生している。そのため、第１の金型搬送経路７１では金型３の幅方向に温度差起因の熱応力による引っ張りあるいは圧縮荷重が発生するが、この引っ張りあるいは圧縮荷重が、金型３の材質や寸法によって決まる座屈限界荷重を超えたときに金型３の幅方向に座屈を引き起こし、シワやうねりとなる。

このメカニズムについて、金型３の金型搬送方向微小長さｂ（単位 ｍ）の区間について説明すると以下のようになる。

まず、金型３の金型搬送方向微小長さｂの区間における金型３の幅方向の熱応力による引っ張りあるいは圧縮荷重は、金型３の幅方向の両端の位置が固定されていると仮定すると、物質の線膨張係数をα（単位 １／℃）、金型搬送方向微小長さｂの区間での金型搬送方向の温度差をΔＴ（単位 ℃）、金型３のヤング率をＥ（単位 Ｎ／ｍ^２）、金型３の厚さをｔ（単位 ｍ）、熱応力による引っ張りあるいは圧縮荷重をＨ（単位 Ｎ）とした場合、Ｈ＝α×ΔＴ×Ｅ×ｂ×ｔとなる。

一方、金型３の金型搬送方向微小長さｂの区間における金型３の幅方向の座屈限界荷重は、金型３の金型搬送方向微小長さｂにおける金型３の幅方向で金型３の表面に対し垂直な方向の断面２次モーメントをＩ（単位 ｍ^４）、金型３の幅方向の両端の固定モードに関わるパラメータをｎ、円周率をπ、座屈限界荷重をＰ（単位 Ｎ）とした場合、座屈についてのオイラーの公式により
Ｐ＝（ｎ×π^２×ＥＩ）／Ｗ^２となる。ここで、断面２次モーメントＩはＩ＝（ｂ×ｔ^３）／１２であるからＰ＝（ｎ×π^２×Ｅ×ｂ×ｔ^３）／（１２×Ｗ^２）と変換できる。

金型３でシワやうねりが発生しないためには、Ｈ≦Ｐとなればよいことからα×ΔＴ×Ｅ×ｂ×ｔ ≦ （ｎ×π^２×Ｅ×ｂ×ｔ^３）／（１２×Ｗ^２）となる。この式を変形、整理し、金型３の形状による項目や温度差による項目を左辺に、定数及び金型３の材質による項目を右辺に分けると（ΔＴ×Ｗ^２）／（ｔ^２） ≦ （ｎ×π^２）／（１２×α）となる。このことから、（Ｗ／ｔ）^２×ΔＴが一定の値以下であれば、座屈が起こらないということがわかる。

続いて、（Ｗ／ｔ）^２×ΔＴが一定の値以下であれば、座屈が起こらないというメカニズムを図７の構成に適用する場合を考える。本発明の微細構造フィルムの製造装置１では、シワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から、金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２での間で温度の変化が一様であると仮定すると、シワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２での金型搬送方向の温度勾配は、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１でのシワ伸ばしロール７１の表面温度をＴ１（単位 ℃）、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２での冷却ロール５の表面温度をＴ２（単位 ℃）とすると、（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１となる。ここで、金型搬送方向微小長さｂの区間で考えると、温度差ΔＴはΔＴ＝（Ｔ１−Ｔ２）×ｂ／Ｌ１となる。つまり図７においては、（Ｗ／ｔ）^２×ΔＴは（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）×ｂ／Ｌ１）となる。ここで、金型搬送方向微小長さｂは任意の値を取ることができる定数であるため、表記を省略することができ、結果として（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）が特定の値以下であれば座屈が発生しないこととなる。

発明者らは、この理論に基づき実験を行った結果、金型３の形状とシワ伸ばしロール３１の取り付け位置が１×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）≦１×１０^８を満たせば金型３へのシワやうねりの発生を抑制することができることがわかった。なお、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１でのシワ伸ばしロール３１の表面温度Ｔ１は、シワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１における金型３の端部からシワ伸ばしロール３１の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所で、熱電対を用いて測定したシワ伸ばしロール３１の表面温度とし、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２での冷却ロール５の表面温度Ｔ２は、冷却ロール５と金型３との接触開始点６２における金型３の端部から冷却ロール５の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所で、熱電対を用いて測定した冷却ロール５の表面温度とする。この条件においては、金型３からフィルム２が剥離することなく冷却ロール５までフィルム２が金型３に密着したまま搬送することが可能となる。

（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）＜１×１０^６となると、金型３の搬送が困難になったり、装置が大型化したりするという問題が発生する場合がある。これは、金型３の厚さｔが大きくなることによる加熱ロール４や冷却ロール５の曲面周上での曲げ応力の増大化や、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２までの金型搬送方向の距離Ｌ１が大きくなることによる、第１の金型搬送経路７１や第２の金型搬送経路７２の長尺化のためである。

一方、１×１０^８＜（（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）となると、上記の金型３のシワやうねり発生メカニズムの通り、金型３にシワやうねりが発生する。両条件とも、冷却ロール５と金型３との接触不良を引き起こし、結果としてフィルム２の成形不良が発生しやすくなる場合がある。

さらに、シワ伸ばしロール３１に加えてシワ伸ばしロール３２についても、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ２（単位 ｍ）、とした場合、シワ伸ばしロール３２が数式２を満たすように配置されることが好ましい。

１×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）≦１×１０^８・・・（数式２）
数式２についてより好ましくは５×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）≦５×１０^７である。
詳細を、図８を用いて説明する。図８は本発明を適用した微細構造フィルムの製造装置における、冷却ロールから加熱ロールに向かう第２の金型搬送経路のシワ伸ばしロールを、フィルム幅方向から見た概略側面図である。第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点までの金型搬送方向の距離Ｌ２とは、図８で示す金型３のシワ伸ばしロール３２との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４との接触開始点６４までの距離Ｌ２のことである。

シワ伸ばしロール３１の場合と同様、（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）＜１×１０^６となると、金型３の搬送が困難になったり、装置が大型化したりするという問題が発生する場合がある。これは、金型３の厚さｔが大きくなることによる加熱ロール４や冷却ロール５の曲面周上での曲げ応力の増大化や、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４までの金型搬送方向の距離Ｌ２が大きくなることによる、第１の金型搬送経路７１や第２の金型搬送経路７２の長尺化のためである。

一方、１×１０^８＜（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）となると、上記の金型３のシワやうねり発生メカニズムの説明の通り、金型３にシワやうねりが発生する場合がある。両条件とも加熱ロール４と金型３との接触不良を引き起こし、結果として、金型３において幅方向に温度ムラが生じフィルム２の成形不良が発生しやすくなる場合がある。

本発明の微細構造フィルムの製造装置１に関するさらに別の形態として、シワ伸ばしロール３１、３２は温度調整機構を有し、それぞれシワ伸ばしロール３１、３２の温度調整を行うことが好ましい。温度調整を行う機構としては、ロール内部を中空にしてカートリッジヒーターや誘導加熱装置を埋め込んだり、内部に流路を加工して油や水、蒸気等の熱媒を流したりすることにより、ロール内部から加熱する構造でもよい。また、ロール外表面付近に赤外線加熱ヒーターを設置して、ロール外表面から加熱する構造でもよいが、この限りではなく、その他の構造であってもよい。

図７、８を用いて説明する。まず、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３でのシワ伸ばしロール３２の表面温度をＴ３（単位 ℃）、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４での加熱ロール４の表面温度をＴ４（単位 ℃）とする。なお、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３でのシワ伸ばしロール３２の表面温度Ｔ３は、シワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３における金型３の端部からシワ伸ばしロール３２の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所で、熱電対を用いて測定したシワ伸ばしロール３２の表面温度とし、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４での加熱ロール４の表面温度Ｔ４は、加熱ロール４と金型３との接触開始点６４における金型３の端部から加熱ロール４の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所で、熱電対を用いて測定した加熱ロール４の表面温度とする。

上記の（Ｗ／ｔ）^２×ΔＴが一定の値以下であれば、座屈が起きないというメカニズムに基づくと、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１でのシワ伸ばしロール３１の表面温度Ｔ１と、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２での冷却ロール５の表面温度Ｔ２の温度差Ｔ１−Ｔ２や、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３でのシワ伸ばしロール３２の表面温度Ｔ３と、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４での加熱ロール４の表面温度Ｔ４の温度差Ｔ４−Ｔ３が小さくなれば、金型３のシワやうねりは発生にくいことになる。シワ伸ばしロール３１、３２が温度調整機構を有し、金型３にシワやうねりが発生した場合、速やかにシワ伸ばしロール３１、３２の表面温度を調整し温度差を小さくすることでシワやうねりを抑制することが容易となる。さらに、シワ伸ばしロール加圧装置４４、５４を使用した金型３への加圧力の変更や、シワ伸ばしロール移動装置４７、５７を使用した金型３のシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２までの距離Ｌ１や、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点までの金型搬送方向の距離Ｌ２の変更と組み合わせることで、金型３にシワやうねりを発生させにくい条件範囲を広げることが可能となる。

上記の装置を用いて微細構造が表面に形成されたフィルムの製造方法を説明する。
本発明の微細構造フィルムの製造方法は、表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型を、加熱された加熱ロールに抱かせながら加熱する金型加熱工程と、フィルムの成形側表面と前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造表面とを密着させた状態で、前記加熱ロールを含む一対のロールによりニップ加圧する加圧成形工程と、加圧後の前記エンドレスベルト形状を有する金型と前記フィルムを密着させたまま冷却ゾーンまで搬送する第１の搬送工程と、前記冷却ゾーンでエンドレスベルト形状を有する金型とフィルムを密着させたままエンドレスベルト形状を有する金型側から冷却する冷却工程と、冷却後のエンドレスベルト形状を有する金型とフィルムとを剥離するフィルム剥離工程と、フィルムを剥離した前記エンドレスベルト形状を有する金型を再度金型加熱ロールまで搬送する第２の搬送工程と、を少なくとも含むことにより、エンドレスベルト形状を有する金型の表面に形成された微細構造を、加熱したフィルムの表面に成形する微細構造フィルムの製造方法であって、前記第１の搬送工程において、前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面に配置されたシワ伸ばしロールにより前記エンドレスベルト形状を有する金型のシワを伸ばすことを特徴とする微細構造フィルムの製造方法である。

本発明の製造方法の実施形態の一例を、図１、２を用いて説明する。

まず準備段階として、フィルム２を巻出ロール８より引き出し、ニップロール６を開放した状態で、加熱ロール４とシワ伸ばしロール３１と冷却ロール５に懸架された金型３上に沿わせ、剥離ロール７を経由し、巻取ロール９で巻き取っている状態とする。

続いて、駆動装置によりフィルム２を低速で搬送しながら、加熱ロール４の図示しない加熱装置及び冷却ロール５の図示しない冷却装置を作動し、加熱ロール４及び冷却ロール５を介してそれぞれのロール上での金型３の表面温度が所定の温度になるまで温調する。

また、温調中に金型３にシワやうねりが発生した場合にはシワ伸ばしロール加圧装置４４を動かしシワ伸ばしロール３１の金型３に対する加圧力を変更したり、シワ伸ばしロール移動装置４７を動かして金型３の搬送方向でのシワ伸ばしロール３１と接触位置を変更したりすることで、シワ伸ばしロール３１の周面が金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面に密着するようにして、金型３のシワやうねりを抑制する。

このときの金型３の加圧分布は特に制限されないが、金型の幅方向に均一に加圧できることが好ましい。また、シワ伸ばしロール３１の金型３の加圧力は金型３の厚さや加熱ロール４や冷却ロール５の温度、シワ伸ばしロール３１と加熱ロール４および冷却ロール５の位置関係に依存するが、シワ伸ばしロール加圧装置４４を通じてシワ伸ばしロール３１に与えられる力をＱとした場合、Ｑを金型３の幅Ｗで割った線圧Ｑ／Ｗは０．１〜２０ｋＮ／ｍ、０．１〜１０ｋＮ／ｍとすることがより好ましい。０．１ｋＮ／ｍ未満では金型３のシワ伸ばしを十分に行えない場合があり、２０ｋＮ／ｍより大きい場合では微細構造フィルムの製造を続けていくうちに金型３が変形する場合がある。

加熱ロール４及び冷却ロール５の表面温度が設定値まで温調されたら、微細構造フィルムの製造速度で搬送すると同時に、ニップロール６を閉じ、加熱ロール４とニップロール６でフィルム２及び金型３を加圧し、金型３の微細構造が形成された面３ａの形状をフィルム２の被成形層が設けられている面２ａに加圧により密着させる。このときの条件として、微細構造フィルムの製造速度は１〜３０ｍ／分、線圧は４００ｋＮ／ｍ以上の範囲で設定されることが好ましい。

微細構造フィルムの製造方法は、金型の周回動作に合わせて各工程を並べると、金型加熱工程、加圧成形工程、第１の搬送工程、シワ伸ばし工程、冷却工程、フィルム剥離工程、第２の搬送工程から構成される。以下、順に説明する。

まず、金型加熱工程では金型３は加熱ロール４と接触する部分において、常に高温の加熱ロール４からの熱伝導により加熱され、被成形層を有するフィルム２と共に加熱ロール４とニップロール６によって被成形層を有するフィルム２と共に加圧されるまでに、金型３の温度は加熱ロール４の表面温度まで昇温される。

加圧成形工程では、巻出ロール８から巻き出された、被成形層を有するフィルム２が加熱ロール４とニップロール６による加圧部において、加熱された金型３に被成形層を有する面を押し当てられて密着し、軟化したフィルム２を構成する樹脂が金型３の微細構造が形成された面３ａのパターン内に充填される。第１の搬送工程では、金型３に加圧されたフィルム２が、金型３と密着したまま第１の金型搬送経路７１を通って冷却工程まで搬送される。

シワ伸ばし工程では、第１の搬送工程の途中において、金型加熱工程と冷却工程における温度差により金型３に発生したシワやうねりを、金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面からシワ伸ばしロール３１を押し当てて、金型３の幅方向に金型３を押し広げることによって取り除く。

冷却工程では、金型３と冷却ロール５が接触する部分において、フィルム２は冷却ロール５との熱伝導により、金型３ごとフィルム２を構成する樹脂のガラス転移温度以下まで冷却される。

フィルム剥離工程では冷却後のフィルム２は剥離ロール７により、冷却ロール５から連続的に剥がすように離型される。なお、図１において剥離ロール７はフィルム２の冷却ロール５に対する抱き付き角が９０度となるように配置されているが、０〜１８０度となる範囲で他の位置に配置されていてもよい。フィルム２の冷却ロール５に対する抱き付き角が大きくなるほど、フィルム２が冷却される時間が長くなり、フィルム２を十分に冷やすことが可能となる。剥離後のフィルム２は巻取ロール９に巻き取られる。第２の搬送工程では、金型３が第２の金型搬送経路７２を通って冷却工程から再度金型加熱工程まで搬送される。

第１の搬送工程の途中にシワ伸ばし工程があることにより、次の冷却工程においては金型３のシワやうねりによる冷却ロール５の接触不良が抑制されるため、フィルム２の冷却不良も抑制され、結果としてフィルム２の冷却ロール５からの剥離挙動が安定し、高精度な成形面を有するフィルムを製造することができる。

さらに、図４に示すように第２の搬送工程内の第２の金型搬送経路７２において、金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面に前記金型のシワ伸ばしロールが配置され、金型３のシワ伸ばしを行うことが好ましい。

シワ伸ばしロール３１と同様、第２の搬送工程において、冷却工程と金型加熱工程における温度差により金型３に発生したシワやうねりを、金型３の微細構造が形成された面３ａの反対側の面からシワ伸ばしロール３２を押し当てて、金型３の幅方向に金型３を押し広げて取り除くことができる。その結果、金型３と加熱ロール４との接触不良が抑制されて、加圧成形工程において金型３の幅方向の温度が均一となるため、軟化したフィルム２を構成する熱可塑性樹脂が金型３の幅方向にわたって均一に金型３の微細構造が形成された面３ａのパターン内に充填される。シワ伸ばしロール３２、シワ伸ばしロール機構５０、シワ伸ばしロール３２の金型３への加圧力はシワ伸ばしロール３１の場合と同様である。

また、第１の搬送工程内の第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点までの金型搬送方向の距離Ｌ１（単位 ｍ）と、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点でのシワ伸ばしロール７１の表面温度Ｔ１（単位 ℃）と、第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点での冷却ロール５の表面温度Ｔ２（単位 ℃）が、数式３、４を満たすようにシワ伸ばしロール３１が配置されることが好ましい。

２０≦（Ｔ１−Ｔ２）≦１００・・・（数式３）
１×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）≦１×１０^１０・・・（数式４）
数式３についてより好ましくは３０≦（Ｔ１−Ｔ２）≦５０、数式４についてより好ましくは２×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）≦１×１０^９である。

（Ｔ１−Ｔ２）＜２０では、Ｔ１−Ｔ２の温度差が小さいことで第１の金型搬送経路７１においてフィルム２と金型３が剥離しやすくなり、フィルム２に剥離跡が発生しやすくなったりする場合がある。一方、１００＜（Ｔ１−Ｔ２）では、フィルム２が冷却されすぎて過冷却による剥離跡が発生しやすくなる場合がある。

さらに、２０≦（Ｔ１−Ｔ２）≦１００であったとしても、（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）＜１×１０^７では、金型３の搬送が困難になったり、装置が大型化したりするという問題が発生する場合がある。これは、金型３の厚さｔが大きくなることによる加熱ロール４や冷却ロール５の曲面周上での曲げ応力の増大化や、第１の搬送工程内の第１の金型搬送経路７１にあるシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１から金型搬送方向にある冷却ロール５と金型３との接触開始点６２までの金型搬送方向の距離Ｌ１が大きくなることによる、第１の金型搬送経路７１や第２の金型搬送経路７２の長尺化のためである。

一方、１×１０^１０＜（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）となると、上記の金型３のシワやうねり発生メカニズムの説明の通り、金型３にシワやうねりが発生する場合がある。両条件とも、冷却ロール５と金型３との接触不良を引き起こし、結果としてフィルム２の成形不良が発生しやすくなる場合がある。

さらに、シワ伸ばしロール３１に加えてシワ伸ばしロール３２についても、第２の搬送工程内の第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４までの金型搬送方向の距離Ｌ２（単位 ｍ）と、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３でのシワ伸ばしロール３２の表面温度Ｔ３（単位 ℃）と、第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４での加熱ロール４の表面温度Ｔ４（単位 ℃）が、数式５を満たすようにシワ伸ばしロール３２が配置されることが好ましい。

１×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）≦１×１０^１０・・・（数式５）
数式５についてより好ましくは２×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）≦１×１０^９である。

（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）＜１×１０^７では、金型３の搬送が困難になったり、装置が大型化したりするという問題が発生する場合がある。これは、金型３の厚さｔが大きくなることによる加熱ロール４や冷却ロール５の曲面周上での曲げ応力の増大化や、第２の搬送工程内の第２の金型搬送経路７２にあるシワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３から金型搬送方向にある加熱ロール４と金型３との接触開始点６４までの金型搬送方向の距離Ｌ２が大きくなることによる、第１の金型搬送経路７１や第２の金型搬送経路７２の長尺化のためである。

一方、１×１０^１０＜（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）となると、上記の金型３のシワやうねり発生メカニズムの説明の通り、金型３にシワやうねりが発生しやすくなる場合がある。両条件とも加熱ロール４と金型３との接触不良を引き起こし、結果として、金型３において幅方向に温度ムラが生じフィルム２の成形不良が発生しやすくなる場合がある。

また、シワ伸ばしロール３１、３２が上記表面温度を満たすようにするための方法として、シワ伸ばしロール３１、３２が、温度調整機構を有し、それぞれシワ伸ばしロール３１、３２の表面温度調整を行うことが好ましい。

本発明に適用されるフィルム２に用いられる被成形層の材料は、熱可塑性樹脂を主たる成分とした熱可塑性樹脂が用いられ、具体的に好ましくは、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリイソブチレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂ポリエーテル系樹脂、ポリエステルアミド系樹脂、ポリエーテルエステル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、あるいはポリ塩化ビニル系樹脂などを挙げることができる。このなかで共重合するモノマー種が多様であり、かつそのことによって材料物性の調整が容易であるなどの理由から特にポリエステル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリアミド系樹脂、アクリル系樹脂またはこれらの混合物から選ばれる熱可塑性樹脂を含有していることが好ましく、上述の熱可塑性樹脂の含有率は５０質量％以上であることがさらに好ましい。

フィルム２は上述の樹脂の単体からなるフィルムであっても構わないし、複数の樹脂層からなる積層体であってもよい。単体からなるフィルムの場合、両表面に被成形層を有するフィルムとして扱う。複数の樹脂層からなる積層体の場合、単体フィルムと比べて、易滑性や耐摩擦性などの表面特性や、機械的強度、耐熱性を付与することができる。このように複数の樹脂層からなる積層体とした場合はフィルム全体が前述の熱可塑性樹脂を主たる成分とする要件を満たすことが好ましいが、フィルム全体としては前記要件を満たしていなくても、少なくとも前記要件を満たす層が表層に形成されていれば容易に表面を形成することができる。特に、微細構造フィルムの加工性を良くするために金型温度を高温にしたい場合は、表層にガラス転移温度が低く微細構造を成形しやすい樹脂、芯層にガラス転移温度が高く強度の強い樹脂、という構成のフィルムを用いることで、フィルムの平面性を維持しつつ、フィルムの加工性を高めることができる。

以上の微細構造フィルムの製造方法を用いれば、表面に微細構造を形成したエンドレスベルト形状を有する金型を押し当てて、フィルムの表面に微細構造を連続的に成形する際に、金型にシワやうねりを発生させにくく安定的に搬送することができ、高い生産性で高精度な成形フィルムを製造することができる。

以下、本発明の実施例について説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されない。

（実施例１）
図１、２、３の構成を有する装置で微細構造フィルムを製造した。

フィルム２には、ポリカーボネート樹脂を芯層とし、その両面に被成形層としてポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）樹脂を積層した、３層積層フィルムを共押出しにより作成し用いた。フィルム２の総厚さは２００μｍ、各層の積層比（厚さ比）はおよそ１：８：１であり、幅は４８０ｍｍとした。

金型３は厚さ０．２ｍｍのステンレス鋼ベルトの表面に厚さ０．１ｍｍのニッケル鍍金をしたものに、ピッチ２５μｍ、深さ１２．５μｍのＶ溝形状を金型３の周方向と平行に切削加工して作成した。この金型３の総厚さはステンレス鋼ベルトとの厚さにメッキ層の厚さを加えた０．３ｍｍとした。また、金型３の幅は５００ｍｍ、周長は１，８００ｍｍとした。そして、金型３に加える張力は６ｋＮ／ｍとした。

加熱ロール４は炭素鋼からなる筒状の芯材の表面に硬質クロム鍍金をしたものを用いた。加熱ロール４の金型３を懸架する部分の外径は４００ｍｍ、幅方向長さは５４０ｍｍとした。また、加熱装置には加熱ロール内部に備えた誘導加熱装置を用い、微細構造フィルムの製造時に加熱ロール４の表面温度を２１０℃まで加熱した。

ニップロール６は外径が１６０ｍｍの炭素鋼からなる筒状の芯材表面に、弾性体の層１０としてポリエステル樹脂（硬度：ショアＤ８６°）を２０ｍｍの厚さで被膜したものを用いた。加圧領域の幅は４６０ｍｍとし、金型３の全５００ｍｍ幅のうち４６０ｍｍ幅にわたってフィルム２を加圧する構成とした。

加圧装置１２には空気圧シリンダを用い、ニップロール６に対し加圧力４００ｋＮを負荷した（線圧：８７０ｋＮ／ｍ）。このときのフィルム２に負荷される見かけのニップ圧は測定の結果σ＝１０９ＭＰａであった。

冷却ロール５は加熱ロール４と同様に、炭素鋼を芯材とし、表面に硬質クロム鍍金をしたものを用いた。金型３を懸架する部分の外径は２５０ｍｍ、幅方向長さは５４０ｍｍとした。冷却ロール５は内部に２０℃の冷却水を流し続けた。

シワ伸ばしロール３１は、加熱ロール４、冷却ロール５と同様に、炭素鋼を芯材とし、表面に硬質クロム鍍金をしたものを用いた。外径は１００ｍｍ、幅方向長さは５４０ｍｍとした。シワ伸ばしロール３１は、金型３のシワ伸ばしロール３１との接触終了点６１から冷却ロール５との接触開始点６２までの距離Ｌ１が２５０ｍｍとなるように配置した。シワ伸ばしロールの金型への加圧装置は空気圧シリンダを用い、フィルム製造条件では金型３に対するシワ伸ばしロール３１からの加圧力は０．２３ｋＮとした（線圧：０．５ｋＮ／ｍ）。また、金型搬送方向への位置調整はモータ４８としてサーボモータを使って、スライドレール４６に載ったシワ伸ばしロール加圧装置４４付きの架台４５を移動させることによって行った。さらに、シワ伸ばしロール３１の内部に温度調整機構を取り付け、フィルム製造条件ではシワ伸ばしロール３１の表面温度が１５０℃となるように温度調整した。

製造条件は次の通りとした。まず、室温状態で微細構造フィルムの製造速度１ｍ／分で加圧なしの状態でフィルムの搬送を続けながら、加熱ロール４の表面温度を２１０℃まで加熱した。

加熱中に金型３にシワやうねりが発生した場合はシワ伸ばしロール加圧装置４４とシワ伸ばしロール移動装置４７を微調整させながらシワやうねりの発生を抑制した。

そして加熱ロール４の加熱完了後、速度を１０ｍ／分にしてニップロール６で加圧し、１０分間連続で微細構造フィルムを製造した。その結果、フィルム製造中、金型３にはシワやうねりの発生は視認されなかった。

また、走行体用Ｋ熱電対（安立計器（株）製 Ｕ−１１９Ｋ−０１−Ｄ０−０−ＴＣ２−Ｗ）を使用して、シワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１における金型３の端部からシワ伸ばしロール３１の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所でのシワ伸ばしロール３１の表面温度Ｔ１、冷却ロール５と金型３との接触開始点６２における金型３の端部から冷却ロール５の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所での冷却ロール５の表面温度Ｔ２を測定した。

測定の結果、製造中のシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１のシワ伸ばしロール３１の表面温度Ｔ１は１５０℃、冷却ロール５と金型３との接触開始点６２の冷却ロール５の表面温度Ｔ２は５５℃であった。

ここで、本実施例においては（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）＝（０．５／０．０００３）^２×（１／０．２５）＝１.１×１０^７であった。さらに、Ｔ１−Ｔ２＝１５０−５５＝９５、（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）＝（０．５／０．０００３）^２×（（１５０−５５）／０．２５）＝１．１×１０^９であった。

この状態で成形したフィルム２の表面を電子顕微鏡で観察したところ、表面に成形不良箇所は無く、成形したフィルムの断面形状を観察した結果、ピッチ２５μｍ、深さ１２．５μｍのＶ溝形状が全幅にわたって成形されていた。

（実施例２）
実施例１の構成に図４、５に示すシワ伸ばしロール３２を追加設置した構成で微細構造フィルムを製造した。シワ伸ばしロール３２の配置、加圧力、温度調整の条件は下記の条件とした。

シワ伸ばしロール３２は、シワ伸ばしロール３１と同様に、炭素鋼を芯材とし、表面に硬質クロム鍍金をしたものを用いた。外径は１００ｍｍ、幅方向長さは５４０ｍｍとした。シワ伸ばしロール３２は、金型３のシワ伸ばしロール３２との接触終了点６３から加熱ロール４との接触開始点６４までの距離Ｌ２が２５０ｍｍとなるように配置した。シワ伸ばしロールの金型への加圧装置は空気圧シリンダを用い、フィルム製造条件ではシワ伸ばしロール３１と同様、金型３に対するシワ伸ばしロール３２からの加圧力は０．２３ｋＮとした（線圧：０．５ｋＮ／ｍ）。また、金型搬送方向への位置調整はモータ５８としてサーボモータを使って、スライドレール５６に載ったシワ伸ばしロール加圧装置５４付きの架台５５を移動させることによって行った。さらに、シワ伸ばしロール３２の内部に温度調整機構を取り付け、フィルム製造条件ではシワ伸ばしロール３２の表面温度が１００℃となるように温度調整した。

製造条件は次の通りとした。まず、室温状態で微細構造フィルムの製造速度１ｍ／分で加圧なしの状態でフィルムの搬送を続けながら、加熱ロール４の表面温度を２２０℃まで加熱した。

加熱中に金型３にシワやうねりが発生した場合はシワ伸ばしロール加圧装置４４、５４とシワ伸ばしロール移動装置４７、５７を微調整させながらシワやうねりの発生を抑制した。

そして加熱ロール４の加熱完了後、速度を２０ｍ／分にしてニップロール６で加圧し、１０分間連続で微細構造フィルムを製造した。その結果、フィルム製造中、金型３にはシワやうねりの発生は視認されなかった。

また、走行体用Ｋ熱電対（安立計器（株）製 Ｕ−１１９Ｋ−０１−Ｄ０−０−ＴＣ２−Ｗ）を使用して、シワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１における金型３の端部からシワ伸ばしロール３１の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所での近傍のシワ伸ばしロール３１の表面温度Ｔ１、冷却ロール５と金型３との接触開始点６２における金型３の端部から冷却ロール５の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所での冷却ロール５の表面温度Ｔ２、シワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３における金型３の端部からシワ伸ばしロール３２の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所でのシワ伸ばしロール３２の表面温度Ｔ３、加熱ロール４と金型３との接触開始点６４における金型３の端部から加熱ロール４の軸方向に１０ｍｍ離れた箇所での加熱ロール４の表面温度Ｔ４を測定した。

測定の結果、製造中のシワ伸ばしロール３１と金型３との接触終了点６１のシワ伸ばしロール３１の表面温度Ｔ１は１５０℃、冷却ロール５と金型３との接触開始点６２の冷却ロール５の表面温度Ｔ２は５９℃、シワ伸ばしロール３２と金型３との接触終了点６３のシワ伸ばしロール３２の表面温度Ｔ３は１００℃、加熱ロール４と金型３との接触開始点６４の加熱ロール４の表面温度Ｔ４は２１７℃であった。

ここで、本実施例においては（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）＝（０．５／０．０００３）^２×（１／０．２５）＝１.１×１０^７、（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）＝（０．５／０．０００３）^２×（１／０．２５）＝１.１×１０^７であった。さらに、Ｔ１−Ｔ２＝１５０−５９＝９１、（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）＝（０．５／０．０００３）^２×（（１５０−５９）／０．２５）＝１．０×１０^９、（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）＝（０．５／０．０００３）^２×（（２１７−１００）／０．２５）＝１．３×１０^９であった。

この状態で成形したフィルム２の表面を電子顕微鏡で観察したところ、表面に成形不良箇所は無く、成形したフィルムの断面形状を観察した結果、ピッチ２５μｍ、深さ１２．５μｍのＶ溝形状が全幅にわたって成形されていた。

（比較例１）
シワ伸ばしロール３１が無いことを除けば実施例１と同条件で微細構造フィルムを製造した。

その結果、離間直前から徐々に金型３の冷却ロール５との接触開始点付近から、加熱ロール４に向かって金型搬送方向にシワやうねりが金型３の幅方向に数本発生し、離間した後も、金型３表面に発生したシワやうねりは解消しなかった。

この状態で成形したフィルム２の表面を光学顕微鏡や電子顕微鏡で観察したところ、金型３にシワやうねりが発生した箇所に対応する箇所で連続Ｖ溝形状の高さが周辺よりも１〜２μｍ低い成形不良や冷却ロール５からの剥離跡があることを確認した。

１：微細構造フィルムの製造装置
２：フィルム
２ａ：フィルムの被成形層が設けられている面
３：金型
３ａ：金型の微細構造が形成された面
４：加熱ロール
５：冷却ロール
６：ニップロール
７：剥離ロール
８：巻出ロール
９：巻取ロール
１０：弾性体の層
１１、４１、５１：軸受
１２：加圧装置
３１、３２：シワ伸ばしロール
４０、５０：シワ伸ばしロール機構
４２、５２：流体圧シリンダ
４３、５３：荷重検知器
４４、５４：シワ伸ばしロール加圧装置
４５、５５：架台
４６、５６：スライドレール
４７、５７：シワ伸ばしロール移動装置
４８、５８：モータ
６１、６３：シワ伸ばしロールと金型との接触終了点
６２：冷却ロールと金型との接触開始点
６４：加熱ロールと金型との接触開始点
７１：第１の金型搬送経路
７２：第２の金型搬送経路
８１：金型搬送方向
８２：シワ伸ばしロール移動装置移動方向
Ｌ１：第１の金型搬送経路における金型のシワ伸ばしロールとの接触終了点から冷却ロールとの接触開始点までの距離
Ｌ２：第２の金型搬送経路における金型のシワ伸ばしロールとの接触終了点から加熱ロールとの接触開始点までの距離
Ｗ：金型の幅
ｂ：金型の搬送方向微小長さ
ｔ：金型の厚さ
ΔＴ：金型搬送方向微小長さｂの区間での金型搬送方向の温度差

Claims (10)

1. １）表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型と、
   ２）前記エンドレスベルト形状を有する金型を加熱するための加熱ロールと加熱ロールと平行に配置され、表面が弾性体に覆われたニップロールおよび前記両ロールを用いた挟圧手段とを少なくとも備えた加圧機構と、
   ３）前記エンドレスベルト形状を有する金型を冷却するための冷却ロールと、
   ４）エンドレスベルト形状を有する金型に密着したフィルムを剥がすための剥離機構と、
   ５）前記加熱ロールおよび前記冷却ロールを回転させて、前記エンドレスベルト形状を有する金型を搬送する搬送機構と、
   を少なくとも備えた微細構造フィルムの製造装置であって、
   前記加熱ロールから前記冷却ロールに向かう第１の金型搬送経路において
   前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面に、幅方向にわたって前記金型を加圧するシワ伸ばしロールが配置されていること、かつ、
   該シワ伸ばしロールが、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行う温度調整機構を有すること
   を特徴とする微細構造フィルムの製造装置。
2. 前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
   前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
   前記第１の金型搬送経路にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記冷却ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ１、
   とした場合、数式１を満たすように前記第１の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置されていること
   を特徴とする請求項１に記載の微細構造フィルムの製造装置。
   １×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ１）≦１×１０^８・・・（数式１）
3. 前記冷却ロールから前記加熱ロールに向かう第２の金型搬送経路において
   前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面にシワ伸ばしロールが配置されていること
   を特徴とする請求項１または２に記載の微細構造フィルムの製造装置。
4. 前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
   前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
   前記第２の金型搬送経路にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記加熱ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ２、
   とした場合、数式２を満たすように前記第２の金型搬送経路にシワ伸ばしロールが配置されていること
   を特徴とする請求項３に記載の微細構造フィルムの製造装置。
   １×１０^６≦（Ｗ／ｔ）^２×（１／Ｌ２）≦１×１０^８・・・（数式２）
5. 前記第２の金型搬送経路に配置されたシワ伸ばしロールが、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行う温度調整機構を有すること
   を特徴とする請求項３または４に記載の微細構造フィルムの製造装置。
6. １）表面に微細構造が形成されたエンドレスベルト形状を有する金型を、加熱された加熱ロールに抱かせながら加熱する金型加熱工程と、
   ２）フィルムの成形側表面と前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造表面とを密着させた状態で、前記加熱ロールを含む一対のロールによりニップ加圧する加圧成形工程と、
   ３）加圧後の前記エンドレスベルト形状を有する金型と前記フィルムを密着させたまま冷却ゾーンまで搬送する第１の搬送工程と、
   ４）前記冷却ゾーンでエンドレスベルト形状を有する金型とフィルムを密着させたままエンドレスベルト形状を有する金型側から冷却する冷却工程と、
   ５）冷却後のエンドレスベルト形状を有する金型とフィルムとを剥離するフィルム剥離工程と、
   ６）フィルムを剥離した前記エンドレスベルト形状を有する金型を再度加熱ロールまで搬送する第２の搬送工程と、
   を少なくとも含むことにより、エンドレスベルト形状を有する金型の表面に形成された微細構造を、加熱したフィルムの表面に成形する微細構造フィルムの製造方法であって、
   前記第１の搬送工程において、前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面に、幅方向にわたって前記金型を加圧する配置されたシワ伸ばしロールにより前記エンドレスベルト形状を有する金型のシワを伸ばすこと、かつ、
   該シワ伸ばしロールが、温度調整機構を有し、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行うこと
   を特徴とする微細構造フィルムの製造方法。
7. 前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
   前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
   前記第１の搬送工程にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記冷却ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ１、
   前記第１の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点での前記シワ伸ばしロールの表面温度をＴ１、
   前記第１の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記冷却ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点での前記冷却ロールの表面温度をＴ２、
   とした場合、数式３および数式４を満たすように前記シワ伸ばしロールを配置してシワを伸ばすこと
   を特徴とする請求項６に記載の微細構造フィルムの製造方法。
   ２０≦（Ｔ１−Ｔ２）≦１００・・・（数式３）
   １×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ１−Ｔ２）／Ｌ１）≦１×１０^１０・・・（数式４）
8. 前記第２の搬送工程において、前記エンドレスベルト形状を有する金型の微細構造が形成された面の反対側の面に配置されたシワ伸ばしロールにより前記エンドレスベルト形状を有する金型のシワを伸ばすこと
   を特徴とする請求項６または７に記載の微細構造フィルムの製造方法。
9. 前記エンドレスベルト形状を有する金型の幅をＷ、
   前記エンドレスベルト形状を有する金型の厚さをｔ、
   前記第２の搬送工程にあるシワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記加熱ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点までの金型搬送方向の距離をＬ２、
   前記第２の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点での前記シワ伸ばしロールの表面温度をＴ３、
   前記第２の搬送工程にある前記シワ伸ばしロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触終了点から金型搬送方向にある前記加熱ロールと前記エンドレスベルト形状を有する金型との接触開始点での前記加熱ロールの表面温度をＴ４、
   とした場合、数式５を満たすように前記シワ伸ばしロールを配置してシワを伸ばすこと
   を特徴とする請求項８に記載の微細構造フィルムの製造方法。
   １×１０^７≦（Ｗ／ｔ）^２×（（Ｔ４−Ｔ３）／Ｌ２）≦１×１０^１０・・・（数式５）
10. 前記第２の搬送工程に配置されたシワ伸ばしロールが、温度調整機構を有し、シワ伸ばしロール表面の温度調整を行うこと
    を特徴とする請求項８または９に記載の微細構造フィルムの製造方法。

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